【課題】高速の画像処理が可能で、エッジ付近の汚れや形状不良の影響を受けず、簡単な構成で、正確な表面検査を行うことができる、表面検査装置および方法を提供することを課題とする。
【解決手段】被検査面に光を照射する光源と、前記被検査面からの反射光を受光し撮像する、互いに視野がオーバラップするように前記被検査面の幅方向に配列された複数台のカメラと、該カメラからの撮像信号を１対１対応で処理する複数台の画像処理装置と、該画像処理装置からの疵情報を処理する計算機とを備え、前記被検査面に存在する表面疵を検出する表面検査装置であって、前記画像処理装置は、それぞれ独立に、かつ、同一の処理を行う、エッジ検出処理手段およびエッジ処理手段を備える。 （もっと読む）

【課題】エッチングや印刷のムラによりメッシュ幅の太さの変化に影響されずに正確な欠陥抽出を行うことが可能なメッシュ検査装置を提供する。
【解決手段】メッシュ検査装置１の処理部３は、ラインセンサ５からメッシュシート１０のメッシュが画像に写る分解能で画像を入力し、前処理として光源である白色ＬＥＤ照明７によるシェーディングの補正を行い、前処理した画像を平滑化し、欠陥を誤検出しない程度に画像をぼかす。平滑化した画像内でしきい値により欠陥を抽出し、抽出した欠陥の重心を中心に例えば１２８×１２８画素を平滑化前の画像からトリミングする。トリミングした画像のＦＦＴ画像でメッシュの空間周波数に相当する領域を０に置き換えてメッシュ周波数を除去した後、ＩＦＦＴ処理を施し、得られた画像から欠陥の輝度、形状、面積の判定を行い、結果を出力する。 （もっと読む）

【課題】自動車ボディの外板面が許容範囲内で変化しても、正確に表面欠陥を検査することのできる自動車ボディ表面欠陥検査方法、及び自動車ボディ表面欠陥検査装置を提供する。
【解決手段】照明手段５と、カメラ７と、カメラ７の映像データを記憶する映像データ記憶手段である検査制御装置２と、照明手段５とカメラ７を移動するカメラ移動手段である検査フレーム制御装置１０と有し、映像データをフーリエ変換して、不要周波数成分をカットするカット処理工程（Ｓ３２）と、カット処理されたデータを３次元処理して意匠近似面データを作成する意匠近似面データ作成工程（Ｓ３３、Ｓ３４）と、カット処理されたデータと意匠近似面データとの差分を算出する差分処理工程（Ｓ３５）と、差分処理されたデータに基づいて、自動車ボディの表面欠陥を判断する表面欠陥判断工程（Ｓ３６、Ｓ３７、Ｓ３８）と、を有する。 （もっと読む）

【課題】 可視画像だけではとらえることの難しいひび割れなどの欠陥を検査する装置を提供する。
【解決手段】 可視画像撮像部２と赤外画像撮像部１０は、ともに同一の対象領域を撮像する。赤外画像欠陥部位特定手段１２は、当該赤外画像のいずれか１枚に基づいて、画像の濃度差によってパターン解析を行い、欠陥部位を特定する。赤外画画像検索領域設定手段１４は、赤外画像において、前記欠陥部位を含む検索領域を設定する。可視画像検索領域設定手段４は、赤外画像に設定された検索領域に対応させて、一連の可視画像に検索領域を設定する。可視画像高解像度処理手段５は、上記一連の可視画像に設定された検索領域について、高解像度化を行う。可視画像欠陥部位特定手段６は、高解像度化された一連の可視画像の検索領域に基づいて、画像の濃度差によってパターン解析を行い、欠陥部位を特定する。可視画像欠陥寸法特定手段８は、一連の可視画像の検索領域に基づいて、前記欠陥部位の寸法を特定する。 （もっと読む）

【課題】膜種、膜厚、表面粗さ、結晶方位などの異なる多種多様なウェーハに対応できる欠陥検出精度が向上可能な欠陥検査装置を実現する。
【解決手段】ウェーハ１００からの反射光が光検出器２０７により検出され、Ａ／Ｄ変換１１２を介してローパスフィルタ１１４、減算器１１５に供給され、低周波数成分が減算された信号が非線形フィルタ処理部１１８に供給される。処理部１１８にて信号時間幅を用いたノイズ除去が行われ、異物・欠陥判定部１０８で、予め定められた検出しきい値と比較され、散乱光強度値がしきい値以上であれば、異物・欠陥判定部１０８は異物・欠陥判定情報を発生する。処理部１１８にて、信号幅を用いたノイズ除去を行っているので、小さな異物を検出可能なしきい値に基づいて、異物・欠陥を検出することができる。 （もっと読む）

【課題】少ない学習用のサンプルで人の判断に近い判定基準を定めることを可能とした官能検査装置及び方法を提供すること。
【解決手段】擬似サンプル特徴量生成部１０と、擬似サンプル表示部８と、判定入力部９を備え、良品と不良品の境界付近の擬似サンプル重点的に発生させ、それを検査員が判定し、その結果をパターン認識で学習することにより、パターン認識で有効なサンプルを効率よく取得することができるので、少ないサンプルで人に近い判定が可能な官能検査となる。 （もっと読む）

【課題】光学式撮像装置によって被写界深度を越える長さを持つ撮像対象物を、ピント位置を変えて順に複数回撮像し、各画素を単位として、得られた複数の画像の中から最もピントが合った画像を抽出する際に、コントラストがある境界部を適切に処理し、真にピントが合った画像を見出すこととなる技術を提供する。
【解決手段】棒状回転工具の刃先を順に撮像して得られた画像を基に、各画素位置の画素あるいは当該画素に加えて当該画素に隣接する画素の濃度を順に記録し、記録した画素の濃度の変化について、ラプラシアンフィルタにかけること、記録した画素の濃度の変化について平均化フィルタにかけること、さらに順に比較を行なうことを含む所定の処理を行って定まる画像が当該画素位置においてピントが合っていると判断する棒状回転工具の深度形状合成方法。 （もっと読む）

【課題】物体表面画像の縁部分の領域において適正な画像処理済の施された画像を得ることのできる画像処理方法を提供するものである。
【解決手段】画素単位の濃淡値により構成され、物体表面画像を含む被処理画像を取得する画像取得ステップ（Ｓ１１）と、前記被処理画像において設定された前記物体表面画像の縁線を含み、該縁線に直交する方向に所定幅となる領域の画像を縁部画像として特定する縁部画像特定ステップ（Ｓ１３）と、前記縁部画像を前記所定幅に相当する幅の矩形画像に変換する変換ステップ（Ｓ１４）と、前記矩形画像に対して、その幅方向に直交する方向に並ぶ複数画素の濃淡値を順次処理する１次元画像処理を施す画像処理ステップ（Ｓ１５）と、前記１次元画像処理の施された前記矩形画像を元の領域の画像に逆変換して処理済縁部画像を生成する逆変換ステップ（Ｓ１６）とを有する構成となる。 （もっと読む）

【課題】横断面形状において両端部が低くなる或いは高くなる曲線を有する長丈材を測定対象物とする場合に表面欠陥の検出精度を高める。
【解決手段】測定対象物の表面の幅方向に延びる線状光を照射して、ＴＤＩカメラ３０により測定対象物からの反射光を撮像して光切断画像を得て、測定対象物の表面欠陥を検出する表面欠陥検査に際して、光切断画像を順に配列することにより得られる縞画像から測定対象物の表面形状を表す形状画像した後、事前処理部１０１は形状画像上の凹凸部を抽出し、形状補正処理部５０８は形状画像から事前処理部１０１で抽出された凹凸部を取り除いた形状画像に対してフィッティング曲線を求めるフィッティング処理を施し、そのフィッティング曲線と、形状画像との差分演算を行い、欠陥検出処理部５０９は形状補正処理部５０８の差分演算で得られたデータに基づいて、測定対象物の表面欠陥を検出する。 （もっと読む）

本発明は、基板（２）の透明な、または鏡のような表面を分析するための分析装置（１）に関し、前記装置は、測定されるべき基板表面に対向して位置決めされるラスタ（１０）と、測定される基板によって変形されるラスタの少なくとも１つの画像を取得するためのビデオカメラ（３）と、ラスタの照明システム（４）と、ビデオカメラ（３）へ接続される画像処理およびデジタル分析手段（５）とを備える。本発明によれば、ビデオカメラ（３）はマトリクスアレイカメラであり、ラスタ（１０）は、矩形形状を有しかつ基板の第１の方向に沿って、かつ基板の最小の広がりに沿って延びる第１のパターン（１０ａ）を有することにおいて二方向性である基板（１１）上に設けられ、第１のパターンは最小の広がりに対して横断方向に周期的であり、かつ第２のパターン（１０ｂ）は第１のパターンに垂直な第２の方向に、かつ基板の最大の広がりに沿って延びる。
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【目的】より実画像に近い参照画像を生成可能なパターン検査を行う装置を提供することを目的とする。
【構成】パターン検査装置１００は、サンプル光学画像データをＮ倍の解像度に変換する倍率変換部５０と、サンプル光学画像データのＮ倍の解像度で対応する階調値を定義した設計画像データと所定の低域ろ過関数とを畳み込み積分するＬＰＦ５４と、この設計画像データと所定の光学モデル関数とを畳み込み積分するＰＳＦ５６と、これらの画像データを用いて光学モデル関数の係数を取得する係数取得部１４２と、パターン形成された被検査試料の実光学画像データを取得する光学画像取得部１５０と、係数を用いて、前記被検査試料の実光学画像データに対応する参照画像データを作成する参照回路１１２と、実光学画像データと参照画像データを比較する比較回路１０８と、を備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】微小物体のスケール異常、欠け、へこみなどの形状異常や異物付着などの検査を行い良品と不良品を判定することが簡易なシステム構成で短時間に行える検査装置を提供する。
【解決手段】周期的に並んだ微小物体の被検査物に対して斜め方向から青、緑、赤色のＬＥＤを光源とし、照明光を照射する照明光照射手段と、
被検査物の反射光を撮像する撮像手段と、
前記撮像手段に撮像された画像を記憶する画像記憶手段と、
前記画像記憶手段によって記憶された３枚の画像から１枚の画像を合成する画像合成手段と、
その合成画像に対して画像処理を行い被検査物の形状不良を判定する判定手段とを備えることを特徴とする微小物体の形状不良判定検査装置。 （もっと読む）

【課題】連続した帯状体の全幅を自動検出の対象とし、疵種や有害度も識別可能な穴・割れ欠陥検出装置を提供する。
【解決手段】走行する帯状体のエッジ割れ及び穴空きを全幅に渡って検出する欠陥検出装置であり、帯状体１０の全幅に光を投射する投光手段１１と、投光手段１１と帯状体１０を挟んで対向して配置され帯状体１０の全幅を捕捉可能な受光手段１２と、この受光手段で捕捉される画像データを画像処理する画像処理部１３とを有し、画像処理部１３は走査方向の全エッジ部の画像データを演算処理して位置データに変換し統計的に処理される位置データに基づいてエッジ位置を特定し割れ欠陥を検出する割れ欠陥検出用処理部１４と、連続した帯状体全幅の画像データを取得して欠陥候補の穴部を検出し基準楕円と前記欠陥候補の形状マッチングに基づいて穴欠陥を検出する穴欠陥検出用処理部１５とからなる。 （もっと読む）

【課題】印刷物の印刷模様を印刷の版ごとの印刷成分に分離することで、それぞれの印刷成分に適した処理を行なえ、より正確に汚損度を判定することが可能な印刷物の汚損度判定装置を提供すること。
【解決手段】印刷物の汚損度判定装置は、複数の印刷版により印刷された一つの印刷物からの入力画像と予め登録された登録画像との位置を合わせる位置合わせ手段と、前記入力画像を前記複数の印刷版に対応した複数の印刷成分に分離し、各印刷成分から汚損特徴を抽出する版分離処理手段と、各印刷成分から抽出された汚損特徴に基づき前記印刷物の汚損度を判定する汚損度判定手段と、を具備している。 （もっと読む）

【課題】中空糸膜モジュールの欠陥検査方法では、検査精度を高めるためには、画像の分解能をあげなければならない。しかし、画像の分解能を上げると、画像データ量が増える。すると画像撮影のために時間がかかり、検査時間が増大するという課題があった。
【解決手段】比較的低い分解能で中空糸膜モジュールの端面の映像を撮り、画像補間によって情報量を増やす。その上で２値化した画像データを用いて欠陥検査を行う。このようにすることで、撮影時間を短くすることができ、またデータ補間と２値化によって、誤検出や過検出といったことのない精度よい欠陥検出をすることができる。 （もっと読む）

【課題】大がかりな構成を必要とせず、間違いの少ない自動化された部品検査を可能とする欠品検査方法および装置を提供する。
【解決手段】物品５３が封入された封入体５２が所定の収容体５１に入っているか否かを検査する欠品検査方法である。そして、封入体５２には少なくとも２つの領域に互いに異なる角度方向に伸びる縦縞模様をそれぞれ付すとともに、収容体５１には一方向に伸びる縦縞模様を付しておき、搬入された前記収容体を撮像し、撮像データから撮像画像中のモアレ縞の有無を分析し、この分析結果に基づいて収容体５１に封入体５２が入っているか否か判別を行う。 （もっと読む）

【課題】レンズ効果により凹凸欠陥の判定をする従来技術では、欠陥の正確な大きさ、高さに関しての精度向上が図れない。
【解決手段】ステージ上に搭載されたディスクの面板表面に光ビームを照射して面板表面を走査する照射光学系と、前記ディスクに照射された光ビームによる面板からの正反射光の光量を変化させる濃淡差を有する濃淡フィルタを備え、前記濃淡フィルタを透過した正反射光を受光する受光光学系と、前記フィルタを通過して得られた正反射光の光量変化より面板表面上の欠陥を識別する処理手段とを有する検査装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】ウェーハの表面状態、異物や欠陥から発生する反射光が、膜種や膜厚，表面粗さのヘイズ成分に畳重し、固定のしきい値では、正確なヘイズ成分の測定が困難であった。
【解決手段】被検査体表面上のヘイズ成分を検出する際、前記被検査物体からの光を検出して電気信号に変換し、前記電気信号を所定のサンプリング時間間隔でサンプリングしてデジタルデータに変換し、前記デジタルデータから異物欠陥等に対応する周波数成分を分離して、表面に付着する染み，かすみ状の曇り，表面粗さ分布などに対応するヘイズ周波数成分を選択する。 （もっと読む）

【課題】溶接部でスパッタが発生したか否かを精度良く検査することが可能な溶接品質検査装置および溶接品質検査方法を提供する。
【解決手段】溶接品質検査装置１００に、レーザトーチ２０によりレーザが照射された溶接部からの反射光を検出する反射光検出部１１０と、溶接部から発生する音を検出する音響検出部１２０と、反射光検出部１１０により検出された反射光および音響検出部１２０により検出された音に基づいて溶接部の品質を判定する品質判定部１３２ｂと、を具備した。 （もっと読む）

【課題】検出精度の低下を招くことなく検索時間の短縮を図る。
【解決手段】テンプレート画像記録用メモリ２４に記憶されたテンプレート画像データＶG に対しその水平走査ライン数（２５６本）より少数の８本の特徴ラインＬ１〜Ｌ８を設定する。そして、このテンプレート画像データに対し設定した特徴ラインＬ１〜Ｌ８ごとに、そのラインデータと１画面分のサーチ画像データＶF との差分相関値｜Ｆ−Ｇs｜を算出し、この特徴ラインＬ１〜Ｌ８ごとに得られた差分相関値｜Ｆ−Ｇs｜を位置座標を合わせて順次累積加算する。 （もっと読む）