【課題】微小流路型チップを用いて、リンパ細胞のような微小な物質を、微小容量の試料溶液として容易に分離できる方法を提供する。
【解決手段】
水に混和若しくは溶解する試料または親水性の試料（対象試料）を含有する独立の分画を連続して形成する、微小容量の試料溶液を形成する方法。対象試料を含有する水性溶液を経路１に注入し、油類を経路２に注入し、経路１と経路２とは合流して経路３を形成し、経路１と経路２との合流部において、水性溶液と油類とは、交互に、独立の分画を形成し、経路３中に前記対象試料が含有される水性溶液の独立分画が得られる前記方法。 （もっと読む）

【課題】 電子線によるガスデポジション法で作製したものと同サイズ（ナノメートルオーダー）の微細構造を、位置とサイズを自由に制御しつつ、任意の材料、結晶性にて作製することができる新規な作製方法及び作製装置を提供する。
【解決手段】 マスクの原料となる元素を含んだガスを材料上に流しながら、電子線を材料上の所望位置に向かって照射してマスクを形成した後、エネルギービームを照射してマスクで被覆された部分以外の材料部分を取り除くことにより、材料に微細加工を行う。 （もっと読む）

【課題】 液体吐出ユニットを用いてプローブ担体を製造する際に、プローブ担体基板上に配置された各プローブ材料に、異なったプローブ材料が混ざることのない、配置された各プローブ材料の純度が高い良好なプローブ担体の製造方法および、配置された各プローブ材料の純度が高い良好なプローブ担体の提供を可能にする、プローブ担体の製造装置を提供すること。
【解決手段】 プローブ溶液の吐出を行う前記液体吐出ユニットは異なった液体を吐出するｍ行ｎ列に配置された液体吐出ユニットのノズルを備え、該液体吐出ユニットの複数のノズルが配置されたノズル面をワイピングする、ｍ個またはｎ個のワイパーを備え、該ワイパーの可動範囲を、異なった液体を吐出する液体吐出ユニットのノズル間隔以下に設定する事を特徴とするプローブ担体の製造装置。 （もっと読む）

基板の特徴を測定する、または分析のために基板を準備する方法およびシステムが提供される。基板の特徴を測定する１つの方法は、電子ビームを使用して基板上のフィーチャの一部を除去し、フィーチャの残りの部分の断面プロファイルを暴露させることを含む。フィーチャは、フォトレジスト・フィーチャとすることが可能である。本方法は、断面プロファイルの特徴を測定することをも含む。分析のために基板を準備する方法は、電子ビームと組み合わせて化学エッチングを使用して、欠陥に近接する基板上の材料の一部を除去することを含む。欠陥は、表面下欠陥または部分的表面下欠陥である可能性がある。分析のために基板を準備する他の方法は、電子ビームや光ビームと組み合わせて化学エッチングを使用して、欠陥に近接する基板上の材料の一部を除去することを含む。
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