【課題】当初の検出精度を長期間に渡って維持することのできる湿度センサを提供する。
【解決手段】湿度センサ１は、多数の細孔を有する無機材料から形成されて、水分を吸着することによってその誘電率が変化する感湿膜６０、並びに、誘電率の変化を検出するための櫛歯電極１０ａ及び１０ｂを有する第１センサ素子１０と、櫛歯電極２０ａ及び２０ｂを有するとともに、相対湿度によってその容量値が変化しない第２センサ素子２０とを、同一の半導体基板３０に備える。また、湿度センサ１は、櫛歯電極１０ａ及び１０ｂ並びに２０ａ及び２０ｂの容量差を電圧に変換するＣＶ変換回路、ＣＶ変換値を所定増幅率で増幅する増幅器、並びに、増幅器の増幅率を切り換える切替回路を有する処理回路を備える。 （もっと読む）

【課題】被検出雰囲気中の被検出ガスの濃度が湿度に基づき変動することを考慮して、被検出ガスを精度よく検出するようにしたガス検出装置およびガス検出方法を提供すること。
【解決手段】まず、環境温度を検出し（Ｓ１５，Ｓ２０）、続いて、異なる目標温度となるように通電制御された２つの発熱抵抗体における各端子電圧を検出する（Ｓ２５）。Ｓ２５で検出した２つの端子電圧と、Ｓ１５において検出された環境温度とから、２つの端子電圧に対応する各熱伝導率を熱伝導率演算値として演算する（Ｓ３０）。続いて、Ｓ３０で求めた２つの熱伝導率演算値に基づき、湿度を演算する（Ｓ３５，Ｓ４０，Ｓ４５）。そして、Ｓ３０で求めた２つの熱伝導率演算値のうち少なくともいずれか一方と、Ｓ４５で求めた被検出雰囲気の湿度とに基づき、被検出ガスのガス濃度を演算する（Ｓ５０，Ｓ５５，Ｓ６０）。 （もっと読む）

湿度センサ（１）は、その表面にモイスチャーフィルム（５ａ，５ｂ）のための収容領域（４）を有している；その層厚（６ａ，６ｂ）は、収容領域（４）の周囲の相対湿度に依存する。湿度センサ（１）は信号源を有しており、その信号源は、モイスチャーフィルム（５ａ，５ｂ）に制御電圧を印加するために、少なくとも１つの供給箇所（１１）において収容領域（４）に隣接する、少なくとも１つの制御電極（１０）と接続されている。湿度センサ（１）は、少なくとも１つの電位センサを有しており、その電位センサが、収容領域（４）の下方に、少なくとも１つの供給箇所（１１）から離間した、少なくとも１つのセンサ領域（９）を有している。センサ領域（９）は、センサ領域と収容領域（４）との間にある絶縁層（３）によって収容領域（４）に対して次のように、即ち電位センサによってモイスチャーフィルム（５ａ，５ｂ）の層厚と制御電圧とに依存する電位が容量的に検出可能であるように、電気的に絶縁されている。 （もっと読む）

【課題】 本発明の目的は、任意の液体に対して任意に選択される変数用のセンサの温度依存性を測定する新しい方法を提供することである。
【解決手段】 本発明による方法は、液温を経時的に変化させるステップと、それと同時にセンサ要素によって生成されたデータを収集するステップと、その後、センサ要素が異なる温度で生成したデータを用いてセンサ要素の温度依存性の補償アルゴリズムのための係数を決定するステップと、この結果、温度の変化と他の測定変数との間に相関を求めるステップと、を含む。 （もっと読む）

【課題】自己診断時の加熱効率を向上できる湿度センサ装置を提供する。
【解決手段】基板の同一平面上に離間して対向配置された検出電極及び感湿膜を有する検出部を含んだセンサ部と、基板に設けられ、通電により発熱する素子を複数有する発熱部と、自己診断時に検出電極間の容量値が所定湿度における値となるように、発熱部の通電状態を制御する制御部と、を備える湿度センサ装置である。そして、発熱部と検出電極との間に介在される層間絶縁膜に、基板及び層間絶縁膜よりも熱伝導率の高い材料が充填された複数のコンタクトホールが設けられ、各検出電極は互いに異なる発熱素子とコンタクトホールを介して接続されている。 （もっと読む）

【課題】ナノメートルあるいはそれ以下のスケールでの分子の性質を直接的に測定するためには既存の高度な技術を持ってしても極めて困難であったが、ナノコンポジット薄膜基板を用いることで、人間がアクセスしたり操作したりすることが容易なミクロンスケールからセンチメートルのサイズにまでスケールアップすることが可能となるものであり、使いやすい大きさの分子機能を利用したセンサ・センサシステムを実現することを課題とする。
【解決手段】貴金属ナノ粒子が互いに１０ｎｍ以下の距離で絶縁性物質により隔てられ、かつ該貴金属ナノ粒子の数密度が１００００個／μｍ^２以上である超高密度貴金属ナノ粒子分散コンポジット薄膜からなる基板と、該基板上の貴金属ナノ粒子間に形成された導電性分子の電導パスを備えていることを特徴とする超高密度貴金属ナノ粒子分散コンポジット薄膜を用いたセンサ。 （もっと読む）

【課題】プロトン伝導体として従来用いられていなかった材料をプロトン伝導体として用いた、新規な電子デバイスを提供する。
【解決手段】本発明の電子デバイスは、プロトン伝導体を含み、プロトン伝導体のプロトン伝導性を利用する電子デバイスである。そのプロトン伝導体は、シュウ酸ニッケルおよびシュウ酸マグネシウムからなる群より選ばれる少なくとも１つである。また、本発明の湿度センサは、湿度によって電気的特性が変化する感湿部を含み、その感湿部の電気的特性の変化を利用して湿度を測定する湿度センサである。感湿部は、シュウ酸ニッケルおよびシュウ酸マグネシウムからなる群より選ばれる少なくとも１つを含む。 （もっと読む）

【課題】
本発明は、耐熱性、耐水性を有する新規陰イオン交換樹脂、就中電気抵抗型湿度センサーに適する感湿膜として用いることにより、湿度に対する安定した他界観受精、広い湿度・温度範囲での耐久性、速い応答速度及び小さいヒステリの湿度センサーを提供する。
【解決手段】
主鎖がポリイミドよりなり、イオン交換基として第４級アンモニウム塩基を有する陰イオン交換樹脂及び該陰イオン交換樹脂よりなる感湿膜、更には該感湿膜を用いた湿度センサーである。 （もっと読む）

【課題】 感光性のない感湿膜を使用でき、感湿膜の製造工程を容易にする。
【解決手段】 容量式湿度センサでは、電極１１及び電極１２が、基板１０の上に櫛歯状に形成され、絶縁体１３によって囲まれている。電極１１の一部分は、電極１２の一部分に挟まれ、電極１２の一部分は、電極１１の一部分に挟まれている。また、電極１１及び電極１２の上及び間に、感湿膜１４が形成されている。絶縁体１３は、電極１１、電極１２及び感湿膜１４よりも厚くなっている。電極１１、電極１２及び感湿膜１４は、容量を形成する。電極１１と電極１２とは、容量の電極として機能する。感湿膜１４は、湿度の変化によって比誘電率が変化する。 （もっと読む）

【課題】可燃性ガスの濃度が変化した場合においても、演算により得られる湿度に誤差が生じ難く、可燃性ガスの検出精度の低下を抑制できる可燃性ガス検出装置を提供する。
【解決手段】可燃性ガス検出装置１は、水素ガス濃度Ｄｎを演算するにあたり、Ｓ２１０で演算した湿度ＨＵＭをそのまま用いるのではなく、前回検出時の水素ガス濃度Ｄｎ−１を用いて補正した湿度ＨＵＭ（Ｓ２３０）を用いて水素ガス濃度Ｄｎを演算する構成である。このため、可燃性ガス検出装置１が設置された被検出雰囲気内における水素ガス濃度が変化し、その濃度変化に起因してＳ２１０による湿度ＨＵＭの演算結果に誤差が生じた場合であっても、Ｓ２３０にて補正された補正後の湿度ＨＵＭは、Ｓ２１０にて演算された湿度ＨＵＭに比べて、実際の湿度に近い値となるとともに、実際の湿度との誤差が小さい値となる。 （もっと読む）

【課題】広い温度範囲において精度良く湿度の検出が可能な湿度センサ装置を提供する。
【解決手段】周囲の湿度変化に応じてインピーダンスが変化する湿度センサと、湿度センサに対して、所定周波数の交流信号を出力する発信回路と、を備えた湿度センサ装置において、発振回路に温度特性を持たせ、周囲の温度に応じて異なる周波数の交流信号を出力するようにした。 （もっと読む）

【課題】流量の検出精度を向上することのできる半導体装置を提供する。
【解決手段】半導体基板上に少なくとも発熱体が形成されて、流体の流量を検出する流量検出部が構成された半導体装置であって、半導体基板の同一面側に、流量検出部と流体の湿度を検出する湿度検出部とが、湿度検出部が流量検出部よりも上流側となるように、流体の流れ方向に沿って並んで形成されている。 （もっと読む）

集積気体透過センサを備えるカプセル化デバイスが設けられる。このカプセル化デバイスは、電子部品がその上に配置されているベース基板を備え、この電子部品は、水分／酸素から電子部品を保護するためのカプセル内で封入されている。カプセルへの気体の透過測定するために、カプセル内には少なくとも１つのセンサが配置されている。各センサは、水分および／または酸素感受性材料を含む導電性感知素子を備える。上記材料の水分および／または酸素との反応により、センサの電気抵抗／導電率が変化する。 （もっと読む）

【課題】煙草の煙のような異物が多く浮遊している雰囲気に置かれても、高い信頼性を持ってその相対湿度を検出することのできる湿度センサ及びその製造方法を提供する。
【解決手段】水分を吸着することによって静電容量（誘電率）が変化する感湿膜５０及び該感湿膜５０に覆われて、その静電容量の変化を検出するための電極３１及び３２を有する感湿部１００と、該感湿部１００の出力信号を処理する回路素子部２００とが、Ｎ型の半導体基板１０に形成されている。また、煙草分子を含む微粒子からなって、水分を取り込むことによって静電容量（誘電率）が変化する堆積層６０が、電極３１及び３２並びにこれら電極間を覆うように、感湿膜５０の表面上に所定の層厚で形成されている。こうした所定の層厚は、堆積層６０の静電容量（誘電率）の変化を電極３１及び３２を通じて検知することのできる上限値に余裕を含めた層厚に設定されている。 （もっと読む）

【課題】抵抗性の湿度センサなどで得られる出力電圧の温度による変動を抑制し、湿度などの測定有効範囲を拡大できるようしたセンサの提供
【解決手段】このセンサは、湿度検出素子１０１と、抵抗値が異なる基準抵抗１０２〜１０４と、マルチプレクサ１０５と、温度検出部１２などを備える。湿度検出素子１０１は、湿度に応じて抵抗が変化し、かつその抵抗が温度依存性を有する。マルチプレクサ１０５は、温度検出部１２の検出温度に応じて、基準抵抗１０２〜１０４のうちの１つを選択し、この選択した基準抵抗と湿度検出素子１０１とで直列回路を形成させる。その直列回路には、所定の交流電圧が印加され、基準抵抗１０２と湿度検出素子１０１の共通接続部から出力電圧が取り出される。 （もっと読む）

【課題】より簡素な構成で雰囲気の相対湿度を検出することのできる湿度センサ及びその製造方法を提供する。
【解決手段】当該湿度センサ１は、水分を吸着することによって静電容量が変化する感湿膜２３及び該感湿膜２３に覆われてその静電容量の変化を検出するための櫛歯電極２２ａ及び２２ｂを有する感湿部２４と、該感湿部２４の出力信号を処理する回路素子部２５と、ボンディングワイヤ３１と電気的に接続されることで回路素子部２５の出力信号を当該湿度センサ１外に出力するためのパッド２６とを同一の半導体基板２１に備えている。パッド２６は、そのボンディングワイヤ３１との接続部分が、パッド保護膜２７によって覆われて保護されており、パッド保護膜２７は、感湿膜２３の形成材料と同一の材料を用いて感湿膜２３と一体に形成されている。これら感湿膜２３及びパッド保護膜２７によって、半導体基板２１の全上表面が覆われている。 （もっと読む）

【課題】湿度により容量値が変化する静電容量式湿度素子の素子交換時における互換性をコネクタ接続型あるいはケーブル接続型の双方において実現した湿度計を提供する。
【解決手段】湿度により容量値が変化する静電容量式湿度素子を搭載する感湿部と静電容量を湿度に変換する変換回路部とがコネクタにより接続され、前記湿度素子部の交換が可能な湿度計において、前記感湿部には前記湿度素子の特性である、静電容量から湿度への変換に必要な前記湿度素子の特性データを記憶する記憶素子を搭載し、前記特性データを用いて変換演算を行うこと特徴とする湿度計とした。 （もっと読む）

【課題】導電性高分子膜の導電性を低下させた新規な高分子膜およびこの高分子膜を用いた新規な環境成分評価センサを提供する。
【解決手段】高分子膜は、体積固有抵抗が１０^−３〜１０^５Ω・ｃｍの導電性高分子膜の少なくともその片面の一部または全部に、活性エネルギー線照射処理と化学処理との少なくともいずれか一方を施して処理部分の導電性を低下させた膜である。 （もっと読む）

【課題】煙草分子のような極小の分子が多く浮遊している雰囲気であれ、高い信頼性をもってその相対湿度を検出することのできる湿度センサを提供する。
【解決手段】湿度センサ１０は、例えば酸化チタン（ＴｉＯ２）からなる光触媒が多孔質フィルタに吹き付けられてコーティングされている光触媒フィルタ４０を、ケース開口部１１ａに、該ケース開口部１１ａを覆う状態で備えている。また、湿度検出素子２０を内部に収容するケース１１は、ケース開口部１１ａの周縁に凹部１２が形成されており、光触媒フィルタ４０は、ケース１１の凹部１２に対応した凸部４２を有する枠部材４１を有している。光触媒フィルタ４０は、枠部材４１の凸部４２がケース１１の凹部１２に圧入嵌合されることで、ケース１１に固定されている。 （もっと読む）

【課題】異物が感湿膜に与える影響による出力特性の変動を低減し、精度良く湿度を検出することができる湿度センサ装置を提供する。
【解決手段】感湿膜形成面に電極パッド２３０が設けられたセンサチップ２００と、表面にランド３２０が設けられた回路基板３００と、電極パッド２３０上に設けられ、電極パッド２３０とランド３２０とを電気的に接続するバンプ電極４００と、センサチップ２００と回路基板３００との対向面間の間隙を埋めるアンダーフィル５００とを備える湿度センサ装置１００であって、アンダーフィル５００のうち、少なくとも電極パッド２３０、バンプ電極４００、及びランド３２０の接合部の周囲領域を除く配置領域を、感湿膜２１６を構成する主成分と同一の主成分を含む構成とした。 （もっと読む）