【課題】局所的外れ値の検出のための好適な方法および装置を提供する。
【解決手段】様々な局面に従ったデータ解析のため方法および装置は、より大きなデータ母集団のサブセットの中の外れ値を表す、局所的外れ値を含む、コンポーネントの試験データの中の統計的外れ値を識別するように構成される。試験システムは、一組のコンポーネントを試験し、その試験データ生成するように構成されるテスターと、試験データからデータサブセットを選択し、データサブセットの中の局所的外れ値を自動的に識別するように構成される、局所的外れ値識別システムとを備える。 （もっと読む）

【課題】半導体デバイスの良否判定を迅速かつ正確に行うことが出来る半導体デバイスの良否判定装置を提供する。
【解決手段】半導体デバイスの良否判定装置であって、半導体デバイスを着脱自在に保持する保持手段と、半導体デバイスに電力を供給する電力供給手段と、半導体デバイスの主面に投光しつつこれを撮像する撮像手段と、保持手段と撮像手段との間に配置されて撮像手段による撮像領域の１部を遮光する遮光手段と、を有する良否判定装置。 （もっと読む）

【課題】電気回路の一部を構成している検査対象回路の検査を容易にする。
【解決手段】電気回路２の一部を構成している回路３と、回路３以外の電気回路２を構成している回路４とを電気的に接続している電気線路７に介設されているスイッチ手段５と、当該スイッチ手段５と回路３との間の電気線路部分に接続又は介設されている外部接続端子６Ａとを有し、当該外部接続端子６Ａは、回路３を検査するときに、スイッチ手段５をオフ状態にするための信号を入力すると共に、回路３からの信号の取り出し、又は、回路３への検査用信号の入力あるいは検査用電圧の印加を行うための端子である。 （もっと読む）

【課題】信号のパケットやパケット・グループに複数のパラメータを設定できるようにする。
【解決手段】ユーザ・インターフェイス５０を用いて、試験信号の試験シーケンスやパラメータを設定する。パラメータは、ＰＰＤＵに設定され、ＰＰＤＵはパケット・グループと関連づけられる。信号処理ユニットは、ＰＰＤＵを含むパケット・グループをコンパイルし、試験信号を表すデジタル・データを生成する。波形生成回路は、このデジタル・データを受けて、ＰＰＤＵを含むパケット・グループを有する試験信号を生成する。カスタム動作モードでは、信号規格の範囲を超えてエラー・データを含む試験信号を生成できるようパラメータを設定できる。 （もっと読む）

【課題】選択されたセグメントに振幅ノイズのある試験信号を生成する。
【解決手段】ユーザ・インターフェイスを用いて試験信号のセグメントとこれに係るパワー・レベルを選択し、この試験信号セグメントに選択されたパワー・レベルで振幅ノイズを適用するようにする。信号処理ユニットは、選択されたセグメントの選択されたパワー・レベルを試験信号とともにコンパイルして、選択されたセグメントに振幅ノイズを有する試験信号を表すデジタル・データを生成する。波形生成ブロックは、このデジタル・データを受けて、試験信号の選択されたセグメントに振幅ノイズのある試験信号出力を生成する。 （もっと読む）

【課題】外観検査と電気的特性検査の双方の設定作業によるユーザの負担の増加を軽減する。
【解決手段】基板検査システム１０Ａにおいて、外観検査装置１２は、基板の画像を撮像し、撮像された画像の解析結果を利用して基板の実装状態を検査する外観検査を実施する。インサーキットテスタ１４は、基板にプローブを接触させて基板の電気的特性を検出し、検出された基板の電気的特性を利用して基板の実装状態を検査する電気的特性検査を実施する。ディスプレイ１８に表示される検査内容設定画面は、外観検査を実施するための設定内容をユーザが設定できるよう設けられる。検査内容設定画面は、電気的特性検査を実施するか否かなど、電気的特性検査を実施するための設定内容もユーザが設定できるよう設けられている。 （もっと読む）

【課題】半導体装置の検査に要する時間を短縮する。
【解決手段】半導体装置にビームを照射する照射装置と、前記半導体装置のテスト期間に前記半導体装置の良否を判定するテスト装置と、前記半導体装置の各テスト期間に得られた良否値を、各テスト期間の開始から終了までに前記ビームが照射された照射領域、の良否値として設定し、良値領域又は否値領域が前記ビームの走査方向の直交方向に連続する連続数に基づいて、前記半導体装置の故障領域を特定する情報処理部と、前記ビームの照射位置と前記半導体装置の故障領域とが関連付けられた２次元画像を表示する表示部とを備えることを特徴とする、半導体装置の検査システム。 （もっと読む）

【課題】テストミスの予防、記述ミス早期発見、デバッグ及びテスト効率アップ等テストの信頼性を向上が可能な表示装置を提供することを目的としている。
を提供する。
【解決手段】テスタを構成するメインフレームのテスターコントローラに設けられ、ヘッドの操作状態を表示する表示装置において、テストプログラムロード時に、テストプログラムに記述された半導体試験装置の各計測モジュールとＤＵＴ間のテスト経路をブロック図とし、プログラム上の初期設定値をイメージ化して画面に出力する。 （もっと読む）

【課題】検査の結果得られる詳細な内容を確実且つ簡易に回収して後日活用する。
【解決手段】外部装置を接続するためのＵＳＢ−Ｉ／Ｆ32及びＵＳＢコネクタ36と、ＵＳＢコネクタ36に当該機器の機種に対応した特定の検査用プログラムを記憶した外部メモリ装置(40)が接続されたことを判断し、その判断時に外部メモリ装置(40)から検査用プログラムを読出し、読出した検査用プログラムを実行して検査結果データと当該機器個体の誤差を補正するキャリブレーションデータとを取得し、取得した検査結果データとキャリブレーションデータとを関連付けてデータファイル化し、ＵＳＢコネクタ36を介して外部メモリ装置(40)に転送して記憶させるＣＰＵ28及びプログラムメモリ29とを備える。 （もっと読む）

【課題】試験モジュールの種類に応じた機能を使用者が操作する場合の負担を軽減する。
【解決手段】被試験デバイスを試験する試験モジュールを備える試験装置用のプログラムであって、試験装置を制御する制御装置上で実行され、各種の試験モジュールに共通する機能を提供する共通機能提供プログラムと、制御装置上で実行され、試験モジュールの種類に応じた機能を提供する個別機能提供プログラムをプラグインするプラグイン処理プログラムと、を備えるプログラムを提供する。 （もっと読む）

【課題】 ２端子型不揮発性メモリ素子の電気的特性を確実に評価することのできる電気的特性評価装置を提供する。
【解決手段】 評価用電圧信号を出力する信号発生器１０と、第１線路７０を介して入力される当該評価用電圧信号に基づく印加電圧を低インピーダンスで出力し、不揮発性メモリ素子３０の第１端子３１に印加する電圧バッファ２０と、不揮発性メモリ素子３０の第２端子３２との接続ノードである第３線路７２を流れる電流量を制御可能な電流制御回路４０と、電位設定が可能な入力端子５１を有するとともに、電流制御回路４０の第２端子４２から第４線路７３を介して入力される電流を電圧に変換して出力端子５２より出力する電流電圧変換器５０と、出力端子５２と第５線路７４を介して接続されており、電流電圧変換器５０から出力される電圧信号の波形を取得可能な出力装置６０と、を備える。 （もっと読む）

【課題】導体パターンについての検査における検査精度を向上させ得るプローブを提供する。
【解決手段】検査用信号Ｓｅが供給されているフレキシブル基板１００の導体パターン１０２に近接させられた状態において検査用信号Ｓｅの供給に伴って導体パターン１０２との間の静電容量Ｃ０を介して流れる電流信号Ｓｉを検出する検出用電極２１と、検出用電極２１の周囲に絶縁体を挟んで設けられたシールド電極２５とを備え、検出用電極２１とシールド電極２５との間には、フローティング状態に維持されたフローティング電極２３が第１絶縁体２２および第２絶縁体２４を挟んで設けられている。 （もっと読む）

【課題】非同期回路の性能を検証する技術であって、検証工定数を従来に比べて低減することができる技術を提供する。
【解決手段】被試験回路の性能試験を行う性能試験システムであって、前記被試験回路に所定の周波数のクロックを印加するクロック出力部と、前記クロック出力部により印加されるクロックに対して、前記被試験回路が正常動作するか否かを判定する判定部と、前記判定部において前記被試験回路が正常動作すると判定された場合、前記クロック出力部から出力されるクロックの周波数を変更する変更部と、を備える。 （もっと読む）

【課題】電子部品が実装された回路基板上の接点と接触するプローブピンを複数備えた回路基板検査装置において交換対象となるプローブピンを極めて容易に特定する。
【解決手段】回路基板検査装置２を制御する制御プログラムは、回路基板２０の検査の結果、不良と判定すると、当該回路基板２０の識別番号と、不良となった検査項目の検査に用いたプローブピン１９の番号とをコンピュータ装置３の記憶手段３ｃに記憶させる。この回路基板２０を再度検査した結果、良品となった場合には、プローブピン１９の劣化による接触不良と判断できるので、ディスプレイ装置５に、プローブピン１９の交換を促すメッセージ及び、交換対象となるプローブピン番号を表示する。 （もっと読む）

【課題】導体パターンについての検査を正確に行い得るプローブを提供する。
【解決手段】検査用信号Ｓｅが供給されているフレキシブル基板１００の導体パターン１０２に近接させられた状態において検査用信号Ｓｅの供給に伴って導体パターン１０２との間の静電容量Ｃ０を介して流れる電流信号Ｓｉを検出する検出用電極２１と、検出用電極２１の周囲に絶縁体２２を挟んで設けられたシールド電極２３とを備え、シールド電極２３は、検査時に導体パターン１０２に近接させられる検出用電極２１の先端部２１ａからシールド電極２３までの最短距離が検出用電極２１における先端部２１ａを除く部位からシールド電極２３までの最短距離よりも短くなるように構成されている。 （もっと読む）

【課題】各ＤＵＴの試験結果をロケーション情報等を把握しながらリアルタイムに確認することが可能な半導体試験装置を提供する。
【解決手段】制御部は、ウエハマップの各ＤＵＴに対して試験の進行と同時にリアルタイムで試験結果の情報を順々に表示していくときに、試験結果を表示するＤＵＴが最後に表示するＤＵＴであるか否かを判定し、最後に試験結果を表示するＤＵＴをパスと判定されている場合に緑色、フェイルと判定されている場合に赤色の表示色で強調表示して表示する。このＤＵＴ以外のＤＵＴをパスと判定されている場合に薄緑色、フェイルと判定されている場合にピンク色の表示色で画像表示する。 （もっと読む）

【課題】特定のＤＵＴを把握しながら各ＤＵＴの試験結果をリアルタイムかつ連続して確認することが可能な半導体試験装置を提供する。
【解決手段】特定ＤＵＴ強調機能では、ユーザが指定操作部１１３により指定したＤＵＴが太い、または異なる表示色の枠線で強調表示されるので、各ＤＵＴの試験結果をリアルタイムに確認しながら特定のＤＵＴを注目して試験結果の状況等を把握することが可能となる。ＤＵＴを再度指定して操作することにより強調表示を解除し、他の注目したい特定のＤＵＴを指定して操作することで試験結果の状況等を把握するＤＵＴを容易に変更することができる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、内部信号を適宜選択してモニタ信号として出力するモニタ回路を搭載した半導体集積回路に関する。
【解決手段】ＬＳＩ１は、機能モジュールＦ０〜Ｆｎのモニタ回路ＭＮ０〜ＭＮｍが、非同期で動作する第１モニタ回路１ＭＮと同期信号に同期して動作する第２モニタ回路２ＭＮ及び選択回路としてのＭＵＸ１００を有し、第１モニタ回路１ＭＮが、機能モジュールＦ０〜Ｆｎの第１内部信号から第１制御信号に応じて適宜選択した第１内部信号を第１モニタ信号として選択し、第２モニタ回路２ＭＮが、機能モジュールＦ０〜Ｆｎの第２内部信号から第２制御信号に応じて適宜選択した第２内部信号を第２モニタ信号として選択し、ＭＵＸ１００が、第１モニタ信号と第２モニタ信号のいずれか一方を出力モニタ信号mono_dtとして選択して出力する。 （もっと読む）

【課題】不良箇所を正確に特定し、容易に断面観察用基板を作製することのできる半導体デバイス評価方法及び半導体デバイス評価装置を提供する。
【解決手段】ＳＥＭ装置４００において移動手段２０４は、ステージ２１０により基板２０２を移動させる。検出手段２０３は、基板２０２上に配列された不良箇所を含む観察対象物の電気的情報を検出する。演算手段２２８は、電気的情報を観察対象物の配列方向のうちの２方向に積分し、いずれか一方の積分波形にて前記不良箇所を含む配列のピークが少なくとも１つの他のピークよりも大きいピークとなり、他方の積分波形のピークが略同じ大きさのピークとなる２つの積分波形を得る。制御手段２２９は、演算結果に基づいて、一方の積分波形の不良箇所を含む配列のピークの大きさが維持される方向に、移動手段２０４により基板２０２を移動させ、演算手段２２８に、他方の積分波形のピークの数を計測させる。 （もっと読む）

【課題】フェイル箇所などを容易に確認できる配列変数表示装置および配列変数表示方法を提供する。
【解決手段】フェイル抽出手段１１は、配列変数格納部２に格納された配列変数を検索してフェイル箇所を抽出する。フェイル箇所表示手段１２は、フェイル抽出手段１１により抽出されたフェイル箇所を、配列変数が描画表示された表示画面１５上のカーソルにより指示する。指定受付手段１３は、フェイル抽出手段１１により抽出されたフェイル箇所の中からフェイル箇所表示手段１２で指示すべきフェイル箇所を指定するためのユーザの操作を受け付ける。 （もっと読む）