【課題】 梁部の幅を狭くすることによって素子特性を向上させ得る赤外線検出素子を提供する。
【解決手段】 赤外線検出素子は、半導体基板上に空隙を介して形成された熱電変換部を有する赤外線検出部と、半導体基板上に空隙を介して形成されかつ赤外線検出部を支持しかつ赤外線検出部および半導体基板間の電気的接続をなす梁部と、を有する赤外線検出素子であって、梁部は絶縁材料膜を有しかつ絶縁材料膜から梁部の側面に露出した導電性材料層を有する。 （もっと読む）

【課題】エッチング処理時に素子分離層を越えて隣接する赤外線検出領域までエッチングしてしまうオーバーエッチングの量を低減させる。
【解決手段】シリコン基板２６、ＢＯＸ層２８、ＳＯＩ層３０がこの順に積層された半導体層を準備する。ＳＯＩ層３０には、赤外線検出部としてのシリコンダイオード部１２を形成する。更に、素子分離部１６を、ＳＯＩ層３０からＢＯＸ層２８を介してシリコン基板２６の所定の深さまで延在するように形成すると共に、シリコンダイオード部１２が形成される領域を取り囲み、ＳＯＩ層３０表面において円形または正五角形以上の正多角形の形状を有するよう形成する。更に、ＳＯＩ層３９表面に保護膜３２を形成した後、保護膜３２、ＳＯＩ層３０、ＢＯＸ層２８を貫通するエッチングホール１８を形成し、エッチングホール１８を用いて、素子分離部１６で取り囲まれた領域に対応するシリコン基板２６をエッチングする。 （もっと読む）

【課題】小型かつ製作が容易で、冷却用の装置や経路を必要とせず、短時間での高い繰り返し測定精度を確保するレーザ出力測定装置を得る。
【解決手段】レーザ出力測定装置１０は、レーザ出力測定装置本体１１と信号経路１２より構成されている。レーザ出力測定装置本体１１には、レーザ光１３の受光部１４より外周側にレーザ光１３の光軸と平行に貫通部である穴１５が複数個設けられている。レーザ出力測定装置本体１１の内部に具備した温度センサによりレーザ出力測定装置本体１１の温度を測定し、信号経路１２より取り出すように構成されている。 （もっと読む）

【課題】感熱体である電界効果トランジスタをアレイ状に配置し、電界効果トランジスタを含むソース接地増幅回路を備えた赤外線固体撮像装置において、温度検出感度が高く、かつ温度検出感度のばらつきを小さくした赤外線固体撮像装置を提供する。
【解決手段】赤外線固体撮像装置は、温度変化を電気信号の変化として出力する感熱体として電界効果トランジスタを含む画素が複数個アレイ状に配置されてなる検出器アレイ（５０２）と、電界効果トランジスタと接続され、ソース接地増幅回路を形成する所定の負荷（７０４）と、ソース接地増幅回路の出力信号を読み出す信号読み出し回路（５０９）とを備える。赤外線の検知動作時に、電界効果トランジスタ（６０１）はピンチオフ状態で動作するようにバイアスされる。電界効果トランジスタ（６０１）のソース-ゲート間電圧が検出器アレイの行毎または画素毎に供給される。 （もっと読む）

【課題】赤外線検出感度の高い赤外線検出システムを提供する。
【解決手段】第１の半導体基板１１とヒータ層１３との間に形成された第１の多孔質部１２を有する赤外線放射素子１０と、第２の半導体基板２１と感温部２３との間に形成された第２の多孔質部２２を有し赤外線放射素子１０から放射された赤外線を検出する赤外線検出素子２０と、赤外線放射素子１０への入力電力を制御して赤外線放射素子１０から赤外線を放射させる制御部（図示せず）とを備える。赤外線放射素子１０は、第１の多孔質部１２におけるヒータ層１３側に第１の多孔質部１２の表層部を酸化することにより形成された第１の封孔層１２ｄを有し、赤外線検出素子２０は、第２の多孔質部２２における感温部２３側に第２の多孔質部２２の表層部を酸化することにより形成された第２の封孔層２２ｄを有する。 （もっと読む）

【課題】温度検出部が空洞部を介して中空に保持される第１素子と温度検出部が残存する犠牲層上に配設される第２素子とを備える構造において、第２素子の温度検出部の温度を正確に基板に追従させ、かつ、犠牲層の除去時の不具合を未然に防止することができる熱型赤外線検出器及びその製造方法の提供。
【解決手段】赤外線を検出する第１素子１ａと環境温度を補正する第２素子１ｂとが回路基板２上に形成される熱型赤外線検出器において、第１素子１ａの温度検出部１４は、空洞部１５により回路基板２から熱的に分離され、第２素子１ｂの温度検出部１４は、空洞部に残存するダイアモンドライクカーボンからなる第１犠牲層５上に形成され、第１犠牲層５により回路基板２と熱的に接続され、温度検出部１４の出力信号が電極配線９を介して読出回路２ａに伝達され、該読出回路２ａで出力信号の差分が検出される。 （もっと読む）

【課題】 コスト増大につながる単位画素面積の増大を伴わずに、熱型赤外線固体撮像素子のNETD低減による性能向上を実現する熱型赤外線固体撮像素子を提供する。
【解決手段】 赤外線固体撮像素子は、断熱構造と赤外線吸収構造を有したダイオード２３と、第１のトランジスタ２６と、第２のトランジスタ３０とを含む画素が２次元配列されてなる画素アレイを備える。赤外線固体撮像素子はさらに、行リセット線３１と、行選択線３２と、列信号線２７とを備える。行リセット線３１に電圧パルスを印加して、第１のトランジスタ２６のゲート電極を所定電位に設定するリセット動作を行い、リセット動作から所定時間経過後に、行選択線３２に所定電圧を印加し、第２のＭＯＳトランジスタ３０をオンさせ、第２のＭＯＳトランジスタ３０に接続された列信号線２７の電位を画素からの出力として読み出す。 （もっと読む）

【課題】熱型赤外線固体撮像素子のNETD低減による性能向上を実現する熱型赤外線固体撮像素子を提供する。
【解決手段】熱型赤外線固体撮像素子は、断熱構造と赤外線吸収構造を有した温度検出素子を含む画素を２次元配列してなる画素アレイと、画素アレイの各画素に対して温度検出素子の電位を逆バイアスとなる所定電位に設定するリセット動作を行い、リセット動作から所定の蓄積時間経過後に出力を読み出す手段と、断熱構造及び／又は赤外線吸収構造を有しない参照画素の列と、各参照画素に対して行毎に異なる蓄積時間を付与し、各参照画素に対してリセット動作を行い、リセット動作後異なる蓄積時間経過後に各参照画素から出力を読み出す手段と、各参照画素から読み出した出力を基準電圧と比較する比較回路とを備える。画素アレイの画素に対する所定の蓄積時間は比較回路の出力に基づき決定される。 （もっと読む）

赤外線測定装置（１）において、赤外線を検出する少なくとも１つのセンサエレメント（２９）が設けられており、該少なくとも１つのセンサエレメント（２９）は、該センサエレメントに入射する放射に依存した出力信号（１２）を生成する。所定の入射に対する出力信号（１２）は、積分時間によって変化可能である。少なくとも１つのセンサエレメント（２９）における目下の温度が検出され、該温度は、出力信号（１２）ないし少なくとも１つのセンサエレメント（２９）の感度に対する温度変化の影響が補償されるように積分時間を変化するために使用される。
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本発明は、サーマルカメラに関する。ここでこのサーマルカメラは、少なくとも１つの赤外線検出器と少なくとも１つの調整装置とを有しており、当該調整装置は、サーマルカメラの作動に必要な制御電圧および／または給電電圧を供給する。構成部品コストを低減させつつ、電子回路の温度誘導ドリフトを補償することができるサーマルカメラを提供するために、このサーマルカメラに記憶手段を設けることを提案する。この記憶手段内には少なくとも１つの温度依存特性曲線が格納されており、このサーマルカメラは、少なくとも１つの調整装置の温度誘導されたドリフトを、この特性曲線に基づいて自動的に補償する。さらに本発明は、このようなサーマルカメラの作動方法に関する。 （もっと読む）

【課題】検出感度の向上が可能な偏光赤外線検出素子を提供する
【解決手段】基板８から分離された受光部１と、受光部１を基板８の上方に配置させる蛇行形状の支持梁２とを備える偏光赤外線検出素子であって、受光部１に入射する光の波長λを基準としてλ／２以下の間隔で配置した複数の長手梁２ａを接続梁２ｂで直列に接続して蛇行形状の支持梁２を形成し、受光部１を、支持梁２から下方に突出形成した支柱５の下端に接続して支持梁２の下方に配置して、受光部の開口率と支持梁の長さとをそれぞれ独立に設計できるようにした。 （もっと読む）

【課題】抵抗型イメージングボロメータを具備する赤外放射を検出する装置、そのボロメータのアレイを具備するシステム、及びそのシステムに統合されるイメージングボロメータを読み出すための方法
【解決手段】赤外放射を検出するためのこの装置は、ボロメータの抵抗を測定するための回路（２２）に電気的に接続されるよう意図された抵抗型イメージングボロメータ（１０２）を具備する。それは、ボロメータに電流を注入することによってイメージングボロメータ（１４）の抵抗を制御する手段（３２）を具備する。 （もっと読む）

【課題】抵抗型イメージングボロメータを含む電磁放射を検出するための装置、そのような装置の行列を含むシステム、及びそのようなシステムのイメージングボロメータを読み出すための方法。
【解決手段】本発明は、電磁放射を検出するための装置に関し、同相除去ボロメータ（２６）を介して流れる電流がイメージングボロメータ（１２）を介して流れる電流から引かれるように、信号形成回路（１０）に電気的に接続されるよう意図され、検出すべき電磁放射に敏感な抵抗型イメージングボロメータ（１２）と、イメージングボロメータ（１２）に電気的に関連付けられる抵抗型同相除去ボロメータ（２６）と、を含み、そこへ電流を流すことによって同相除去ボロメータの抵抗を制御するための手段（４０）を含む。 （もっと読む）

【課題】更なる高感度を達成する。
【解決手段】熱型赤外線センサは、伝達された熱量に応じた電気信号を発生すると共に、基板２４の主面に形成された複数の空洞２６の各々の内部に配置された熱電変換素子としてのダイオード１７を各々含む複数の小型熱型赤外線センサ１４と、吸収した赤外線の熱量を複数の空洞２６の各々の内部に配置されたダイオード１７の各々に伝達するように配置された赤外線吸収膜２０と、複数の小型熱型赤外線センサ１４の各々に含まれるダイオード１７の各々を電気的に直列接続する接続配線１５と、を備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】テラヘルツ領域の電磁波を効率よく検出することができる電磁波検出素子及び装置を提供する。
【解決手段】誘電体と、その表面に形成された金属層１１と、金属層にアレイ状に形成されテラヘルツ領域の電磁波を受信する第１のアンテナ素子群と、第１のアンテナ素子群での受信電力を検出電圧に変換する検出素子とからなる第１のアンテナ素子形成領域１０と、第１のアンテナ素子群と偏波面が略直交するように第１のアンテナ素子形成領域１０以外の金属層にアレイ状に形成されテラヘルツ領域の電磁波を受信する第２のアンテナ素子群と、第２のアンテナ素子群のアンテナ素子それぞれの略中央部に形成された第２のアンテナ素子群での受信電力を検出電圧に変換する検出素子とからなる第２のアンテナ素子形成領域２０とを備え、金属層は、第１のアンテナ素子形成領域１０及び第２のアンテナ素子形成領域２０での検出電圧を出力するように形成された溝部を有する。 （もっと読む）

【課題】 基準電圧となる参照画素の出力が画素に近くなる画素構造を有した赤外線撮像素子を提供することを目的とする。
【解決手段】 本発明に係る赤外線撮像素子は、検出部とその検出部上に結合部を介して検出部から離間されて支持された赤外線吸収部と、検出部を支持する支持脚とを備えた画素を半導体基板上に二次元状に配列配置した熱型の赤外線撮像素子であって、その画素列に隣接して設けられた入射赤外線を遮蔽する構造を備えた画素の基準信号を発生する参照画素を有し、画素と参照画素の各検出部はそれぞれ支持脚を介して半導体基板と接続されたことを特徴とするものである。
かかる構成により、画素信号の読出し動作に伴う自己発熱のため、参照画素と画素との出力に著しい差が生じることはなく、参照画素の出力が理想的な基準電圧になる。 （もっと読む）

【課題】一般消費者に特定スペースでの特定消費商品の消費に対応して所定サービスを提供することができるデータ処理システムを提供する。
【解決手段】データ処理システム１００は、特定スペースで一般消費者に消費される特定消費商品ＰＴの特定温度を検出し、その特定温度の検出開始とデジタルコンテンツＤＣの出力開始とを連動させるとともに、特定温度の検出終了とデジタルコンテンツＤＣの出力終了とを連動させる。このため、特定スペースで特定消費商品ＰＴを喫煙する一般消費者に、その喫煙行為に対応してデジタルコンテンツＤＣを効果的に提供することができる。 （もっと読む）

【課題】一般消費者に特定スペースでの特定消費商品の消費に対応して所定サービスを提供することができるデータ処理システムを提供する。
【解決手段】データ処理システム１００は、喫煙スペースＳＳで一般消費者に消費される紙巻タバコＰＴの燃焼温度を検出し、その燃焼温度の検出時間を測定して集計し、集計された検出時間から予想される特定温度の検出終了の直前タイミングとデジタルコンテンツＤＣの出力終了とを連動させる。このため、喫煙スペースＳＳで紙巻タバコＰＴを喫煙する一般消費者に、その喫煙行為に対応してデジタルコンテンツＤＣを効果的に提供することができる。 （もっと読む）

【課題】高いレーザ耐力を有するパワープローブを提供する。
【解決手段】Ａｌの溶融点より高い溶融点を有し、かつ、Ａｌの熱伝導率の０．５倍以上３倍以下の熱伝導率を有する材質にて成る基材部２と、基材部２の表面に溶射処理にて形成されたアルミナ（Ａｌ_２Ｏ_３）にて成るレーザ光吸収体部１と、レーザ光吸収体部１に吸収され基材部２に伝導された熱エネルギーを測温する測温体５と、測温体５により計測された熱エネルギーの大きさを表示する表示部４とを備えたものである。 （もっと読む）

【課題】使用者が検知エリアを変更でき、かつ小型化を可能にする。
【解決手段】ケース４に赤外線検出素子９を収納した赤外線検知器であって、ケース４には赤外線検知素子９の前方において検知窓４ｃが開口する。赤外線検知素子９は受光レンズを有し、ケース４内には、受光レンズと検知窓４ｃとの間で、検知窓４ｃの開口面に沿って摺動する保持シート５が配置される。保持シート５は、検知エリアを決定する複数個のプリズム１，２，３を備え、ケース４内で摺動することにより、何れかのプリズム１、２、３を検知窓４ｃに重ね合わせる。したがって、プリズム１、２、３の選択により検知エリアを変更できる。しかも、プリズム１、２、３は保持シート５に保持されているから、受光レンズの光軸方向の厚みを小さくすることが可能である。 （もっと読む）