湿度センサの寿命予測装置
【課題】湿度センサの残りの寿命を適確に予測する。
【解決手段】残り寿命確認スイッチＳＷ１を設ける。残り寿命確認スイッチＳＷ１がオンとされると、現在の加熱周期Ｔｎと、現在の加熱時間ｔｎと、現在までの加熱時間の積算値ｔｓｕｍと、耐用総加熱時間ｔｓｓｕｍとから、下記の（Ａ）式に従って、湿度センサ１，２の残りの寿命Ｔｒｅｓｔを求める。現在の加熱周期Ｔｎと、現在の加熱時間ｔｎと、標準加熱周期Ｔｓと、標準加熱時間ｔｓと、耐用期間Ｔｔｌｕとから、下記の（Ｂ）式に従って残りの寿命Ｔｒｅｓｔを求めるようにしてもよい。
Ｔｒｅｓｔ＝（ｔｓｓｕｍ−ｔｓｕｍ）Ｔｎ／ｔｎ ・・・・（Ａ）
Ｔｒｅｓｔ＝（ｔｓ・Ｔｔｌｕ／Ｔｓ−ｔｓｕｍ）Ｔｎ／ｔｎ ・・・・（Ｂ）
【解決手段】残り寿命確認スイッチＳＷ１を設ける。残り寿命確認スイッチＳＷ１がオンとされると、現在の加熱周期Ｔｎと、現在の加熱時間ｔｎと、現在までの加熱時間の積算値ｔｓｕｍと、耐用総加熱時間ｔｓｓｕｍとから、下記の（Ａ）式に従って、湿度センサ１，２の残りの寿命Ｔｒｅｓｔを求める。現在の加熱周期Ｔｎと、現在の加熱時間ｔｎと、標準加熱周期Ｔｓと、標準加熱時間ｔｓと、耐用期間Ｔｔｌｕとから、下記の（Ｂ）式に従って残りの寿命Ｔｒｅｓｔを求めるようにしてもよい。
Ｔｒｅｓｔ＝（ｔｓｓｕｍ−ｔｓｕｍ）Ｔｎ／ｔｎ ・・・・（Ａ）
Ｔｒｅｓｔ＝（ｔｓ・Ｔｔｌｕ／Ｔｓ−ｔｓｕｍ）Ｔｎ／ｔｎ ・・・・（Ｂ）
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、計測環境雰囲気中に設置される湿度センサの寿命を予測する湿度センサの寿命予測装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来より、湿度センサには、湿度の変化に応じて感湿素子の抵抗値が変化する抵抗変化式や湿度の変化に応じて感湿素子の容量が変化する容量変化式の湿度センサなどがある。
【０００３】
これら何れの方式の湿度センサも測定現場に設置されると、計測環境の雰囲気中に直接さらされて湿度を計測するため、計測環境の雰囲気（例えば、薬品、溶剤などのガスや高湿環境など）によって、感湿素子が劣化して行く。この感湿素子の劣化を本明細書では湿度センサの性能の劣化と言う。湿度センサの性能が劣化すると計測精度が低下し信頼性が失われる。
【０００４】
湿度センサの劣化した性能は、例えば特許文献１に示されているように、感湿素子を加熱することによって回復させることができる。以下では、この加熱による湿度センサの劣化した性能の回復を図る処理を加熱クリーニングと呼ぶ。この加熱クリーニングを定期的に行うことにより、湿度センサの耐用期間を延ばすことが可能となる。特許文献１では、タイマ回路によって、例えば、８００℃で１５０時間毎に４，５分、感湿素子を加熱するようにしている。
【０００５】
ただし、加熱クリーニングを行っても完全に湿度センサの劣化が解消するわけではなく、ある程度の劣化は残る。その劣化が積み重なって、もはや得られる計測精度に信頼性が失われたとき湿度センサの寿命は尽き、正常品と交換しなければならない。
【０００６】
このような湿度センサに対し、現在の劣化の進行度や寿命が尽きるまでの残りの期間が寿命が尽きる以前に分かれば、湿度センサの交換のためのメンテナンス計画が事前に立てられ、そのために必要な経費も前もって予算に計上でき、円滑にメンテナンスも行うことができる。
【０００７】
なお、湿度センサの劣化を判断する技術として、例えば特許文献２には、内燃機関の排気ガス雰囲気中に配置される湿度センサの劣化を診断する方法について記載されている。この特許文献２に記載された方法では、例えば、内燃機関の始動直後における湿度センサの低湿度側への変化の程度や低湿度側への出力値の大きさに基づいて、湿度センサの劣化の状態を判定する。
【０００８】
【特許文献１】特開平５−１７２７７６号公報
【特許文献２】特開２００３−１６６９６４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
しかしながら、従来においては、特許文献２に示されているように、湿度センサが劣化しているか否かを判定したり、劣化状況を検知するものは存在するが、その湿度センサが、今後どのくらいで寿命が尽きるかを、寿命が尽きる前に予測できるものはなかった。特に、加熱クリーニングの条件（加熱周期や加熱時間）が運用途中で変更更新されるような場合、その湿度センサの残りの寿命を正確に予測することは難しい。
【００１０】
このため、湿度センサの寿命が尽きていたことが判明してから正常品との交換を突発的に行わざるを得ず、交換する正常品が直ぐに入荷しなかったり、メンテナンスに必要な経費が直ちに確保できなかったり、他の事情によりメンテナンス作業が直ちに行えない場合もあり、メンテナンスに支障が生じていた。
【００１１】
本発明は、このような課題を解決するためになされたもので、その目的とするところは、加熱クリーニングの条件（加熱周期や加熱時間）が運用途中で変更更新されるような場合でも、湿度センサの残りの寿命を適確に予測することができる湿度センサの寿命予測装置を提供することある。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
このような目的を達成するために本発明は、計測環境雰囲気中に設置される湿度センサと、この湿度センサに付設されたヒータと、このヒータへの通電を行って湿度センサを定期的に加熱するヒータ駆動手段と、このヒータ駆動手段による湿度センサに対する加熱条件として設定されている加熱周期および加熱時間の少なくとも一方を変更する加熱条件変更手段とを備えた湿度計測装置における湿度センサの寿命を予測する湿度センサの寿命予測装置に、現在の加熱周期をＴｎ、現在の加熱時間をｔｎとし、この現在の加熱周期Ｔｎおよび現在の加熱時間ｔｎを含む所要の情報を予め定められている寿命予測の算出式に代入して、湿度センサの残りの寿命Ｔｒｅｓｔを予測する残寿命予測手段を設けたものである。
【００１３】
この発明によれば、例えば、第１の方式として、現在の加熱周期Ｔｎ、現在の加熱時間ｔｎ、標準値として定められる標準加熱周期Ｔｓおよび標準加熱時間ｔｓを継続した場合の湿度センサの耐用期間の終了までに受ける加熱時間の総和ｔｓｓｕｍ、現在までの湿度センサの実際の加熱時間の積算値ｔｓｕｍを下記の寿命予測の算出式（Ａ）に代入して、湿度センサの残りの寿命Ｔｒｅｓｔを予測する。
Ｔｒｅｓｔ＝（ｔｓｓｕｍ−ｔｓｕｍ）Ｔｎ／ｔｎ ・・・・（Ａ）
【００１４】
例えば、第２の方式として、現在の加熱周期Ｔｎ、現在の加熱時間ｔｎ、標準値として定められる標準加熱周期Ｔｓおよび標準加熱時間ｔｓ、標準加熱周期Ｔｓおよび標準加熱時間ｔｓを継続した場合の湿度センサの耐用期間Ｔｔｌｕ、現在までの湿度センサの実際の加熱時間の積算値ｔｓｕｍを下記の寿命予測の算出式（Ｂ）に代入して、湿度センサの残りの寿命Ｔｒｅｓｔを予測する。
Ｔｒｅｓｔ＝（ｔｓ・Ｔｔｌｕ／Ｔｓ−ｔｓｕｍ）Ｔｎ／ｔｎ ・・・・（Ｂ）
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、現在の加熱周期をＴｎ、現在の加熱時間をｔｎとし、この現在の加熱周期Ｔｎおよび現在の加熱時間ｔｎを含む所要の情報を予め定められている寿命予測の算出式に代入して、湿度センサの残りの寿命Ｔｒｅｓｔを予測するようにしたので、加熱条件（加熱周期や加熱時間）が運用途中で変更更新される場合でも、湿度センサの残りの寿命を適確に予測することができるようになる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、本発明を図面に基づいて詳細に説明する。図１は本発明に係る湿度計測装置の一実施の形態の要部を示すブロック構成図である。
【００１７】
同図において、１は計測環境の雰囲気中に設置された容量変化式の第１の湿度センサ、２は第１の湿度センサ１と同じ計測環境の雰囲気中に設置された容量変化式の第２の湿度センサ、３は第１の湿度センサ１に付設された加熱クリーニング用の第１のヒータ、４は第２の湿度センサ２に付設された加熱クリーニング用の第２のヒータ、５は湿度センサ入力変換回路、６は温度センサ入力変換回路、７はヒータ駆動回路、８はマイクロコンピュータ、９は表示部、ＳＷ１は残り寿命確認スイッチ、ＳＷ２はキャリブレーション開始指示スイッチであり、第１の湿度センサ１と第２の湿度センサ２とは同特性とされている。
【００１８】
この実施の形態において、湿度センサ入力変換回路５，温度センサ入力変換回路６，ヒータ駆動回路７，マイクロコンピュータ８，表示部９などは湿度計測装置１００のケース内に収容されている。図２にこの湿度計測装置１００の外観図を示す。
【００１９】
図２において、湿度センサ１およびヒータ３は第１のセンサ部１００−１に収容されており、湿度センサ２およびヒータ４は第２のセンサ部１００−２に収容されている。図２（ａ）は第１のセンサ部１００−１および第２のセンサ部１００−２を湿度計測装置１００のケースにセットした状態を示し、図２（ｂ）は第１のセンサ部１００−１および第２のセンサ部１００−２を湿度計測装置１００のケースから引き離した状態を示している。通常は、図２（ｂ）に示すように、第１のセンサ部１００−１および第２のセンサ部１００−２をケースから引き離して計測環境に設置する。
【００２０】
この湿度計測装置１００において、湿度センサ入力変換回路５は、第１の湿度センサ１からの計測湿度に応じた容量変化信号を電圧信号に変換し、その電圧信号を第１の湿度センサ１からの湿度の実測値ＨＲ１としてマイクロコンピュータ８へ与える。また、湿度センサ入力変換回路５は、第２の湿度センサ２からの計測湿度に応じた容量変化信号を電圧信号に変換し、その電圧信号を第２の湿度センサ２からの湿度の実測値ＨＲ２としてマイクロコンピュータ８へ与える。
【００２１】
ヒータ駆動回路７は、マイクロコンピュータ８からの指示を受けて、第１のヒータ３および第２のヒータ４への通電を行う。第１のヒータ３および第２のヒータ４は温度センサも兼ねている。すなわち、第１のヒータ３および第２のヒータ４は加熱を行っていないときには温度センサとして機能させることができる。したがって、第１のヒータ３は、第１の湿度センサ１を加熱する加熱手段と、第１の湿度センサ１の温度を計測する計測手段とを兼ねている。同様に第２のヒータ４は、第２の湿度センサ２を加熱する加熱手段と、第２の湿度センサ２の温度を計測する計測手段とを兼ねている。第１のヒータ３からの湿度センサ１の温度を示す信号および第２のヒータ４からの湿度センサ２の温度を示す信号は温度センサ入力変換回路６へ送られる。なお、ヒータ３および４を温度センサ兼用のヒータとしなくてもよく、ヒータ専用とし、別に温度センサを設けるようにしてもよい。
【００２２】
温度センサ入力変換回路６は、第１のヒータ３からの計測温度に応じた信号を電圧信号に変換し、その電圧信号を第１の湿度センサ１の温度の実測値ＴＲ１としてマイクロコンピュータ８へ与える。また、温度センサ入力変換回路６は、第２のヒータ４からの計測温度に応じた信号を電圧信号に変換し、その電圧信号を第２の湿度センサ２の温度の実測値ＴＲ２としてマイクロコンピュータ８へ与える。
【００２３】
マイクロコンピュータ８は、ＣＰＵ８−１，ＲＯＭ８−２，ＲＡＭ８−３，不揮発性のメモリ８−４などを備えており、ＣＰＵ８−１はＲＡＭ８−３や不揮発性のメモリ８−４にアクセスしながら、ＲＯＭ８−２に格納されたプログラムに従って動作する。
【００２４】
〔湿度計測処理：第１例（基本例）〕
以下、図３に示すタイムチャートを用いて、ＣＰＵ８−１がＲＯＭ８−２に格納されたプログラムに従って行う湿度計測処理の第１例（基本例）を説明する。
【００２５】
ＣＰＵ８−１は、加熱周期Ｔを８時間、加熱時間ｔを１時間とし、互いの加熱周期Ｔを半周期ずらし、第１の湿度センサ１および第２の湿度センサ２の加熱クリーニングを行いながら、次のようにして湿度の連続計測を行う。
【００２６】
ＣＰＵ８−１は、先ず、第１の湿度センサ１を加熱クリーニングする（図３（ａ）：ｔ０〜ｔ１点）。そして、この第１の湿度センサ１の加熱クリーニングの終了後、今回加熱クリーニングされた第１の湿度センサ１を計測センサ、加熱クリーニングされなかった第２の湿度センサ２を非計測センサとし、第１の湿度センサ（計測センサ）１からの湿度の実測値ＨＲ１を湿度の計測値ＨＲとして使用する。
【００２７】
次に、ＣＰＵ８−１は、第２の湿度センサ２を加熱クリーニングする（図３（ｂ）：ｔ２〜ｔ３点）。そして、この第２の湿度センサ２の加熱クリーニングの終了後、今回加熱クリーニングされた第２の湿度センサ２を計測センサ、加熱クリーニングされなかった第１の湿度センサ１を非計測センサとし、使用する湿度の計測値ＨＲを第１の湿度センサ（非計測センサ）１からの湿度の実測値ＨＲ１から第２の湿度センサ（計測センサ）２からの湿度の実測値ＨＲ２に切り替える。
【００２８】
次に、ＣＰＵ８−１は、第１の湿度センサ１を加熱クリーニングする（図３（ａ）：ｔ４〜ｔ５点）。そして、この第１の湿度センサ１の加熱クリーニングの終了後、今回加熱クリーニングされた第１の湿度センサ１を計測センサ、加熱クリーニングされなかった第２の湿度センサ２を非計測センサとし、使用する湿度の計測値ＨＲを第２の湿度センサ（非計測センサ）２からの湿度の実測値ＨＲ２から第１の湿度センサ（計測センサ）１からの湿度の実測値ＨＲ１に切り替える。
【００２９】
以下同様にして、第１の湿度センサ１の加熱クリーニングの終了後、第２の湿度センサ２が加熱クリーニングされるまでの間は第１の湿度センサ１からの湿度の実測値ＨＲ１を計測値ＨＲとして使用し、第２の湿度センサ２の加熱クリーニングの終了後、第１の湿度センサ１が加熱クリーニングされるまでの間は第２の湿度センサ２からの湿度の実測値ＨＲ２を計測値ＨＲとして使用するという動作を繰り返す。
【００３０】
このようにして、この湿度計測処理の第１例では、加熱クリーニング中の湿度センサ１，２からの湿度の実測値ＨＲ１，ＨＲ２の使用を避けながら、湿度センサ１からの湿度の実測値ＨＲ１と湿度センサ２からの湿度の実測値ＨＲ２とを交互に使用するようにして、信頼性の高い湿度の連続計測が行われる。
【００３１】
湿度センサ１，２は、加熱クリーニングの終了後、時間の経過に伴って劣化して行く。そして、次の加熱クリーニングが行われると、その劣化した性能の回復が図られ、また時間の経過に伴って劣化して行く。この湿度計測処理の第１例において、湿度の実測値が計測値として使用される時間（計測時間）は、第１の湿度センサ１および第２の湿度センサ２のどちらも加熱クリーニングの終了後（正確には、後述する「安定時間」＋「移行時間」を経た後の時間）からの時間とされる。
【００３２】
この場合、第１の湿度センサ１および第２の湿度センサ２の加熱周期Ｔおよび加熱時間ｔは同一であり、互いの加熱周期Ｔが半周期ずらされているので、第１の湿度センサ１の計測時間ＴＭ１および第２の湿度センサ２の計測時間ＴＭ２はほぼ等しくなる。これにより、第１の湿度センサ１および第２の湿度センサ２の何れの場合にも劣化度の小さい区間が計測時間とされ、加熱周期Ｔを短くすることなく、計測精度を高めることができる。
【００３３】
〔安定時間〕
この湿度計測処理の第１例では、湿度センサ１，２を加熱する毎に、今回加熱された側の湿度センサを計測センサ、加熱されなかった側の湿度センサを非計測センサとし、使用する湿度の計測値を非計測センサからの湿度の実測値から計測センサからの湿度の実測値に切り替える。
【００３４】
この場合、計測センサの加熱終了後、計測センサの温度と非計測センサの温度との差が所定値以下となった時点で、非計測センサからの湿度の実測値から計測センサからの湿度の実測値への切り替えを開始するようにする。
【００３５】
このようにすることによって、計測センサの加熱クリーニングの終了後、その加熱の影響がなくなった時点で（安定時間の経過後）、非計測センサからの湿度の実測値から計測センサからの湿度の実測値への切り替えが行われるものとなる。
【００３６】
なお、計測センサの温度と非計測センサの温度との差が所定値以下となった時点ではなく、計測センサの加熱終了後、所定時間が経過した時点で、非計測センサからの湿度の実測値から計測センサからの湿度の実測値への切り替えを開始するようにしてもよい。このようにすると、湿度センサ１，２の温度を計測する必要がなくなる。これにより、ヒータ３，４として、温度センサ兼用のヒータを使用しなくてもよくなる。また、専用の温度センサを不要とすることが可能となる。
【００３７】
〔移行期間〕
また、この湿度計測処理の第１例では、非計測センサからの湿度の実測値から計測センサからの湿度の実測値への切り替えを行う際、非計測センサからの湿度の実測値と計測センサからの湿度の実測値との差を時間をかけて徐々に縮めて行くスムージング処理を行うようにする。
【００３８】
非計測センサからの湿度の実測値から計測センサからの湿度の実測値への切り替えを行う場合、それまで計測値として使用していた非計測センサからの湿度の実測値と加熱クリーニングの終了後の計測センサからの湿度の実測値との差が発生している場合があるので、直ちに切り替えると計測値の連続性が損なわれる。
【００３９】
そこで、非計測センサからの湿度の実測値と計測センサからの湿度の実測値との差を時間をかけて徐々に縮めて行くスムージング処理を行うようにすれば、すなわち移行期間を設けて非計測センサからの湿度の実測値と計測センサからの湿度の実測値との差を徐々に縮めて行けば、これらの問題の発生を防止することができるようになる。
【００４０】
〔加熱条件の変更〕
また、この湿度計測処理の第１例では、湿度センサ１，２の劣化の度合いを判断し、その劣化の度合いに応じて湿度センサ１，２の次回の加熱条件を変更するようにする。
【００４１】
〔加熱条件の変更例１〕
例えば、運用開始時、最初の加熱クリーニング時にその加熱クリーニング中の湿度センサ１からの湿度の実測値（ヒータによって１５０〜１８０℃の高温で加熱すると、周囲環境の雰囲気の影響が小さくなりほぼ湿度０％になるが、その時の 湿度センサの出力値）ＨＲ１を初期値ＨＲ１0 として記憶しておく。以降、加熱クリーニングした後に、その加熱クリーニング中の湿度センサ１からの湿度の実測値（ほぼ湿度０％時の値）ＨＲ１と初期値ＨＲ１0 との差から、湿度センサ１の劣化の度合いを判断する。
【００４２】
この湿度センサ１の劣化の度合いに応じ、劣化の度合いが大きければ、湿度センサ１に対する加熱周期を短くしたり、加熱時間を長くしたり、加熱温度を高くしたりする。同様にして、湿度センサ２の劣化の度合いに応じ、劣化の度合いが大きければ、湿度センサ２に対する加熱周期を短くしたり、加熱時間を長くしたり、加熱温度を高くしたりする。
【００４３】
〔加熱条件の変更例２〕
例えば、湿度センサ１，２を加熱する毎に、今回加熱された側の湿度センサからの加熱終了後の湿度の実測値（安定時間経過後の実測値）と加熱されなかった側の湿度センサからの同タイミングでの湿度の実測値との差に応じて、加熱されなかった側の湿度センサの次回の加熱条件を変更する。
【００４４】
この場合、湿度センサ１からの加熱クリーニングの終了後の湿度の実測値（安定時間経過後の実測値）ＨＲ１と湿度センサ２からの同タイミングでの湿度の実測値ＨＲ２との差は、加熱クリーニングによって湿度センサ１の劣化した性能の回復が図られているので、湿度センサ２の劣化の度合いを表す。この湿度センサ２の劣化の度合いが大きければ、湿度センサ２の次回の加熱までの待ち時間を短くしたり、次回の加熱時間を長くしたり、次回の加熱温度を高くしたりする。この湿度センサ２の加熱クリーニング条件の変更を湿度センサ１が加熱クリーニングされた後に行う。
【００４５】
また、湿度センサ２からの加熱クリーニングの終了後の湿度の実測値（安定時間経過後の実測値）ＨＲ２と湿度センサ１からの同タイミングでの湿度の実測値ＨＲ１との差は、加熱クリーニングによって湿度センサ２の劣化した性能の回復が図られているので、湿度センサ１の劣化の度合いを表す。この湿度センサ１の劣化の度合いが大きければ、湿度センサ１の次回の加熱までの待ち時間を短くしたり、次回の加熱時間を長くしたり、次回の加熱温度を高くしたりする。この湿度センサ１の加熱クリーニング条件の変更を湿度センサ２が加熱クリーニングされた後に行う。
【００４６】
加熱クリーニングの条件を変更する場合、上述のようにして、次回の加熱周期、次回の加熱までの待ち時間、次回の加熱時間、次回の加熱温度などを変更するが、これらは個別に変更するようにしてもよいし、組み合わせて変更するようにしてもよい。
【００４７】
例えば、計測環境雰囲気に有機溶剤が含まれていて、これが湿度センサの劣化の原因であることが分かっていた場合、有機溶剤は比較的短時間の加熱で除去可能なので、加熱間隔を短くして、加熱回数を多くした方が劣化の原因を効果的に除去できて、劣化に対する回復力を高めることができる。この場合、次回の加熱までの待ち時間を短くすれば、結果的に加熱間隔が短くなり、加熱回数が多くなり、劣化に対する回復力が高まる。
【００４８】
また、計測環境雰囲気に付着性の高い物質が含まれていて、感湿素子の表面に付着物が付き易く、これが湿度センサの劣化の原因であることが分かっていた場合、１回の加熱時間を長くした方が劣化の原因を効果的に除去でき、劣化に対する回復力を高めることができる。この場合、次回の加熱時間を長くすることにより、劣化に対する回復力が高まる。
【００４９】
また、この湿度計測処理の第１例では、湿度センサ１，２が加熱される毎に、加熱された側の湿度センサからの加熱終了後の湿度の実測値（安定時間経過後の実測値）と加熱されなかった側の湿度センサからの同タイミングでの湿度の実測値との差に応じ、その差が予め定められている所定値を超えていた場合に警報を発するようにする。
【００５０】
すなわち、湿度センサ１からの加熱クリーニングの終了後の湿度の実測値（安定時間経過後の実測値）ＨＲ１と湿度センサ２からの同タイミングでの湿度の実測値ＨＲ２との差は湿度センサ２の劣化の度合いを表し、湿度センサ２からの加熱クリーニングの終了後の湿度の実測値ＨＲ２と湿度センサ１からの同タイミングでの湿度の実測値ＨＲ１との差は湿度センサの劣化の度合いを表す。この劣化の度合いを監視し、劣化の度合いが所定値を超えた場合に、警報を発するようにする。
【００５１】
また、この湿度計測処理の第１例では、加熱クリーニングの条件の変更が限界に達した場合に警報を発するようにする。例えば、加熱時間に対して上限値を定めておき、次回の加熱時間を上限値以上とする必要が生じた場合に、警報を発するようにする。また、加熱周期に対して下限値を定めておき、次回の加熱周期が下限値以下とする必要が生じた場合に、警報を発するようにする。
【００５２】
なお、この湿度計測処理の第１例では、第１の湿度センサ１および第２の湿度センサ２の加熱周期Ｔを同一とし、その加熱周期Ｔを半周期ずらすようにしたが、必ずしも加熱周期Ｔのずれ量は半周期でなくてもよい。この場合、第１の湿度センサ１の計測時間ＴＭ１と第２の湿度センサ２の計測時間ＴＭ２が等しくならず、非計測センサからの湿度の実測値から計測センサからの湿度の実測値への切り替えが行われる時の湿度センサ１および湿度センサ２の劣化の度合いも異なってくるが、多少のずれは許容範囲として許されるものである。
【００５３】
また、計測精度は低下するが、図４に示すように、第１の湿度センサ１の加熱クリーニング中のみ、第２の湿度センサ２からの湿度の実測値ＨＲ２を計測値ＨＲとして使用するようにしてもよい。この場合、第１の湿度センサ１の計測時間ＴＭ１における劣化度は大きくなるが、第２の湿度センサ２の計測時間ＴＭ２における劣化度は小さく、第２の湿度センサ２からの湿度の実測値ＨＲ２を計測値ＨＲとして使用した場合の計測精度は高くなる。
【００５４】
〔湿度計測処理：第２例（実例）〕
次に、図５に示すタイムチャートを用いて、ＣＰＵ８−１がＲＯＭ８−２に格納されたプログラムに従って行う湿度計測処理の第２例（実例）を説明する。図５（ａ）は第１のヒータ３への通電状況を示し、図５（ｂ）は第２のヒータ４への通電状況を示し、図５（ｃ）は第１の湿度センサ１の温度の実測値ＴＲ１（実線）および第２の湿度センサ２の温度の実測値ＴＲ２（点線）を示し、図５（ｄ）は第１の湿度センサ１からの湿度の実測値ＨＲ１（実線）、第２の湿度センサ２からの湿度の実測値ＨＲ２（点線）および使用する湿度の計測値ＨＲ（太線）を示す。
【００５５】
〔加熱クリーニング〕
ＣＰＵ８−１は、ヒータ駆動回路７へ指令を送り、第１のヒータ３への通電を行って、第１の湿度センサ１を加熱する（図５（ａ）：ｔ１〜ｔ２点）。これにより、加熱時間をｔとして、第１の湿度センサ１の加熱クリーニングが行われる。この加熱クリーニング中、第１の湿度センサ１の温度の実測値ＴＲ１は上昇し、第１の湿度センサ１からの湿度の実測値ＨＲ１は低下する。この場合、ＣＰＵ８−１は、使用する湿度の計測値ＨＲとして第２の湿度センサ２からの湿度の実測値ＨＲ２を選択している。
【００５６】
〔実測値の切替処理〕
ＣＰＵ８−１は、第１の湿度センサ１の加熱クリーニングが終了すると、今回加熱された側の湿度センサ１を計測センサ、加熱されなかった側の湿度センサ２を非計測センサとし、使用する湿度の計測値ＨＲを非計測センサ２からの湿度の実測値ＨＲ２から計測センサ１からの湿度の実測値ＨＲ１に切り替える実測値の切替処理を開始する。
【００５７】
〔温度差の監視〕
この場合、ＣＰＵ８−１は、第１の湿度センサ１の温度の実測値ＴＲ１と第２の湿度センサ２の温度の実測値ＴＲ２との差ΔＴを監視し、この差ΔＴが所定値ΔＴｔｈ（例えば、ΔＴｔｈ＝０．３）以下となるまで待つ（図５（ｃ）：ｔ２〜ｔ３点（安定時間））。
【００５８】
ＣＰＵ８−１は、ΔＴ≦ΔＴｔｈとなると、第１の湿度センサ１の加熱による影響がなくなったと判断し、使用する湿度の計測値ＨＲを非計測センサ２からの湿度の実測値ＨＲ２から計測センサ１からの湿度の実測値ＨＲ１に切り替える。
【００５９】
ここで、計測センサ１は加熱クリーニングが終了した後であり、非計測センサ２は前回の加熱クリーニングの終了後からかなりの時間が経過している。すなわち、計測センサ１は劣化した性能の回復処理が行われた直後の状態にあり、非計測センサ２は性能の劣化が進行中の状態にある。
【００６０】
この場合、それまで計測値として使用していた非計測センサ２からの湿度の実測値ＨＲ２と今回計測値ＨＲとして使用しようとする計測センサ１からの湿度の実測値ＨＲ１との差ΔＨ（ΔＨ＝｜ＨＲ２−ＨＲ１｜）は大きくなっているので、直ちに切り替えると計測値ＨＲの連続性が損なわれる。
【００６１】
〔スムージング処理〕
そこで、ＣＰＵ８−１は、非計測センサ２からの湿度の実測値ＨＲ２から計測センサ１からの湿度の実測値ＨＲ１に切り替える際、非計測センサ２からの湿度の実測値ＨＲ２と計測センサ１からの湿度の実測値ＨＲ１との差を時間をかけて徐々に縮めて行くスムージング処理を行う（図５（ｄ）：ｔ３〜ｔ４点（移行期間））。
【００６２】
この例において、ＣＰＵ８−１は、次のようにしてスムージング処理を行う。ｔ３点（移行期間の開始点）における非計測センサ２からの湿度の実測値ＨＲ２をＨＲ２ｉとするとともに、同時点の計測センサ１からの湿度の実測値ＨＲ１をＨＲ１ｉとする。また、ｔ３点以降、所定周期で計測センサ１からの湿度の実測値ＨＲ１をサンプリングし、ｎ周期目のサンプリング値をＨＲ１n とする。そして、スムージング係数（移動平均加重値）をｋ（ｋ＜１）とし、下記の演算式(１)および（２）を使用して、スムージング中のｎ周期目の湿度の計測値ＨＲnを算出する。
ＨＲn＝（１−ｋ）・ＨＲn-1＋ｋ・ＨＲ１n-1・・・・（１）
ただし、ｎ＝０のとき、ＨＲ0 ＝ＨＲ２ｉ・・・・（２）
【００６３】
そして、ＨＲnとＨＲ１nとの差ΔＨＲ（ΔＨＲ＝｜ＨＲn−ＨＲ１n｜）が所定値ΔＨＲｔｈ以下となったとき、スムージング処理を終了させ、非計測センサ２からの湿度の実測値ＨＲ２から計測センサ１からの湿度の実測値ＨＲ１への切り替えを完了する。なお、この時の所定値ΔＨＲｔｈをスムージング終了判断値と呼び、例えばΔＨＲｔｈ＝０．５を使用する。また、スムージング係数ｋとしては、例えばｋ＝（１／２）８＝０．００３９０６を使用する。
【００６４】
〔加熱クリーニング〕
そして、ＣＰＵ８−１は、所定の待ち時間ＴＷの経過を待って（図５（ｄ）：ｔ４〜ｔ５点、図６：ステップＳ１０１のＹＥＳ）、ヒータ駆動回路７へ指令を送り、第２のヒータ４への通電を行って、第２の湿度センサ（非計測センサ）２を加熱する（図５（ｂ）：ｔ５〜ｔ６点、図６：ステップＳ１０２，Ｓ１０３）。
【００６５】
これにより、加熱時間をｔとして、湿度センサ２の加熱クリーニングが行われる。この加熱クリーニング中、湿度センサ２の温度の実測値ＴＲ２は上昇し、湿度センサ２からの湿度の実測値ＨＲ２は低下する。この場合、ＣＰＵ８−１は、使用する湿度の計測値ＨＲとして第１の湿度センサ（計測センサ）１からの湿度の実測値ＨＲ１を選択している。
【００６６】
〔実測値の切替処理〕
ＣＰＵ８−１は、湿度センサ２の加熱クリーニングが終了すると（図６：ステップＳ１０３のＹＥＳ）、今回加熱された側の湿度センサ２を計測センサ、加熱されなかった側の湿度センサ１を非計測センサとし、使用する湿度の計測値ＨＲを非計測センサ１からの湿度の実測値ＨＲ１から計測センサ２からの湿度の実測値ＨＲ２に切り替える実測値の切替処理を開始する。
【００６７】
〔温度差の監視〕
この場合、ＣＰＵ８−１は、湿度センサ２の温度の実測値ＴＲ２と湿度センサ１の温度の実測値ＴＲ１との差ΔＴ（ΔＴ＝｜ΔＴＲ２−ΔＴＲ１｜）を監視し、この差ΔＴが所定値ΔＴｔｈ（例えば、ΔＴｔｈ＝０．３）以下となるまで待つ（図５（ｃ）：ｔ６〜ｔ７点（安定時間）、図６：ステップＳ１０４，Ｓ１０５）。
【００６８】
〔スムージング処理〕
ＣＰＵ８−１は、ΔＴ≦ΔＴｔｈとなると（図６：ステップ１０５のＹＥＳ）、湿度センサ２の加熱による影響がなくなったと判断し、前述と同様にして、非計測センサ１からの湿度の実測値ＨＲ１と計測センサ２からの湿度の実測値ＨＲ２との差を時間をかけて徐々に縮めて行くスムージング処理を行う（図５（ｄ）：ｔ７〜ｔ８点（移行期間）、図６：ステップＳ１０６）。
【００６９】
この例において、ＣＰＵ８−１は、次のようにしてスムージング処理を行う。ｔ７点（移行期間の開始点）における非計測センサ１からの湿度の実測値ＨＲ１をＨＲ１ｉとするとともに、同時点の計測センサ２からの湿度の実測値ＨＲ２をＨＲ２ｉとする。また、ｔ７点以降、所定周期で計測センサ２からの湿度の実測値ＨＲ２をサンプリングし、ｎ周期目のサンプリング値をＨＲ２n とする。そして、スムージング係数（移動平均加重値）をｋ（ｋ＜１）とし、下記の演算式(３)および（４）を使用して、スムージング中のｎ周期目の湿度の計測値ＨＲn を算出する。
ＨＲn＝（１−ｋ）・ＨＲn-1＋ｋ・ＨＲ２n-1 ・・・・（３）
ただし、ｎ＝０のとき、ＨＲ0＝ＨＲ１ｉ・・・・（４）
【００７０】
そして、ＨＲnとＨＲ２nとの差ΔＨＲが所定値ΔＨＲｔｈ以下となったとき、スムージング処理を終了させ、非計測センサ１からの湿度の実測値ＨＲ１から計測センサ２からの湿度の実測値ＨＲ２への切り替えを完了する（図６：ステップＳ１０７）。そして、所定の待ち時間ＴＷの経過を待って（図５（ｄ）：ｔ８〜ｔ９点、図６：ステップＳ１０１のＹＥＳ）、ステップＳ１０２以下の処理動作を繰り返す。
【００７１】
〔加熱クリーニングの条件の変更〕
ＣＰＵ８−１は、上述した湿度計測処理において、加熱クリーニングの終了後、移行期間（スムージング処理）の開始点（図５：ｔ３点、ｔ７点（安定時間の経過後の点））において、それまで計測値として使用していた非計測センサからの湿度の実測値と今回計測値として使用しようとする計測センサからの湿度の実測値との差ΔＨに基づいて、非計測センサの次回の加熱クリーニングの条件の変更を行う。
【００７２】
例えば、移行期間の開始点ｔ３で説明すると、それまで計測値として使用していた非計測センサ２からの湿度の実測値ＨＲ２と今回計測値として使用しようとする計測センサ１からの湿度の実測値ＨＲ１との差ΔＨ（ΔＨ＝｜ＨＲ２−ＨＲ１｜）に基づいて、「シフト量」と「待ち時間」および「加熱時間」との関係を示すテーブルＴＢ１（図７参照）に従って、非計測センサ２の次回の加熱クリーニングを行うまでの待ち時間ＴＷおよび次回の加熱時間ｔを変更する。この加熱クリーニング条件の変更において、ΔＨが１５＜ΔＨとなれば、警報を発する。
【００７３】
なお、図７に示したテーブルＴＢ１だけに従うと、「ステップＮＯ．」がばたついたり、シフト量を一定の大きさ以下に維持できないことがある。このような問題を是正するために、図８に示す「シフトレベル」と「シフト量」との関係を示すテーブルＴＢ２と、図９に示す「ステップＮＯ．」と「待ち時間」および「加熱時間」との関係を示すテーブルＴＢ３とを組み合わせて使用することも考えられる。
【００７４】
この場合、先ず、テーブルＴＢ２からΔＨの値に応じたシフトレベルを求める。このシフトレベルに基づいてテーブルＴＢ３における「ステップＮＯ．」を定める。例えば、現在、テーブルＴＢ３における「ステップＮＯ．」が「１」であり、テーブルＴＢ２におけるシフトレベルが「１」となった場合、テーブルＴＢ３における「ステップＮＯ．」を「２」とする。これにより、待ち時間ＴＷが「２４０〔ｈｒ〕」から「１２０〔ｈｒ〕」に変更される。この変更によって、ΔＨがシフトレベル「０」に収まるようになればよいが、収まらない場合には、テーブルＴＢ３における「ステップＮＯ．」をさらにアップする。以下、同様にして、テーブルＴＢ２におけるシフトレベルが「０」に収まるように、テーブルＴＢ３における「ステップＮＯ．」を変更して行く。なお、テーブルＴＢ３における「ステップＮＯ．」が「１１」となれば、警報を発する。
【００７５】
〔湿度センサの残り寿命の予測〕
湿度計測装置１００において、残り寿命確認スイッチＳＷ１がオンとされると、ＣＰＵ８−１は湿度センサ１，２の残り寿命を予測する。この場合、ＣＰＵ８−１は、現在の加熱周期をＴｎ、現在の加熱時間をｔｎとし、この現在の加熱周期Ｔｎおよび現在の加熱時間ｔｎを含む所要の情報を予め定められている寿命予測の算出式に代入して、湿度センサ１，２の残りの寿命Ｔｒｅｓｔを予測する。すなわち、現在の加熱周期Ｔｎ、現在の加熱時間ｔｎを含む所要の情報から、このままのペースで行くとあとどのくらいで寿命が尽きるかを予測する。
【００７６】
〔方式１〕
第１の方式として、ＣＰＵ８−１は、現在の加熱周期Ｔｎ、現在の加熱時間ｔｎ、標準加熱周期Ｔｓおよび標準加熱時間ｔｓを継続した場合の湿度センサ１，２の耐用期間の終了までに受ける加熱時間の総和ｔｓｓｕｍ、現在までの湿度センサ１，２の実際の加熱時間の積算値ｔｓｕｍを下記の寿命予測の算出式（Ａ）に代入して、湿度センサ１，２の残りの寿命Ｔｒｅｓｔを予測する。そして、この予測した湿度センサ１，２の残りの寿命Ｔｒｅｓｔを表示部９に表示する。
Ｔｒｅｓｔ＝（ｔｓｓｕｍ−ｔｓｕｍ）Ｔｎ／ｔｎ ・・・・（Ａ）
【００７７】
なお、標準加熱周期Ｔｓおよび標準加熱時間ｔｓは加熱周期Ｔおよび加熱時間ｔに対する標準値として定められるものであって、この標準加熱周期Ｔｓおよび標準加熱時間ｔｓを継続した場合の湿度センサ１，２の耐用期間をＴｔｌｕとすると、この耐用期間Ｔｔｌｕの終了までに受ける湿度センサ１，２の加熱時間の総和（耐用総加熱時間）はｔｓｓｕｍとして定められる。
【００７８】
図１０に使用時間と積算加熱時間との関係を示す。使用期間中、標準加熱周期Ｔｓおよび標準加熱時間ｔｓを継続した場合、使用時間と積算加熱時間との関係は図１０に示すような直線状の特性Ｉとなる。この特性Ｉ（Ｔｓ，ｔｓの寿命直線）から耐用期間Ｔｔｌｕの終了後の耐用総加熱時間ｔｓｓｕｍが定まる。
【００７９】
この第１の方式では、残り寿命を予測するための基礎データとして、標準加熱周期Ｔｓおよび標準加熱時間ｔｓを継続した場合の耐用期間Ｔｔｌｕの終了後の耐用総加熱時間ｔｓｓｕｍを不揮発性のメモリ８−４に記憶させておく。そして、残り寿命確認スイッチＳＷ１がオンとされた時点で（図１０に示す実使用時間Ｔｕが経過した時点）、メモリ８−４に記憶されている耐用総加熱時間ｔｓｓｕｍを読み出し、この読み出した耐用総加熱時間ｔｓｓｕｍと現在の加熱周期Ｔｎ、現在の加熱時間ｔｎ、現在までの実際の加熱時間の積算値ｔｓｕｍを上記（Ａ）式に代入し、残りの寿命Ｔｒｅｓｔを求める。
【００８０】
なお、上記（Ａ）式は、図１０に特性II（Ｔｎ，ｔｎの寿命予測直線）として示すように、Ｔｒｅｓｔの期間中、現在の加熱周期Ｔｎ、現在の加熱時間ｔｎを継続するものとして、ｔｓｓｕｍ−ｔｓｕｍ＝（Ｔｒｅｓｔ／Ｔｎ）・ｔｎという式を立て、この式を変形して求めたものである。
【００８１】
この第１の方式では、実使用時間Ｔｕ、耐用期間Ｔｔｌｕ、標準加熱周期Ｔｓ、標準加熱時間ｔｓが不明であっても、現在の加熱周期Ｔｎ、現在の加熱時間ｔｎ、耐用総加熱時間ｔｓｓｕｍ、現在までの実際の加熱時間の積算値ｔｓｕｍから残りの寿命Ｔｒｅｓｔを求めることができる。
【００８２】
〔方式２〕
上記（Ａ）式において、耐用総加熱時間ｔｓｓｕｍは、ｔｓｓｕｍ＝（Ｔｔｌｕ／Ｔｓ）・ｔｓ＝ｔｓ・Ｔｔｌｕ／Ｔｓと表すことができる。すなわち、上記（Ａ）式は、ｔｓｓｕｍをｔｓ・Ｔｔｌｕ／Ｔｓに置き換えることによって、下記（Ｂ）式のように変形することができる。
Ｔｒｅｓｔ＝（ｔｓ・Ｔｔｌｕ／Ｔｓ−ｔｓｕｍ）Ｔｎ／ｔｎ ・・・・（Ｂ）
【００８３】
第２の方式では、この（Ｂ）式を用いるようにし、残り寿命を予測するための基礎データとして、標準加熱周期Ｔｓ、標準加熱時間ｔｓ、標準加熱周期Ｔｓおよび標準加熱時間ｔｓを継続した場合の耐用期間Ｔｔｌｕを不揮発性のメモリ８−４に記憶させておく。そして、残り寿命確認スイッチＳＷ１がオンとされた時点で（図１０に示す実使用時間Ｔｕが経過した時点）、メモリ８−４に記憶されている標準加熱周期Ｔｓ、標準加熱時間ｔｓ、耐用期間Ｔｔｌｕを読み出し、この読み出した標準加熱周期Ｔｓ、標準加熱時間ｔｓ、耐用期間Ｔｔｌｕと現在の加熱周期Ｔｎ、現在の加熱時間ｔｎ、現在までの実際の加熱時間の積算値ｔｓｕｍを上記（Ｂ）式に代入し、残りの寿命Ｔｒｅｓｔを求める。
【００８４】
この第２の方式では、耐用総加熱時間ｔｓｓｕｍ、実使用時間Ｔｕが不明であっても、現在の加熱周期Ｔｎ、現在の加熱時間ｔｎ、標準加熱周期Ｔｓ、標準加熱時間ｔｓ、耐用期間Ｔｔｌｕ、現在までの実際の加熱時間の積算値ｔｓｕｍから残りの寿命Ｔｒｅｓｔを求めることができる。
【００８５】
〔キャリブレーション〕
湿度計測装置１００において、キャリブレーション開始指示スイッチＳＷ２がオンとされると、すなわちキャリブレーション開始指令を受けると、ＣＰＵ８−１は湿度センサ１，２のキャリブレーションを開始する。なお、このキャリブレーション開始指令は、上位装置からオンラインで与えられものとしてもよい。
【００８６】
〔湿度センサ１のキャリブレーション〕
ＣＰＵ８−１は、キャリブレーション開始指令を受けると、ヒータ（加熱素子）３への通電を行って、湿度センサ１を加熱する。この湿度センサ１の加熱中、湿度センサ１の温度の実測値ＴＲ１に基づいて、湿度センサ１の温度が飽和状態に達したことを確認し、この時の湿度センサ１からの湿度の実測値ＨＲ１を低湿度基準値として不揮発性のメモリ８−４に記憶させる。この低湿度基準値に対応する湿度としては、ほぼ湿度０％であることが望ましく、必ずしも湿度０％でなくても良いが、それに近い低湿度であることが重要である。以降、ＣＰＵ８−１は、不揮発性のメモリ８−４に記憶されている低湿度基準値を参照して、湿度センサ１からの湿度の実測値ＨＲ１に対してオフセット調整処理を施す。
【００８７】
〔湿度センサ２のキャリブレーション〕
ＣＰＵ８−１は、キャリブレーション開始指令を受けると、ヒータ（加熱素子）４への通電を行って、湿度センサ２を加熱する。この湿度センサ２の加熱中、湿度センサ２の温度の実測値ＴＲ２に基づいて、湿度センサ２の温度が飽和状態に達したことを確認し、この時の湿度センサ２からの湿度の実測値ＨＲ２を低湿度基準値として不揮発性のメモリ８−４に記憶させる。この低湿度基準値に対応する湿度としては、ほぼ湿度０％であることが望ましく、必ずしも湿度０％でなくても良いが、それに近い低湿度であることが重要である。以降、ＣＰＵ８−１は、不揮発性のメモリ８−４に格納されている低湿度基準値を参照して、湿度センサ２からの湿度の実測値ＨＲ２に対してオフセット調整処理を施す。
【００８８】
このキャリブレーションは、例えばユーザ側で湿度センサ１，２が故障し、新しい湿度センサ１，２との交換を行う際に行うとよい。この場合、基準となる環境を実現できる設備と基準となる湿度センサをユーザが所有している必要がなく、またトリミングされた感湿素子を用いた湿度センサを使用する必要もなく、ユーザ側での湿度センサ１，２の交換を簡単かつ安価に行うことが可能となる。
【００８９】
なお、このキャリブレーションにおいて、湿度センサ１，２の温度が飽和状態に達したことは、湿度センサ１，２の温度の実測値ＴＲ１，ＴＲ２の変化ΔＴＲ１，ΔＴＲ２から判断する。例えば、ΔＴＲ１，ΔＴＲ２を所定周期で求め、ΔＴＲ１，ΔＴＲ２が所定値以下に達した場合を湿度センサ１，２の温度が飽和状態に達したと判断する。
【００９０】
また、ヒータ３，４の制御によって温度がふらつくので、湿度センサ１，２の温度が飽和状態に達した後、例えば１分間待って、その１分間の内の一番低い湿度の実測値ＨＲ１，ＨＲ２を各湿度センサの低温度基準値として記憶するようにしてもよい。
【００９１】
また、湿度センサ１，２の温度の実測値ＴＲ１，ＴＲ２の変化ΔＴＲ１，ΔＴＲ２によらなくてもよく、湿度センサ１，２の加熱を始めてから所定時間経過した時点を湿度センサ１，２の温度が飽和状態にあるものとみなし、その時の湿度センサ１，２からの湿度の実測値ＨＲ１，ＨＲ２を各湿度センサの低湿度基準値として記憶するようにしてもよい。
【００９２】
また、湿度センサ１，２に冷却素子を付設し、キャリブレーション開始指令を受けた場合、この冷却素子への通電を行って湿度センサ１，２を冷却し、この湿度センサ１，２の冷却中、湿度センサ１，２の温度が飽和状態に達したことを確認し、この時の湿度センサ１，２からの湿度の実測値ＨＲ１，ＨＲ２を各湿度センサの高湿度基準値として不揮発性のメモリ８−４に記憶させる。これらの高湿度基準値に対応する湿度としては、ほぼ湿度１００％であることが望ましく、必ずしも湿度１００％でなくても良いが、それに近い高湿度であることが重要である。以降、不揮発性のメモリ８−４に記憶されている各湿度センサの高湿度基準値を参照して、湿度センサ１，２からの湿度の実測値ＨＲ１，ＨＲ２に対してオフセット調整処理を施すようにしてもよい。
【００９３】
また、ヒータ３，４を熱電冷却素子（ペルチェ素子）とし、キャリブレーション開始指令を受けた場合、この熱電冷却素子３，４へ順方向への通電を行って湿度センサ１，２を加熱し、この湿度センサ１，２の加熱中、湿度センサ１，２の温度が飽和状態に達したことを確認し、この時の湿度センサ１，２からの湿度の実測値ＨＲ１，ＨＲ２を各湿度センサの低湿度基準値として不揮発性のメモリ８−４に記憶させるようにし、次に、熱電冷却素子３，４へ逆方向への通電を行って湿度センサ１，２を冷却し、この湿度センサ１，２の冷却中、湿度センサ１，２の温度が飽和状態に達したことを確認し、この時の湿度センサ１，２からの湿度の実測値ＨＲ１，ＨＲ２を各湿度センサの高湿度基準値として不揮発性のメモリ８−４に記憶させるようにし、以降、不揮発性のメモリ８−４に記憶される各湿度センサの低湿度基準値および各湿度センサの高湿度基準値を参照して、湿度センサ１，２からの湿度の実測値ＨＲ１，ＨＲ２に対してスパン調整処理を施すようにしてもよい。なお、この例では、湿度センサ１，２の加熱を先に行うものとしたが、湿度センサ１，２の冷却を先に行うようにしてもよい。また、前述のように、低湿度基準値に対応する湿度としては、ほぼ湿度０％であることが望ましく、一方、高湿度基準値に対応する湿度としては、ほぼ湿度１００％であることが望ましい。
【００９４】
〔温度のスムージング処理〕
上述においては、使用する湿度の計測値を非計測センサからの湿度の実測値から計測センサからの湿度の実測値に切り替える際、非計測センサからの湿度の実測値と計測センサからの湿度の実測値との差を時間をかけて徐々に縮めて行くスムージング処理を行うものとしたが、このスムージング処理は温度についても適用することができる。
【００９５】
図１１に、湿度計測装置１００の要部の機能ブロックの一例を示す。湿度計測装置１００は、ヒータ駆動手段１０１と、実測値切替手段１０２と、加熱条件変更手段１０３と、第１の警報手段１０４と、第２の警報手段１０５と、残寿命予測手段１０６と、オフセット調整処理手段１０７とを備えている。
【００９６】
ヒータ駆動手段１０１は、第１のヒータ３および第２のヒータ４への通電を行って、第１の湿度センサ１および第２の湿度センサ２を加熱期間が重なることなく交互にかつ定期的に加熱する。この例では、加熱周期をＴ、加熱時間をｔとし、互いの加熱周期Ｔを半周期ずらして、湿度センサ１および第２の湿度センサ２を加熱する。
【００９７】
実測値切替手段１０２は、第１の湿度センサ１および第２の湿度センサ２が加熱される毎に、今回加熱された側の湿度センサを計測センサ、加熱されなかった側の湿度センサを非計測センサとし、使用する湿度の計測値を非計測センサからの湿度の実測値から計測センサからの湿度の実測値へ切り替える実測値の切替処理を開始する。この場合、計測センサの温度の実測値と非計測センサの温度の実測値との差ΔＴを監視し、ΔＴがΔＴｔｈ以下となった時点で、スムージング処理を開始する。そして、前述したように差ΔＨＲが所定値ΔＨＲｔｈ以下となったときに、スムージング処理を終了させ、非計測センサからの湿度の実測値から計測センサからの湿度の実測値への切り替えを完了する。
【００９８】
加熱条件変更手段１０３は、第１の湿度センサ１および第２の湿度センサ２の何れか一方が加熱された後に、今回加熱された側の湿度センサからの加熱終了後の湿度の実測値（安定時間経過後の実測値）と加熱されなかった側の湿度センサからの同タイミングでの湿度の実測値との差ΔＨに応じて、加熱されなかった側の湿度センサの次回の加熱条件（加熱周期、加熱時間、加熱温度など）を変更する。
【００９９】
第１の警報手段１０４は、第１の湿度センサ１および第２の湿度センサ２の何れか一方が加熱された後に、加熱された側の湿度センサからの加熱終了後の湿度の実測値（安定時間経過後の実測値）と加熱されなかった側の湿度センサからの同タイミングでの湿度の実測値との差ΔＨに応じ、その差ΔＨが予め定められている所定値を超えていた場合に警報を発する。第２の警報手段１０４は、加熱条件変更手段１０３による加熱条件の変更が限界に達した場合に警報を発する。
【０１００】
残寿命予測手段１０６は、基礎データ記憶手段１０６Ａと、加熱時間積算値算出手段１０６Ｂと、残寿命予測手段１０６Ｃとを備えている。基礎データ記憶手段１０６Ａには、基礎データとして、耐用総加熱時間ｔｓｓｕｍが記憶されている。残り寿命確認スイッチＳＷ１がオンとされた場合、加熱時間積算値算出手段１０６Ｂは、現在までの加熱時間の積算値ｔｓｕｍを算出する。残寿命予測手段１０６Ｃは、現在の加熱周期Ｔｎと、現在の加熱時間ｔｎと、加熱時間積算値算出手段１０６Ｂからの現在までの加熱時間の積算値ｔｓｕｍと、基礎データ記憶手段１０６Ａに記憶されている耐用総加熱時間ｔｓｓｕｍとから、湿度センサ１，２の残りの寿命Ｔｒｅｓｔを予測する。この残りの寿命Ｔｒｅｓｔの予測には、上述した（Ａ）式を用いる。
【０１０１】
オフセット調整処理手段１０７は、キャリブレーション開始指示スイッチＳＷ２がオンとされた場合、ヒータ駆動手段１０へ指令を送り、ヒータ３，４への通電を行って、湿度センサ１，２を加熱する。そして、この湿度センサ１，２の加熱中、その温度が飽和状態にある湿度センサ１，２からの湿度の実測値を各湿度センサの低湿度基準値として基準値記憶手段１０７Ａに記憶させ、以降、基準値記憶手段１０７Ａに記憶されている各湿度センサの低湿度基準値を参照して、実測値切替手段１０２における湿度の実測値ＨＲ１，ＨＲ２に対してオフセット調整処理を施す。
【図面の簡単な説明】
【０１０２】
【図１】本発明に係る湿度計測装置の一実施の形態を示すブロック構成図である。
【図２】この湿度計測装置の外観を示す図である。
【図３】この湿度計測装置におけるＣＰＵが実行する湿度計測処理の第１例（基本例）を説明するためのタイムチャートである。
【図４】この湿度計測処理の第１例において第１の湿度センサの加熱クリーニング中のみ第２の湿度センサからの湿度の実測値を計測値として使用するようにした場合のタイムチャートである。
【図５】この湿度計測装置におけるＣＰＵが実行する湿度計測処理の第２例（実例）を説明するためのタイムチャートである。
【図６】この湿度計測処理の第２例を説明するためのフローチャートである。
【図７】「シフト量」と「待ち時間」および「加熱時間」との関係を示すテーブルＴＢ１を例示する図である。
【図８】「シフトレベル」と「シフト量」との関係を示すテーブルＴＢ２を例示する図である。
【図９】「ステップＮＯ．」と「待ち時間」および「加熱時間」との関係を示すテーブルＴＢ３を例示する図である。
【図１０】湿度センサの使用時間と積算加熱時間との関係を示す図である。
【図１１】湿度計測装置の要部の機能ブロックの一例を示す図である。
【符号の説明】
【０１０３】
１…第１の湿度センサ、２…第２の湿度センサ、３…第１のヒータ、４…第２のヒータ、５……湿度センサ入力変換回路、６…温度センサ入力変換回路、７…ヒータ駆動回路、８…マイクロコンピュータ、８−１…ＣＰＵ、８−２…ＲＯＭ、８−３…ＲＡＭ、８−４…不揮発性のメモリ、９…表示部、ＳＷ１…残り寿命確認スイッチ、ＳＷ２…キャリブレーション開始指示スイッチ、１００…湿度計測装置、１００−１…第１のセンサ部、１００−２…第２のセンサ部、１０１…ヒータ駆動手段、１０２…実測値切替手段、１０３…加熱条件変更手段、１０４…第１の警報手段、１０５…第２の警報手段、１０６…残寿命予測手段、１０６Ａ…基礎データ記憶手段、１０６Ｂ…加熱時間積算値算出手段、１０６Ｃ…残寿命予測手段、１０７…オフセット調整処理手段、１０７Ａ…基準値記憶手段。
【技術分野】
【０００１】
この発明は、計測環境雰囲気中に設置される湿度センサの寿命を予測する湿度センサの寿命予測装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来より、湿度センサには、湿度の変化に応じて感湿素子の抵抗値が変化する抵抗変化式や湿度の変化に応じて感湿素子の容量が変化する容量変化式の湿度センサなどがある。
【０００３】
これら何れの方式の湿度センサも測定現場に設置されると、計測環境の雰囲気中に直接さらされて湿度を計測するため、計測環境の雰囲気（例えば、薬品、溶剤などのガスや高湿環境など）によって、感湿素子が劣化して行く。この感湿素子の劣化を本明細書では湿度センサの性能の劣化と言う。湿度センサの性能が劣化すると計測精度が低下し信頼性が失われる。
【０００４】
湿度センサの劣化した性能は、例えば特許文献１に示されているように、感湿素子を加熱することによって回復させることができる。以下では、この加熱による湿度センサの劣化した性能の回復を図る処理を加熱クリーニングと呼ぶ。この加熱クリーニングを定期的に行うことにより、湿度センサの耐用期間を延ばすことが可能となる。特許文献１では、タイマ回路によって、例えば、８００℃で１５０時間毎に４，５分、感湿素子を加熱するようにしている。
【０００５】
ただし、加熱クリーニングを行っても完全に湿度センサの劣化が解消するわけではなく、ある程度の劣化は残る。その劣化が積み重なって、もはや得られる計測精度に信頼性が失われたとき湿度センサの寿命は尽き、正常品と交換しなければならない。
【０００６】
このような湿度センサに対し、現在の劣化の進行度や寿命が尽きるまでの残りの期間が寿命が尽きる以前に分かれば、湿度センサの交換のためのメンテナンス計画が事前に立てられ、そのために必要な経費も前もって予算に計上でき、円滑にメンテナンスも行うことができる。
【０００７】
なお、湿度センサの劣化を判断する技術として、例えば特許文献２には、内燃機関の排気ガス雰囲気中に配置される湿度センサの劣化を診断する方法について記載されている。この特許文献２に記載された方法では、例えば、内燃機関の始動直後における湿度センサの低湿度側への変化の程度や低湿度側への出力値の大きさに基づいて、湿度センサの劣化の状態を判定する。
【０００８】
【特許文献１】特開平５−１７２７７６号公報
【特許文献２】特開２００３−１６６９６４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
しかしながら、従来においては、特許文献２に示されているように、湿度センサが劣化しているか否かを判定したり、劣化状況を検知するものは存在するが、その湿度センサが、今後どのくらいで寿命が尽きるかを、寿命が尽きる前に予測できるものはなかった。特に、加熱クリーニングの条件（加熱周期や加熱時間）が運用途中で変更更新されるような場合、その湿度センサの残りの寿命を正確に予測することは難しい。
【００１０】
このため、湿度センサの寿命が尽きていたことが判明してから正常品との交換を突発的に行わざるを得ず、交換する正常品が直ぐに入荷しなかったり、メンテナンスに必要な経費が直ちに確保できなかったり、他の事情によりメンテナンス作業が直ちに行えない場合もあり、メンテナンスに支障が生じていた。
【００１１】
本発明は、このような課題を解決するためになされたもので、その目的とするところは、加熱クリーニングの条件（加熱周期や加熱時間）が運用途中で変更更新されるような場合でも、湿度センサの残りの寿命を適確に予測することができる湿度センサの寿命予測装置を提供することある。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
このような目的を達成するために本発明は、計測環境雰囲気中に設置される湿度センサと、この湿度センサに付設されたヒータと、このヒータへの通電を行って湿度センサを定期的に加熱するヒータ駆動手段と、このヒータ駆動手段による湿度センサに対する加熱条件として設定されている加熱周期および加熱時間の少なくとも一方を変更する加熱条件変更手段とを備えた湿度計測装置における湿度センサの寿命を予測する湿度センサの寿命予測装置に、現在の加熱周期をＴｎ、現在の加熱時間をｔｎとし、この現在の加熱周期Ｔｎおよび現在の加熱時間ｔｎを含む所要の情報を予め定められている寿命予測の算出式に代入して、湿度センサの残りの寿命Ｔｒｅｓｔを予測する残寿命予測手段を設けたものである。
【００１３】
この発明によれば、例えば、第１の方式として、現在の加熱周期Ｔｎ、現在の加熱時間ｔｎ、標準値として定められる標準加熱周期Ｔｓおよび標準加熱時間ｔｓを継続した場合の湿度センサの耐用期間の終了までに受ける加熱時間の総和ｔｓｓｕｍ、現在までの湿度センサの実際の加熱時間の積算値ｔｓｕｍを下記の寿命予測の算出式（Ａ）に代入して、湿度センサの残りの寿命Ｔｒｅｓｔを予測する。
Ｔｒｅｓｔ＝（ｔｓｓｕｍ−ｔｓｕｍ）Ｔｎ／ｔｎ ・・・・（Ａ）
【００１４】
例えば、第２の方式として、現在の加熱周期Ｔｎ、現在の加熱時間ｔｎ、標準値として定められる標準加熱周期Ｔｓおよび標準加熱時間ｔｓ、標準加熱周期Ｔｓおよび標準加熱時間ｔｓを継続した場合の湿度センサの耐用期間Ｔｔｌｕ、現在までの湿度センサの実際の加熱時間の積算値ｔｓｕｍを下記の寿命予測の算出式（Ｂ）に代入して、湿度センサの残りの寿命Ｔｒｅｓｔを予測する。
Ｔｒｅｓｔ＝（ｔｓ・Ｔｔｌｕ／Ｔｓ−ｔｓｕｍ）Ｔｎ／ｔｎ ・・・・（Ｂ）
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、現在の加熱周期をＴｎ、現在の加熱時間をｔｎとし、この現在の加熱周期Ｔｎおよび現在の加熱時間ｔｎを含む所要の情報を予め定められている寿命予測の算出式に代入して、湿度センサの残りの寿命Ｔｒｅｓｔを予測するようにしたので、加熱条件（加熱周期や加熱時間）が運用途中で変更更新される場合でも、湿度センサの残りの寿命を適確に予測することができるようになる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、本発明を図面に基づいて詳細に説明する。図１は本発明に係る湿度計測装置の一実施の形態の要部を示すブロック構成図である。
【００１７】
同図において、１は計測環境の雰囲気中に設置された容量変化式の第１の湿度センサ、２は第１の湿度センサ１と同じ計測環境の雰囲気中に設置された容量変化式の第２の湿度センサ、３は第１の湿度センサ１に付設された加熱クリーニング用の第１のヒータ、４は第２の湿度センサ２に付設された加熱クリーニング用の第２のヒータ、５は湿度センサ入力変換回路、６は温度センサ入力変換回路、７はヒータ駆動回路、８はマイクロコンピュータ、９は表示部、ＳＷ１は残り寿命確認スイッチ、ＳＷ２はキャリブレーション開始指示スイッチであり、第１の湿度センサ１と第２の湿度センサ２とは同特性とされている。
【００１８】
この実施の形態において、湿度センサ入力変換回路５，温度センサ入力変換回路６，ヒータ駆動回路７，マイクロコンピュータ８，表示部９などは湿度計測装置１００のケース内に収容されている。図２にこの湿度計測装置１００の外観図を示す。
【００１９】
図２において、湿度センサ１およびヒータ３は第１のセンサ部１００−１に収容されており、湿度センサ２およびヒータ４は第２のセンサ部１００−２に収容されている。図２（ａ）は第１のセンサ部１００−１および第２のセンサ部１００−２を湿度計測装置１００のケースにセットした状態を示し、図２（ｂ）は第１のセンサ部１００−１および第２のセンサ部１００−２を湿度計測装置１００のケースから引き離した状態を示している。通常は、図２（ｂ）に示すように、第１のセンサ部１００−１および第２のセンサ部１００−２をケースから引き離して計測環境に設置する。
【００２０】
この湿度計測装置１００において、湿度センサ入力変換回路５は、第１の湿度センサ１からの計測湿度に応じた容量変化信号を電圧信号に変換し、その電圧信号を第１の湿度センサ１からの湿度の実測値ＨＲ１としてマイクロコンピュータ８へ与える。また、湿度センサ入力変換回路５は、第２の湿度センサ２からの計測湿度に応じた容量変化信号を電圧信号に変換し、その電圧信号を第２の湿度センサ２からの湿度の実測値ＨＲ２としてマイクロコンピュータ８へ与える。
【００２１】
ヒータ駆動回路７は、マイクロコンピュータ８からの指示を受けて、第１のヒータ３および第２のヒータ４への通電を行う。第１のヒータ３および第２のヒータ４は温度センサも兼ねている。すなわち、第１のヒータ３および第２のヒータ４は加熱を行っていないときには温度センサとして機能させることができる。したがって、第１のヒータ３は、第１の湿度センサ１を加熱する加熱手段と、第１の湿度センサ１の温度を計測する計測手段とを兼ねている。同様に第２のヒータ４は、第２の湿度センサ２を加熱する加熱手段と、第２の湿度センサ２の温度を計測する計測手段とを兼ねている。第１のヒータ３からの湿度センサ１の温度を示す信号および第２のヒータ４からの湿度センサ２の温度を示す信号は温度センサ入力変換回路６へ送られる。なお、ヒータ３および４を温度センサ兼用のヒータとしなくてもよく、ヒータ専用とし、別に温度センサを設けるようにしてもよい。
【００２２】
温度センサ入力変換回路６は、第１のヒータ３からの計測温度に応じた信号を電圧信号に変換し、その電圧信号を第１の湿度センサ１の温度の実測値ＴＲ１としてマイクロコンピュータ８へ与える。また、温度センサ入力変換回路６は、第２のヒータ４からの計測温度に応じた信号を電圧信号に変換し、その電圧信号を第２の湿度センサ２の温度の実測値ＴＲ２としてマイクロコンピュータ８へ与える。
【００２３】
マイクロコンピュータ８は、ＣＰＵ８−１，ＲＯＭ８−２，ＲＡＭ８−３，不揮発性のメモリ８−４などを備えており、ＣＰＵ８−１はＲＡＭ８−３や不揮発性のメモリ８−４にアクセスしながら、ＲＯＭ８−２に格納されたプログラムに従って動作する。
【００２４】
〔湿度計測処理：第１例（基本例）〕
以下、図３に示すタイムチャートを用いて、ＣＰＵ８−１がＲＯＭ８−２に格納されたプログラムに従って行う湿度計測処理の第１例（基本例）を説明する。
【００２５】
ＣＰＵ８−１は、加熱周期Ｔを８時間、加熱時間ｔを１時間とし、互いの加熱周期Ｔを半周期ずらし、第１の湿度センサ１および第２の湿度センサ２の加熱クリーニングを行いながら、次のようにして湿度の連続計測を行う。
【００２６】
ＣＰＵ８−１は、先ず、第１の湿度センサ１を加熱クリーニングする（図３（ａ）：ｔ０〜ｔ１点）。そして、この第１の湿度センサ１の加熱クリーニングの終了後、今回加熱クリーニングされた第１の湿度センサ１を計測センサ、加熱クリーニングされなかった第２の湿度センサ２を非計測センサとし、第１の湿度センサ（計測センサ）１からの湿度の実測値ＨＲ１を湿度の計測値ＨＲとして使用する。
【００２７】
次に、ＣＰＵ８−１は、第２の湿度センサ２を加熱クリーニングする（図３（ｂ）：ｔ２〜ｔ３点）。そして、この第２の湿度センサ２の加熱クリーニングの終了後、今回加熱クリーニングされた第２の湿度センサ２を計測センサ、加熱クリーニングされなかった第１の湿度センサ１を非計測センサとし、使用する湿度の計測値ＨＲを第１の湿度センサ（非計測センサ）１からの湿度の実測値ＨＲ１から第２の湿度センサ（計測センサ）２からの湿度の実測値ＨＲ２に切り替える。
【００２８】
次に、ＣＰＵ８−１は、第１の湿度センサ１を加熱クリーニングする（図３（ａ）：ｔ４〜ｔ５点）。そして、この第１の湿度センサ１の加熱クリーニングの終了後、今回加熱クリーニングされた第１の湿度センサ１を計測センサ、加熱クリーニングされなかった第２の湿度センサ２を非計測センサとし、使用する湿度の計測値ＨＲを第２の湿度センサ（非計測センサ）２からの湿度の実測値ＨＲ２から第１の湿度センサ（計測センサ）１からの湿度の実測値ＨＲ１に切り替える。
【００２９】
以下同様にして、第１の湿度センサ１の加熱クリーニングの終了後、第２の湿度センサ２が加熱クリーニングされるまでの間は第１の湿度センサ１からの湿度の実測値ＨＲ１を計測値ＨＲとして使用し、第２の湿度センサ２の加熱クリーニングの終了後、第１の湿度センサ１が加熱クリーニングされるまでの間は第２の湿度センサ２からの湿度の実測値ＨＲ２を計測値ＨＲとして使用するという動作を繰り返す。
【００３０】
このようにして、この湿度計測処理の第１例では、加熱クリーニング中の湿度センサ１，２からの湿度の実測値ＨＲ１，ＨＲ２の使用を避けながら、湿度センサ１からの湿度の実測値ＨＲ１と湿度センサ２からの湿度の実測値ＨＲ２とを交互に使用するようにして、信頼性の高い湿度の連続計測が行われる。
【００３１】
湿度センサ１，２は、加熱クリーニングの終了後、時間の経過に伴って劣化して行く。そして、次の加熱クリーニングが行われると、その劣化した性能の回復が図られ、また時間の経過に伴って劣化して行く。この湿度計測処理の第１例において、湿度の実測値が計測値として使用される時間（計測時間）は、第１の湿度センサ１および第２の湿度センサ２のどちらも加熱クリーニングの終了後（正確には、後述する「安定時間」＋「移行時間」を経た後の時間）からの時間とされる。
【００３２】
この場合、第１の湿度センサ１および第２の湿度センサ２の加熱周期Ｔおよび加熱時間ｔは同一であり、互いの加熱周期Ｔが半周期ずらされているので、第１の湿度センサ１の計測時間ＴＭ１および第２の湿度センサ２の計測時間ＴＭ２はほぼ等しくなる。これにより、第１の湿度センサ１および第２の湿度センサ２の何れの場合にも劣化度の小さい区間が計測時間とされ、加熱周期Ｔを短くすることなく、計測精度を高めることができる。
【００３３】
〔安定時間〕
この湿度計測処理の第１例では、湿度センサ１，２を加熱する毎に、今回加熱された側の湿度センサを計測センサ、加熱されなかった側の湿度センサを非計測センサとし、使用する湿度の計測値を非計測センサからの湿度の実測値から計測センサからの湿度の実測値に切り替える。
【００３４】
この場合、計測センサの加熱終了後、計測センサの温度と非計測センサの温度との差が所定値以下となった時点で、非計測センサからの湿度の実測値から計測センサからの湿度の実測値への切り替えを開始するようにする。
【００３５】
このようにすることによって、計測センサの加熱クリーニングの終了後、その加熱の影響がなくなった時点で（安定時間の経過後）、非計測センサからの湿度の実測値から計測センサからの湿度の実測値への切り替えが行われるものとなる。
【００３６】
なお、計測センサの温度と非計測センサの温度との差が所定値以下となった時点ではなく、計測センサの加熱終了後、所定時間が経過した時点で、非計測センサからの湿度の実測値から計測センサからの湿度の実測値への切り替えを開始するようにしてもよい。このようにすると、湿度センサ１，２の温度を計測する必要がなくなる。これにより、ヒータ３，４として、温度センサ兼用のヒータを使用しなくてもよくなる。また、専用の温度センサを不要とすることが可能となる。
【００３７】
〔移行期間〕
また、この湿度計測処理の第１例では、非計測センサからの湿度の実測値から計測センサからの湿度の実測値への切り替えを行う際、非計測センサからの湿度の実測値と計測センサからの湿度の実測値との差を時間をかけて徐々に縮めて行くスムージング処理を行うようにする。
【００３８】
非計測センサからの湿度の実測値から計測センサからの湿度の実測値への切り替えを行う場合、それまで計測値として使用していた非計測センサからの湿度の実測値と加熱クリーニングの終了後の計測センサからの湿度の実測値との差が発生している場合があるので、直ちに切り替えると計測値の連続性が損なわれる。
【００３９】
そこで、非計測センサからの湿度の実測値と計測センサからの湿度の実測値との差を時間をかけて徐々に縮めて行くスムージング処理を行うようにすれば、すなわち移行期間を設けて非計測センサからの湿度の実測値と計測センサからの湿度の実測値との差を徐々に縮めて行けば、これらの問題の発生を防止することができるようになる。
【００４０】
〔加熱条件の変更〕
また、この湿度計測処理の第１例では、湿度センサ１，２の劣化の度合いを判断し、その劣化の度合いに応じて湿度センサ１，２の次回の加熱条件を変更するようにする。
【００４１】
〔加熱条件の変更例１〕
例えば、運用開始時、最初の加熱クリーニング時にその加熱クリーニング中の湿度センサ１からの湿度の実測値（ヒータによって１５０〜１８０℃の高温で加熱すると、周囲環境の雰囲気の影響が小さくなりほぼ湿度０％になるが、その時の 湿度センサの出力値）ＨＲ１を初期値ＨＲ１0 として記憶しておく。以降、加熱クリーニングした後に、その加熱クリーニング中の湿度センサ１からの湿度の実測値（ほぼ湿度０％時の値）ＨＲ１と初期値ＨＲ１0 との差から、湿度センサ１の劣化の度合いを判断する。
【００４２】
この湿度センサ１の劣化の度合いに応じ、劣化の度合いが大きければ、湿度センサ１に対する加熱周期を短くしたり、加熱時間を長くしたり、加熱温度を高くしたりする。同様にして、湿度センサ２の劣化の度合いに応じ、劣化の度合いが大きければ、湿度センサ２に対する加熱周期を短くしたり、加熱時間を長くしたり、加熱温度を高くしたりする。
【００４３】
〔加熱条件の変更例２〕
例えば、湿度センサ１，２を加熱する毎に、今回加熱された側の湿度センサからの加熱終了後の湿度の実測値（安定時間経過後の実測値）と加熱されなかった側の湿度センサからの同タイミングでの湿度の実測値との差に応じて、加熱されなかった側の湿度センサの次回の加熱条件を変更する。
【００４４】
この場合、湿度センサ１からの加熱クリーニングの終了後の湿度の実測値（安定時間経過後の実測値）ＨＲ１と湿度センサ２からの同タイミングでの湿度の実測値ＨＲ２との差は、加熱クリーニングによって湿度センサ１の劣化した性能の回復が図られているので、湿度センサ２の劣化の度合いを表す。この湿度センサ２の劣化の度合いが大きければ、湿度センサ２の次回の加熱までの待ち時間を短くしたり、次回の加熱時間を長くしたり、次回の加熱温度を高くしたりする。この湿度センサ２の加熱クリーニング条件の変更を湿度センサ１が加熱クリーニングされた後に行う。
【００４５】
また、湿度センサ２からの加熱クリーニングの終了後の湿度の実測値（安定時間経過後の実測値）ＨＲ２と湿度センサ１からの同タイミングでの湿度の実測値ＨＲ１との差は、加熱クリーニングによって湿度センサ２の劣化した性能の回復が図られているので、湿度センサ１の劣化の度合いを表す。この湿度センサ１の劣化の度合いが大きければ、湿度センサ１の次回の加熱までの待ち時間を短くしたり、次回の加熱時間を長くしたり、次回の加熱温度を高くしたりする。この湿度センサ１の加熱クリーニング条件の変更を湿度センサ２が加熱クリーニングされた後に行う。
【００４６】
加熱クリーニングの条件を変更する場合、上述のようにして、次回の加熱周期、次回の加熱までの待ち時間、次回の加熱時間、次回の加熱温度などを変更するが、これらは個別に変更するようにしてもよいし、組み合わせて変更するようにしてもよい。
【００４７】
例えば、計測環境雰囲気に有機溶剤が含まれていて、これが湿度センサの劣化の原因であることが分かっていた場合、有機溶剤は比較的短時間の加熱で除去可能なので、加熱間隔を短くして、加熱回数を多くした方が劣化の原因を効果的に除去できて、劣化に対する回復力を高めることができる。この場合、次回の加熱までの待ち時間を短くすれば、結果的に加熱間隔が短くなり、加熱回数が多くなり、劣化に対する回復力が高まる。
【００４８】
また、計測環境雰囲気に付着性の高い物質が含まれていて、感湿素子の表面に付着物が付き易く、これが湿度センサの劣化の原因であることが分かっていた場合、１回の加熱時間を長くした方が劣化の原因を効果的に除去でき、劣化に対する回復力を高めることができる。この場合、次回の加熱時間を長くすることにより、劣化に対する回復力が高まる。
【００４９】
また、この湿度計測処理の第１例では、湿度センサ１，２が加熱される毎に、加熱された側の湿度センサからの加熱終了後の湿度の実測値（安定時間経過後の実測値）と加熱されなかった側の湿度センサからの同タイミングでの湿度の実測値との差に応じ、その差が予め定められている所定値を超えていた場合に警報を発するようにする。
【００５０】
すなわち、湿度センサ１からの加熱クリーニングの終了後の湿度の実測値（安定時間経過後の実測値）ＨＲ１と湿度センサ２からの同タイミングでの湿度の実測値ＨＲ２との差は湿度センサ２の劣化の度合いを表し、湿度センサ２からの加熱クリーニングの終了後の湿度の実測値ＨＲ２と湿度センサ１からの同タイミングでの湿度の実測値ＨＲ１との差は湿度センサの劣化の度合いを表す。この劣化の度合いを監視し、劣化の度合いが所定値を超えた場合に、警報を発するようにする。
【００５１】
また、この湿度計測処理の第１例では、加熱クリーニングの条件の変更が限界に達した場合に警報を発するようにする。例えば、加熱時間に対して上限値を定めておき、次回の加熱時間を上限値以上とする必要が生じた場合に、警報を発するようにする。また、加熱周期に対して下限値を定めておき、次回の加熱周期が下限値以下とする必要が生じた場合に、警報を発するようにする。
【００５２】
なお、この湿度計測処理の第１例では、第１の湿度センサ１および第２の湿度センサ２の加熱周期Ｔを同一とし、その加熱周期Ｔを半周期ずらすようにしたが、必ずしも加熱周期Ｔのずれ量は半周期でなくてもよい。この場合、第１の湿度センサ１の計測時間ＴＭ１と第２の湿度センサ２の計測時間ＴＭ２が等しくならず、非計測センサからの湿度の実測値から計測センサからの湿度の実測値への切り替えが行われる時の湿度センサ１および湿度センサ２の劣化の度合いも異なってくるが、多少のずれは許容範囲として許されるものである。
【００５３】
また、計測精度は低下するが、図４に示すように、第１の湿度センサ１の加熱クリーニング中のみ、第２の湿度センサ２からの湿度の実測値ＨＲ２を計測値ＨＲとして使用するようにしてもよい。この場合、第１の湿度センサ１の計測時間ＴＭ１における劣化度は大きくなるが、第２の湿度センサ２の計測時間ＴＭ２における劣化度は小さく、第２の湿度センサ２からの湿度の実測値ＨＲ２を計測値ＨＲとして使用した場合の計測精度は高くなる。
【００５４】
〔湿度計測処理：第２例（実例）〕
次に、図５に示すタイムチャートを用いて、ＣＰＵ８−１がＲＯＭ８−２に格納されたプログラムに従って行う湿度計測処理の第２例（実例）を説明する。図５（ａ）は第１のヒータ３への通電状況を示し、図５（ｂ）は第２のヒータ４への通電状況を示し、図５（ｃ）は第１の湿度センサ１の温度の実測値ＴＲ１（実線）および第２の湿度センサ２の温度の実測値ＴＲ２（点線）を示し、図５（ｄ）は第１の湿度センサ１からの湿度の実測値ＨＲ１（実線）、第２の湿度センサ２からの湿度の実測値ＨＲ２（点線）および使用する湿度の計測値ＨＲ（太線）を示す。
【００５５】
〔加熱クリーニング〕
ＣＰＵ８−１は、ヒータ駆動回路７へ指令を送り、第１のヒータ３への通電を行って、第１の湿度センサ１を加熱する（図５（ａ）：ｔ１〜ｔ２点）。これにより、加熱時間をｔとして、第１の湿度センサ１の加熱クリーニングが行われる。この加熱クリーニング中、第１の湿度センサ１の温度の実測値ＴＲ１は上昇し、第１の湿度センサ１からの湿度の実測値ＨＲ１は低下する。この場合、ＣＰＵ８−１は、使用する湿度の計測値ＨＲとして第２の湿度センサ２からの湿度の実測値ＨＲ２を選択している。
【００５６】
〔実測値の切替処理〕
ＣＰＵ８−１は、第１の湿度センサ１の加熱クリーニングが終了すると、今回加熱された側の湿度センサ１を計測センサ、加熱されなかった側の湿度センサ２を非計測センサとし、使用する湿度の計測値ＨＲを非計測センサ２からの湿度の実測値ＨＲ２から計測センサ１からの湿度の実測値ＨＲ１に切り替える実測値の切替処理を開始する。
【００５７】
〔温度差の監視〕
この場合、ＣＰＵ８−１は、第１の湿度センサ１の温度の実測値ＴＲ１と第２の湿度センサ２の温度の実測値ＴＲ２との差ΔＴを監視し、この差ΔＴが所定値ΔＴｔｈ（例えば、ΔＴｔｈ＝０．３）以下となるまで待つ（図５（ｃ）：ｔ２〜ｔ３点（安定時間））。
【００５８】
ＣＰＵ８−１は、ΔＴ≦ΔＴｔｈとなると、第１の湿度センサ１の加熱による影響がなくなったと判断し、使用する湿度の計測値ＨＲを非計測センサ２からの湿度の実測値ＨＲ２から計測センサ１からの湿度の実測値ＨＲ１に切り替える。
【００５９】
ここで、計測センサ１は加熱クリーニングが終了した後であり、非計測センサ２は前回の加熱クリーニングの終了後からかなりの時間が経過している。すなわち、計測センサ１は劣化した性能の回復処理が行われた直後の状態にあり、非計測センサ２は性能の劣化が進行中の状態にある。
【００６０】
この場合、それまで計測値として使用していた非計測センサ２からの湿度の実測値ＨＲ２と今回計測値ＨＲとして使用しようとする計測センサ１からの湿度の実測値ＨＲ１との差ΔＨ（ΔＨ＝｜ＨＲ２−ＨＲ１｜）は大きくなっているので、直ちに切り替えると計測値ＨＲの連続性が損なわれる。
【００６１】
〔スムージング処理〕
そこで、ＣＰＵ８−１は、非計測センサ２からの湿度の実測値ＨＲ２から計測センサ１からの湿度の実測値ＨＲ１に切り替える際、非計測センサ２からの湿度の実測値ＨＲ２と計測センサ１からの湿度の実測値ＨＲ１との差を時間をかけて徐々に縮めて行くスムージング処理を行う（図５（ｄ）：ｔ３〜ｔ４点（移行期間））。
【００６２】
この例において、ＣＰＵ８−１は、次のようにしてスムージング処理を行う。ｔ３点（移行期間の開始点）における非計測センサ２からの湿度の実測値ＨＲ２をＨＲ２ｉとするとともに、同時点の計測センサ１からの湿度の実測値ＨＲ１をＨＲ１ｉとする。また、ｔ３点以降、所定周期で計測センサ１からの湿度の実測値ＨＲ１をサンプリングし、ｎ周期目のサンプリング値をＨＲ１n とする。そして、スムージング係数（移動平均加重値）をｋ（ｋ＜１）とし、下記の演算式(１)および（２）を使用して、スムージング中のｎ周期目の湿度の計測値ＨＲnを算出する。
ＨＲn＝（１−ｋ）・ＨＲn-1＋ｋ・ＨＲ１n-1・・・・（１）
ただし、ｎ＝０のとき、ＨＲ0 ＝ＨＲ２ｉ・・・・（２）
【００６３】
そして、ＨＲnとＨＲ１nとの差ΔＨＲ（ΔＨＲ＝｜ＨＲn−ＨＲ１n｜）が所定値ΔＨＲｔｈ以下となったとき、スムージング処理を終了させ、非計測センサ２からの湿度の実測値ＨＲ２から計測センサ１からの湿度の実測値ＨＲ１への切り替えを完了する。なお、この時の所定値ΔＨＲｔｈをスムージング終了判断値と呼び、例えばΔＨＲｔｈ＝０．５を使用する。また、スムージング係数ｋとしては、例えばｋ＝（１／２）８＝０．００３９０６を使用する。
【００６４】
〔加熱クリーニング〕
そして、ＣＰＵ８−１は、所定の待ち時間ＴＷの経過を待って（図５（ｄ）：ｔ４〜ｔ５点、図６：ステップＳ１０１のＹＥＳ）、ヒータ駆動回路７へ指令を送り、第２のヒータ４への通電を行って、第２の湿度センサ（非計測センサ）２を加熱する（図５（ｂ）：ｔ５〜ｔ６点、図６：ステップＳ１０２，Ｓ１０３）。
【００６５】
これにより、加熱時間をｔとして、湿度センサ２の加熱クリーニングが行われる。この加熱クリーニング中、湿度センサ２の温度の実測値ＴＲ２は上昇し、湿度センサ２からの湿度の実測値ＨＲ２は低下する。この場合、ＣＰＵ８−１は、使用する湿度の計測値ＨＲとして第１の湿度センサ（計測センサ）１からの湿度の実測値ＨＲ１を選択している。
【００６６】
〔実測値の切替処理〕
ＣＰＵ８−１は、湿度センサ２の加熱クリーニングが終了すると（図６：ステップＳ１０３のＹＥＳ）、今回加熱された側の湿度センサ２を計測センサ、加熱されなかった側の湿度センサ１を非計測センサとし、使用する湿度の計測値ＨＲを非計測センサ１からの湿度の実測値ＨＲ１から計測センサ２からの湿度の実測値ＨＲ２に切り替える実測値の切替処理を開始する。
【００６７】
〔温度差の監視〕
この場合、ＣＰＵ８−１は、湿度センサ２の温度の実測値ＴＲ２と湿度センサ１の温度の実測値ＴＲ１との差ΔＴ（ΔＴ＝｜ΔＴＲ２−ΔＴＲ１｜）を監視し、この差ΔＴが所定値ΔＴｔｈ（例えば、ΔＴｔｈ＝０．３）以下となるまで待つ（図５（ｃ）：ｔ６〜ｔ７点（安定時間）、図６：ステップＳ１０４，Ｓ１０５）。
【００６８】
〔スムージング処理〕
ＣＰＵ８−１は、ΔＴ≦ΔＴｔｈとなると（図６：ステップ１０５のＹＥＳ）、湿度センサ２の加熱による影響がなくなったと判断し、前述と同様にして、非計測センサ１からの湿度の実測値ＨＲ１と計測センサ２からの湿度の実測値ＨＲ２との差を時間をかけて徐々に縮めて行くスムージング処理を行う（図５（ｄ）：ｔ７〜ｔ８点（移行期間）、図６：ステップＳ１０６）。
【００６９】
この例において、ＣＰＵ８−１は、次のようにしてスムージング処理を行う。ｔ７点（移行期間の開始点）における非計測センサ１からの湿度の実測値ＨＲ１をＨＲ１ｉとするとともに、同時点の計測センサ２からの湿度の実測値ＨＲ２をＨＲ２ｉとする。また、ｔ７点以降、所定周期で計測センサ２からの湿度の実測値ＨＲ２をサンプリングし、ｎ周期目のサンプリング値をＨＲ２n とする。そして、スムージング係数（移動平均加重値）をｋ（ｋ＜１）とし、下記の演算式(３)および（４）を使用して、スムージング中のｎ周期目の湿度の計測値ＨＲn を算出する。
ＨＲn＝（１−ｋ）・ＨＲn-1＋ｋ・ＨＲ２n-1 ・・・・（３）
ただし、ｎ＝０のとき、ＨＲ0＝ＨＲ１ｉ・・・・（４）
【００７０】
そして、ＨＲnとＨＲ２nとの差ΔＨＲが所定値ΔＨＲｔｈ以下となったとき、スムージング処理を終了させ、非計測センサ１からの湿度の実測値ＨＲ１から計測センサ２からの湿度の実測値ＨＲ２への切り替えを完了する（図６：ステップＳ１０７）。そして、所定の待ち時間ＴＷの経過を待って（図５（ｄ）：ｔ８〜ｔ９点、図６：ステップＳ１０１のＹＥＳ）、ステップＳ１０２以下の処理動作を繰り返す。
【００７１】
〔加熱クリーニングの条件の変更〕
ＣＰＵ８−１は、上述した湿度計測処理において、加熱クリーニングの終了後、移行期間（スムージング処理）の開始点（図５：ｔ３点、ｔ７点（安定時間の経過後の点））において、それまで計測値として使用していた非計測センサからの湿度の実測値と今回計測値として使用しようとする計測センサからの湿度の実測値との差ΔＨに基づいて、非計測センサの次回の加熱クリーニングの条件の変更を行う。
【００７２】
例えば、移行期間の開始点ｔ３で説明すると、それまで計測値として使用していた非計測センサ２からの湿度の実測値ＨＲ２と今回計測値として使用しようとする計測センサ１からの湿度の実測値ＨＲ１との差ΔＨ（ΔＨ＝｜ＨＲ２−ＨＲ１｜）に基づいて、「シフト量」と「待ち時間」および「加熱時間」との関係を示すテーブルＴＢ１（図７参照）に従って、非計測センサ２の次回の加熱クリーニングを行うまでの待ち時間ＴＷおよび次回の加熱時間ｔを変更する。この加熱クリーニング条件の変更において、ΔＨが１５＜ΔＨとなれば、警報を発する。
【００７３】
なお、図７に示したテーブルＴＢ１だけに従うと、「ステップＮＯ．」がばたついたり、シフト量を一定の大きさ以下に維持できないことがある。このような問題を是正するために、図８に示す「シフトレベル」と「シフト量」との関係を示すテーブルＴＢ２と、図９に示す「ステップＮＯ．」と「待ち時間」および「加熱時間」との関係を示すテーブルＴＢ３とを組み合わせて使用することも考えられる。
【００７４】
この場合、先ず、テーブルＴＢ２からΔＨの値に応じたシフトレベルを求める。このシフトレベルに基づいてテーブルＴＢ３における「ステップＮＯ．」を定める。例えば、現在、テーブルＴＢ３における「ステップＮＯ．」が「１」であり、テーブルＴＢ２におけるシフトレベルが「１」となった場合、テーブルＴＢ３における「ステップＮＯ．」を「２」とする。これにより、待ち時間ＴＷが「２４０〔ｈｒ〕」から「１２０〔ｈｒ〕」に変更される。この変更によって、ΔＨがシフトレベル「０」に収まるようになればよいが、収まらない場合には、テーブルＴＢ３における「ステップＮＯ．」をさらにアップする。以下、同様にして、テーブルＴＢ２におけるシフトレベルが「０」に収まるように、テーブルＴＢ３における「ステップＮＯ．」を変更して行く。なお、テーブルＴＢ３における「ステップＮＯ．」が「１１」となれば、警報を発する。
【００７５】
〔湿度センサの残り寿命の予測〕
湿度計測装置１００において、残り寿命確認スイッチＳＷ１がオンとされると、ＣＰＵ８−１は湿度センサ１，２の残り寿命を予測する。この場合、ＣＰＵ８−１は、現在の加熱周期をＴｎ、現在の加熱時間をｔｎとし、この現在の加熱周期Ｔｎおよび現在の加熱時間ｔｎを含む所要の情報を予め定められている寿命予測の算出式に代入して、湿度センサ１，２の残りの寿命Ｔｒｅｓｔを予測する。すなわち、現在の加熱周期Ｔｎ、現在の加熱時間ｔｎを含む所要の情報から、このままのペースで行くとあとどのくらいで寿命が尽きるかを予測する。
【００７６】
〔方式１〕
第１の方式として、ＣＰＵ８−１は、現在の加熱周期Ｔｎ、現在の加熱時間ｔｎ、標準加熱周期Ｔｓおよび標準加熱時間ｔｓを継続した場合の湿度センサ１，２の耐用期間の終了までに受ける加熱時間の総和ｔｓｓｕｍ、現在までの湿度センサ１，２の実際の加熱時間の積算値ｔｓｕｍを下記の寿命予測の算出式（Ａ）に代入して、湿度センサ１，２の残りの寿命Ｔｒｅｓｔを予測する。そして、この予測した湿度センサ１，２の残りの寿命Ｔｒｅｓｔを表示部９に表示する。
Ｔｒｅｓｔ＝（ｔｓｓｕｍ−ｔｓｕｍ）Ｔｎ／ｔｎ ・・・・（Ａ）
【００７７】
なお、標準加熱周期Ｔｓおよび標準加熱時間ｔｓは加熱周期Ｔおよび加熱時間ｔに対する標準値として定められるものであって、この標準加熱周期Ｔｓおよび標準加熱時間ｔｓを継続した場合の湿度センサ１，２の耐用期間をＴｔｌｕとすると、この耐用期間Ｔｔｌｕの終了までに受ける湿度センサ１，２の加熱時間の総和（耐用総加熱時間）はｔｓｓｕｍとして定められる。
【００７８】
図１０に使用時間と積算加熱時間との関係を示す。使用期間中、標準加熱周期Ｔｓおよび標準加熱時間ｔｓを継続した場合、使用時間と積算加熱時間との関係は図１０に示すような直線状の特性Ｉとなる。この特性Ｉ（Ｔｓ，ｔｓの寿命直線）から耐用期間Ｔｔｌｕの終了後の耐用総加熱時間ｔｓｓｕｍが定まる。
【００７９】
この第１の方式では、残り寿命を予測するための基礎データとして、標準加熱周期Ｔｓおよび標準加熱時間ｔｓを継続した場合の耐用期間Ｔｔｌｕの終了後の耐用総加熱時間ｔｓｓｕｍを不揮発性のメモリ８−４に記憶させておく。そして、残り寿命確認スイッチＳＷ１がオンとされた時点で（図１０に示す実使用時間Ｔｕが経過した時点）、メモリ８−４に記憶されている耐用総加熱時間ｔｓｓｕｍを読み出し、この読み出した耐用総加熱時間ｔｓｓｕｍと現在の加熱周期Ｔｎ、現在の加熱時間ｔｎ、現在までの実際の加熱時間の積算値ｔｓｕｍを上記（Ａ）式に代入し、残りの寿命Ｔｒｅｓｔを求める。
【００８０】
なお、上記（Ａ）式は、図１０に特性II（Ｔｎ，ｔｎの寿命予測直線）として示すように、Ｔｒｅｓｔの期間中、現在の加熱周期Ｔｎ、現在の加熱時間ｔｎを継続するものとして、ｔｓｓｕｍ−ｔｓｕｍ＝（Ｔｒｅｓｔ／Ｔｎ）・ｔｎという式を立て、この式を変形して求めたものである。
【００８１】
この第１の方式では、実使用時間Ｔｕ、耐用期間Ｔｔｌｕ、標準加熱周期Ｔｓ、標準加熱時間ｔｓが不明であっても、現在の加熱周期Ｔｎ、現在の加熱時間ｔｎ、耐用総加熱時間ｔｓｓｕｍ、現在までの実際の加熱時間の積算値ｔｓｕｍから残りの寿命Ｔｒｅｓｔを求めることができる。
【００８２】
〔方式２〕
上記（Ａ）式において、耐用総加熱時間ｔｓｓｕｍは、ｔｓｓｕｍ＝（Ｔｔｌｕ／Ｔｓ）・ｔｓ＝ｔｓ・Ｔｔｌｕ／Ｔｓと表すことができる。すなわち、上記（Ａ）式は、ｔｓｓｕｍをｔｓ・Ｔｔｌｕ／Ｔｓに置き換えることによって、下記（Ｂ）式のように変形することができる。
Ｔｒｅｓｔ＝（ｔｓ・Ｔｔｌｕ／Ｔｓ−ｔｓｕｍ）Ｔｎ／ｔｎ ・・・・（Ｂ）
【００８３】
第２の方式では、この（Ｂ）式を用いるようにし、残り寿命を予測するための基礎データとして、標準加熱周期Ｔｓ、標準加熱時間ｔｓ、標準加熱周期Ｔｓおよび標準加熱時間ｔｓを継続した場合の耐用期間Ｔｔｌｕを不揮発性のメモリ８−４に記憶させておく。そして、残り寿命確認スイッチＳＷ１がオンとされた時点で（図１０に示す実使用時間Ｔｕが経過した時点）、メモリ８−４に記憶されている標準加熱周期Ｔｓ、標準加熱時間ｔｓ、耐用期間Ｔｔｌｕを読み出し、この読み出した標準加熱周期Ｔｓ、標準加熱時間ｔｓ、耐用期間Ｔｔｌｕと現在の加熱周期Ｔｎ、現在の加熱時間ｔｎ、現在までの実際の加熱時間の積算値ｔｓｕｍを上記（Ｂ）式に代入し、残りの寿命Ｔｒｅｓｔを求める。
【００８４】
この第２の方式では、耐用総加熱時間ｔｓｓｕｍ、実使用時間Ｔｕが不明であっても、現在の加熱周期Ｔｎ、現在の加熱時間ｔｎ、標準加熱周期Ｔｓ、標準加熱時間ｔｓ、耐用期間Ｔｔｌｕ、現在までの実際の加熱時間の積算値ｔｓｕｍから残りの寿命Ｔｒｅｓｔを求めることができる。
【００８５】
〔キャリブレーション〕
湿度計測装置１００において、キャリブレーション開始指示スイッチＳＷ２がオンとされると、すなわちキャリブレーション開始指令を受けると、ＣＰＵ８−１は湿度センサ１，２のキャリブレーションを開始する。なお、このキャリブレーション開始指令は、上位装置からオンラインで与えられものとしてもよい。
【００８６】
〔湿度センサ１のキャリブレーション〕
ＣＰＵ８−１は、キャリブレーション開始指令を受けると、ヒータ（加熱素子）３への通電を行って、湿度センサ１を加熱する。この湿度センサ１の加熱中、湿度センサ１の温度の実測値ＴＲ１に基づいて、湿度センサ１の温度が飽和状態に達したことを確認し、この時の湿度センサ１からの湿度の実測値ＨＲ１を低湿度基準値として不揮発性のメモリ８−４に記憶させる。この低湿度基準値に対応する湿度としては、ほぼ湿度０％であることが望ましく、必ずしも湿度０％でなくても良いが、それに近い低湿度であることが重要である。以降、ＣＰＵ８−１は、不揮発性のメモリ８−４に記憶されている低湿度基準値を参照して、湿度センサ１からの湿度の実測値ＨＲ１に対してオフセット調整処理を施す。
【００８７】
〔湿度センサ２のキャリブレーション〕
ＣＰＵ８−１は、キャリブレーション開始指令を受けると、ヒータ（加熱素子）４への通電を行って、湿度センサ２を加熱する。この湿度センサ２の加熱中、湿度センサ２の温度の実測値ＴＲ２に基づいて、湿度センサ２の温度が飽和状態に達したことを確認し、この時の湿度センサ２からの湿度の実測値ＨＲ２を低湿度基準値として不揮発性のメモリ８−４に記憶させる。この低湿度基準値に対応する湿度としては、ほぼ湿度０％であることが望ましく、必ずしも湿度０％でなくても良いが、それに近い低湿度であることが重要である。以降、ＣＰＵ８−１は、不揮発性のメモリ８−４に格納されている低湿度基準値を参照して、湿度センサ２からの湿度の実測値ＨＲ２に対してオフセット調整処理を施す。
【００８８】
このキャリブレーションは、例えばユーザ側で湿度センサ１，２が故障し、新しい湿度センサ１，２との交換を行う際に行うとよい。この場合、基準となる環境を実現できる設備と基準となる湿度センサをユーザが所有している必要がなく、またトリミングされた感湿素子を用いた湿度センサを使用する必要もなく、ユーザ側での湿度センサ１，２の交換を簡単かつ安価に行うことが可能となる。
【００８９】
なお、このキャリブレーションにおいて、湿度センサ１，２の温度が飽和状態に達したことは、湿度センサ１，２の温度の実測値ＴＲ１，ＴＲ２の変化ΔＴＲ１，ΔＴＲ２から判断する。例えば、ΔＴＲ１，ΔＴＲ２を所定周期で求め、ΔＴＲ１，ΔＴＲ２が所定値以下に達した場合を湿度センサ１，２の温度が飽和状態に達したと判断する。
【００９０】
また、ヒータ３，４の制御によって温度がふらつくので、湿度センサ１，２の温度が飽和状態に達した後、例えば１分間待って、その１分間の内の一番低い湿度の実測値ＨＲ１，ＨＲ２を各湿度センサの低温度基準値として記憶するようにしてもよい。
【００９１】
また、湿度センサ１，２の温度の実測値ＴＲ１，ＴＲ２の変化ΔＴＲ１，ΔＴＲ２によらなくてもよく、湿度センサ１，２の加熱を始めてから所定時間経過した時点を湿度センサ１，２の温度が飽和状態にあるものとみなし、その時の湿度センサ１，２からの湿度の実測値ＨＲ１，ＨＲ２を各湿度センサの低湿度基準値として記憶するようにしてもよい。
【００９２】
また、湿度センサ１，２に冷却素子を付設し、キャリブレーション開始指令を受けた場合、この冷却素子への通電を行って湿度センサ１，２を冷却し、この湿度センサ１，２の冷却中、湿度センサ１，２の温度が飽和状態に達したことを確認し、この時の湿度センサ１，２からの湿度の実測値ＨＲ１，ＨＲ２を各湿度センサの高湿度基準値として不揮発性のメモリ８−４に記憶させる。これらの高湿度基準値に対応する湿度としては、ほぼ湿度１００％であることが望ましく、必ずしも湿度１００％でなくても良いが、それに近い高湿度であることが重要である。以降、不揮発性のメモリ８−４に記憶されている各湿度センサの高湿度基準値を参照して、湿度センサ１，２からの湿度の実測値ＨＲ１，ＨＲ２に対してオフセット調整処理を施すようにしてもよい。
【００９３】
また、ヒータ３，４を熱電冷却素子（ペルチェ素子）とし、キャリブレーション開始指令を受けた場合、この熱電冷却素子３，４へ順方向への通電を行って湿度センサ１，２を加熱し、この湿度センサ１，２の加熱中、湿度センサ１，２の温度が飽和状態に達したことを確認し、この時の湿度センサ１，２からの湿度の実測値ＨＲ１，ＨＲ２を各湿度センサの低湿度基準値として不揮発性のメモリ８−４に記憶させるようにし、次に、熱電冷却素子３，４へ逆方向への通電を行って湿度センサ１，２を冷却し、この湿度センサ１，２の冷却中、湿度センサ１，２の温度が飽和状態に達したことを確認し、この時の湿度センサ１，２からの湿度の実測値ＨＲ１，ＨＲ２を各湿度センサの高湿度基準値として不揮発性のメモリ８−４に記憶させるようにし、以降、不揮発性のメモリ８−４に記憶される各湿度センサの低湿度基準値および各湿度センサの高湿度基準値を参照して、湿度センサ１，２からの湿度の実測値ＨＲ１，ＨＲ２に対してスパン調整処理を施すようにしてもよい。なお、この例では、湿度センサ１，２の加熱を先に行うものとしたが、湿度センサ１，２の冷却を先に行うようにしてもよい。また、前述のように、低湿度基準値に対応する湿度としては、ほぼ湿度０％であることが望ましく、一方、高湿度基準値に対応する湿度としては、ほぼ湿度１００％であることが望ましい。
【００９４】
〔温度のスムージング処理〕
上述においては、使用する湿度の計測値を非計測センサからの湿度の実測値から計測センサからの湿度の実測値に切り替える際、非計測センサからの湿度の実測値と計測センサからの湿度の実測値との差を時間をかけて徐々に縮めて行くスムージング処理を行うものとしたが、このスムージング処理は温度についても適用することができる。
【００９５】
図１１に、湿度計測装置１００の要部の機能ブロックの一例を示す。湿度計測装置１００は、ヒータ駆動手段１０１と、実測値切替手段１０２と、加熱条件変更手段１０３と、第１の警報手段１０４と、第２の警報手段１０５と、残寿命予測手段１０６と、オフセット調整処理手段１０７とを備えている。
【００９６】
ヒータ駆動手段１０１は、第１のヒータ３および第２のヒータ４への通電を行って、第１の湿度センサ１および第２の湿度センサ２を加熱期間が重なることなく交互にかつ定期的に加熱する。この例では、加熱周期をＴ、加熱時間をｔとし、互いの加熱周期Ｔを半周期ずらして、湿度センサ１および第２の湿度センサ２を加熱する。
【００９７】
実測値切替手段１０２は、第１の湿度センサ１および第２の湿度センサ２が加熱される毎に、今回加熱された側の湿度センサを計測センサ、加熱されなかった側の湿度センサを非計測センサとし、使用する湿度の計測値を非計測センサからの湿度の実測値から計測センサからの湿度の実測値へ切り替える実測値の切替処理を開始する。この場合、計測センサの温度の実測値と非計測センサの温度の実測値との差ΔＴを監視し、ΔＴがΔＴｔｈ以下となった時点で、スムージング処理を開始する。そして、前述したように差ΔＨＲが所定値ΔＨＲｔｈ以下となったときに、スムージング処理を終了させ、非計測センサからの湿度の実測値から計測センサからの湿度の実測値への切り替えを完了する。
【００９８】
加熱条件変更手段１０３は、第１の湿度センサ１および第２の湿度センサ２の何れか一方が加熱された後に、今回加熱された側の湿度センサからの加熱終了後の湿度の実測値（安定時間経過後の実測値）と加熱されなかった側の湿度センサからの同タイミングでの湿度の実測値との差ΔＨに応じて、加熱されなかった側の湿度センサの次回の加熱条件（加熱周期、加熱時間、加熱温度など）を変更する。
【００９９】
第１の警報手段１０４は、第１の湿度センサ１および第２の湿度センサ２の何れか一方が加熱された後に、加熱された側の湿度センサからの加熱終了後の湿度の実測値（安定時間経過後の実測値）と加熱されなかった側の湿度センサからの同タイミングでの湿度の実測値との差ΔＨに応じ、その差ΔＨが予め定められている所定値を超えていた場合に警報を発する。第２の警報手段１０４は、加熱条件変更手段１０３による加熱条件の変更が限界に達した場合に警報を発する。
【０１００】
残寿命予測手段１０６は、基礎データ記憶手段１０６Ａと、加熱時間積算値算出手段１０６Ｂと、残寿命予測手段１０６Ｃとを備えている。基礎データ記憶手段１０６Ａには、基礎データとして、耐用総加熱時間ｔｓｓｕｍが記憶されている。残り寿命確認スイッチＳＷ１がオンとされた場合、加熱時間積算値算出手段１０６Ｂは、現在までの加熱時間の積算値ｔｓｕｍを算出する。残寿命予測手段１０６Ｃは、現在の加熱周期Ｔｎと、現在の加熱時間ｔｎと、加熱時間積算値算出手段１０６Ｂからの現在までの加熱時間の積算値ｔｓｕｍと、基礎データ記憶手段１０６Ａに記憶されている耐用総加熱時間ｔｓｓｕｍとから、湿度センサ１，２の残りの寿命Ｔｒｅｓｔを予測する。この残りの寿命Ｔｒｅｓｔの予測には、上述した（Ａ）式を用いる。
【０１０１】
オフセット調整処理手段１０７は、キャリブレーション開始指示スイッチＳＷ２がオンとされた場合、ヒータ駆動手段１０へ指令を送り、ヒータ３，４への通電を行って、湿度センサ１，２を加熱する。そして、この湿度センサ１，２の加熱中、その温度が飽和状態にある湿度センサ１，２からの湿度の実測値を各湿度センサの低湿度基準値として基準値記憶手段１０７Ａに記憶させ、以降、基準値記憶手段１０７Ａに記憶されている各湿度センサの低湿度基準値を参照して、実測値切替手段１０２における湿度の実測値ＨＲ１，ＨＲ２に対してオフセット調整処理を施す。
【図面の簡単な説明】
【０１０２】
【図１】本発明に係る湿度計測装置の一実施の形態を示すブロック構成図である。
【図２】この湿度計測装置の外観を示す図である。
【図３】この湿度計測装置におけるＣＰＵが実行する湿度計測処理の第１例（基本例）を説明するためのタイムチャートである。
【図４】この湿度計測処理の第１例において第１の湿度センサの加熱クリーニング中のみ第２の湿度センサからの湿度の実測値を計測値として使用するようにした場合のタイムチャートである。
【図５】この湿度計測装置におけるＣＰＵが実行する湿度計測処理の第２例（実例）を説明するためのタイムチャートである。
【図６】この湿度計測処理の第２例を説明するためのフローチャートである。
【図７】「シフト量」と「待ち時間」および「加熱時間」との関係を示すテーブルＴＢ１を例示する図である。
【図８】「シフトレベル」と「シフト量」との関係を示すテーブルＴＢ２を例示する図である。
【図９】「ステップＮＯ．」と「待ち時間」および「加熱時間」との関係を示すテーブルＴＢ３を例示する図である。
【図１０】湿度センサの使用時間と積算加熱時間との関係を示す図である。
【図１１】湿度計測装置の要部の機能ブロックの一例を示す図である。
【符号の説明】
【０１０３】
１…第１の湿度センサ、２…第２の湿度センサ、３…第１のヒータ、４…第２のヒータ、５……湿度センサ入力変換回路、６…温度センサ入力変換回路、７…ヒータ駆動回路、８…マイクロコンピュータ、８−１…ＣＰＵ、８−２…ＲＯＭ、８−３…ＲＡＭ、８−４…不揮発性のメモリ、９…表示部、ＳＷ１…残り寿命確認スイッチ、ＳＷ２…キャリブレーション開始指示スイッチ、１００…湿度計測装置、１００−１…第１のセンサ部、１００−２…第２のセンサ部、１０１…ヒータ駆動手段、１０２…実測値切替手段、１０３…加熱条件変更手段、１０４…第１の警報手段、１０５…第２の警報手段、１０６…残寿命予測手段、１０６Ａ…基礎データ記憶手段、１０６Ｂ…加熱時間積算値算出手段、１０６Ｃ…残寿命予測手段、１０７…オフセット調整処理手段、１０７Ａ…基準値記憶手段。
【特許請求の範囲】
【請求項１】
計測環境雰囲気中に設置される湿度センサと、この湿度センサに付設されたヒータと、このヒータへの通電を行って前記湿度センサを定期的に加熱するヒータ駆動手段と、このヒータ駆動手段による前記湿度センサに対する加熱条件として設定されている加熱周期および加熱時間の少なくとも一方を変更する加熱条件変更手段とを備えた湿度計測装置における前記湿度センサの寿命を予測する湿度センサの寿命予測装置であって、
現在の前記加熱周期をＴｎ、現在の前記加熱時間をｔｎとし、この現在の加熱周期Ｔｎおよび現在の加熱時間ｔｎを含む所要の情報を予め定められている寿命予測の算出式に代入して、前記湿度センサの残りの寿命Ｔｒｅｓｔを予測する残寿命予測手段
を備えることを特徴とする湿度センサの寿命予測装置。
【請求項２】
請求項１に記載された湿度センサの寿命予測装置において、
前記残寿命予測手段は、
現在の加熱周期Ｔｎ、現在の加熱時間ｔｎ、標準値として定められる標準加熱周期Ｔｓおよび標準加熱時間ｔｓを継続した場合の前記湿度センサの耐用期間の終了までに受ける加熱時間の総和ｔｓｓｕｍ、現在までの前記湿度センサの実際の加熱時間の積算値ｔｓｕｍを下記の寿命予測の算出式（Ａ）に代入して、前記湿度センサの残りの寿命Ｔｒｅｓｔを予測する
ことを特徴とする湿度センサの寿命予測装置。
Ｔｒｅｓｔ＝（ｔｓｓｕｍ−ｔｓｕｍ）Ｔｎ／ｔｎ ・・・・（Ａ）
【請求項３】
請求項１に記載された湿度センサの寿命予測装置において、
前記残寿命予測手段は、
現在の加熱周期Ｔｎ、現在の加熱時間ｔｎ、標準値として定められる標準加熱周期Ｔｓおよび標準加熱時間ｔｓ、標準加熱周期Ｔｓおよび標準加熱時間ｔｓを継続した場合の前記湿度センサの耐用期間Ｔｔｌｕ、現在までの前記湿度センサの実際の加熱時間の積算値ｔｓｕｍを下記の寿命予測の算出式（Ｂ）に代入して、前記湿度センサの残りの寿命Ｔｒｅｓｔを予測する
ことを特徴とする湿度センサの寿命予測装置。
Ｔｒｅｓｔ＝（ｔｓ・Ｔｔｌｕ／Ｔｓ−ｔｓｕｍ）Ｔｎ／ｔｎ ・・・・（Ｂ）
【請求項１】
計測環境雰囲気中に設置される湿度センサと、この湿度センサに付設されたヒータと、このヒータへの通電を行って前記湿度センサを定期的に加熱するヒータ駆動手段と、このヒータ駆動手段による前記湿度センサに対する加熱条件として設定されている加熱周期および加熱時間の少なくとも一方を変更する加熱条件変更手段とを備えた湿度計測装置における前記湿度センサの寿命を予測する湿度センサの寿命予測装置であって、
現在の前記加熱周期をＴｎ、現在の前記加熱時間をｔｎとし、この現在の加熱周期Ｔｎおよび現在の加熱時間ｔｎを含む所要の情報を予め定められている寿命予測の算出式に代入して、前記湿度センサの残りの寿命Ｔｒｅｓｔを予測する残寿命予測手段
を備えることを特徴とする湿度センサの寿命予測装置。
【請求項２】
請求項１に記載された湿度センサの寿命予測装置において、
前記残寿命予測手段は、
現在の加熱周期Ｔｎ、現在の加熱時間ｔｎ、標準値として定められる標準加熱周期Ｔｓおよび標準加熱時間ｔｓを継続した場合の前記湿度センサの耐用期間の終了までに受ける加熱時間の総和ｔｓｓｕｍ、現在までの前記湿度センサの実際の加熱時間の積算値ｔｓｕｍを下記の寿命予測の算出式（Ａ）に代入して、前記湿度センサの残りの寿命Ｔｒｅｓｔを予測する
ことを特徴とする湿度センサの寿命予測装置。
Ｔｒｅｓｔ＝（ｔｓｓｕｍ−ｔｓｕｍ）Ｔｎ／ｔｎ ・・・・（Ａ）
【請求項３】
請求項１に記載された湿度センサの寿命予測装置において、
前記残寿命予測手段は、
現在の加熱周期Ｔｎ、現在の加熱時間ｔｎ、標準値として定められる標準加熱周期Ｔｓおよび標準加熱時間ｔｓ、標準加熱周期Ｔｓおよび標準加熱時間ｔｓを継続した場合の前記湿度センサの耐用期間Ｔｔｌｕ、現在までの前記湿度センサの実際の加熱時間の積算値ｔｓｕｍを下記の寿命予測の算出式（Ｂ）に代入して、前記湿度センサの残りの寿命Ｔｒｅｓｔを予測する
ことを特徴とする湿度センサの寿命予測装置。
Ｔｒｅｓｔ＝（ｔｓ・Ｔｔｌｕ／Ｔｓ−ｔｓｕｍ）Ｔｎ／ｔｎ ・・・・（Ｂ）
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【公開番号】特開２０１０−８３２１（Ｐ２０１０−８３２１Ａ）
【公開日】平成２２年１月１４日（２０１０．１．１４）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００８−１７０３１０（Ｐ２００８−１７０３１０）
【出願日】平成２０年６月３０日（２００８．６．３０）
【出願人】（０００００６６６６）株式会社山武 (1,808)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２２年１月１４日（２０１０．１．１４）
【国際特許分類】
【出願日】平成２０年６月３０日（２００８．６．３０）
【出願人】（０００００６６６６）株式会社山武 (1,808)
【Ｆターム（参考）】
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