【課題】赤外線センサ装置の出力の個体差ばらつきを簡易に補正し、赤外線エネルギー量から測定温度を簡易かつ高精度に定量することが可能な赤外線センサ信号の補正方法及び温度測定方法並びに温度測定装置を提供すること。
【解決手段】赤外線センサ装置から得られる赤外線センサ信号に赤外線センサ装置固有の補正係数Ａを乗算する第１補正工程を有し、補正係数Ａは、赤外線センサ装置を用いて所定のセンサ温度Ｔ_AMBXにおいて所定の温度Ｔ_OBJXの対象物を測定したときに得られる信号Ｓ_IRXを所定の値にするための係数である。 （もっと読む）

【課題】 多層構造体に生じる応力による基板の反りを低減すること。
【解決手段】 多層構造体は、基板２０と、基板の第１主面上に形成された多層配線構造（３０，４０，５０）と、多層配線構造における、少なくとも最上層の一部に設けられた空洞部１０２と、空洞部を含む多層配線構造上に形成される素子構造体（２１０，２００）と、基板の、第１主面とは反対側の第２主面上に形成された、基板の第１主面側に生じる応力を緩和するための、少なくとも一層の応力緩和層１０と、を含む。 （もっと読む）

【課題】サーモパイルの抵抗のばらつきを小さくすることが可能な赤外線センサの製造方法を提供する。
【解決手段】サーモパイル３０ａにおけるｐ形ポリシリコン層３５およびｎ形ポリシリコン層３４の基礎となるノンドープのポリシリコン層を形成した後、ｐ形不純物およびｎ形不純物それぞれを上記ポリシリコン層の互いに異なる所定部位にイオン注入してｐ形ポリシリコン層３５およびｎ形ポリシリコン層３４を形成するようにし、ｐ形ポリシリコン層３５を形成するためのｐ形不純物のイオン注入を行う際のイオン注入量を、ｐ形ポリシリコン層３５のドーピング濃度が固溶限となるイオン注入量よりも高く設定し、かつ、ｎ形ポリシリコン層３４を形成するためのｎ形不純物のイオン注入を行う際のイオン注入量を、ｎ形ポリシリコン層３４のドーピング濃度が固溶限となるイオン注入量よりも高く設定する。 （もっと読む）

【課題】 温度に基づいて焦電体材料の分極量が変化する検出原理に鑑み、キャパシターを還元ガスから保護し、しかも焦電型検出素子から熱が散逸することを抑制して高い検出特性を実現できる焦電型検出器、焦電型検出装置及び電子機器を提供すること。
【解決手段】 焦電型検出器２００は、温度に基づいて分極量が変化するキャパシター２３０と、キャパシターを還元ガスから保護する第１還元ガスバリア膜２４０とを含む焦電型検出素子２２０と、焦電型検出素子を搭載した支持部材２１０と、支持部材の一部を支持して焦電型検出素子を熱分離する支持部１０２とを有する。支持部材は、キャパシターが搭載される搭載部材２１０Ａと、搭載部材に連結されたアーム部材２１０Ｂとを含み、第１還元ガスバリア膜２４０は、搭載部材２１０Ａの第１外周縁Ｐ１と、キャパシター２３０の第２外周縁Ｐ２との間に第３外周縁Ｐ３を有する孤立パターンで形成されている。 （もっと読む）

【課題】 焦電型検出素子の焦電材料に還元ガスが侵入し難くした構造を有する焦電型検出器、焦電型検出装置及び電子機器を提供すること。
【解決手段】 第１，第２電極２３４，２３６間に配置された焦電材料２３２を有するキャパシター２３０が、温度に基づいて分極量を変化させる焦電型検出素子２２０と、第１面２１１Ａ側に焦電型検出素子を搭載した支持部材２１０と、支持部材の第２面２１１Ｂが空洞部１０２に臨んで配置され、支持部材の一部を支持する支持部１０４とを有し、第１方向Ｄ１に沿って支持部、支持部材及び焦電型検出素子の順で積層され、支持部材は、少なくとも第１面２１１Ａ側に第１絶縁層２１２を有し、第１絶縁層２１２は、第１方向Ｄ１とは逆方向を第２方向Ｄ２としたとき、第１絶縁層２１２よりも第２方向Ｄ２に位置する第２絶縁層（１０４または２１６）よりも水素含有率が小さい。 （もっと読む）

【課題】積分動作におけるチャージインジェクションによる検出信号の劣化を高精度に補償し、微弱光を高Ｓ／Ｎで検出する。
【解決手段】光の光量に応じた大きさの電流信号を出力するＰＤ１と、ＰＤ１とにより出力された電流信号に応じた電荷を蓄積するコンデンサ１３を含み、電流信号を積分してコンデンサ１３に蓄積されている電荷の量に応じた積分値を出力する積分回路３と、コンデンサ１３による電荷の蓄積と蓄積された電荷の放電とを切り替えるリセットスイッチ１５と、積分回路３から出力された電流信号の積分値のうち、積分期間の略開始時の電流信号の積分値と略終了時の電流信号の積分値との差分を演算して出力する差分演算部７とを備える光検出回路１０を提供する。 （もっと読む）

【課題】抵抗素子の抵抗値のばらつきを低減できる温度センサを提供する。
【解決手段】温度センサ１００は、熱源から輻射される赤外線の熱量を検知するための赤外線検知用感温素子２０と、赤外線検知用感温素子２０の出力信号を温度補償するための参照用感温素子３０と、抵抗調整部４１を有する抵抗素子４０と、抵抗調整部５１を有する抵抗素子５０とを備える。感温素子２０，３０及び抵抗素子４０，５０はブリッジ接続されている。感温素子２０，３０のそれぞれの出力端子６１，６２は、感温素子２０，３０と抵抗調整部４１，５１との間に形成されている。 （もっと読む）

【課題】検出された光子数を判定できるように構成された光子検出システムの提供。
【解決手段】検出システムは、アバランシェフォトダイオード５１と、照明においてアバランシェによる信号がシステムの飽和値よりも小さいようにフォトダイオードの両端にバイアスを印加する手段と、アバランシェ信号の大きさを測定する手段と、を具備するようにしている。 （もっと読む）

【課題】従来の赤外線検出センサのマイクロブリッジは、斜めに立ち上がる2本の梁で支える構造であったため、マイクロブリッジを形成した後にエッチング除去する犠牲層パターンを斜めに立ち上がる形状に加工する必要があり、この加工困難という課題があった。また、画素を小型化すると、梁の立ち上がり角度が急峻となり、梁の作製困難という課題があった。更に、梁の立ち上がり角度急峻とすると、梁部に形成する赤外線検出パターン断線等の不具合発生確率大となり、信頼性低下するという問題点もある。 （もっと読む）

【課題】
支持脚によって支えられた赤外線吸収膜を持つ赤外線センサ素子の赤外線吸収膜を薄膜化した際に、赤外線吸収膜の支持脚間に発生するクラックを防止することを目的とする。
【解決手段】
少なくとも二以上の支持脚のある赤外線吸収膜において、支持脚間にスリットを設けることで、犠牲層除去工程で赤外線吸収膜の支持脚間に発生する応力は緩和されクラックの発生は抑制されるため、赤外線吸収膜を薄膜化することが可能となり、より高感度の赤外線センサ素子を提供することができる。 （もっと読む）

【課題】感度特性及び応答安定性に優れた赤外線温度センサを提案する。
【解決手段】赤外線温度センサ１００は、熱源から放射される赤外線の熱量を検知する赤外線検知用感熱素子２０と、外部環境からの熱量を検知する温度補償用感熱素子３０と、第一の主面１１Ａ及びその裏面である第二の主面１１Ｂを有する基板１１を備える。赤外線検知用感熱素子２０及び温度補償用感熱素子３０は、それぞれ基板１１の最大肉厚部分１６よりも肉薄な肉薄部分１４，１５に配置されている。 （もっと読む）

【課題】電極が本来意図していない方向に湾曲することに起因して、感度がばらつくのを抑制することが可能なセンサ装置を提供する。
【解決手段】このサーモセンサ１００（センサ装置）は、熱膨張率の異なる複数の層を有し、一方端側が絶縁膜２３に支持されているカンチレバー電極２４と、カンチレバー電極２４に対向するように配置される下部電極２２とを含み、カンチレバー電極２４から延びる方向であるＸ方向と交差するＹ方向を軸にして、カンチレバー電極２４が下部電極２２と離間する方向に湾曲することによって熱を測定することにより電子を供給する電荷供給部２８を備え、カンチレバー電極２４の表面上には、カンチレバー電極２４がＹ方向とは異なる方向を軸にして湾曲するのを抑制するための湾曲抑制部材２７が設けられている。 （もっと読む）

【課題】 焦電型光検出素子に光は入射する一方で還元ガスが侵入し難くした構造を有する焦電型光検出器及びその製造方法並びに焦電型光検出装置及び電子機器を提供することにある。
【解決手段】 焦電型光検出器２００は、焦電型光検出素子２００と、焦電型光検出素子を搭載した支持部材２１０と、焦電型光検出素子と対向する位置に空洞部１０２を配置して支持部材を支持する固定部１００と、焦電型光検出素子側から見た平面視にて支持部材の輪郭に沿って開口されて、空洞部と連通する開口部１０２Ａと、支持部材の第１面と、開口部に臨む支持部材の側面２１１Ｃと、平面視にて露出する焦電型光検出素子及び支持部材の外表面２２０Ａと、を覆う第１還元ガスバリア層１４０，２８０と、を有する。 （もっと読む）

【課題】 環境によって紫外線の照り返し量が異なる場合においても、より最適な日焼け防止策を提示することができる。
【解決手段】 スイッチ１０４には、環境特定情報と、紫外線の照射を受ける照射時間とが入力される。紫外線センサー１０５は紫外線強度を測定する。ＲＯＭ１０９は、環境に応じた紫外線の照り返し量を特定するための照り返し量特定情報を環境毎に記憶する。ＣＰＵ１０１は、スイッチ１０４に入力された環境特定情報で特定される環境の照り返し量特定情報をＲＯＭ１０９から読み出し、照り返し量特定情報と紫外線センサー１０５が測定した紫外線強度とに基づいて、照り返しを含む紫外線強度を算出する。また、ＣＰＵ１０１は、スイッチ１０４に入力された照射時間と、算出した照り返しを含む紫外線強度とに基づいて、照射時間中の日焼けを防止する防止策を特定する。ＬＣＤ１０８は、ＣＰＵ１０１が特定した防止策を表示する。 （もっと読む）

【課題】自身の故障を正しく判定することにより誤検出を防止することを目的とする。
【解決手段】燃焼装置の燃焼火炎による入射光を電流信号に変換する受光素子１０と、オペアンプ及び帰還抵抗を含み、電流信号を電圧信号に変換して電圧信号を増幅させる増幅回路１１と、帰還抵抗に接続され、帰還抵抗を短絡させるように切替える切替スイッチ１２と、増幅回路の出力に基づいて火炎の状態を検出する火炎検出回路３と、切替スイッチを所定間隔で切替えて帰還抵抗を短絡させると共に、帰還抵抗が短絡した状態における火炎検出回路の検出結果に基づいて自己の異常を診断する制御回路４を備える。 （もっと読む）

【課題】常にアナログ−デジタル変換部の性能を最大に使い切るように、増幅部が電気信号を増幅するように設定することできる計測器と計測システムを提供する。
【解決手段】受光部１１と、増幅部１２と、アナログ−デジタル変換部１３と、演算部１４と、増幅率算出部１５とを有し、受光部は、受光する光強度に応じて電気信号を生成し、増幅部は、受光部から電気信号を入力され、外部から設定可能な所定の増幅率に応じて電気信号を増幅し、アナログ−デジタル変換部は、増幅部で増幅されたアナログの電気信号をデジタル信号に変換し、演算部は、デジタル信号を入力され、デジタル信号に対して所定の信号処理を行い、増幅率算出部は、増幅部において設定するべき増幅率をデジタル信号に応じて算出し、増幅率算出部で算出された増幅率が増幅部に入力されて増幅部の増幅率として設定される構成とする。 （もっと読む）

【課題】光検出効率が低いという従来技術における課題を解消し、偏波依存性が小さく、高い光検出効率を有する超伝導光検出素子を提供する。
【解決手段】超伝導光検出素子は、複数のメアンダ（蛇行、雷文、ジクザク）形状の超伝導細線を、結晶基板の表裏、あるいは絶縁膜や接着剤を介して互いに近接かつ細線の方向が互いに直角となるように設置する。この配置構成により、最初のメアンダ細線に直角な偏波を有するため検出されなかった光子は、次のメアンダ細線とは平行な偏波を有するために検出可能となる。すなわち、任意の光子は互いに直角な直線からなる偏波に分解することが可能なため、任意の偏波を有する光子について検出可能となる。また、この配置構成により、偏波による取りこぼしがなくなるため、偏波依存性は小さくなり、光検出効率は従来例に比べて２倍程度向上することができる。 （もっと読む）

【課題】赤外線撮像素子の構造の改良に依らずに、赤外線カメラの撮像画像に残像が生じることを防止した車両周辺監視装置を提供する。
【解決手段】画像入力回路から出力される今回の制御周期における各画素の輝度値Ｉ_k(x、y)に対して、前回の制御周期における同一位置の画素の輝度値Ｉ_k-1(x、y)に、赤外線カメラ１の赤外線撮像素子の赤外線吸収膜の熱容量と熱コンダクタンスに基づく熱時定数τを用いて設定された変数ｅ^-t/τを乗じた輝度値を減じる第１の補正を行う輝度補正部１２を備え、輝度補正部１２は第１の補正がなされた各画素の輝度値Ｓb^(x、y)のデータを用いて、補正撮像画像Ｉm(k)_cを生成する。 （もっと読む）

火炎信号受信機（１）、火炎信号通路（１１）および火炎信号送信機構を備える火炎検出装置であって、火炎信号通路（１１）が、炉シェル（１２）を通過して炉の内側に入り、炉の外側の通路部分（１１ａ）および炉の内側の通路部分（１１ｂ）を含み、耐圧光学機構（１０）が、炉の外側の通路部分（１１ａ）の最端部に配置され、前記耐圧光学機構（１０）が、密封式にかつ透過的に火炎信号受信機を火炎信号通路から隔て、炉の内側の通路部分（１１ｂ）には、冷却機構（１９）が設けられることを特徴とする、火炎検出装置を対象とする。そのような火炎検出装置は、炉シェル上に配置され、高温高圧下において炉上で火炎検出を実施することができるだけでなく、所望に応じて作動の種々の段階のために取り付けられた適正な火炎信号受信機の選択肢も有する。 （もっと読む）

【課題】炎と人体のように異なる性質の対象物を検出することのできる小型の赤外線センサなどの光センサを低コストで提供する。
【解決手段】赤外線受光部４及び温度検知部５を備えるセンサ画素２であって、フィルタもしくは吸収膜の相違に基づいて互いに異なる波長帯の光を吸収する多数のセンサ画素２を熱的及び電気的に分離して面方向に規則的に配列し、同一波長帯の光を吸収する全てのセンサ画素２の温度検知部５を直列に接続したことを特徴とする。 （もっと読む）