【課題】 誘電ボロメータ用酸化物薄膜とその製造方法、さらに誘電ボロメータ用酸化物薄膜を用いた赤外線固体撮像装置を提供する。
【解決手段】 温度に応じて誘電率が変化する赤外線検出用膜であって、Ｂａ（Ｔｉ_1-xＳｎ_x）Ｏ₃（０＜ｘ＜１）の化学式で示され、１℃の温度変化に対する誘電率の変化が２％以上であることを特徴とし、さらに、Ｓｎの化学組成ｘが０．１以上０．２以下であり、膜厚が２μｍ以下である。この赤外線検出用膜を有する誘電ボロメータを用いれば、室温で動作可能な高感度の赤外線検出器および固体撮像装置を実現できる。 （もっと読む）

少なくとも1の光線（2）を受光する受光部（11）を有する受光面（10）を備える光素子であって、受光面（10）には少なくとも1の光検出素子（3）が設けられ、該光検出素子は前記光線の少なくとも一部が光検出素子に放射されたかどうかを検出するように配置されることを特徴とする光素子である。また本発明は光素子を製作する方法に関し、光素子基板には、少なくとも1の薄膜成膜技術を用いて、少なくとも1の光検出素子が設けられる。
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本発明は、電磁放射線を検出するためのセンサであって、センサ素子（１０）と、センサ素子が配設されるハウジング（３１，３３）と、検出される電磁放射線を透過する材料（３２）によって閉鎖されるハウジングの放射線入射窓（３５）とを具備する。該透過材料（３２）は、センサ素子の視野領域に配置されていない固定手段（３８）によってハウジングに固定される。
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本発明は、反射スクリーン（１７）と、放射吸収体、温度計および電気的接続の機能を有するサスペンド膜とを備えるパッシブ・マイクロボロメータ（１２）に関する。この膜は、支持基板（１６）に固定された少なくとも２つのアンカー素子（１５）によって支持される。反射スクリーン（１７）は、厚さ５００Å〜２０００Å程度の少なくとも１つの金属材料層（１８）によって実施されてもよい。スクリーン（１７）および吸収素子（１３）で構成されているユニットの面積抵抗を下げ、また後者による放射の吸収を避けるように、スクリーン（１７）は膜の下に膜の吸収体素子（１３）と電気的に接触して配置される。
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本発明に係る赤外線撮像素子は、１次元または２次元に配列された複数の画素セル（１ａ−１ｄ）を備え、各画素セルは、感熱抵抗体を含み、その感熱抵抗体は、強相関電子系材料からなることを特徴とする。これにより、従来よりも温度分解能の高い赤外線撮像素子を提供することができる。 （もっと読む）

赤外線検出器を製造するに際して、先ず、シリコン基板上に形成された絶縁層上に、電極を形成する。この電極は、前記赤外線検出器を構成する感熱抵抗素子の形状に合わせた形状とされている。この半導体基板を反応槽内に置き、所定の電位とされ、且つ、加熱する。次に、前記感熱抵抗素子を構成する感熱抵抗体の材料をガス化して原料ガスとなし、当該原料ガスをイオンクラスター化して前記反応槽内に供給する。すると、前記電極を所定の電位とすることによって発生する電界の作用により前記原料ガスが前記電極に捕集される。電極に接した原料ガスが電子を受け取って安定化し、熱分解されることによって、電極上に感熱抵抗体が成長する。 （もっと読む）

本発明は、存在する場合もあるドープ剤を別にして、実験式Ｉ：
Ｆe_{３−（ｘ＋ｙ）}Ｍ_ｘＡ_ｙＯ_４＋δ （Ｉ）
を満足する化学組成のスピネル型フェライト構造を有する材料の使用であって、赤外線のボロメーター検出用の薄層における感光材料としての使用に関する。また、本発明は、前記の薄層の形の感応素子を具備した少なくとも一つのセンサーを含む赤外線検出用又は赤外線画像作成用のボロメーター装置を提供する。 （もっと読む）

放射線検出器10は、真空室20を規定するベース2およびウインドウ16を有している。真空室20内には、温度制御されたフィルタ32と、それとの間にギャップｈを規定する焦点平面アレイ（ＦＰＡ）22とが設けられている。フィルタ32は、非情景ソース38、40からＦＰＡ22への伝熱を阻止するために読出し集積回路（ＲＯＩＣ）24および熱電素子28にヒートシンクされる。温度制御されたフィルタ32はまた、関心を払われている所望の波長領域外の放射線の全てのソースを反射するためにバンドパスフィルタを有することができる。温度制御されたフィルタ32はＦＰＡ22と実質的に同じ温度に維持される。 （もっと読む）

周波数範囲において電磁放射線に反応する共振部と、異なる周波数範囲において電磁放射線を放射するために共振部により受信される放射線に反応する変換部と、変換部により放射される放射線を検出する検出部とを有する装置について開示している。一特徴に従って、共振部、変換部及び検出部はそれぞれ、集積回路の一部である。他の特徴に従って、変換部により放射される放射線は赤外線エネルギーである。
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同一基板に、抵抗の温度変化係数が正である抵抗体と、読み出し集積回路（ＲＯＩＣ）とが組み込まれて成るボロメータである。ＲＯＩＣと非常に大きな絶対値の正のＴＣＲを示す抵抗体とが同一の基板に組み込まれているので、高集積と小型化が可能である。 （もっと読む）

電熱フィードバックを利用して、熱放射線センサアセンブリ中の画素のボロメーター形検出要素と環境の間の、その要素の機械的支持構造体と電気インタコネクタによる熱伝導をゼロにして、主として光子線による熱伝導を制限する。バイポーラトランジスタ増幅器の回路の加熱作用によって中間ステージの温度を調節して、機械的支持構造体と電気インタコネクト構造体を通過する温度をゼロにして、電磁線センサの断熱、応答度及び感度を大きく改善する電熱フィードバックによって、機械的支持構造体と電気読み出しインタコネクト構造体に関連する熱伝導をゼロにすることができる。
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【解決手段】 熱検出構造の製作に使用する方法は、その導電接点への電気的接続部の形成に使用するためにその接触領域（即ち、熱検出材料の露出面）を改質する段階を含んでいる。例えば、熱検出材料は、酸化バナジウムであり、その場合には改質は、不活性ガスイオンを使用して、接触領域にバックスパッタリングを施すことにより行われる。導電接点に対する電気的接続部の形成は、導体材料を、少なくとも改質された接触領域に接触させて設ける段階を含んでいる。 （もっと読む）

センサに関連する電子回路を含む、赤外線検出ピクセルのための単層を有する熱センサ構造。電子回路は小さい範囲に置かれ、そのため、ピクセル用電子回路が無い層と比べても、ピクセルが配置される範囲に対しての電子回路の影響は少ない。その層は、シリコンに対してのアクセス・ビアがあるため、基板に対しての付着が構造的に制限され、それにより基板に対して熱的に隔離される。更に、これは、単層の下の基板からシリコンが除去されて形成されたピットにより隔離される。熱センサは、多数のピクセルを含むアレイを有することができ、ピクセルおよび電子回路のための単層を有する。

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【課題】分光学的な設計によって赤外線吸収率を高めるとともに、熱による応力によるセンサの変形を防止できる２層構造のボロメータ型赤外線センサ及びその製造方法を提供する。
【解決手段】本発明のボロメータ型赤外線センサは、前記検出回路基板上部の反射金属層を含む下部層と、前記下部層上に存在し赤外線を共鳴吸収する空胴と、前記空胴上に存在し前記ピクセルの中央部を横切る切断部が形成された吸収透過層と前記吸収透過層の上、下部面を覆うボロメータ層が存在するサンドウィッチ構造の上部層と、前記ピクセルのエッジに位置し前記上部層を支持するとともに電極としての機能を果たすアンカーを含むことを特徴とする。 （もっと読む）

本発明の赤外線検出装置は、支持フレーム（３２；１３０）に固定された共振器要素（３６；７２；９６；１２０）を有する。支持フレーム（３２；１３０）は、装置が受ける赤外線を吸収するよう構成される。共振器要素（３６；７２；９６；１２０）は、温度で変動する共振特性、例えば、共振周波数を有する。本発明の赤外線検出装置は、複数の検出要素（７０）を有し、各検出要素は、支持フレームに固定された共振器要素（７２）を有する。熱検出器を配列した装置も提供される。
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本発明は、検出器エレメントを備え、例えば、非接触温度測定または赤外線分光のための放射線センサーに関し、放射線を吸収して加熱される吸収器エレメント（１３〜１６、５１、５２）と、吸収器エレメント（１３〜１６、５１、５２）を収容するために支持体表面を備えた支持体（２）とからなる。支持体表面は凹部を有しており、吸収器エレメント（１３〜１６、５１、５２）は、吸収器エレメント（１３〜１６、５１、５２）の少なくとも一部が支持体（２）に触れないように支持体表面上で、かつ、凹部の上方に配置されている。本発明によれば、凹部が支持体表面の少なくとも４５％に対応するサイズを有していることにより、前述のタイプの放射線センサーは、可能な最小のチップ表面上に増幅信号を生成するので、小さな測定点が可能になり、従来の標準化された技術で製造可能になる。

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本発明は、放射線を吸収して加熱される吸収器エレメント（１９）と凹部（１８）を有する支持体（１７）とを備えた検出器チップ（２）からなり、例えば、非接触温度測定または赤外線ガス分光用の放射線センサーであって、吸収器エレメント（１９）は、吸収器エレメント（１９）の少なくとも一部が支持体（１７）に接触せず、かつ、支持体（１７）が支持基板（１）に実装されるように、凹部（１８）上に配置されている前述の放射線センサーに関する。本発明によれば、放射線センサーは、放射線を吸収して加熱される吸収器エレメントと凹部を有する支持体とを備えた検出器、好ましくは検出器チップからなり、吸収器エレメントは、吸収器エレメントの少なくとも一部が支持体に接しないように、凹部上に配置され、支持体の凹部の少なくともベースまたはフロア表面が、少なくとも部分的に、検出のために放射線を反射する材料からなり、前述の放射線センサーを設けることができ、少なくともベースまたは凹部（１８）のフロア表面が、検出のために放射線を反射し、かつ、その下方に支持基板（１）が配置される材料（７）を少なくとも部分的に有している。

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【課題】従来の赤外線カメラにおいては、製品試験時（出荷前）に予め測定した欠陥画素に対しては欠陥補正可能であるが、カメラ運用中に経年変化等により感度異常となった画素に対しては補正の手段が無いという問題があった。
【解決手段】複数の画素を有する検出器と、この検出器の欠陥画素を検出する際に前記検出器に対峙する遮蔽部材と、この遮蔽部材を第１の設定温度並びにこの第１の設定温度と異なる第２の設定温度に制御可能な第１の温度制御部とを有し、この第１の温度制御部によって前記第１の設定温度に制御された前記遮蔽部材を撮影した際の各画素の出力と、前記第１の温度制御部によって前記第２の設定温度に制御された前記遮蔽部材を撮影した際の各画素の出力とを比較し、この比較結果に基づいて欠陥画素を検出するようにして赤外線カメラを構成した。 （もっと読む）