【課題】変形させることが可能であり、しかも感度の高い焦電型赤外線センサを提供する。
【解決手段】ポリイミドやポリエチレンテレフタラート等の高分子材料から成る可撓性のある基板４１Ｂとフッ化ビニリデン（VDF）オリゴマーから成る層４３Ｂを設け、VDFオリゴマー層４３Ｂの上下にAlの蒸着膜等から成る可撓性のある電極４４Ｂ及び４２Ｂを設ける。これら各構成要素の可撓性により、本発明の焦電型赤外線センサは全体として可撓性を有する。また、基板４１Ｂの周囲にアクチュエータ４６を複数配置する。これらアクチュエータ４６による押圧力を調整することにより、曲率の異なる所望の形状に変形させることが可能である。また、従来の焦電型赤外線センサで用いられているSi等の基板よりも、高分子材料から成る基板の方が熱容量及び熱伝導率が低いため、センサの感度を高めることができる。 （もっと読む）

【課題】小型化可能な光学センサー及び電子機器等を提供すること。
【解決手段】光学センサーは、半導体基板１０に位置するフォトダイオード用の不純物領域３１、３２と、フォトダイオードの受光領域に対する入射光の波長を制限するための光バンドパスフィルター６１、６２と、フォトダイオードの受光領域に対する入射光の入射角度を制限するための角度制限フィルター４１、４２と、を含む。光バンドパスフィルター６１、６２は、フォトダイオード用の不純物領域３１、３２と角度制限フィルター４１、４２の間に位置し、角度制限フィルター４１、４２は、半導体プロセスによって形成された遮光物質（光吸収物質または光反射物質）によって形成される。 （もっと読む）

【課題】視野角と、検出領域の数およびサイズを変えることなく感度を向上させることが可能な赤外線センサを提供する。
【解決手段】赤外線センサは、複数のレンズ１０が一曲面上で組み合わされ各レンズ１０の焦点位置が同じである多分割レンズ１と、上記焦点位置よりも多分割レンズ１に近い位置に配置された赤外線検出素子２とを備えている。さらに、赤外線センサは、多分割レンズ１と赤外線検出素子２との間に配置された光学素子３を備えている。光学素子３は、各レンズ１０の各々から入射する赤外線のうち、赤外線検出素子２における多分割レンズ１側の面の中心の法線に対して傾いている赤外線を、上記法線とのなす角度を小さくするように屈折させて赤外線検出素子２へ入射させる機能を有するように設計してある。 （もっと読む）

【課題】光検出の装置および方法を提供する。
【解決手段】特に顕微鏡、分光計またはカメラ用の光検出装置は、複数の単一光子アバランシェダイオード（ＳＰＡＤ）のアレイで構成される少なくとも１つのシリコン光電子増倍管（ＳｉＰＭ）を含み、このアレイは面積が入射光より大きく、特定の最低強度の光が当たるＳＰＡＤだけがアクティブ化され、および／または分析される。この装置を利用する方法。 （もっと読む）

【課題】パラサイト赤外線に対する統合化されたシールドを有する赤外線撮像デバイス及びその製造方法を提供する。
【解決手段】本デバイスは、赤外線検出器（４０）を有する支持体（６２）と、検出器に面する少なくとも１つの光学デバイス（２８）と、パラサイト赤外線に対するシールドとを備える。シールドは、互いに離間し、支持体から光学デバイスまで延び、ベントを有し、支持体と光学デバイスの間を横方向に貫通するパラサイト赤外線を顕著に減衰させる材料で作成された、少なくとも２つの連続するビード（ｃ１，ｃ２）を備える。これらベントを有する２つのビードは、バッフルを形成する。デバイスは、フリップチップ技術を用いて製造される。 （もっと読む）

【課題】受光素子の受光面に発光層からの直接光や対象物から斜めに入射した散乱光が入射することを抑制しつつ装置を薄型化する。
【解決手段】センシング装置は発光部２０と受光部３０を備え、発光部２０は受光部３０より対象物Ｆ側に位置する。発光部２０は、照射光ＩＬを発する発光層２６と、照射光ＩＬと反射光ＲＬを透過する第１電極２２と、照射光ＩＬと反射光ＲＬを遮光すると共に開口部が形成された第２電極２４とを備える。また、受光部３０は、反射光ＲＬを受光する受光素子Ｄを備える。対象物Ｆ側から平面視した場合に、受光素子Ｄの受光面は第２電極２４の開口部内に位置する。 （もっと読む）

【課題】焦電素子の数を増やさなくても、移動体の移動状況を検知できるようにする。
【解決手段】焦電型赤外線センサ装置は、焦電素子１の前方に、複眼の眼毎に赤外線の透過量が異なる複眼レンズ２を設け、この複眼レンズ２を透過した赤外線の強度により複眼レンズ２のうちどの眼を透過したかを判別すると共に、時系列の判別結果に応じて移動体の移動状況を検出する。複眼レンズ２の左側領域内の各眼Ｒ１〜Ｒ６には、透過減衰シート５が貼り付けられている。この場合、複眼レンズ２の右側領域内における各眼Ｒ７〜Ｒ１２の赤外線透過率を略１００％とすると、左側領域内における各眼Ｒ１〜Ｒ６の赤外線透過率は略８０％となっている。 （もっと読む）

【課題】撮像画像の画像品質を向上する。
【解決手段】熱電対素子群２１０の受光面がグレーティング構造になるように、複数の熱電対２１１〜２１６について間を隔てて配置する。入射光がグレーティング構造へ入射して受光面でプラズモン共鳴が発生し、その熱電対素子群２１０においてプラズモン共鳴が発生した部分の温度が変化することによって、各熱電対２１１〜２１６において起電力が生ずるように、熱電対素子群２１０を形成する。 （もっと読む）

【課題】焦電型の赤外線検出素子及びこれを用いた赤外線検出装置において、画素として用いる赤外線検出素子の受光面積を小さく、膜厚を薄くしても、ノイズの影響を低減化することを目的とする。
【解決手段】基板１１と、支持電気絶縁層１２と、第１の電極１４と、焦電層１５と、第２の電極１６と、を備える。焦電層１５は、受光面積が１×１０^２μｍ^２以上１×１０^４μｍ^２以下であり、膜厚が０．８μｍ以上１０μｍ以下であり、且つ、Ｐｂ（Ｚｒ_ｘＴｉ_１−ｘ）Ｏ_３（但し０．５７＜ｘ＜０．９３とする）で表される化合物を主成分とする。圧電ノイズを抑え、十分な焦電特性が得られ、高い感度の検出が可能となる。 （もっと読む）

【課題】応答速度の高速化を図れ、且つ、温度検知部の受光効率および感度の低下を抑制することができる赤外線センサを提供する。
【解決手段】ベース基板１と、赤外線を吸収するとともに該吸収による温度変化を検知する温度検知部３と、温度検知部３がベース基板１の一表面から離間して配置されるように温度検知部３を支持して温度検知部３とベース基板１とを熱絶縁する断熱部４と、温度検知部３におけるベース基板１側とは反対側に配置された受光レンズ２０とを備える。温度検知部３は、ベース基板１の厚み方向に直交する面内で２次元アレイ状に配列された複数のボロメータ形のセンシングエレメントからなる温度検知素子３ａを有し、全ての温度検知素子３ａを直列接続してある。受光レンズ２０は、各温度検知素子３ａに各別に赤外線を収束させるように２次元アレイ状に配列された複数のレンズ小体２１を有する。 （もっと読む）

【課題】微小フィルターと対応する受光素子との間で発生するクロストークを低減して、画質を向上させる偏光イメージセンサーを提供する。
【解決手段】この偏光イメージセンサー５０は、複数の受光素子６が１次元的、または２次元的に配列されたイメージセンサー７と、各受光素子６に対向配置されたマイクロレンズ（光学素子）３と、イメージセンサー７の受光素子６と対応する複数の領域に、少なくとも２種類以上の異なる偏光特性を有する微小フィルター２１、２２によって構成される偏光フィルター１と、を備え、各微小フィルター２１、２２と各マイクロレンズ３との間を透明な樹脂部材２により接続した。 （もっと読む）

【課題】一度に処理する処理量を少なくし、安価な部品構成のものを選択でき、処理時間も短縮できるセンサ装置を提供する。
【解決手段】センサ本体12のセンサ素子18が配列された全領域を複数の分割領域Ｓに分割する。１つの分割領域Ｓ毎にその分割領域Ｓに含まれるセンサ素子18からセンサ信号を出力させるように、全領域のセンサ素子18を分割領域Ｓ毎に順に駆動する。分割領域Ｓ毎にセンサ信号の記憶およびセンサ信号に基づく人体の判定が可能となり、全体を一度に処理した場合に比べて一度に処理する処理量が減少する。 （もっと読む）

【課題】調節可能なマルチモードの光照射野結像システムを提供する。
【解決手段】光学的なモジュール１０５は、物体１５０の光学的な像１７０を形成する。光学的な像は、光学的なモジュール像平面１２５に形成される。光学的なモジュールは、開口１１７及び開口面１１５を有するが、単一のレンズ素子と共同で配置された開口絞りによって表される。より複雑な光学的なモジュールにおいては、開口及び開口面は、光学的なモジュール内の光学的な素子のいずれのものとも共同で配置される必要はない。不均質なフィルターモジュール１１０は、光照射野結像システムの開口面に位置決めされると共にマルチモードの性能を提供する。フィルターモジュールを結像システムに対して相対的に移動させることができると共に、このようにマルチモードの性能の調節を可能にする。 （もっと読む）

本装置は、偏光フィルターセルのアレイであって、各セルが第一の偏光方向を有する第一の偏光フィルター及び第一の偏光方向とは異なる第二の偏光方向を有する第二の偏光フィルターを備えた、アレイと；偏光フィルターのアレイ上に光を向ける光学システムと；それぞれ第一及び第二の偏光フィルターを介して受光した光からデータを生成する第一及び第二の光センサーとを備える。また、本方法は、偏光フィルターセルのアレイ上に光を向けるステップであって、各セルが第一の偏光方向を有する第一の偏光フィルター及び第一の偏光方向とは異なる第二の偏光方向を有する第二の偏光フィルターを有する第二の偏光フィルターを有する、ステップと；それぞれ第一及び第二の光センサーによって第一及び第二の偏光フィルターを介して受光した光からデータを生成するステップと；データに基づいて偏光パターンを導出するステップとを備える。
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【課題】人体を確実に検出できる赤外線センサ装置を提供する。
【解決手段】赤外線を検出する複数のセンサ素子52をマトリクス状に配列した赤外線センサ本体41を設ける。赤外線を赤外線センサ本体41の受光面に導く光学系を設ける。光学系により赤外線センサ本体41の受光面に導かれる赤外線の強度分布に応じて、各センサ素子52の感度を調整する感度調整手段61を設ける。感度調整手段61では、赤外線の強度が強い位置のセンサ素子52の感度を低く、赤外線の強度が弱い位置のセンサ素子52の感度が高く調整し、各センサ素子52から出力する検出信号の強度を均等にする。 （もっと読む）

【課題】複眼レンズの各レンズ部を通じての赤外線検出の感度が高く、安定した検出ができる赤外線検出器を提供する。
【解決手段】赤外線を検出する複数のセンサ素子が区画して配列されて受光面53が形成された赤外線センサ41を用いる。赤外線を集光する複数のレンズ部47a，47b，47cの集光位置が赤外線センサ41の受光面53上で分散して分布されている複眼レンズ47を用いる。周辺域のレンズ部47a，47cから受光面53に入射する赤外線の入射角度を小さくする。各レンズ部47a，47b，47cの焦点距離の調整し、各レンズ部47a，47b，47cで赤外線検出する検知エリアＡ、Ｂ、Ｃを受光面53に結像する倍率を等しくする。 （もっと読む）

【課題】複眼レンズの設計を容易にでき、確実で安定した熱源の検出ができる赤外線検出器を提供する。
【解決手段】赤外線エネルギを検出する受光部12を用いる。所定の検知エリア内の赤外線を受光部12に集光する複数のレンズ部13a，13b，13cを有する複眼レンズ14を用いる。所定の検知エリアの全域に、複眼レンズ14の各レンズ部13a，13b，13cを通じて赤外線を受光部12に集光する個別検知エリアが存在し、これら個別検知エリアの少なくとも一部が重なっている。 （もっと読む）

【課題】受光箇所によって撮像感度が異なるといった不具合を解消して安定した撮像を得ることができる赤外線撮像素子の製造方法を提供する。
【解決手段】基板３０上に光吸収層１０およびシリコン層２０を積層して得た撮像デバイスチップ４０の厚さ分布を測定し、所望の厚さを超えている箇所が認められたら、その箇所のシリコン層２０の表面を研磨して厚さを減じる。この後、シリコン層２０の表面に多数のレンズ５０を有するレンズユニット５１を積層して撮像素子１を得る。レンズ５０の表面から光吸収層１０までの距離が一定となり、安定した撮像が得られる。 （もっと読む）

【課題】光学素子の中心軸に対し傾いて入射する光を集光させることができる光学素子、及び、光学素子の中心軸に対し傾いて入射する光をより確実に検知できる赤外線センサを提供する。
【解決手段】赤外線センサ１は、光学素子としてのレンズアレイ２と感熱部としてのセンサアレイ３とを有し、センサ部４が複数、形成されている。レンズアレイ２は、レンズ本体５と、当該レンズ本体５に形成された光学素子群６とを有する。光学素子群６は、光学素子７が縦横に所定の間隔をあけてレンズ本体５の一面5aに配列されている。各光学素子７は、放物面８の光軸a1,a2,a3,a4の傾きがそれぞれ異なっており、光学素子群６全体として種々の角度から入射した光を集光し得るように構成されている。 （もっと読む）

【課題】投影光学系の開口数が増大しても投影光学系からの露光光を受光して、各種の計測を行うことができる露光装置等を提供する。
【解決手段】センサ４０は、平凸レンズ４１及び受光素子４２を含んで構成される。平凸レンズ４１の平坦部４１ａには、Ｃｒ（クロム）等を蒸着して遮光部４３と光透過部４４が形成されている。この平凸レンズ４１は上面がウェハステージの上面１５ａと一致するように配置される。投影光学系ＰＬと平凸レンズ４１との間には液体ｗが供給され、投影光学系ＰＬから液体ｗに入射した露光光のうち、光透過部４４に入射した露光光は、気体中を通過せずに平凸レンズ４１に入射して収束される。 （もっと読む）