【課題】内燃機関等の吸入空気の湿度計測が可能な、高応答で高精度の湿度センサを提供すること。
【解決手段】湿度センサ１は、基板２の空洞部５内に複数本の支持腕６ａ〜６ｄ、６ｅ〜６ｈを介して第一および第二の薄膜支持体４ａ、４ｂを支持し、その第一および第二の薄膜支持体４ａ、４ｂに第一および第二の発熱体３ａ、３ｂを形成する。そして、第一および第二の発熱体３ａ、３ｂに対して加熱電力を供給して第一の発熱体３ａを第一の温度Ｔ１に制御しかつ第二の発熱体３ｂを第一の温度Ｔ１よりも高温である第二の温度Ｔ２に制御し、第一および第二の発熱体３ａ、３ｂの加熱電力に基づいて周囲気体の湿度を演算する （もっと読む）

【課題】感湿素子交換の際に作業者が加熱ヒータおよび感湿素子に接触して火傷をする可能性を排除し、交換作業時の安全が確保された湿度センサを提供する。
【解決手段】保護柱１４およびガイド柱１５を、感湿素子１２およびヒータ１３を環状に囲むように台座部１１面上に突設することにより、感湿素子１２およびヒータ１３の側周を保護し、保護柱１４およびガイド柱１５の突設先端側の開放端を感湿素子１２およびヒータ１３の上端より高くすることにより、感湿素子１２およびヒータ１３の上側を保護する。一対のガイド柱１５には感湿素子保持部１５ａが形成されて感湿素子１２が保持され、この感湿素子１２にヒータ１３が取り付けられている。感湿素子１２と導通したリードピンおよびヒータ１３と導通したソケットピンが台座部１１を貫通して底面から突出しており、台座部１１がセンサプローブと嵌合した状態でセンサプローブ内部の導線と導通する。 （もっと読む）

【課題】導入口への呼気導入の確実性を向上させる。
【解決手段】視線ターゲット２６を目視した状態で呼気を吹き出す。視線ターゲット２６と導入口２０Ａとの位置は、視線ターゲット２６を目視しながら呼気を吹きかけたときに、呼気が導入口２０Ａから導入されるように定められているため、吹き出された呼気は導入口２０Ａから呼気導入管２０へ導入される。流速センサ３０が、導入された呼気の流速を検出し、呼気の流速が予め定めた値（例えば、１ｍ／ｓ）を超えると、流速センサ３０は、検出信号を出力し、スピーカ２８から呼気が正常に導入されたことを報知するメッセージやブザー音が出力される。 （もっと読む）

【課題】簡便な方法で精度よく感度補正を行う。
【解決手段】検出対象の気体中のエタノール濃度及び湿度に感度を有するアルコールセンサ２４Ａと、検出対象の気体の湿度に感度を有する湿度センサ２４Ｂとを備えたガス検出装置で、アルコールセンサ２４Ａの検出値を対数変換した値を、エタノール濃度を対数変換した値と感度特性に応じた定量係数ａとの積と、湿度を対数変換した値と感度特性に応じた定量係数ｂとの積との和、及び感度特性の変化に応じてａ及びｂを補正する補正係数αを用いて表す。補正係数αは、湿度センサ２４Ｂの検出値の変化に対するアルコールセンサ２４Ａの検出値の変化の割合から算出され、補正係数αが、予め定めた値より小さい場合には、補正係数αを新たに算出された値に更新する。 （もっと読む）

【課題】体格の増大が抑制され、且つ湿度センサの検出精度の低下が抑制された容量式湿度検出装置を提供する。
【解決手段】湿度の変化に応じて容量が変化する湿度センサと、該湿度センサの容量変化を電圧に変換するＣ−Ｖ変換部と、該Ｃ−Ｖ変換部の出力信号を処理する信号処理部と、が同一の半導体基板に形成された容量式湿度検出装置であって、電源電圧を第１パルス信号に変換し、該第１パルス信号を信号処理部に入力することで、信号処理部を間欠駆動する間欠駆動部を有する。 （もっと読む）

【課題】従来の酸化物半導体ガスセンサの製作時に、工程が複雑であるという問題を解決すると共に、高感度、高選択性、速い応答速度及び長期安定性のような優秀なガス反応特性を有する静電容量型環境有害ガスセンサ及びその製造方法を提供する。
【解決手段】本発明による静電容量型環境有害ガスセンサは、絶縁基板と、前記絶縁基板の同一平面上に一体形に形成された金属電極及びマイクロ薄膜ヒータ加熱線と、前記金属電極及びマイクロ薄膜ヒータ加熱線上にコーティングされた酸化物感知層とを備え、これは、金属層を蒸着した後、金属電極とマイクロ薄膜ヒータ加熱線が互いにインタデジタルトランスデューサを成すように金属層をエッチングし、引き継いで、酸化物感知層を形成することによって製造される。このような静電容量型環境有害ガスセンサは、製造時に工程優秀性を確保することができ、高感度、高選択性、高安定性及び低電力の優秀な特性を有することができる。 （もっと読む）

本発明は、静電容量型湿度センサに関し、より詳しくは、ＲＯＩＣ基板の上部にセンサ部を形成することによって湿度センサを小さく製作できることは勿論、下部電極層と上部電極層との間に表面積の大きい高分子素材の感湿層を形成することによってセンサの信頼度を高めることができる静電容量型湿度センサおよびその製造方法に関する。
本発明の静電容量型湿度センサは、電極パッドを含むＲＯＩＣ基板；前記ＲＯＩＣ基板の上部に形成され、前記電極パッドの一部が露出されるようにパターニングした金属層；前記金属層の上部に形成され、前記電極パッドの一部が露出されるようにパターニングした絶縁層；前記絶縁層の上部に形成された下部電極層；前記下部電極層の上部に表面積を広くするためにエッチングして形成した感湿層；前記感湿層の上部に形成された上部電極層；および露出された前記電極パッドの上部に形成され、前記下部電極層と上部電極層の各々を前記電極パッドと接触させるための連結層；を含むことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 本発明は微小な領域を温度制御する方式、集積回路微細加工技術を用いたいわゆるＭＥＭＳ（Micro Electro Mechanical System）技術を用いて迅速に精度高く蒸気密度を制御し雰囲気の蒸気密度を検出することによって物体表面の脱吸着する物質量を測定することができる。
【解決手段】 本発明の物体表面脱吸着物質検出装置は、物体表面の近傍箇所における雰囲気の蒸気密度を変化させる蒸気密度調節手段と、物体表面から離間する所定の複数箇所における雰囲気中の蒸気密度を測定する蒸気密度測定手段と、該蒸気密度測定手段によって測定したそれぞれの蒸気密度に基づいて雰囲気の各蒸気密度分布を検出し、検出した各蒸気密度分布に基づいて物体表面に脱吸着する物質の蒸気密度量を検出する蒸気密度量検出手段とを具備することに特徴がある。 （もっと読む）

【課題】シリコン化合物に起因した検出精度低下を招くことなく、低濃度領域から高濃度領域に亘って可燃性ガス濃度を検出する
【解決手段】高温目標温度に対応する抵抗値となるように通電される高温用発熱抵抗体２２１と、高温目標温度より低く設定された低温目標温度に対応する抵抗値となるように通電される低温用発熱抵抗体２１１を有し、高温用発熱抵抗体２２１の端子間電圧（高温側電圧ＶＨ）に基づき可燃性ガス濃度（以下、第１演算ガス濃度という）を演算すると共に（Ｓ６０）、低温用発熱抵抗体２１１の端子間電圧（低温側電圧ＶＬ）に基づき可燃性ガス濃度（以下、第２演算ガス濃度という）を演算する（Ｓ１５０）。そして、第１演算ガス濃度又は第２演算ガス濃度と第１判定値又は第２判定値とを比較し（Ｓ８０，Ｓ１７０）、この比較結果に基づき、第１演算ガス濃度又は第２演算ガス濃度を検出結果として採用する（Ｓ９０，Ｓ１８０）。 （もっと読む）

測定回路（１）は、カードスライバ、ロービング、糸又は織布のように動かされる縦長の繊維供試品の容量性検査のために使用することができる。それは供試品を受入れる測定コンデンサ（２）を含んでいる。更にそれは、電気制御信号（７１）により可変な容量を持つ部材（３）を含んでいる。それにより測定回路（１）を簡単に速やかに安価にかつ特に自動的に整合することができる。
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【課題】将来の導電部材の腐食量を精度よく推定する劣化診断システムを提供する。
【解決手段】各センサで測定された制御装置３内環境データと導電部材９の腐食データとを設定期間記録し、記録された筐体内環境データと腐食データとに基づいて導電部材９の将来の腐食量を推定して劣化診断を行う診断処理装置４と、制御装置３外の過去の温度及び湿度からなる外気環境データが記録された外気環境データベース６とを備え、診断処理装置４を、設定期間に記録された制御装置３内環境データ腐食データとの相関関係を求め、設定期間と同時期の外気環境データと制御装置３内環境データの対応関係を求め、その対応関係と過去の外気環境データとに基づいて、将来の制御装置３内環境データを推定し、推定した制御装置３内内環境データと相関関係とから導電部材９の将来の腐食量を推定するように構成した劣化診断システム１。 （もっと読む）

本発明は、キャパシタの少なくとも１つの第１の電極と少なくとも１つの第２の電極との間に設けられた少なくとも１つのナノポーラス誘電材料を備える容量型湿度検出器と、そのような検出器を含む、湿度の検出デバイスまたは測定デバイスと、そのような検出器を製造する方法とに関する。
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【課題】信頼性の高い湿度の連続計測を可能とする。寿命を短くすることなく計測値の精度を高める。
【解決手段】加熱周期をＴ、加熱時間をｔとし、互いの加熱周期Ｔを半周期ずらして、第１の湿度センサおよび第２の湿度センサの加熱クリーニングを行う。第１の湿度センサを加熱クリーニングすると（例えば、ｔ５点）、今回加熱クリーニングされた第１の湿度センサを計測センサ、加熱クリーニングされなかった第２の湿度センサを非計測センサとし、使用する湿度の計測値ＨＲを非計測センサからの湿度の実測値ＨＲ２から計測センサからの湿度の実測値ＨＲ１に切り替える。第２の湿度センサを加熱クリーニングした場合も同様にして実測値の切り替えを行う。 （もっと読む）

【課題】湿度センサの残りの寿命を適確に予測する。
【解決手段】残り寿命確認スイッチＳＷ１を設ける。残り寿命確認スイッチＳＷ１がオンとされると、現在の加熱周期Ｔｎと、現在の加熱時間ｔｎと、現在までの加熱時間の積算値ｔｓｕｍと、耐用総加熱時間ｔｓｓｕｍとから、下記の（Ａ）式に従って、湿度センサ１，２の残りの寿命Ｔｒｅｓｔを求める。現在の加熱周期Ｔｎと、現在の加熱時間ｔｎと、標準加熱周期Ｔｓと、標準加熱時間ｔｓと、耐用期間Ｔｔｌｕとから、下記の（Ｂ）式に従って残りの寿命Ｔｒｅｓｔを求めるようにしてもよい。
Ｔｒｅｓｔ＝（ｔｓｓｕｍ−ｔｓｕｍ）Ｔｎ／ｔｎ ・・・・（Ａ）
Ｔｒｅｓｔ＝（ｔｓ・Ｔｔｌｕ／Ｔｓ−ｔｓｕｍ）Ｔｎ／ｔｎ ・・・・（Ｂ） （もっと読む）

【課題】どのような環境に設置された湿度センサでもその劣化を診断することができるようにする。
【解決手段】加熱クリーニングの終了後の湿度計測値Ｐを初期値Ｐ０として記憶する。加熱クリーニングを行う毎に、加熱クリーニングの終了後の湿度計測値Ｐと初期値Ｐ０との偏差ΔＰ（ΔＰ＝｜Ｐ−Ｐ０｜）を求め、この偏差ΔＰが閾値ΔＰｔｈよりも大きくなった場合に、湿度センサの劣化と判定する。洗浄クリーニングを行う場合にも同様にして湿度センサの劣化を判定することができる。閾値ΔＰｔｈに代えて許容湿度範囲Ｗを用いたりしてもよい。 （もっと読む）

【課題】ユーザ側での湿度センサの交換を簡単かつ安価に行えるようにする。
【解決手段】キャリブレーション開始指示スイッチＳＷ２を設ける。キャリブレーション開始指示スイッチＳＷ２がオンとされると、ヒータ３への通電を行って、湿度センサ１を加熱する。この湿度センサ１の加熱中、湿度センサ１の温度の実測値ＴＲ１に基づいて、湿度センサ１の温度が飽和状態に達したことを確認し、この時の湿度センサ１からの湿度の実測値ＨＲ１を低湿度基準値として不揮発性のメモリ８−４に記憶させる。以降、不揮発性のメモリ８−４に記憶されている低湿度基準値を参照して、湿度センサ１からの湿度の実測値ＨＲ１に対してオフセット調整処理を施す。湿度センサ２についても同様にして、低湿度基準値を不揮発性のメモリ８−４に記憶させ、その基準値を用いてオフセット調整処理を施す。 （もっと読む）

【課題】湿度センサの加熱クリーニングの条件をより適切な条件に自動更新させて行く。
【解決手段】加熱周期をＴ、加熱時間をｔとし、互いの加熱周期Ｔを半周期ずらして、第１の湿度センサおよび第２の湿度センサの加熱クリーニングを行う。何れかの湿度センサが加熱クリーニングを終了した後、今回加熱された側の湿度センサからの加熱後の湿度の実測値（安定時間経過後の実測値）と加熱されなかった側の湿度センサからの同タイミングでの湿度の実測値との差に応じて、加熱されなかった側の湿度センサの次回の加熱条件（加熱間隔、加熱時間、加熱温度など）を変更する。 （もっと読む）

【課題】欠陥を制御されたナノチューブを含み、物理または化学量を検出するためのセンサの提供することにある。
【解決手段】典型的なナノチューブ・センサ１９は、信号処理回路２１と接続して使用され、この信号処理回路２１は、電力を供給し、そしてセンサからの信号を処理して、検出された量に比例した出力を生成する。ナノチューブは、シリコン酸化物などからなるベース・フィルム２３上に配置され、ナノチューブの各端に電極２５を含む。信号処理回路２１は、限定されるものではないがひずみ、圧力、湿度および光などの検出された量を示す出力信号２７を供給する。 （もっと読む）

【課題】湿度センサの種類を容易に判別でき、湿度センサの種類に応じた適正な処理を行うことが可能な湿度検出装置を提供すること。
【解決手段】湿度検出装置は切替手段、算出手段、判別手段および制御手段を含む。切替手段は、湿度センサに印加する交流電圧の周波数を、第１周波数（１００ｋＨｚ）と、該第１周波数と異なる第２周波数（１００Ｈｚ）とに切替える（ステップＳ７０）。算出手段は、第１周波数での湿度センサのインピーダンスの第１検出値と、第２周波数でのインピーダンスの第２検出値とを用いて、インピーダンスの差を算出する（ステップＳ９０）。判別手段は、算出されたインピーダンスの差に基づいて湿度センサを判別する（ステップＳ１００）。制御手段は、湿度を検出する際、判別された湿度センサに対応した処理を行う（ステップＳ１２０、Ｓ１２５）。 （もっと読む）

【課題】結露に起因する不具合の発生を防止する。
【解決手段】ガスセンサ１を、内部をガス検出室２６として軸方向に伸びる筒状部２５と、筒状部２５の軸方向の一端の開口部２５ａを閉塞するベース部３５と、ベース部３５の略中央部に配置されてガス検出室２６内の少なくとも温度または湿度を検出する状態センサ３６と、ベース部３５の状態センサ３６の周辺部に配置された検出素子３１および温度補償素子３２と、筒状部２５の軸方向の他端の開口部２５ｂを覆う蓋状部材２７と、軸方向から見て状態センサ３６および検出素子３１および温度補償素子３２と重なり合わないようにしてずれた位置で蓋状部材２７を貫通してガス検出室２６内に外部から検査対象ガスを導入可能なガス導入口２８とを備えて構成した。 （もっと読む）