【課題】放射を受信するアンテナ機能と、受信した電磁力を熱量に変換する変換機能および熱測定機能を分離したボロメータ検出器。
【解決手段】ボロメータ検出器は以下を備えている：電磁放射を収集するための第１および第２の交差ボウタイアンテナ（５４、６８）と；サポートと熱的分離アーム（６２）とによって基板（５２）の上に支持されるボロメータマイクロブリッジ構造（５６）であって：収集された電磁力を熱量に変換するため前記アンテナ（５４、６８）に結合される抵抗負荷と；生成された熱量によって温度上昇可能に抵抗負荷に結合される熱測定素子。第１アンテナ（５４）はマイクロブリッジ（５６）の外側にあって抵抗負荷と容量性結合し、第２アンテナはマイクロブリッジ（５６）の中にあって抵抗負荷と抵抗結合している。 （もっと読む）

【課題】配線のレイアウトの自由度が高く且つ高感度化を図れる赤外線センサを提供する。
【解決手段】シリコン基板１と、シリコン基板１の主表面側に形成されてシリコン基板１に支持された薄膜構造部６とを備え、シリコン基板１に薄膜構造部６におけるシリコン基板１側の表面の一部を露出させる開口部１１が形成されている。薄膜構造部６は、シリコン基板１の主表面における開口部１１の周部の全周に亘って形成された支持部６１の内側に配置される赤外線受光部６３が２つの短冊状の連結部６２，６２を介して支持部６１に支持されるとともに赤外線受光部６３の温度変化を検出するサーモパイルからなる感温素子３が設けられている。赤外線受光部６３の周囲には連結部６２，６２を除いて支持部６１との間にスリット６４，６４が形成されており、支持部６１における赤外線受光部６３との対向面を開口部１１の開口縁から後退させてある。 （もっと読む）

【課題】低コストで小型化を図れる赤外線センサの製造方法を提供する。
【解決手段】主表面が｛１００｝面のシリコン基板１の主表面上に薄膜構造部６を形成し（図１（ｄ））、シリコン基板１の主表面に凹所１１を形成する（図１（ｈ））。凹所１１の形成にあたっては、薄膜構造部６のうちシリコン基板１の凹所形成予定矩形領域に対応する仮想の矩形状規定領域の中央部に第１のエッチングホール７を形成し、第１のエッチングホール７を通してシリコン基板１を等方性エッチングすることで凹所形成予定矩形領域の内側に凹所１１よりも小さな小凹所１０を形成する等方性エッチングを行い、薄膜構造部６のうち矩形状規定領域の２つの対角線それぞれの両端部に対応する各部位に第２のエッチングホール８を形成し、各エッチングホール７，８を通してアルカリ系溶液を導入してシリコン基板１を異方性エッチングすることで凹所１１を形成する。 （もっと読む）

赤外放射を検出するための装置であって、放射を検出するためのボロメーターのアレイと、各ボロメーターを読み取るために、ボロメーターを通して電流を流すためにあらかじめ設定された電圧でボロメーターにバイアスを印加することができる回路構成、共通モード電流を生成することができる回路構成、及びボロメーターを流れる電流と共通モード電流との間の差を積分することができる回路構成を有する信号成形回路構成とを備える装置を提供する。装置は、ボロメーターの抵抗値をボロメーターのオフセットによって決まるあらかじめ設定された量だけ変更するために、各ボロメーターに電流を注入することができる補正回路構成を備え、電流の注入はボロメーターの読み取りバイアス印加の前に実行され、変更はボロメーターの抵抗値が温度の関数として変化する方向に従って実行される。補正回路構成は、ボロメーターの抵抗値を共通の値に向けて変更することができる。
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【課題】応答速度および感度の向上を図れ、しかも、構造安定性の向上を図れる赤外線アレイセンサを提供する。
【解決手段】各画素部２では、ベース基板１に赤外線吸収部３３を当該ベース基板１から熱絶縁するための掘込部１１が形成され、ベース基板１の上記一表面側で平面視において掘込部１１の内側に赤外線吸収部３３を有し掘込部１１を覆う薄膜構造部３ａが形成されており、薄膜構造部３ａが、複数の線状のスリット１３により掘込部１１の周方向に沿って並設されそれぞれベース基板１に片持ち支持された複数の小薄膜構造部３ａａに分離され、各小薄膜構造部３ａａごとにサーモパイルからなる感温素子３０ａが設けられ、全ての感温素子３０ａが直列接続されている。 （もっと読む）

【課題】酸化バナジウムからなるセンサ部材を備えた集積回路装置において、過大な電流によりセンサ部材が破壊されることがなく、信頼性が高い集積回路装置を提供する。
【解決手段】半導体集積回路装置１において、電源電位配線から接地電位配線に向かって、温度モニタ部材Ｒ２及びＲ１を直列に接続すると共に、温度モニタ部材Ｒ３及びＲ４を直列に接続する。温度モニタ部材Ｒ１及びＲ３は酸化バナジウムにより形成し、シート層５に配置する。また、温度モニタ部材Ｒ２及びＲ４はアモルファスシリコンにより形成する。そして、出力端子Ｖｏｕｔ１及びＶｏｕｔ２に接続された差動増幅部を設ける。 （もっと読む）

【課題】応答速度および感度の向上を図れ、しかも、構造安定性の向上を図れる赤外線アレイセンサを提供する。
【解決手段】各画素部２では、ベース基板１に赤外線吸収部３３を当該ベース基板１から熱絶縁するための掘込部１１が形成され、ベース基板１の一表面側で平面視において掘込部１１の内側に赤外線吸収部３３を有し掘込部１１を覆う薄膜構造部３ａが形成されており、薄膜構造部３ａが複数の線状のスリット１３により掘込部１１の周方向に沿って並設されそれぞれベース基板１における掘込部１１の周部から内方へ延長された複数の小薄膜構造部３ａａに分離され、各小薄膜構造部３ａａごとにサーモパイルからなる感温素子３０ａが設けられ、全ての感温素子３０ａが直列接続されてなり、隣接する小薄膜構造部３ａａ，３ａａ同士を連結する連結片３ｃが形成されている。 （もっと読む）

【課題】ダイオードをマトリクス状に2次元に配置し、行単位で、定電流で駆動される熱型赤外線固体撮像素子では、配線での電圧降下量が画素毎に異なることによる出力分布が課題であった。
【解決手段】熱型赤外線固体撮像素子は、垂直電源線（５０４）に画素ピッチ単位で設けた可変抵抗素子（例えば、MOSトランジスタ）（１０１）と、垂直電源線の電位を保持するサンプルホールド回路（１０２）と、垂直信号線と同一抵抗をもつ第２の垂直信号線（１０３）と、第２の垂直信号線に接続される電流源（１０４）と、サンプルホールド回路（１０２）の電位と第２の垂直信号線（１０３）の電位に基づき、可変抵抗素子（１０１）の抵抗値を制御する回路（１０５）とを備える。 （もっと読む）

【課題】簡便かつ確実に目標物を検知することができる赤外線撮像装置及び赤外線画像の表示方法の提供。
【解決手段】広視野検知部と狭視野検知部とを備え、少なくとも前記狭視野検知部の撮像方向が制御可能な赤外線撮像装置において、前記広視野検知部で撮像した広視野赤外線画像を解析して、予め定めた閾値以上の温度の１つの画素又は複数の連続若しくは近隣する画素からなる高温物体を検知し、前記広視野赤外線画像中の高温物体を中心とする矩形状の枠内に、前記狭視野検知部で当該高温物体近傍を撮像した狭視野赤外線画像を合成して出力する処理部を備え、前記処理部は、検知した高温物体が複数の場合は、前記広視野赤外線画像における高温物体同士の距離に基づいて、１つの高温物体の前記狭視野赤外線画像が前記広視野赤外線画像上の他の前記高温物体に相重ならないように、前記枠のサイズを決定する。 （もっと読む）

【課題】信号の読み出し時のノイズを可及的に少なくすることを可能にする。
【解決手段】半導体基板上に形成され、入射赤外線を検出する赤外線検出画素１２_１１であって、赤外線検出画素は入射赤外線を吸収して熱に変換する赤外線吸収膜と、この赤外線吸収膜によって変換された熱を電気信号に変換する第１熱電変換素子１４と、を有する熱電変換部を備えている赤外線検出画素１２_１１と、第１熱電変換素子の一端が接続され赤外線検出画素からの電気信号を読み出すための信号線１８_１と、信号線から読み出された電気信号を増幅する増幅器３１_１と、第２熱電変換素子１４を有し、第２熱電変換素子の一端が信号線に接続されて第１熱電変換素子と直列に接続される参照画素１１_１と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】信号の読み出し時のノイズを可及的に少なくすることのできる赤外線固体撮像素子を提供することを可能にする。
【解決手段】入射赤外線を検出する複数の赤外線検出画素がマトリクス状に配列された有感度画素領域と、複数の参照画素が設けられる参照画素領域と、を備えている。各赤外線検出画素は前記入射赤外線を吸収して熱に変換する赤外線吸収膜と、この赤外線吸収膜によって変換された熱を電気信号に変換する第１熱電変換素子と、を有する熱電変換部を有し、各参照画素は、第２熱電変換素子を有し、参照画素のそれぞれの一端が共通の参照電位線に接続され、赤外線検出画素からの信号線を介して読み出された信号電位と、参照電位線からの参照電位との差を増幅して出力する。 （もっと読む）

【課題】安価に製造することができる赤外線検出器及び当該赤外線検出器を組み込んだデバイス製造装置の提供。
【解決手段】赤外線を透過する窓材と、感熱抵抗体が梁によって基板から浮いた状態で支持されてなる赤外線検出素子と、前記赤外線検出素子を気密状態で封止可能な密封容器と、前記赤外線検出素子と外部回路とを接続するための端子と、前記密封容器の内外を繋ぐ、閉じられていない排気管と、を少なくとも備える赤外線検出器であって、前記赤外線検出器は、デバイス製造装置のチャンバ内の、試料を望む位置に配置され、前記試料から放射され、入射光学系により集光された赤外線を検出して当該試料の表面温度を測定するために使用され、前記チャンバが真空引きされる際に、前記排気管を介して前記密封容器内も真空引きされる。 （もっと読む）

【課題】製造工程が煩雑となるのを可及的に防止することを可能にする。
【解決手段】半導体基板上にマトリクス状に配列された複数の画素群であって、各画素群はそれぞれマトリクス状に配列された同じ個数の画素を有し、各画素は、入射された赤外線を吸収しこの吸収した赤外線を熱に変換する赤外線吸収膜と、前記赤外線吸収膜と電気的に絶縁され前記赤外線吸収膜からの熱を検出することにより電気信号を生成する熱電変換素子と、を有する、画素群と、列方向において隣接する前記画素群間に設けられ、前記各画素群において同一列方向に配列された画素の個数と同じ本数の行選択線を有する行選択線群と、行方向において隣接する前記画素群間に設けられ、前記各画素群において同一行方向に配列された画素の個数と同じ本数の読み出し信号線を有する読み出し信号線群と、を備え、前記行選択線群と前記読み出し信号線群との交差部は、前記半導体基板の支持部によって支持されている。 （もっと読む）

【課題】熱感知器の薄型化を図る。
【解決手段】本体３と、該本体３に設けられた吸熱板１１と、該吸熱板１１の内面１１ａと対向する位置であって、前記吸熱板１１と離して設けられたサーモパイル７と、前記本体３に設けられたサーミスタ９と、を備えている。前記本体３は、円錐台形部５ｂを有する筐体５に覆われており、前記吸熱板１１は、前記円錐台形部５ｂの頂面５ｃに設けられている。 （もっと読む）

【課題】赤外線吸収層の赤外線吸収率を増加させて、熱型赤外線センサの検出感度を向上させる。
【解決手段】本発明による熱型赤外線センサは、赤外線受光部１１と、回路基板１上の空洞部を介して保持され、入射する赤外線を熱変換して得た熱を赤外線受光部１１に伝達する赤外線吸収膜とを具備する。赤外吸収膜における赤外線入射面と、入射面の裏面である空洞部側の透過面とに、赤外線吸収膜の膜厚より大きく、膜厚の１０倍以下の幅の凸部又は凹部が形成されている。 （もっと読む）

【課題】 特性を向上可能なセンサ及びその製造方法を提供する。
【解決手段】 このセンサに入射した赤外線は、ＡＲコートを施したシリコン基板などからなる赤外線透過基板（赤外線透過窓）ＦＬを透過し、熱電対等の赤外線検出部４，６に入射する。赤外線検出部４，６は、これに入射した赤外線を電気信号に変換している。貫通孔Ｐは角錐台形状を有し、貫通孔Ｐの径は、半導体基板１の裏面側から表面側に向かって小さくなっており、貫通孔Ｐ内にバンプＢが配置され、バンプＢの外表面は絶縁膜Ｐｉに接触しており、この接触位置よりもコンタクト電極ＣＥとは反対側のバンプＢの外表面と絶縁膜ｐｉとの間には隙間があり、且つ、バンプＢは半導体基板１の貫通孔Ｐからはみ出す部分を有している。 （もっと読む）

【課題】従来の赤外線検出器は熱型赤外線受光素子とシート状ゲッターが同一平面上に実装されているため、ゲッター活性化に伴うゲッターの発熱時に発生する輻射熱により熱型赤外線受光素子、ダイボンディング材への影響を与える、ゲッターの溶接状態のバラツキが発生するという課題があった。
【解決手段】ガラスにて気密封止された電気的接続端子を備える金属製のベース１の金属製ベース部に段差を持たせ熱型赤外線受光素子２を実装するベース平面とシート状ゲッター４を実装する平面が異なる高さ平面とし、ゲッター実装用電気的接続端子８をネイル形状とすることにより、輻射熱の影響、溶接状態のバラツキの低減が図れる構造としたことを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】様々な波長の赤外線を高効率で検出できる波長選択型赤外線検出器を提供する。
【解決手段】基板１の一面上に配置された第１ミラー２０と、該第１ミラー２０と相対するように第１ミラー２０上に支持体３０を介して配置され、支持体３０間のエアギャップＡＧを架橋する部位がメンブレンＭＥＭ２とされた第２ミラー４０との間に、赤外線検出素子５１を有する赤外線検出部３を設けた。 （もっと読む）

【課題】対象物体の検出の精度を向上し、検出における誤りを低減する移動方向検出装置を提供する。
【解決手段】移動方向検出装置は、対象物体の有無により出力する信号が変化するセンサ部と、前記センサ部から出力される信号のレベルの変化に応じて、前記対象物体の有無を判断する閾値を変化させて、前記センサ部から出力される信号と該閾値とを比較することにより前記対象物体の有無を示すパルス信号を出力する比較部と、前記比較回路から出力されるパルス信号から前記対象物体の移動方向を出力する判定部とを具備する。 （もっと読む）

【課題】スタンドアロンの状態で所望の熱画像データのみを取得するとともに、センサ本体に熱画像データを保存する熱画像センサを提供する。
【解決手段】監視エリア内の赤外線量を赤外線検知部１１で検知し、この検知した赤外線量に基づく赤外線検知情報と記憶部１３に記憶される異常識別用閾値とを比較して監視エリア内において異常が発生したか否かを判別し、異常が発生したと判別すると、このときの赤外線検知情報と画像処理情報とに基づき作成された熱画像データを記憶部１３の熱画像データ保存領域１３ａに保存する。 （もっと読む）