【課題】安価かつ簡易な構造であり、従来では不可能であった中赤外領域に固有の光吸収スペクトルがあるＳＯ_２，ＮＯ，ＮＯ_２等のガス成分を測定するレーザ式ガス分析計を提供する。
【解決手段】レーザ駆動信号発生部は、波長走査駆動信号の可変駆動信号Ｓ１の出力時間に対してオフセット信号Ｓ２の出力時間を長い信号としてレーザ素子の発熱時間を短縮するとともに、温度安定化手段は、光源部および受光部を安定化させる安定範囲温度となるように光源部および受光部の温度調整を行い、受発光を安定して行うレーザ式ガス分析計とした。 （もっと読む）

高い圧力および温度の流体の光学的測定を行うための、装置と方法とシステムとが開示される。セルが、種々の波長の中でもとりわけ紫外線（ＵＶ）から遠赤外線までの波長の光を使用して流体または気体の光学分光計測を行うように設計されている。マイクロ流体システムなど、マイクロリットル次元の極めて僅かな量の流体を使用する用途に好適なセルが記載されている。記載された幾つかの実施形態は、極めて高い圧力および温度の環境（例えば、摂氏１７５度以上で２０ｋｐｓｉ以上）に適している。そのような条件は、例えば油田のダウンホールの環境において現れ得る。提示される幾つかの実施形態は、安価であり、圧力バリアとして使用され、且つ、分光計測のために光ビームの経路を平行にするのに使用される交換可能なレンズを提供している。
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【課題】ＳＦ_６を使用するエッチング装置から排出される被測定ガス中のフッ素濃度を測定するに際して、測定毎に装置の校正を行うなどの手間が軽減され、妨害成分であるＳＯ_２ガスの影響を簡単に排除でき、正確な濃度を知る。
【解決手段】フッ素ガスとＳＯ_２成分が含まれた被測定ガスをセルに導き、該ガス中の波長３３０〜３７０ｎｍ帯の吸光度を測定して、フッ素ガスおよびＳＯ_２の濃度を求めるＵＶ計６と、該ガス中のＳＯ_２成分の定量を行うＦＴＩＲ計５と、該ガスをＵＶ計とＦＴＩＲ計に導く被測定ガス供給管路２ａ、２ｂ、２ｃと、ＵＶ計に同波長帯おいて吸収を示さないガスを供給するレファレンスガス供給源４を備え、ＵＶ計で得られた同波長帯での紫外光を吸収する成分の濃度の表示値から、ＦＴＩＲ計で得られた被測定ガス中のＳＯ_２濃度値より算出されたＳＯ_２由来分を減じて、該ガス中のフッ素濃度を求める。 （もっと読む）

【課題】反応からの排ガス内の残存Ｈ２Ｓの濃度分析への硫黄元素蒸気による妨害を除く。
【解決手段】分析するガスのプロセスストリームを移送するための導管にプローブが直接取り付けられている。このプローブにより、サンプル内の不要な蒸気成分を熱交換器の導管との相互作用により凝結させ液体にし重力の下で落下させプロセスストリームの中へと戻すことによって、上述のガスサンプルが連続して分析するための適切な状態に調整されるようになっている。このプローブには、フローセルチャンバをガスが流れるようにするためのベンチュリデバイスが用いられている。フローセルチャンバでは、ガスは、戻し導管に通されプロセスストリームの中へと放出されて戻される前に、このチャンバを貫通して照射される光と相互作用するようになっている。 （もっと読む）

【課題】リアルタイム且つ連続的な測定を可能にする。
【解決手段】測定対象ガスの流路１に挿入され、測定対象ガス中に照射された信号光を反射させて往復させる第１の反射鏡２を有するプローブ３と、測定対象ガス中の硫黄酸化物（ターゲットガス）に吸収される波長帯域のレーザ光４を照射し且つその波長を走査可能な光源５と、レーザ光４の光路を切り替えて信号光と参照光とを交互に発生させる光路切換器６と、測定対象ガス中を通り抜けた信号光と参照光の強度を測定する光検出器７と、光検出器７によって測定された信号光強度及び参照光強度に基づいて測定対象ガス中の硫黄酸化物の濃度を求める演算部８を備えている。 （もっと読む）

【課題】小型でかつ簡便なセンサ形状を有し、測定ガスの流量変化や温度変化などの外乱変化に対して安定して測定することができるようにした赤外線センサの製造方法及び赤外線センサを提供すること。
【解決手段】ウェハ１０を切り離して複数のセンサ素子１３を形成する第１のダイシング工程と、この第１のダイシング工程により切り離されたセンサ素子１３をリードフレーム１４に搭載し、ワイヤ１６とともに樹脂によりモールドされたセンサ素子１３とリードフレーム１４を個片化する第２のダイシング工程と、第１のダイシング工程の前段において、ンサ素子１３の受光面１３ａに光学フィルタ１２を形成するフィルタリング工程とを有し、センサ素子１３の受光面１３ａに光学フィルタ１２を直接一体的に形成する。 （もっと読む）

【課題】射出レーザ強度の高いレーザ射出装置や大型集光装置を使用しなくても、十分に大きい光検出値を取得して、所望区間における対象成分の濃度を測定できる気体成分濃度測定装置を提供する。
【解決手段】波長が対象成分の光吸収波長である第１レーザ光、および、波長が対象成分の非吸収波長である第２レーザ光を射出するレーザ射出装置３と、第１レーザ光と第２レーザ光の照射範囲内に位置するとともに、第１レーザ光と第２レーザ光の射出方向に間隔を置いて配置される第１および第２の散乱体５、７と、第１の散乱体５で散乱された第１レーザ光、第２レーザ光の第１、第２の散乱光、第２の散乱体７で散乱された第１レーザ光、第２レーザ光の第３、第４の散乱光を検出する光検出器９と、光検出器９の検出値に基づいて、第１の散乱体５と第２の散乱体７との間における対象成分の濃度を算出する濃度算出装置１１と、を備える。 （もっと読む）

【課題】射出レーザ強度の高いレーザ射出装置や大型集光装置を使用しなくても、十分に大きい光検出値を取得して、所望区間における対象成分の濃度を測定できるようにする。
【解決手段】レーザ射出装置３の水平軸回りの向き、または高さを切り換えることで、地表または水面５におけるレーザ照射箇所を第１および第２の照射箇所５ａ、５ｂとの間で切り換える。第１の照射箇所５ａで散乱された第１レーザ光の第１の散乱光、第１の照射箇所５ａで散乱された第２レーザ光の第２の散乱光、第２の照射箇所５ｂで散乱された第１レーザ光の第３の散乱光、第２の照射箇所５ｂで散乱された第２レーザ光の第４の散乱光を光検出器９で検出する。光検出器９により取得した第１、第２、第３および第４の散乱光の検出値に基づいて、第１の照射位置５ａと第２の照射位置５ｂとの間における対象成分の濃度を濃度算出装置１１で算出する。 （もっと読む）

【課題】高分子材料表面における電位分布の変化が起こる前の早期の段階で高分子材料の劣化を発見する。
【解決手段】高分子材料表面の物理化学的変化量を定量することにより前記高分子材料の劣化を診断する。前記物理化学的変化量の定量としては前記高分子材料表面上の親水性化学種の分光分析による定量がある。前記分光分析としては赤外線分光分析またはラマン分光分析が挙げられる。前記親水性化学種としてはヒドロキシル基、水素還元されたフェニル基、カルボキシル基、硫酸イオンが例示される。前記物理化学変化量の定量として高分子材料表面の単位面積当たりの平均表面電位分布の測定が挙げられる。前記平均表面電位分布の測定としては原子間力顕微鏡像による測定法が挙げられる。 （もっと読む）

【課題】内周面での赤外線の乱反射を防いで、濃度測定の精度の悪化を防止できる気体セル、気体サンプル室、及び、濃度測定装置を提供する。
【解決手段】筒状に形成されており、一端部６ｂに配置された光源７から放射される赤外線を、内部を通じて他端部６ｃに配置された赤外線センサに導く気体セル６であって、内周面６ｄに黒体処理が施されている。 （もっと読む）

【課題】内周面での赤外線の乱反射を防いで、濃度測定の精度の悪化を防止できる気体セル、気体サンプル室、濃度測定装置を提供する。
【解決手段】筒状に形成されており、一端部６ｂに配置された光源７から放射される赤外線を、内部を通じて他端部６ｃに配置された赤外線センサに導く気体セル６であって、純アルミニウムからなり、内周面６ｄが鏡面状に研磨されている。 （もっと読む）

【課題】測定対象気体の濃度の変化に対する応答性の悪化を防ぐことができるとともに、測定対象気体の濃度を正確に測定できる気体サンプル室及び濃度測定装置を提供する。
【解決手段】筒状に形成された本体部６と、本体部６の一端部６ｂに配置され且つ赤外線を放射する光源７と、本体部６の他端部６ｃに配置され且つ光源７からの赤外線を検出する赤外線センサと、を備え、光源７からの赤外線を本体部６の内部を通じて前記赤外線センサに導く気体サンプル室２において、本体部６の一端部６ｂに配設され且つ本体部６の熱を雰囲気に放出する放熱部材９と、本体部６の他端部６ｃに配設され且つ雰囲気の熱を前記赤外線センサに伝える調温部材１０と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】雰囲気中の気体の濃度を十分な精度で測定することを可能とする気体サンプル室及びこの気体サンプル室を備えた濃度測定装置を提供する。
【解決手段】光源７からの光を受光器１２に導く気体サンプル室２において、筒状に形成された本体部６と、本体部の一端部に配置された光源と、本体部に収容され、かつ、本体部の他端部に配置されかつ光源からの光を受光する受光器と、本体部の周壁６ａを貫通しかつ雰囲気を本体部の内外に移動自在とする貫通孔１０と、を備え、貫通孔は、本体部の光の光軸に対し直交する断面において、貫通孔の一方の端部１０ａと本体部の中心Ｍを結ぶ線分Ｎａと、受光器の中心１２Ｒと本体部の中心を結ぶ直線Ｌとのなす角度θ１が、２０度以上で、かつ貫通孔の他方の端部１０ｂと本体部の中心を結ぶ線分Ｎｂと、受光器の中心１と本体部の中心を結ぶ直線とのなす角度θ２が、１６０度以下となる範囲に設けられている気体サンプル室。 （もっと読む）

【課題】改善された気体または液体サンプルにおける微量種の検出／測定装置を提供する。
【解決手段】光ファイバから形成されるリングダウン・セルのセンサは、サンプル気体または液体に露出される。コヒーレント放射源は光ファイバ・ループ内へ放射線を発し、これは出力カプラにおいて受信される。光ファイバ・リングは、入力と出力との間にサンプル気体またはサンプル液体に露出されるその一部を有するセンサに結合される。センサは、拡張されたエバネッセントな領域を有する。プロセッサは受信機に結合され、光ファイバ・リング内の放射線の減衰速度を基礎として気体または液体サンプル内の微量種のレベルを決定する。 （もっと読む）

【課題】複数の出射光を結合する際の光軸調整の煩雑さや酸素、水分等の影響をなくし、複数種類のガス濃度を安定的に測定する。
【解決手段】発光部１０は、ガスの種類数と同数のピグテール型発光素子１０１ａ〜１０１ｄと、その出射光を光ファイバ上で結合する光結合器１０３と、ガスの存在空間に検出光２０を出射するコリメートレンズとを備え、受光部３０は、集光レンズ３１、受光素子３２を備える。発光素子１０１ａは、発光素子本体１５ａ、温度検出素子１６ａ、ペルチェ素子１７ａ、温度制御回路１８ａ、高周波変調信号発生回路１３ａ、駆動信号発生回路１４ａを備え、更に波長走査駆動信号発生回路１２を設ける。信号処理部５０は、発光素子１０１ａの変調信号の２倍波信号を生成する参照信号発生回路５０２ａと、受光信号から２倍周波数成分を検出する同期検波回路５０３ａと、ガス濃度の演算回路５０５とを備える。 （もっと読む）

【課題】製造コストを抑えつつ測定精度の向上を図る。
【解決手段】赤外線光源２から放射される赤外線がレンズ２で集光されて第１の波長フィルタ４の入射面に入射すると、測定ガスの吸収帯に含まれる第１の波長λ１の赤外線のみが反射されて容器１を通過し、容器１内で測定ガスに吸収されずに通過した第１の波長λ１の赤外線が第１の赤外線検出器６に入射する。故に、第１の赤外線検出器６の出力に基づいて容器１内の測定ガスの濃度が測定できる。第１の波長フィルタ４は、基板の入射面側に屈折率の異なる部位が格子状に形成されているサブ波長光学素子からなるので、従来と比較して製造コストを抑えながらも狭帯域のフィルタ特性を実現できる。その結果、製造コストを抑えつつ測定精度の向上が図れる。 （もっと読む）

【課題】大気ガスの分析に使用される光を高出力化する。
【解決手段】被測定ガスの吸収線波長を含む波長の光を出射し、該光の吸収量から前記被測定ガスの濃度を測定するガス測定装置であって、レーザ光源と、一定周期で分極反転した誘電体結晶を有し、光パラメトリック発生によって前記レーザ光源からの光を波長変換して被測定ガスに応じた波長の光を発生させる波長変換手段と、を備える。 （もっと読む）

【課題】本発明は、雰囲気温度が変化しても半導体レーザから常に設定された一定の波長のレーザ光が発光されるように半導体レーザを制御し、吸収スペクトルに基づく排ガスの温度とその中に含まれるガス成分の濃度を安定して計測できるガス分析装置を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明のガス分析装置は、計測対象ガス成分が吸収する波長を含む波長帯のレーザ光を発光するレーザ光発光部20と、レーザ光発光部20で発光されたレーザ光を排気ガス中に照射する照射部15と、排ガス中を透過したレーザ光を受光して電気信号に変換する受光部24と、前記受光部24からの電気信号に基づいて排ガスに吸収された吸収スペクトルを解析する解析装置19とを備えている。前記レーザ光は既知濃度の計測対象ガス成分が封入された参照セル22を透過して用受光部24で受光されるように構成されており、前記解析装置19で得られた吸収スペクトルのピーク値が波長帯における所定の位置になるように半導体レーザ10の波長掃引制御を行う。 （もっと読む）

【課題】アパーチャとして機能させるための金属層やドーピング層を用いなくても、アパーチャの光遮断能力を高めることができるファブリペロー干渉計を提供する。
【解決手段】半導体基板１１の他方の面１１ｂのうち透過領域４０に対応する領域に、半導体基板１１を通過する光をこの光の進行方向と同じ方向に射出する射出面１１ｃを設けると共に、半導体基板１１の他方の面１１ｂのうちアパーチャ部４１に対応する領域に、当該領域から射出される光を透過領域４０から遠ざける方向に屈折させる傾斜面１１ｅを設ける。これにより、透過領域４０の周囲の光を傾斜面１１ｅによって透過領域４０からアパーチャ部４１に遠ざけることが可能となり、アパーチャのための金属層やドーピング層を設けることなく傾斜面１１ｅを実質的にアパーチャとして機能させることができる。 （もっと読む）

【課題】パターンレジストされたプリント配線基板等をエッチングするエッチング装置を制御するエッチング制御装置において、エッチング液の組成のリアルタイム自動制御を可能にしたエッチング制御装置を提供する。
【解決手段】エッチング装置に硫酸と過酸化水素水とを混合した反応速度の遅いエッチング液を用いており、ファインピッチのプリント配線基板等を時間をかけてエッチングする。また、硫酸および過酸化水素水の濃度を検出するのに赤外線方式の一つのセンサを用いて、設備にかかるコストを抑え、より正確な濃度を検出する。これにより、より薄く精密なプリント配線基板等のエッチングでもリアルタイムでエッチング液の組成を制御できる。 （もっと読む）