【課題】 酸性ガス雰囲気下においても十分に安定して動作できる湿度センサ素子を提供すること。
【解決手段】 本発明は、基板１の一側に対向するように形成された一対の電極３、一対の電極３上に設けられる感湿膜９を備え、感湿膜９が下記一般式（ＩＩ）：


〔上記一般式（ＩＩ）中、Ａ及びＢはそれぞれスルフォニル基（−ＳＯ_２−）若しくはカルビニル基（−ＣＯ−）で表される二価基、Ｒ１は置換基を有しても良い一価又は二価の有機基、Ｒ２は二価の有機基である。Ｍは、アルカリ金属等を表し、同一分子中に複数の種類を含んでいても良い。ｎは２以上の正の整数である。〕で表される構造を含有する湿度センサ素子１００である。この湿度センサ素子１００によれば、酸性雰囲気下においても十分に安定して動作できる。 （もっと読む）

【課題】 ＡＤコンバータを必要としなくても、デジタル的な出力を発生させられるセンサ装置を提供する。
【解決手段】 ｎＭＯＳトランジスタ２とトレンチ１１を用いて形成した容量３とを組とする複数のメモリセル４を備えた構造で湿度センサを構成する。そして、トレンチ１１の幅を複数のメモリセル４ごとに変えることで、容量値Ｃが異なる値となるようにする。これにより、雰囲気の湿度に応じた水分が感湿膜３１に吸収された場合に、雰囲気中の湿度が同一であっても、各メモリセル４における容量３の容量値Ｃが異なることになる。換言すれば、各メモリセル４における容量３で検出できる容量値Ｃが変わる。したがって、メモリセル４が書き込み状態か書き込みがなされていない状態であるかを読み出すことで、湿度をデジタル値として検出することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】封止されたＭＥＭＳデバイス内の湿度を検査するシステム及び方法
【解決手段】一実施形態は、複数のインターフェロメトリック変調器を取り囲むデバイスの特性を測定することと、上記測定した特性に少なくとも部分的に基づいて、このデバイスの内部の相対湿度の値又は相対湿度の程度を判断することとを備える、湿度を検査する方法を提供する。一実施形態において、このデバイスの特性は、次のもの、すなわち、ｉ）このデバイスの重量、ｉｉ）このデバイス内に封入された乾燥剤の色変化、ｉｉｉ）このデバイスの内部の抵抗、ｉｖ）冷たいフィンガデバイスが接触している、このデバイスの内部領域に霜が形成されたか否か、ｖ）このデバイス内に水蒸気が供給された場合に、このデバイス内に封入された乾燥剤が的確に作用しているか否か、ｖｉ）ｉ）〜ｖ）のうちの少なくとも２つの組み合わせ、のうちの少なくとも１つを含む。 （もっと読む）

【課題】 回路部を含むセンサ体格を小型化でき、且つ、低コストで製造できる容量式湿度センサを提供すること。
【解決手段】 絶縁基材１０に回路部２０が設けられたプリント基板８０と、絶縁基材１０の表面に離間して対向配置された一対の電極３１，３２と、電極３１，３２及び電極３１，３２間を覆うように絶縁基材１０上に設けられ、湿度に応じて比誘電率が変化する感湿膜５０とを備え、絶縁基材１０に設けられた配線部４０を介して電極３１，３２と回路部２０とが電気的に接続され、電極３１，３２間の容量変化が回路部２０にて信号処理されるように構成した。 （もっと読む）

【課題】 位置精度よく印刷することができるスクリーン印刷方法を提供すること。
【解決手段】 スクリーンマスク１２０に、スクリーンマスク１２０と基板１０との位置合わせ基準となる基準パターン孔１２４を設け、パターン孔１２１と基準パターン孔１２４との位置関係に応じて、基板１０上に、基準パターン孔１２４を介して印刷される基準パターン６０ａと略同一の形状及び大きさを有する位置合わせパターン６０ｂを設けた。そして、スクリーンマスク１２０をダミー基板２００に当接させて印刷し、ダミー基板２００上に印刷された基準パターン６０ａの位置を検出した後、検出された基準パターン６０ａの位置と位置合わせパターン６０ｂが略同一位置となるように基板１０を位置決めし、この位置決め状態でスクリーンマスク１２０を当接させて印刷するようにした。 （もっと読む）

【課題】 感湿膜の膜厚を均一にできる湿度センサを提供すること。
【解決手段】 半導体などからなる基板１の上面には、酸化シリコン膜などの絶縁膜を介してパッド部２ｂと、このパッド部２ｂから一方向に延びる複数の櫛歯形状の検出部２ａとにより構成される一対の電極２が同一平面に離間して対向配置される。この電極２上には窒化シリコン膜を介して、一対の電極２及び電極２間を覆うように、ポリイミド系ポリマーなどからなる吸湿性を備えた感湿膜３が形成されている。そして、この感湿膜３を、感湿剤と同一の材料であるビーズ３ａを含有する吸湿性の高分子有機材料の感湿剤にて構成する。 （もっと読む）

【課題】 応答性の低下を防止できる容量式湿度センサ及びその製造方法を提供すること。
【解決手段】 一面側に、湿度によってその容量が変化する検出部（電極１３１，１３２及び感湿膜１５０）が設けられた検出基板１００と、検出部の容量変化を電気信号処理する回路部２３０が設けられた回路基板２００とを備え、電極１３１，１３２と回路部２３０とを電気的に接続してなる容量式湿度センサ３００であって、検出基板１００の検出部形成面の裏面に、回路部２３０に対する接続端子としてのセンサパッド１６２を設け、当該センサパッド１６２と電極１３１，１３２とを、スルーホール１６０内の導電体１６１を介して電気的に接続した。従って、従来のように、検出部上にゲル等の保護材３３０を設けなくとも良いので、応答性の低下を防止することができる。 （もっと読む）

【課題】 曲面に沿って配置可能な容量式湿度センサを提供すること。
【解決手段】 基板１０と、基板１０上の同一平面に離間して対向配置された一対の電極２１，２２と、電極２１，２２及び電極２１，２２間を覆うように基板１０上に設けられ、湿度に応じて比誘電率が変化する感湿膜３０とを備える容量式湿度センサ１００であって、基板１０が可撓性を有し、取付け部２００に対して基板１０の電極形成面の裏面が対向するように配置する際に、取付け部２００の曲面に合わせて変形する。 （もっと読む）

【課題】 初期特性および高温高湿放置後の変動特性に優れた、高感度湿度センサを提供する。
【解決手段】 ジアミン側に少なくとも４つのベンゼン環と少なくとも１つのポリフルオロアルキル基を有するポリイミドを感湿膜とする感湿素子を用いて湿度センサーを得ることができる。 （もっと読む）

【課題】例えばエンジンの吸気系等、劣悪な環境下におかれる場合であっても、精度の高い湿度検出を可能とする湿度センサおよび湿度検出機能を有する複合センサを提供する。
【解決手段】湿度センサは、センサ端子となる導体１が一部外部に導出されるかたちで、インサート成形されている。そして、この樹脂成形体３の中ほどに、すなわち上記壁部２の内側に湿度センサチップ４と、湿度情報を電気的に処理する処理回路チップ５とが各別に集積化されて接着固定されている。また、これら接着固定された湿度センサチップ４と処理回路チップ５とセンサ端子となる導体１とは、同じく樹脂成形体３の壁部２の内側で、ボンディングワイヤ６を介して電気的に接続されている。そして、このボンディングワイヤ６も含めた電気的な接続部の全体が上記壁部２を堰として充填された感湿性の保護材７によって覆われている。 （もっと読む）

【課題】 簡素な構成で、センサ部の温度特性を補正できる容量式物理量検出装置を提供すること。
【解決手段】 湿度の変化に応じて容量が変化するセンサ部６０と、センサ部６０の容量変化を電圧に変換するスイッチトキャパシタ構成のＣ−Ｖ変換回路８０とを備える容量式湿度センサ１００において、Ｃ−Ｖ変換部８０は、演算増幅器８１と、演算増幅器８１の入出力端子間に並列に接続された帰還コンデンサ８２及びスイッチ８３を有し、演算増幅器８１の非反転入力端子に基準電圧Ｖｒを印加する基準電圧発生回路９０と、センサ部６０に駆動電圧Ｖを印加する駆動電圧発生回路９１をさらに備え、帰還コンデンサ８２の帰還容量Ｃｆ、基準電圧Ｖｒ、及び駆動電圧Ｖの少なくとも１つが、センサ部６０の温度特性を補正するよう温度に応じて変化する構成とした。 （もっと読む）

【課題】温度や湿度変化によるノイズ、ガスセンサ信号のドリフトによる誤検出を防ぐとともに、ガスセンサ信号の立ち上がりを速やかに検知し、誤差の少ない検知ができるガス検出装置を提供することを目的とする。
【解決手段】ガスセンサ１と信号処理部５と、信号処理部５内には基準値発生部８と計算部１１と汚染度計算部９とＤ／Ａコンバータ１０を備えガス検出装置とし、計算部１１で基準値更新条件を汚染度に応じて決定し、基準値発生部８で更新することにより、センサ信号のドリフトによる誤検出を防止し、検知誤差の少ないガス検出装置が得られる。 （もっと読む）

大気中に含まれる電荷の濃度を検出および／または測定するためのセンサが提供される。本センサは、ドレイン領域（６）とソース領域（７）との間に位置する活性層（１０）の上に懸架されておりゲートを形成するブリッジ（４）を含む電界効果トランジスタ構造を有する。ある特定の値を有するゲート電圧がブリッジ（４）に印加される。ブリッジ（４）と活性層（１０）もしくは活性層（１０）上に積層した絶縁層（８）との間に含まれており特定の高さを持ついわゆるエアギャップ領域（９）も前記構造に含まれる。エアギャップ領域（９）内には、ゲート電圧とエアギャップ（９）の高さとの比で定義される電場（Ｅ）が生成される。エアギャップ（９）内に生成される電場（Ｅ）は、大気中に含まれかつエアギャップ（９）内に存在する電荷の分布に影響を及ぼすとともに活性層（１０）上の電荷の蓄積によって高いセンサ感度が得られることを可能にするのに十分な大きさのある特定の閾値（５０，０００Ｖ／ｃｍ、１００，０００Ｖ／ｃｍ、好ましくは２００，０００Ｖ／ｃｍ）以上の値を有する。
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【課題】装置全体の小型化および低コスト化を図れる湿度センサ装置を提供する。
【解決手段】湿度センサ１０と温度センサ２０とを同一の素子形成基板１に集積化した複合センサ素子Ａを備えている。湿度センサ１０は、第１の下部電極１１と、第１の多孔質構造部１２と、第１の表面電極１３とで構成され、温度センサ２０は、第２の下部電極２１と、第２の多孔質構造部２２と、第２の表面電極２３とで構成されている。第１の下部電極１１と第２の下部電極２１とは構成材料および膜厚を同じとしてあり、第１の表面電極１３と第２の表面電極２３とは構成材料および膜厚を同じとしてある。第１の多孔質構造部１２と第２の多孔質構造部２２とは同一構造であって、素子形成基板１の一表面側に成膜したノンドープの多結晶シリコン層に対して陽極酸化処理および酸化処理を行うことにより形成されている。 （もっと読む）

【課題】水分の吸着により抵抗値が変化する感湿素子を湿度センサとして利用した湿度センサ装置に比べて長寿命化が可能な新規の湿度センサ装置を提供する。
【解決手段】湿度センサ１は、表面電極７と下部電極１２との間に電子通過部６を有し大気圧中へ電子を放出可能な電子源１０と、表面電極７に対向配置されるアノード電極１４と、表面電極７と下部電極１２との間に表面電極７を高電位側として駆動電圧を印加する駆動手段としての駆動電源Ｅｄと、アノード電極１４と表面電極７との間にアノード電極１４を高電位側として加速電圧を印加する加速電圧印加手段としての加速用電源Ｅａとを備える。信号処理部５０は、アノード電極１４と表面電極７との間に流れる電流の電流値に基づいて湿度を求める演算手段を備える。電子源１０の表面電極７は、電子通過部６が湿度の影響を受けるのを防止する防湿手段としての防湿部８を兼ねている。 （もっと読む）

汚染除去プロセスに使用する蒸気用に蒸気純度および蒸気品質の少なくとも一方をモニターする方法および装置を提供する。コンデンサを蒸気に露出させて、蒸気をコンデンサ板間の誘電体として作用させる。誘電体の誘電率は蒸気の純度および／または品質によって影響を受けるので、コンデンサの電気特性の測定値を蒸気純度および／または品質のモニターに使用する。 （もっと読む）

【課題】 防爆性の向上を図るとともに、燃料電池システム等のように被測定ガス中に水分が多量に含まれる場合においてもガス濃度を正確に検出する。
【解決手段】 ヒータ内蔵型のガス濃度センサ素子４を覆うように第１防爆体１０（センサ保護管７および金網９）を設け、本管５０内を流れる被測定ガスをガス濃度センサ素子４側に導く通路に第２防爆体（細管）１１を設けた。 （もっと読む）

【課題】
ＮＴＣタイプのサーミスタ素子を用いた湿度検出装置は、特に低温時において、電源投入後、湿度検出が可能な湿度検知状態に安定するまでの準備運転時間を必要とする。本発明は、この準備運転時間を短縮させる方法を提供する。
【解決手段】
湿度検出装置１２は、センサー回路１３、マイコン１５、発熱状態検知回路１６、可変抵抗回路１７からなる。この湿度検出装置１２に電源を投入した時、発熱状態検知回路１６はセンサー回路１３両端の電圧を読み取りる。そして、センサー回路１３が湿度検知可能な状態でなければ、可変抵抗回路１７を切り替えてセンサー回路１３へ流れる電流量を一時的に通常よりも大きくする。これにより、検知素子１９および補償素子２０の自己発熱が早くなり、電源投入から湿度検知可能な状態になるまでの準備運転時間の短縮および周囲の雰囲気温度が低い場合においても湿度検出できるようにする。 （もっと読む）

【課題】 湿度センサを回路基板へ実装するにあたって、他部品と一括して容易に実装できるようにする。
【解決手段】 基板１０の一面１１側にセンシング部７０を有してなる湿度センサ１００と、湿度センサ１００と電気的に接続される回路基板４００とを備え、回路基板４００には、基板厚さ方向に貫通する基板貫通穴４４０が形成され、湿度センサ１００は、基板１０の一面１１を回路基板４００に対向させつつ、基板貫通穴４４０を覆うように、回路基板４００上に搭載され、湿度センサ１００においては、センシング部７０が基板貫通穴４４０に臨んでおり、基板貫通穴４４０の周囲にて基板１０と回路基板４００とが導電性接合部材４１０を介して電気的に接続されていることを特徴とする湿度センサの実装構造を提供する。 （もっと読む）

【課題】 被検出雰囲気の熱伝導率が当該被検出雰囲気内の相対湿度に基づき変動することを考慮して、可燃性ガスを精度よく検出するようにした可燃性ガス検出装置及び可燃性ガス検出方法を提供する。
【解決手段】 発熱抵抗体２２１の端子電圧の発熱抵抗体２１１の端子電圧に対する電圧差及び電圧比が各ステップ４３０、４３１にて算出され、相対湿度がこの相対湿度の電圧比との近似直線関係を表す特性から電圧比に基づきステップ４３２にて算出され、電圧差と水素ガス濃度との関係を表す一次関数式の切片がこの切片の相対湿度との関係を表すマップデータに基づき算出相対湿度からステップ４３３にて決定され、一次関数式の勾配がステップ４３４にて被検出雰囲気の環境温度に基づき算出される。そして、水素ガスの濃度が、ステップ４４０にて、上記一次関数式を用いて、算出勾配、決定切片及び算出電圧差に基づいて算出される。 （もっと読む）