【課題】 ＭＥＭＳデバイスをＣＭＯＳ ＬＳＩと同一基板上に混載する点において、ＬＳＩプロセスと整合性良く、またＬＳＩ領域から発生する水分、熱などのＭＥＭＳデバイスへの影響を抑制することができる半導体装置を提供する。
【解決手段】 第１領域及びこの第１領域に隣接する第２領域を有する半導体基板（５００）と、第２領域に形成される集積回路（４０１）と、第１領域と第２領域との境界に壁状に形成され、第１及び第２領域を電気的且つ空間的に分離する支柱構造体（４１４）と、この支柱構造体に支持され、第１及び第２領域上を覆うように積層形成されている薄膜構造体（４１９、４２７）と、第１領域にある薄膜構造体下部に形成される空間に配置される機械的可動部を備え、集積回路に電気的に接続されている素子（４２４）とを具備する。 （もっと読む）

【課題】 内部応力による検出部等の傾きが発生しない赤外線検出器およびそれを含む赤外線固体撮像装置を提供する。
【解決手段】
検出部の温度変化を検知膜で検出する略矩形の赤外線検出器が、基板と、検知膜が設けられた検出部と、検出部を基板上に支持する支持脚と、支持脚に設けられ、検知膜と接続された配線層とを含む。赤外線検出器の対角線の交点における、基板表面に対する法線に対して、支持脚が線対称となるような構造を有する。赤外線固体撮像装置は、マトリックス状に配置された赤外線検出器を含む。 （もっと読む）

【課題】２つの閾値レベルを容易にかつ安定して設定しうる構成を提供する。
【解決手段】検出部３０が液中にないときの検出信号のレベルを基準レベルＬ０〔液無し状態〕とし、その基準レベルＬ０から所定割合だけシフトさせた２つの閾値Ｌ１〔液不足状態〕、Ｌ２〔液入れ状態〕を設定し、その閾値Ｌ１、Ｌ２と検出部３０から出力される検出信号のレベルとの比較に基づいて液体検出を行う。閾値設定は、予め設定される基準レベルＬ０から第１シフト割合だけシフトさせて第１閾値Ｌ１を設定し、その第１閾値Ｌ１の設定における基準レベルＬ０からのシフト方向と同方向に、第１割合とは異なる第２シフト割合だけ基準レベルＬ０からシフトさせて第２閾値Ｌ２を設定する。 （もっと読む）

【課題】 実際の炎の炎のゆらぎに基づき、二つの赤外線の出力比が変化することに着目し、二つの赤外線の出力比が所定の分布状態にあることを捉えて確実に炎の火災を判別することができることを目的とする。
【解決手段】 炎が発する特有の波長帯域の赤外線を検出する主赤外線センサ１と、主赤外線センサ１とは異なる波長帯域の赤外線を検出する副赤外線センサ１１と、両赤外線線センサ１、１１の検出信号の出力比を演算する演算手段として機能するＣＰＵ３２と、該演算手段が演算した出力比が所定の分布状態にあることに基づいて炎を判別する炎判別手段として機能するＣＰＵ３２とを備えて構成されている。 （もっと読む）

【課題】 従来の赤外線撮像装置は検出器の感度バラツキ補正を行う場合、数秒間にわたり外部の時間を遮光するシャッタを用いていたため、運転者が画像情報を画像補正期間中に見ることができなかった。
【解決手段】 今回の赤外線撮像装置は、電子シャッタを用いて感度バラツキ補正用データをフレーム信号に同期して、フレーム単位で取得し、1秒間１フレームだけ画像取得し、複数フレームのデータから算出したデータに基づき、運転者へ画像を表示しながら、感度バラツキ補正を行うようにした。 （もっと読む）

【課題】応答速度を極力低下させることなく、広い領域で赤外線を吸収することができる高感度の非冷却赤外線検出素子を提供する。
【解決手段】表面に空洞部が設けられた半導体基板と、前記半導体基板の前記空洞部を囲む領域に形成された配線部と、前記配線部に接続され、前記配線部より内側で前記半導体基板の空洞部上に配置された支持部と、前記支持部に接続されて前記支持部より内側で前記半導体基板の空洞部上に支持され、下部から順に配置された熱電変換部、第１反射層および第１吸収層を含む検出セルと、前記検出セル上に、前記第１反射層の領域以外の領域を覆いかつ前記支持部の上方に張り出すように形成された第２反射層と、前記検出セル上に形成された支柱により、前記検出セルおよび前記第２反射層の上方に間隙を隔てて形成された第２吸収層とを具備したことを特徴とする非冷却赤外線検出素子。 （もっと読む）

【課題】 赤外線を効率よく赤外線吸収膜に入射させ検出感度を向上させることができる赤外線検出器を提供すること。
【解決手段】 赤外線検出器２００は、赤外線センサ素子１００が、台座３１０とキャップ３２０からなるケース３００内に配置されて構成される。赤外線センサ素子１００は、基板１０、検出部２０、赤外線吸収膜３０を備える。そして、赤外線検出器２００は、台座３１０上に処理回路４００が接着剤４１０にて固定され、その処理回路４００上に赤外線センサ素子１００が接着剤１１０にて固定されている。この状態で、キャップ３２０が台座３１０との間に形成する空間内に赤外線センサ素子１００及び処理回路４００を収納するように台座３１０に組み付けられている。このキャップ３２０は、金属系の材料からなり、内側表面（赤外線センサ素子１００を収納する側）に赤外線に対する反射率が高い反射膜３３０を備える。 （もっと読む）

【課題】圧電性ノイズやクラックの発生を防止し、製造を容易にし、且つ、不良の発生を回避する。
【解決手段】焦電性エレメント４の下面の中央の、焦電性エレメント４の下面の面積の９％〜１６％に相当する面積の領域だけで、焦電性エレメント４をサブマウント７により支持し、その余は空隙ｇとする。
【効果】焦電性エレメントの変形が可能になり、圧電性ノイズが発生したり、クラックが発生してしまうことを防止できる。サブマウントの面積を焦電性エレメントの下面の面積の９％〜１６％の間で正確に規定でき、過不足のない熱伝導リンクを形成できる。製造時に充填材を挟み込む煩雑な作業が不要になり、充填材に起因する不良も発生しなくなる。 （もっと読む）

【課題】外部的な制御を行うことなく受光光量に応じて受光光量のダイナミックレンジを抑圧して適正範囲の受光出力を得る。
【解決手段】シリコン層の主機能層１１に絶縁層１４を介して２個の分配電極１２ａ，１２ｂが設けられる。両分配電極１２ａ，１２ｂに逆極性の分配電圧を印加すると、主機能層１１で受光光量に応じて生成された電子およびホールが各分配電極１２ａ，１２ｂに対応して形成されたポテンシャル井戸１１ａ，１１ｂに振り分けて集積される。各ポテンシャル井戸１１ａ，１１ｂに電子とホールとが集積されている状態で分配電極１２ａ，１２ｂに印加する分配電圧の極性を入れ換えると、ポテンシャル井戸１１ａ，１１ｂの間で電子とホールとが交換され、電子とホールとが再結合される。再結合後に残留する電子とホールとの一方が受光出力として取り出される。 （もっと読む）

【課題】 発光素子の高出力化に伴ってその発光出力をモニタする受光素子の飽和が問題となっている。本発明では発光素子の特性評価試験を低価格で精度よく行え、かつ小型化が可能な発光素子試験装置を提供する。
【解決手段】 多数の微細孔を均一に分散した光吸収膜からなる遮光膜を受光素子の受光面に形成し、受光素子の出力電流を抑制することで飽和特性を制御する。具体的には、半導体レーザダイオード６からのモニタ光のうち、光吸収層１０ｅの微細孔１０ｃ以外の部分に入射したモニタ光は光吸収層１０ｅに吸収され、微細孔１０ｃ内に入射したモニタ光はホトダイオード１０の光入射面に到達する。よってホトダイオード１０における飽和が抑えられ、半導体レーザダイオード６の特性評価試験を精度良く行うことができる。また、光吸収層１０ｅは、反射光に起因する半導体レーザダイオード６の誤作動も防ぐ。 （もっと読む）

【課題】 従来の赤外線撮像素子では、画素内の抵抗値のバラツキや画素アレイ内の配線抵抗値のバラツキなどが画素の出力電圧に影響する。
【解決手段】 直列接続されたダイオード１Ａと赤外線吸収部１Ｅとを形成したセンサ部と、センサ部を断熱する断熱部１Ｃとを有する画素１を２次元に配置した画素領域２と、画素１のダイオード１Ａに予備通電期間と本通電期間にそれぞれ異なる大きさの定電流を流し、予備通電期間での定電流の大きさを本通電期間での定電流の大きさのｕ倍とする定電流制御回路６と、予備通電期間のダイオード１Ａの順電圧を１／ｕ倍した電圧を本通電期間のダイオード１Ａの順電圧から減算した電圧に比例する値を出力する演算回路７とを備えた。 （もっと読む）

【課題】赤外線検出素子の故障による影響が他の赤外線検出素子の出力に及ばず、高速での走査選択が可能となる赤外線検出装置を提供すること。
【解決手段】２次元赤外線検出素子部１と、赤外線検出素子（図中、直列接続された抵抗と電圧源で表示）の出力信号を走査選択して出力する水平方向スキャナ５と、水平方向スキャナ５の出力信号を基準電圧と比較して差動増幅する差動増幅器６と、故障信号が入力された時に差動増幅器６の２つの入力の間を短絡するＮ型ＭＯＳＦＥＴスイッチ１０と、水平方向スキャナ５の出力信号を第２の基準電圧と比較し、前者が後者よりも下降した時に故障検知信号を出力するコンパレータ７と、前記故障検知信号が入力されてから１つの赤外線検出素子の走査選択が終るまでの間、前記故障信号をＮ型ＭＯＳＦＥＴスイッチ１０に入力し続けるＳ−Ｒフリップフロップ９とを有する赤外線検出装置を構成する。 （もっと読む）

【課題】従来の平凸レンズ平面をチップ側に位置させ、センサー部が投影された地域を赤外線検出域とするサーモパイルには、各センサー部投影面積が大きく異なり、微小計測が困難という欠点を有していた。
さらに、レンズ周囲部に配置したセンサー部では、検出域からの赤外線の一部がセンサー部に入射されず出力低という欠点もあった。また、アセンブリ時ワイヤーボンディングの精度要求高とであり、作製困難であった。さらに、レンズ軸の角度ズレが発生しやすく、作製容易ではなかった。
【解決手段】平凸レンズ球面をチップ側に位置させる。 （もっと読む）

【課題】 人体検出精度を高めるとともに妨害工作への対応性も高めた人体検知装置を提供すること。
【解決手段】 撮像部３と、撮像部３からの画像情報より移動物体の個別形状を抽出して人体を特定し検出する画像検出部２１と、赤外線により人体の検出を行う赤外線検出部２２と、画像検出部２１と赤外線検出部２２からの論理積演算にて人体検知を行う信号処理部とを備える。また、画像検出部２１は、抽出した移動物体の輪郭により人体検出判定を行う第１の判定手段と、第１の判定手段よりも高い検出基準により該第１の判定手段を補足して人体検出判定を行う第２の判定手段とを備え、信号処理部２は、画像検出部２１の第１の判定手段と赤外線検出部２２との各検出信号の論理積により最初の人体検出判断を行い、該最初の判断により赤外線検出部２２からの検出信号のみが無い場合に、画像検出部２２の第２の判定手段で前記赤外線検出部を代用して人体検出判断を行う。 （もっと読む）

【課題】 炎感知器全体の消費電流の軽減を図ることができる炎感知器を提供することを目的とする。
【解決手段】 内部で駆動電流を消費する赤外線センサ１と、赤外線センサ１の出力信号を増幅する増幅手段４と、増幅手段４で増幅された出力信号に基づいて火災判別を行う火災判別部６と、少なくとも赤外線センサ１に駆動電圧を供給する電源回路３２とを備えた炎感知器において、赤外線センサ１に対して直列に基準電位発生素子であるツエナーダイオード８を接続して赤外線センサ１とツエナーダイオード８との駆動電流を共通化したものである。 （もっと読む）

本発明では、空洞壁部材であるポリシリコン膜１４にエッチング用ホール２１を形成する。エッチング用ホール２１からフッ酸を注入し、シリコン酸化膜１３を溶解し、空洞２２を形成する。空洞２２内でセンサの検出部１２が露出された状態になる。次に、スパッタにより、エッチング用ホール２１内及び基板の上面上にＡｌ膜１６を堆積した後、エッチバックにより、Ａｌ膜１６のうちポリシリコン膜１４上に位置する部分を除去して、エッチング用ホールを封鎖しているＡｌからなる金属栓１６ａのみを残す。スパッタ工程は、５Ｐａ以下の圧力下で行なわれるので空洞２２内の圧力を低圧に保持することができる。
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【課題】 赤外光等の不可視光の光路位置の検出が可能で、分解能を向上させた光線検出装置を提供すること。
【解決手段】 赤外線検出装置１は、本体部２と、先端部３ａ側を本体部２の左側面２ａから突出させた振動体としてのガラス製の導光体３とを備える。本体部２内部には、導光体３をＸ軸方向に駆動する回転スライダーステッピングモータ２１と、導光体３をＹ軸方向に振動させる駆動コイル３１とが設置されている。先端部３ａにより光線検出領域内を走査する間に、赤外光が先端部３ａに入射し、その赤外光が導光体３によって伝搬されて受光素子に入射すると、発光ダイオードが可視光を発光する。その可視光は導光体３によって伝搬され先端部３ａから放射される。光線検出領域において、不可視光である赤外光の位置が、先端部３ａから放射された可視光の発光残像として表示されるので、赤外光の光路位置を視認できる。 （もっと読む）

【課題】熱線式検知器において、屋外で使用可能に防水構造とし、かつ、水抜き穴を設けた構成にあって、風の強い場所等で使用されても、焦電素子に温度変化の影響をもたらすことを低減し、検知精度を維持する。
【解決手段】ベース２とカバー３とからハウジング４が構成され、ハウジング４の内部に焦電素子５が設けられ、ハウジング４には焦電素子５に熱線を収束させるレンズ６を配してなる熱線式検知器１であって、ハウジング４には設置状態における下端部に水抜き孔１０を設け、かつ、ハウジング４の内部であって水抜き孔１０の近傍に、水抜き孔１０から侵入した空気流が焦電素子５の方向に行くのを阻止する風防壁１１を設けた。 （もっと読む）

【課題】 従来の光受信回路においては、受信信号は、原信号にリンギングなどが付加されたものとなりがちであったので、それを防止するために高度の回路技術を採用する必要を生じ、高価なものとなりがちであった。
【解決手段】 本発明により、受光素子からの出力から逆バイアス電圧を除く信号成分を増幅する構成とした光受信回路において、トランジスタのコレクタ−ベース間には、順方向電流利得の周波数依存性によりこのトランジスタに生じるインピーダンスの誘導性成分を低減させるために適宜な値とした抵抗、及び、コンデンサの各１が並列に接続されている光受信回路としたことで、最小限度の部品の追加でリンギングを生じないようにし課題を解決するものである。 （もっと読む）

【課題】 屋外での使用に適した遠距離検知可能な熱線式検知器を提供する。
【解決手段】 熱線式検知器は、ベース２と保護カバー３とからなるハウジング１と、保護カバー３に被着される透過カバー４と、ハウジング１内に収容される遠距離用ミラー部５、短・中距離用ミラー部６、基板７と、基板７に実装された焦電素子８と、ベース２と保護カバー３との間に装着されたゴムパッキン９と、ベース２に貼付されるラベル１０とから構成され、熱線エネルギーが透過カバー４を透過し、遠距離用ミラー部５、短・中距離用ミラー部６で反射され、焦電素子８に集光される。そして、補強板３ｆ、３ｇによって開口３ｈ，３ｉ，３ｊに分割された保護カバー３の前面開口は、遠距離用ミラー部５と短・中距離用ミラー部６に対向するよう、保護カバー３の前面略全体にわたって形成されている。 （もっと読む）