【課題】 光量を定量評価できる光量計測装置および光量計測方法を提供する。
【解決手段】 ＣＣＤカメラ１２の無信号状態を作り、ゼロ点調整を行う。このとき、校正用シャッター２３は光路を遮断する実線で示す位置に駆動され、迷光がＣＣＤカメラ１２に入らない状態が確保される。このときのＣＣＤカメラ１２の出力信号は光量算出部５１に送られ、校正部５６は光量算出部５１に対し、この出力信号値を基準（ゼロ点）とする校正を実行する。また、校正用レーザ光源２１から出力された光は光アッテネータ２２により減衰され、可動ミラー９およびリレーレンズ１１を介してＣＣＤカメラ１２に入射する。光アッテネータ２２の減衰量を切り替えることで、正しく値付けされた光をＣＣＤカメラ１２に入射させる。このときのＣＣＤカメラ１２の出力信号は光量算出部５１に送られ、校正部５６は各出力信号値がそれぞれの光量に正しく対応するように、光量算出部５１に対する校正を実行する。 （もっと読む）

【課題】 赤外線測定用センサ素子の感度のばらつきを極力小さくすることができるとともに、センサ素子受光面等の破損や傷付きをなくして製品歩留まりを向上することができる赤外線アレイセンサを提供する。
【解決手段】 シリコン基板４の同一平面上に複数個の赤外線測定用センサ素子５が縦横マトリックス状に設けられているとともに、これら赤外線測定用センサ素子５の受光部に対応する位置に赤外線集光孔７を有する集光用ミラー３がシリコン基板４上に対向状態に固定されている赤外線アレイセンサにおいて、シリコン基板４と集光用ミラー３との互いに対向する面間に、径の等しい真球状のガラスビース９を介在させて各センサ素子５と集光用ミラー３との間の間隔ｔを全域に亘って一様に規定している。
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【課題】 撮像対象物の温度に応じて各赤外線検知素子の感度バラツキを高精度に補正することができる赤外線撮像装置を提供する。
【解決手段】 赤外線撮像装置は、放射温度測定手段２０、３個以上の熱源３１〜３６、撮像対象物の赤外線を所定の光路Ｌ０を介して複数の赤外線検知素子６０に結像させる光学的結像手段１，２，５、所定の光路Ｌ０上において撮像対象物からの赤外線を周期的に遮断し、それと同時に熱源３１〜３６の赤外線を複数の赤外線検知素子６０へと導く光路切り換え手段４，３７、複数の赤外線検知素子６０から撮像対象物に対応する生画素信号を１フレームずつ出力させ、放射温度に対して高温側および低温側で温度差が最小となる２個の熱源を１フレームおきに切り換えながら高温画素信号および低温画素信号を出力させる制御手段４０と、高温画素信号および低温画素信号に基づいて生画素信号を補正する補正手段９とを備えている。 （もっと読む）

【課題】 光源を構成する複数の発光ダイオードの光量を定期的に検査することのできる照射装置を提供する。
【解決手段】 照射装置１００を、複数の発光ダイオードＬＥＤ_１，１〜ＬＥＤ_ｍ，ｎが配列された光源部１１０と、複数の光センサＬＳ_１，１〜ＬＳ_ｍ，ｎが配列された光量測定部１２０とを備えたものとし、光量測定時には、光源部１１０が光量測定部１２０に対向する位置に移動して、発光ダイオードＬＥＤ_１，１〜ＬＥＤ_ｍ，ｎと光センサＬＳ_１，１〜ＬＳ_ｍ，ｎとが１対１に対向し、各発光ダイオードＬＥＤ_１，１〜ＬＥＤ_ｍ，ｎの光量が各光センサＬＳ_１，１〜ＬＳ_ｍ，ｎによってそれぞれ測定され、ワーク照射時には、光源部１１０が光量測定部１２０に対向する位置から外れて、ワーク２００に対して照射を行うものとした。 （もっと読む）

【課題】 より広い測光範囲及び高精度の輝度情報を得ることが可能な光検出器を提供する。
【解決手段】 光学系を介して入射する光を受光する受光面が複数の領域に分割され、各分割領域に対応するフォトダイオード１ａ，１ｂ，１ｃ毎に、入射した光量に依存した光電流を発生する光電変換部１と、各分割領域に対応するフォトダイオードを反転入力端子と非反転入力端子間に接続した複数の演算増幅器７ａ，７ｂ，７ｃと、各演算増幅器の反転入力端子と出力端子間に接続され、前記光学系に均一な光が入射し前記光電変換部の受光面に不均一な光が入射した状態で、各分割領域に対応するフォトダイオードの積分出力が等しくなるようにその容量値が設定される積分コンデンサと、各積分コンデンサと並列に接続されたスイッチ素子８と、各演算増幅器の非反転入力端子に接続された基準電圧源９とで光検出器を構成する。 （もっと読む）

【課題】 １を超える開口数の光を高精度かつ安定に検出する受光素子及び液浸露光装置を提供する。
【解決手段】 光源からの光を利用してレチクルのパターンを被露光体に投影する投影光学系を備え、当該投影光学系と前記被露光体との間を液体で満たして前記投影光学系及び前記液体を介して前記被露光体を露光する露光装置であって、前記投影光学系及び前記液体を介して前記光を検出する受光素子を備え、当該受光素子は、前記光を拡散する拡散部と、前記拡散部によって拡散された前記光を検出する検出部と、前記液体が前記検出部に接触することを防止すると共に前記光を前記拡散部に導入する基板とを持つ受光素子とを有することを特徴とする露光装置を提供する。 （もっと読む）

【目的】感度ばらつきの悪化やＡＤコンバータへの接続の問題を生ずることなく感度を向上することのできる光センサ回路を提供する。
【構成】本発明の光センサ回路は、光電変換素子として光電流ｉ_Ｌを生成するフォトダイオードＰＤ，光電流ｉ_Ｌを積分する積分回路１、選択回路２，増幅手段としての出力バッファ回路３を有する。光センサ回路の感度切り換えは増幅手段の増幅率を変更することにより行う。これにより増幅率を上げても感度ばらつきが大きくなるという問題は生じない。そして、増幅率の変更に合わせて積分回路１の出力初期値を変更して出力範囲が増幅率により変わらないようにするため、ＡＤコンバータへの接続の問題も生じない。 （もっと読む）

【課題】 炎感知器の赤外線センサに内蔵されるフィルタによる検出精度のバラツキを考慮して赤外線センサの出力を所定の値になるように感度調整を行うことを目的とする。
【解決手段】 赤外線の透過帯域の長波長端の分光特性をＣＯ2共鳴放射帯に近似させ、短波長端をＣＯ2共鳴吸収帯よりも短波長側にした赤外線バンドパスフィルタ２が設置された黒体炉１から赤外線を放射させ、その赤外線を利用して炎感知器１１の感度調整を行うようにしたものである。 （もっと読む）

【課題】 従来の赤外線撮像装置は検出器の感度バラツキ補正を行う場合、数秒間にわたり外部の時間を遮光するシャッタを用いていたため、運転者が画像情報を画像補正期間中に見ることができなかった。
【解決手段】 今回の赤外線撮像装置は、電子シャッタを用いて感度バラツキ補正用データをフレーム信号に同期して、フレーム単位で取得し、1秒間１フレームだけ画像取得し、複数フレームのデータから算出したデータに基づき、運転者へ画像を表示しながら、感度バラツキ補正を行うようにした。 （もっと読む）

【課題】 受光素子によって高精度に広範囲の光強度を検出すると同時に、受光素子の温度特性補償を行う受光素子の温度特性補償装置を提供する。
【解決手段】 光モジュールの光路に受光素子２を設け、その受光素子２で光路を伝送する光信号の光強度をモニタし、その受光素子２で検出した受光素子出力を基に、光信号の強度を調節すると共に、受光素子２の温度特性補償を行うための受光素子の温度特性補償装置１において、予め受光素子２の周囲温度ごとに受光素子出力と光信号の光強度との関係を示す温度特性曲線を求め、これに基づいた温度特性データを作成して制御手段５に格納しておき、その制御手段５により、光モジュール動作時に、受光素子出力と受光素子２の周囲温度とを基に、温度特性データを参照して光信号の強度を調節すると共に、受光素子２の温度特性補償を行うものである。 （もっと読む）

本発明は、発光性デバイスに係わる。発光性デバイス１は、気体トリチウム光源（ＧＴＬＳ）３を備える。ＧＴＬＳ３は、外部容器内に配置可能な容器２内に保持される。光出力を所定レベルに調整するために、減光フィルタ等のフィルタを使用してもよい。このデバイスは、照度計等の、光学出力を測定する装置を較正するために使用することができる。
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【課題】 反射率計測センサの校正を短時間で行うことができる露光装置を提供する。
【解決手段】 マスクＭのパターンを投影光学系ＰＬを介して感光性基板Ｐ上に露光する露光装置において、前記感光性基板の反射率を計測する反射率計測センサ１９と、前記反射率計測センサの校正を行うために用いられ、前記感光性基板を載置する基板ステージＰＳＴ上とは別の位置に配置される基準反射板２６と、必要に応じて前記基準反射板を前記基板ステージ上に設置する設置手段と、前記設置手段により設置された前記基準反射板の反射率を前記反射率計測センサにより計測し、計測された前記反射率に基づいて前記反射率計測センサの校正値を算出する算出手段２０と、前記算出手段により算出された前記校正値に基づいて前記反射率計測センサの校正を行う校正手段とを備える。 （もっと読む）

本発明の光センサは、透光性を有する基板に複数の検出素子を有し、該検出素子は並列に接続されていることを特徴とする。また、本発明の２つの表示部を有する折畳み式携帯通信機器は、一つの光センサを有し、かつ該光センサは、複数の検出素子を有し、該検出素子は並列に接続されていることを特徴とする。
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【課題】 検知センサの前方に配置される透光性窓の汚損状態の検出精度を向上することにより、汚損補償機能の信頼性の向上を図ることができる火災検知器及び火災検知器の汚損補償方法を提供する。
【解決手段】 火災検知器は、透光性窓１１内に配置され、赤外線エネルギーを検出し、電気信号に変換して出力するセンサ部ＳＥＮと、センサ部ＳＥＮの検出信号Ｓａから、所定の周波数帯域の信号成分Ａａのみを通過させるフィルタ部ＦＬＴと、信号成分Ａａを増幅する信号増幅部ＡＭＰと、信号増幅部ＡＭＰの増幅出力（受光出力）に基づいて、火災判定処理及び汚損補償処理を実行する信号処理部ＰＲＯと、透光性窓１１の汚損状態に応じて、信号増幅部ＡＭＰの増幅率を変更制御する増幅制御部７０と、透光性窓１１の汚損状態に応じて設定される発光エネルギーで試験光源ＬＧＴを発光駆動する試験光源制御部８０と、を有して構成されている。 （もっと読む）

【課題】空間照度の絶対値を測定できる空間照度測定装置を提供する。
【解決手段】少なくとも一方の端部３ｂ側が棒状に形成され、他方の端部側が紫外線の受光部３ａで、受光した紫外線を可視光に変換する波長変換素子３、素子３を内包した紫外線透過性容器５、素子３からの可視光に基づいて紫外線の照度または照度に対応する値を検出する検出部、素子３の棒状に形成された端部３ｂと光学的に接続されて素子３からの可視光を検出部に伝達する光ファイバー７を備え、容器５は一方の端部が閉塞され、他方の端部が開口された形状であり、素子３の受光部３ａは容器５の閉塞された端部側に位置し、素子３の棒状に形成された端部３ｂは容器５の開口された端部側に位置しており、容器５の開口された端部は光ファイバー７の一方の端部が着脱可能に取り付けられた閉塞部材９によって閉塞されており、素子３も閉塞部材９に着脱可能に取り付けられている構成とする。 （もっと読む）

【課題】 入力光の輝度ムラ及び検出器自身の感度ムラの影響を除去し、画像センサーの測定が可能な分光応答度測定装置、その測定方法及び光源の分光放射照度校正方法を提供すること。
【解決手段】 白色放射光源（３）、第１ビームスプリッター（４）、第１移動鏡（５）及び第１固定鏡（６）を装備した第１分光光度計（１）と、入射開口（１２）、第２ビームスプリッター（１３）、第２移動鏡（１５）、第２固定鏡（１４）及び検出器（１６）を装備した第２分光光度計（２）と、積分球（７）と、入射光束切換集光鏡（１１）と、黒体放射光源（９）とを備え、積分球（７）が、第１分光光度計（１）の出力光を受光し、入射光束切換集光鏡（１１）が、積分球（７）又は黒体放射光源（９）の出力光を第２分光光度計（２）に入力させ、第２分光光度計（２）に入力される積分球（７）の出力光を検出器（１６）で測定する場合、第２移動鏡（１５）を長光路差の位置に固定することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】経時変化に伴う物理量の変動に起因する誤判定を簡単な構成で回避することが可能な検出スイッチを提供する。
【解決手段】検出スイッチである光電スイッチは、検出対象領域からの光を受光し、その受光量を取得するための受光素子２４と、所定のオフセット及びゲインに従って受光量から検出値を生成する増幅回路２５及びＡ／Ｄ変換器２６と、検出値を予め定めたしきい値と比較し、比較結果である第１レベル又は第２レベルを検出結果として外部に出力する比較部４１と、予め設定した基準検出値を記憶する基準検出値記憶部４２と、任意の時点で受光素子２４が取得した受光量から生成された検出値であって比較結果が第１レベルであるときの第１検出値と基準検出値との差又は比が所定範囲内に入るように増幅回路２５のオフセット又はゲインを補正する補正部４３とを備えている。 （もっと読む）

【課題】 赤外線検出器の出力における環境温度の影響を除去する補正の後に、測定対象物の温度を数値演算することで、数値演算処理装置の負荷を減らし、安価で、測定対象物の温度変化にも追従可能な赤外線温度測定装置を提供する。
【課題の解決手段】 赤外線温度測定装置１は、測定対象物４から放射される赤外線を電気信号に変換して出力する赤外線検出器２と、赤外線検出器２の出力を増幅する増幅器６と、赤外線検出器２の環境温度を電気信号として出力する環境温度検出器３と、この環境温度検出器３の出力に基づいて赤外線検出器２の出力を、環境温度の影響を除去するよう修正して、測定対象物４の温度に対応する電気信号として出力する補正回路７と、この補正回路７の出力をＡ／Ｄ変換器８でデジタル化した信号に基づいて測定対象物４の温度を求める数値演算処理装置９からなる。 （もっと読む）

【課題】サーモパイル及びサーミスタには、製造段階で、製品毎にバラツキが発生する。完成品に内蔵するサーモパイル及びサーミスタの特性が完成品毎に異なることが予想される。また、組み立て段階の組み立てバラツキなどの影響もあり、完成品の測定精度を保障すると、安価で提供できないと言った問題点があった。

【解決手段】相対温度差を測定する受光部と、前記受光部の温度を測定する温度測定回路と、前記受光部の温度に前記監視領域毎との相対温度差を加え、該監視領域毎の温度を算出し、算出結果を出力する算出回路とを備え、測定する毎に、前記受光部の温度に応じて、前記算出結果を補正する。 （もっと読む）

【課題】較正装置及びリソグラフィ装置の放射センサを較正する方法を提供する。
【解決手段】リソグラフィ装置の放射センサＲＳを較正するための較正装置１が提供される。較正装置は、放射を通過させて放射センサに到達させるための、放射に対して実質的に透明な材料からなる窓３を備えている。窓に接触した活性表面を有する、窓を通過する放射の強度を測定するための第１の基準センサ６が窓の後方に配置されている。また、窓に面した活性表面を有する第２の基準センサ８が窓の後方に若干の間隔を隔てて配置されている。この第２の基準センサは、窓、窓に形成される第１の汚染層１２、及び第２の基準センサの活性表面に形成される第２の汚染層１３を通過する放射の強度を測定するためのセンサである。放射センサは、第１及び第２の基準センサからの測値を組み合わせることによって較正することができる。 （もっと読む）