【課題】センサ感度を容易に調整できるオイルチェックセンサを提供することである。
【解決手段】カップ状電極Ａと複数の棒状電極Ｂｉとを対向配置して、電気抵抗が所定の閾値よりも小さくなった電極Ａ、Ｂｉ間を短絡処理する電気回路を設け、この電気回路の各電極Ｂｉと電源電圧Ｖａとの間に、閾値抵抗として抵抗値を異なる値に設定した可変抵抗Ｒａｉを介在させ、これらの各可変抵抗Ｒａｉの抵抗値よりも電気抵抗が小さくなった各電極Ａ、Ｂｉ間を各演算増幅器Ｃｉで短絡処理することにより、各可変抵抗Ｒａｉの抵抗値の設定間隔を変えるのみで、センサ感度を容易に調整できるようにした。 （もっと読む）

【課題】 電気機器の絶縁物の汚損状態を容易に監視し得る絶縁診断装置を提供する。
【解決手段】 直流電圧を発生する直流電源部２と、前記直流電圧を絶縁物に印加して絶縁抵抗の経時変化を測定する絶縁抵抗測定部３と、前記絶縁抵抗の経時変化から、前記絶縁抵抗が時間経過に伴って変化する割合を算出して、前記絶縁物の汚損状態を判定する汚損状態判定部４とを備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 ステージやチャックなどの表面に薄膜などの微細な異物が付着しているか否かを容易かつ確実に検査する。
【解決手段】 ステージやチャックなどの被検査物１の表面に試料２を接触・剥離させて、試料２の剥離帯電量の変化量を測定する。被検査物１の表面に付着物がない基準位置と、付着物がある検査位置では、試料２の表面電位が異なるため、両位置で測定した表面電位値を比較することによって、被検査物表面に付着物があるか否かを検査することができる。 （もっと読む）

【課題】 点火プラグの金属デポジット汚損とカーボンデポジット汚損とを区別して検出することができるようにする。
【解決手段】 点火プラグの絶縁抵抗値を検出して、この絶縁抵抗値を所定のくすぶり判定値と比較して点火プラグのくすぶり汚損の有無を判定する。その結果、くすぶり汚損が検出された場合は、くすぶり汚損検出時のエンジン運転領域が、金属デポジット汚損が発生しやすい運転領域［Ａ］であるか、カーボンデポジット汚損が発生しやすい運転領域［Ｂ］であるかを判定することで、金属デポジット汚損とカーボンデポジット汚損とを区別して検出する。この場合、金属デポジット汚損と判定する運転領域［Ａ］を、カーボンデポジット汚損と判定する運転領域［Ｂ］よりも高回転・高負荷側に設定している。
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【課題】内燃機関のオイルの状態を駆動中に検出できるセンサ装置および検出方法を提供する。
【解決手段】第１の物理量すなわち流体の電気的量および第２の物理量すなわち流体の粘性を検出し、検出された第１の物理量と第１の設定値との差に基づいて第１の汚染物の量を求め、この第１の汚染物の量に基づいて第２の物理量の推定値を求め、検出された第２の物理量と第２の物理量の推定値との差に基づいて第２の汚染物の量を求める。 （もっと読む）

【課題】半導体ウエーハの熱処理工程に用いる部材または治具等のドーパント汚染を、簡便かつ確実な方法で測定できるドーパント汚染の評価方法を提供する。
【解決手段】半導体ウエーハの熱処理工程に用いる部材または治具のドーパント汚染の評価方法であって、合成樹脂からなる密閉袋中に前記部材または治具からなる試験片と半導体ウエーハと雰囲気となるガスとを封入し、該試験片と半導体ウエーハとガスを封入した密閉袋に第１の熱処理を施したのち、前記半導体ウエーハを密閉袋中から取り出し、該半導体ウエーハに第２の熱処理を施し、その後、前記半導体ウエーハの抵抗率を測定することにより前記部材または治具のドーパント汚染を評価することを特徴とするドーパント汚染の評価方法。 （もっと読む）

１つまたは複数の微生物を含むと疑われる試料の変化を、そうした微生物の代謝過程によって引き起こされる、試料の誘電率の変化を監視することによって、非侵襲的に測定するためのシステムおよび方法が提供される。
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【課題】内燃機関を提供することである。
【解決手段】本発明による内燃機関は、エンジンオイル循環システムと、エンジン電子制御装置と、該エンジン制御装置と連通しているエンジンオイル分析システムとを有し、エンジンオイル分析システムが、エンジンに取り付けられ、前記エンジンオイル循環システムと液体連通している測定チャンバーを備えるハウジングと、前記ハウジング内に配置された容量性センサーとを有し、該センサーが、誘電体として機能するエンジンオイルを収容するための空間を、間に有する少なくとも二つの伝導要素を特徴とし、前記センサーに電力を供給し、前記センサーの周波数感応を測定し、前記センサーの周波数感応の時間による変化を分析するための、前記センサーと連通しているメモリーを含む制御論理を有する、ことを特徴とする。 （もっと読む）

汚染除去プロセスに使用する蒸気用に蒸気純度および蒸気品質の少なくとも一方をモニターする方法および装置を提供する。コンデンサを蒸気に露出させて、蒸気をコンデンサ板間の誘電体として作用させる。誘電体の誘電率は蒸気の純度および／または品質によって影響を受けるので、コンデンサの電気特性の測定値を蒸気純度および／または品質のモニターに使用する。 （もっと読む）

【課題】 表示部の大きさを変えることなく、主測定信号と日時の読み取りを同時に行うことのできる携帯型測定器およびその表示方法を実現する。
【解決手段】 測定値などを表示する表示部と、測定動作の実行などを制御する操作部とを有し、前記表示部により測定の主な対象となる主測定信号の表示と、この主測定信号に関連する補助信号の表示と、日付や時間などを表す日時の表示とを行うようにした携帯型測定器において、前記主測定信号表示は常時表示させるとともに、前記補助信号表示と日時表示とを切り換えて表示させることを特徴とする。 （もっと読む）

本発明は、溶融金属中の粒子の検出及び測定に用いられる液体金属清浄度分析器（ＬｉＭＣＡ）における電磁ノイズの拾得を低減するための方法及び装置を提供する。溶融金属中に挿入された第１の電極は、溶融金属中に挿入されている第２及び第３の電極とは電気的に絶縁されている。溶融金属及び粒子は、電気的な絶縁体中の通路を通って、第１の電極と第２及び第３の電極との間を通る。第２及び第３の電極は、第１の電極に対して、第２及び第３の電極に電流が供給されたときに、第１の電極と第２の電極との間に対称的な電流ループを形成するのに十分な形態を有している。電流はウルトラ・コンデンサから供給される。対称的な電流ループにおける電磁ノイズが検出され、電磁ノイズの増幅を低減するように逆方向に付加される。
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