【課題】テスタコマンド入力・結果表示画面の機能・利便性を損なうことなく表示画面にテスタコマンド入力・結果表示画面以外の操作画面も適切な大きさで表示できる操作性の優れたＬＳＩテスタを実現すること。
【解決手段】テスタコマンド入力・結果表示画面生成機能と複数の操作画面生成機能を有するＬＳＩテスタにおいて、前記テスタコマンド入力・結果表示画面生成機能は実体テスタコマンド入力・結果表示画面生成機能と仮想テスタコマンド入力・結果表示画面生成機能に分割され、前記仮想テスタコマンド入力・結果表示画面生成機能は前記各操作画面生成機能に画面生成ツールとして実装され、前記実体テスタコマンド入力・結果表示画面生成機能は前記各仮想テスタコマンド入力・結果表示画面生成機能の表示情報を一元的に管理することを特徴とするもの。 （もっと読む）

【課題】試験装置のオフライン・シュミレーション環境において、テストプログラムの動作検証をより高速かつ低コストで実現する。
【解決手段】シミュレーションシステムは、所定のテスト項目に対する被試験デバイス（ＤＵＴ）モデルの出力結果を設定した試験結果データを格納する試験結果データベースと、テストプランプログラムを動作させるフレームワークとを備える。フレームワークは、テストプランプログラムに基づいて実行される所定のテスト項目に対するDUT又はＤＵＴモデルからの出力結果を、試験結果データベースに格納された試験結果データに基づいて決定する。これにより、試験装置のオフライン・シュミレーション環境において、パターンプログラムをロードすることなくテストプランプログラムのテストフローを検証できる。 （もっと読む）

【課題】半導体デバイスのテスト条件が正しく設定されているかをリアルタイムに判断する。
【解決手段】半導体検査装置５０には、制御装置１、評価装置２、インターフェース４、レーザ発生部５、偏光装置６、対物レンズ７、カメラステージ８、画像メモリ９、及び表示装置１０が設けられる。半導体検査装置５０は、半導体デバイス（ＤＵＴ）３にレーザ光を照射し、ＤＬＳ法を用いて半導体デバイス（ＤＵＴ）３の故障箇所の特定を行う。半導体デバイス（ＤＵＴ）３の故障解析では、ユーザの指定期間内で半導体デバイス（ＤＵＴ）３のパス信号或いはフェイル信号が何回入力されたかをカウントし、テスト開始信号Ｓｔｓ或いはテスト終了信号Ｓｔｅのカウント数に対する半導体デバイス（ＤＵＴ）３のパス率或いはフェイル率として表示する。 （もっと読む）

【課題】 信号の周波数が高い場合、オシロスコープのプローブを信号に直接接触させると、信号波形に影響が生じる。
【解決手段】 少なくとも１つの実施形態において、サンプリングされた電磁気信号を供給する電磁気結合器と、電磁気結合器からサンプリングされた電磁気信号を受信し、微分のような出力信号を増幅且つ復元し、単位伝達関数とともに、オシロスコープに復元され、サンプリングされた電磁気信号を供給する電子コンポーネントとを備える装置を提供する。他の実施形態も記載し、特許請求の対象とする。 （もっと読む）

【課題】プローブピンと電極との接触状態の確認に要する時間を短縮し、プローバフレームやプローブピンの調整時間を短縮する。
【解決手段】ＴＦＴアレイ基板に駆動信号を給電してパネルを駆動し、パネルの電圧状態によってＴＦＴアレイ基板を検査するＴＦＴアレイ検査装置において、ＴＦＴアレイを駆動する駆動信号を生成するＴＦＴ駆動回路と、ＴＦＴアレイ基板の電極と接触して前記駆動信号をＴＦＴアレイ基板に給電するプローバと、駆動信号の駆動波形の時間変化を目視で観察可能とする駆動波形観察装置あるいは駆動信号の駆動波形の時間変化を測定する駆動波形測定装置とを備える。駆動信号の駆動波形の変化を求め、駆動波形変化に基づいてプローブピンと電極との電気的接触状態を検査する。 （もっと読む）

【課題】測定条件パラメータの変化に伴うフェイル率などの測定結果の変化傾向を直観的かつ的確に把握できるＩＣテスタを実現すること。
【解決手段】測定対象ＩＣに対する測定条件の第１パラメータと第２パラメータを変化させながら測定を行い、一方のパラメータをＸ軸にとり他方のパラメータをＹ軸にとって、各パラメータ条件における測定対象ＩＣの測定結果をグラフ形式で表示するシュムー機能を備えたＩＣテスタにおいて、複数個の測定対象ＩＣの測定結果を、３次元のグラフ形式で立体的に表示するように構成されたことを特徴とするもの。 （もっと読む）

【課題】選択した所望のビットにのみジッタ又はノイズを付加した波形データを発生させる。
【解決手段】信号発生装置の表示装置の画面上に、ジッタ／ノイズ設定領域１８とビット選択領域２０が表示される。ビット選択領域２０で選択されたビットに限定して、ジッタ／ノイズ設定領域１８で設定されたジッタ又はノイズが設定される。ビットの選択方法としては、ユーザが直接選択するビット・パターンを入力するもの、ビットに対応した箱型オブジェクトを表示し、箱型オブジェクトを個別に選択することでビットを選択するもの、「０１又は１０」などいくつかの所定ビット・パターンをメニューから選択するもの、選択する上位の連続ビット数又は下位の連続ビット数を指定するものなどがある。 （もっと読む）

デジタルテスト機器とテスト方法は、調整可能な結果待ち時間を提供する。デジタルテスト機器は、少なくとも部分的に合格／失格結果に応答したテストパターンのシーケンスを生成するように構成されたパターンコントローラと、生成されたテストパターンのシーケンスを試験下ユニットに供給するように構成されたパターンメモリと、 試験下ユニットから少なくとも一つの結果値を受け取り、少なくとも一つの供給されたテストパターンについての合格／失格結果を決定するように構成されたパターン結果収集ユニットと、テストの開始に続く予め設定された回数のパターンサイクルの間、パターンコントローラに結果なし表示を提供し、予め設定された回数のパターンサイクルはテスト機器の結果待ち時間に基づいており、予め設定された回数のパターンサイクルの後に合格／失格結果をパターンコントローラに提供するように構成された同期ユニットと、を含む。
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【課題】検査ヘッドの移動状態を作業者に事前に報知し得る回路基板検査装置を提供する。
【解決手段】（ａ×ｂ）個（一例としてａは５でｂは６）の同種の回路基板１２で構成される基板群（一例として６枚）に同時に接触可能な検査ヘッド３と、検査ヘッド３を移動させる移動機構４と、回路基板１２が多面付けされた１枚のワーク１１に対して、移動機構４に対する制御を実行して基板群単位で検査ヘッド３を順次接触させつつ検査を実行する処理部６とを備えた回路基板検査装置１であって、処理部６は、検査ヘッド３のワーク１１への移動に先立ち、移動機構４に対する制御の実行によってワーク１１上で移動される検査ヘッド３の移動状態を表示部８に表示させる検査シミュレーション処理を実行する。 （もっと読む）

【課題】半導体デバイスの入出力波形やフェイル情報の収集に要する手間を低減することができる半導体試験システムを提供すること。
【解決手段】半導体試験システムは、半導体デバイス１１ａに対して所定の試験を行う半導体試験装置１と、試験条件を設定するとともにこの試験の実行を半導体試験装置１に対して指示する制御装置２とを有する。制御装置２は、試験条件を設定する試験条件設定手段と試験の実行指示を行う実行指示手段と試験によって得られた第１のデータを収集する試験データ収集手段としてのキャプチャ部２０と、収集された第１のデータを冗長度が少ない第２のデータに変換する変換手段としてのコンバータ部２１とを備える。 （もっと読む）

【課題】ソース・シンクロナス・バスにおけるライト及びリード・サイクルを切り分けて表示できるようにする。
【解決手段】リード及びライト・サイクル夫々のＤＱＳ及びＤＱの夫々を波形表示装置の異なるチャンネルで受ける。次のステップでは、リード又はライト・サイクルのＤＱＳ中のバースト信号の前にあるアイドル時間を検出してバースト信号の最初の部分でトリガをかけ、バースト信号の周波数を測定する。次に、測定された周波数を用いて、バースト信号のエッジ位置に対する両サイクル夫々のＤＱの推定エッジ位置を求める。バースト信号のエッジ位置及びＤＱの推定エッジ位置の位相関係を用いて、リード及びライト・サイクル夫々のＤＱＳにセットアップ／ホールドタイム違反トリガでトリガをかけた上で、夫々の振幅を測定する。そして、両サイクル夫々のＤＱＳの振幅の間の差を用いて、選択された一方のサイクルに関するＤＱＳ又はＤＱの波形を表示する。 （もっと読む）

【課題】ポーリング処理による複数回のアクセスの場合にも、モニタ機能の低下を防止することが可能な計測システムを提供する。
【解決手段】計測システム１００は、計測バス１３０を監視しコントローラ１１０から計測カード１４０に対して１回アクセスする毎に、モニタメモリ１２２ｂを参照してアクセスした内容と同じ内容を示すデータが記憶されているか否かを検出する。検出された場合には、この同じ内容を示すデータに対応付けられたカウント数を１インクリメントし、検出されない場合には、アドレスとカウント数の初期値を発生させてアクセスした内容を示すデータと対応付けてモニタメモリ１２２ｂに順次記憶させる。 （もっと読む）

【課題】試験に関する設定項目の選択／非選択の状態を任意に切替える際における操作性の向上を図る。
【解決手段】半導体試験装置と、操作入力装置と、試験に関する設定項目の選択／非選択の状態を表すと共に当該状態を切替えるための操作アイコンを設定項目の数に応じて表示する表示装置と、操作入力装置によって操作アイコンに対する選択／非選択の切替操作が行われた場合に、切替操作が行われた操作アイコンに対応する設定項目の選択／非選択の状態を切替えると共に設定項目の状態を半導体試験装置に通知する制御装置とを備える半導体試験システムであって、制御装置は、表示装置の表示画面上における所定の文字入力領域に、操作入力装置によって設定項目の各々に割り当てられた番号が入力された場合、当該入力された番号に対応する設定項目を選択状態または非選択状態のいずれかに一括して切替える。 （もっと読む）

【課題】電子機器の試験状況を、２方向から見ても実際の被試験機の配置通りに、文字、
色情報を付記して一画面で表示する。
【解決手段】被試験機２００の試験プログラム２０２を実行する冶具パソコン２０１とネ
ットワーク２０８で接続されたサーバ２０９上に、全被試験機の試験状況情報２１０を保
持する。試験状況変更時、試験プログラムが被試験機の試験状況情報を更新する。試験状
況表示プログラム２０３は、表示間隔情報２０６で指定された間隔毎に全被試験機の試験
状況情報を読み込む。試験状況表示プログラムは、実行開始時に冶具パソコン番号２０７
を読み込む。冶具パソコン番号より、方向情報２０４が一意に決定され、この方向情報よ
り配置情報２０５も一意に決定される。配置情報に従って配置された被試験機を表した枠
内に、読み込んだ被試験機の試験状況情報を、対応する被試験機の枠内に表示する。 （もっと読む）

【課題】 半導体デバイスの不良の解析を確実かつ効率良く行うことが可能な半導体不良解析装置、解析方法、及び解析プログラムを提供する。
【解決手段】 半導体デバイスの不良観察画像Ｐ２を取得する検査情報取得部１１と、レイアウト情報を取得するレイアウト情報取得部１２と、半導体デバイスの不良についての解析を行う不良解析部１３と、解析結果の情報を表示装置４０に表示させる解析画面表示制御部１４とによって不良解析装置１０を構成する。不良解析部１３は、不良観察画像Ｐ２を参照して解析領域を設定するとともに、半導体デバイスのレイアウトに含まれる複数のネットについて解析領域を通過するネットを抽出する。 （もっと読む）

【課題】
試料の温度調整を局所的に行うことにより、試料ドリフトを抑制することができる検査装置及び検査方法を提供する。
【解決手段】
半導体試料１１８を保持する試料ステージ１０９と、半導体試料１１８上の半導体素子の電気特性測定に用いる複数のプローブ１０６と、プローブ１０６に前記プローブに電圧及び／又は電流を印加する電源と、前記プローブが接触した前記試料上の半導体素子の電気特性を測定する検出器と、半導体試料１１８の測定対象箇所に電磁波を照射する電磁波照射機構とを備える。 （もっと読む）

【課題】半導体デバイスの入出力波形やフェイル情報の収集に要する手間を低減することができる半導体試験システムを提供すること。
【解決手段】半導体試験システムは、半導体デバイス１１ａに対して所定の試験を行う半導体試験装置１と、試験条件を設定するとともにこの試験の実行を半導体試験装置１に対して指示する制御装置２とを有する。制御装置２は、試験条件を設定する試験条件設定手段と試験の実行指示を行う実行指示手段と試験によって得られた第１のデータを収集する試験データ収集手段としてのキャプチャ部２０とを備える。キャプチャ部２０は、第１のデータを収集する半導体デバイス１１ａのサイクル位置を可変に設定するとともに、サイクル位置の設定が異なるように設定された複数の試験条件のそれぞれに対応して実行指示を行う。 （もっと読む）

【課題】基板上に実装される電子部品の機能上の不具合箇所を容易に、かつ精度よく自動的に特定することができる不具合解析システムを提供する。
【解決手段】ＲＯＭ１５に記憶した検査プログラム及び解析プログラムを実行する制御部１４と、制御部１４で実行される解析プログラムの実行フローを、複数の基板毎に対応して順次記録するハードディスク装置１７を有し、制御部１４は、検査プログラムの実行により電子部品９に機能上の不具合が発生しているか否かを診断し、電子部品９に機能上の不具合が発生していると診断した場合には、解析プログラムを実行して、不具合発生電子部品に対して、大きな構成部からより細部に対する解析項目を順次選択して機能テストを繰り返し、最終的に到達した実行結果から機能上の不具合箇所を特定する。 （もっと読む）

【課題】テストシステムから得られるデータの選択、および選択されたデータの出力形式を、ユーザが容易に設定可能な出力データ制御装置等を提供する。
【解決手段】受付手段３１は、ＩＣテストシステム１から得られるテスタ情報のうち出力すべきデータの選択、および選択されたデータの出力形式についてのユーザの指示を受け付ける。データ出力手段３２は、受付手段３１により受け付けた指示に従って、ＩＣテストシステム１から得られるデータの一部を選択し、所定の出力形式で出力する。ファイル保存手段３３は、ＩＣテストシステム１から得られるデータのうち出力すべきデータの選択、および選択されたデータの出力形式を規定するユーザ記述スクリプトファイル群を保存する。 （もっと読む）

【課題】半導体デバイスの良否判定を迅速かつ正確に行うことが出来る半導体デバイスの良否判定装置を提供する。
【解決手段】半導体デバイスの良否判定装置であって、半導体デバイスを着脱自在に保持する保持手段と、半導体デバイスに電力を供給する電力供給手段と、半導体デバイスの主面に投光しつつこれを撮像する撮像手段と、保持手段と撮像手段との間に配置されて撮像手段による撮像領域の１部を遮光する遮光手段と、を有する良否判定装置。 （もっと読む）