【課題】本発明は、マイクロ構造および／またはナノ構造の構造基板をコーティングするための装置と方法を提案し、それらを使ってコーティング物質による構造基板の構造化された表面の均一なコーティングを可能にするという目的に基づいている。
【解決手段】本発明は、マイクロ構造および／またはナノ構造の構造基板（８）を
コーティングするための装置（１）と方法に関連する。本発明によれば、コーティングは真空チャンバ（３）で行なわれる。真空チャンバ（３）の圧力レベルは、コーティング物質による真空チャンバ（３）の充填の際にまたはその後に高められる。 （もっと読む）

【課題】通常のフォトリソグラフィーの工程において使用される塗布装置に対しユニットの追加等の大幅な装置の付加をすることなく、また塗布、乾燥等の工程を増やすことなく遮光パターンの上面にだけ撥インク性を付与することを可能にする感光性樹脂の塗布装置及び塗布方法を提供することが求められていた。
【解決手段】基板の表面にスリットノズルで塗布液を供給する塗布ユニットと、該基板の表面に塗布した塗布液を乾燥せしめる減圧乾燥装置を備える減圧乾燥ユニットと、を備える塗布装置において、減圧乾燥装置がフルオロカーボン系のガス導入部、プラズマ放電部を備えていることを特徴とする塗布装置および塗布方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】２光子吸収化合物の２光子吸収を利用して屈折率変調、吸収率変調または発光強度変調による記録を高感度にて行った後、光を記録材料に照射してその反射率、透過率または発光強度の違いを検出することにより再生することを特徴とする２光子吸収光記録再生方法及びそのような記録再生が可能な２光子吸収光記録材料を提供するものである。特に、記録の暗保存性を向上させた２光子吸収光記録材料を提供することである。
【解決手段】少なくとも、２光子吸収により励起状態を生成する２光子吸収化合物と、２光子吸収化合物励起状態から電子移動もしくはエネルギー移動することにより発色反応もしくは消色反応を起こし、その結果屈折率変調または吸収率変調による記録を行うことができる記録成分と、塩基性部位、カチオンまたはアニオンを側鎖に有するポリマーとを含む２光子吸収光記録材料。 （もっと読む）

【課題】 導電性に優れた光硬化性組成物を提供すること。
【解決手段】 上記課題を解決するための組成物として、本発明は、（Ａ）熱硬化性成分、（Ｂ）導電性粉末、（Ｃ）有機バインダー、（Ｄ）光重合性モノマー、及び（Ｅ）光重合開始剤を含有する光硬化性組成物であって、（Ａ）熱硬化性成分の配合量が（Ｃ）有機バインダー１００質量部に対して０．１〜１００質量部であることを特徴とする焼成用光硬化性組成物を提供する。 （もっと読む）

【課題】合成が容易な化合物の重合体で形成され、重合時の体積収縮が少ないマトリクスを用い、基板の反りや記録層の剥がれがないホログラム記録媒体を提供する。
【解決手段】エポキシ化合物のスピロオルトエステルの重合体で形成されたマトリクスと、ラジカル重合性化合物と、光ラジカル重合開始剤とを含む記録層を具備することを特徴とするホログラム記録媒体。 （もっと読む）

【課題】アルカリ現像性に有効な酸性基を有し、レジスト材料に使用することができる、顔料分散性、耐熱性、耐久性などに優れる光硬化性をもつ感光性樹脂分散剤を提供する。
【解決手段】１分子中に平均で２〜１０個のイソシアネート基を含有し、前記イソシアネート基１個あたりの数平均分子量が１００〜１０００である多官能ポリイソシアネート化合物（ａ）中のイソシアネート基と、 末端に水酸基を有し、さらにエチレン性不飽和基を有するアクリル重合体（ｂ）中の水酸基とを反応させてなる感光性樹脂分散剤。
【効果】得られた感光性樹脂分散剤は、オフセットインキ、グラビアインキ、着色コーティング剤、インクジェットインキ、集積回路用レジスト、プリント配線板用レジスト、カラーフィルター用着色ペースト、ブラックマトリックス用ペースト等に適する。 （もっと読む）

【課題】感光性を有し、短時間で現像でき、かつ感光性組成物に由来した着色がない薄膜パターンを形成することを可能とするシリコン含有感光性組成物、これを用いた薄膜パターンの製造方法、電子機器用保護膜、トランジスタ、カラーフィルタ、有機ＥＬ素子、ゲート絶縁膜及び薄膜トランジスタを提供する。
【解決手段】ＳｉＨ基を有する少なくとも１種のシリコン含有ポリマーと、光線もしくは放射線の照射により酸または塩基を発生する化合物とを含有し、シリコン含有ポリマーが、下記式（１）で表される２個の加水分解性基を有する少なくとも１種のシラン化合物（Ａ）を重合して得られたポリマーからなり、シラン化合物（Ａ）が、ＳｉＨ基を有するシラン化合物を含む、シリコン含有感光性組成物。
ＳｉＨ_ｐ（Ｘ）_２（Ｒ_１）_２−ｐ・・・式（１） （もっと読む）

【課題】形状安定性が高く、かつ、低い誘電率を有する遮光膜を形成することが可能なＥＬ素子遮光膜形成用の黒色感光性組成物、この黒色感光性組成物から形成された遮光膜、及びＥＬ素子を提供する。
【解決手段】光重合性化合物と、光重合開始剤と、カーボンブラックと、を含有するＥＬ素子用の黒色感光性組成物であって、有機顔料を更に含有した。 （もっと読む）

【課題】熱膨張率と吸水率がともに低い耐熱性樹脂を得ることができるジアミン化合物、およびこれを用いた感光性樹脂組成物を提供すること。
【解決手段】（ａ）下記一般式（１）で表されるジアミン化合物。
【化１】


（上記式中、Ｒ^１〜Ｒ^３はそれぞれ同じでも異なってもよく、炭素数１〜１０の１価の有機基、ニトロ基、ヒドロキシル基、塩素原子、フッ素原子および臭素原子からなる群から選ばれる。ｍおよびｐは０〜３の整数を表す。ｑは０〜１０の整数を表す。） （もっと読む）

【課題】少ない工程数で低欠陥な微粒子パターン、ドットアレイパターン、ホールアレイパターンを形成するための感光性シランカップリング剤、及び該感光性シランカップリング剤を用いたパターン形成方法を提供する。
【解決手段】１，２−ナフトキノン−２−ジアジド−５−スルホニル基または１，２−ナフトキノン−２−ジアジド−４−スルホニル基を含有する感光性シランカップリング剤。基板１の表面に感光性シランカップリング剤を積層し、前記感光性シランカップリング剤層２にパターン状に露光を行い、露光部３にカルボキシル基を発生させ、露光部３または未露光部４のみに選択的に微粒子５を配する。得られた微粒子パターンを用いて単一電子素子、パターンドメディア、化学センサ、量子ドットレーザー素子、フォトニック結晶光学デバイスを作製する。 （もっと読む）

【課題】高感度で加熱硬化時の体積収縮の小さい、高アスペクトなプロファイルを有する樹脂パターンを形成できる感光性樹脂組成物、およびこれを用いたパターン形成方法を提供する。
【解決手段】（ａ）多官能エポキシ樹脂と、（ｂ）カチオン重合開始剤と、および（ｃ）増感剤として、前記（ａ）成分と架橋形成可能な置換基を少なくとも２個以上有する芳香族多環式化合物（例えば、２，３−ジヒドロキシナフタレン、１，５−ジヒドロキシナフタレン、および２，６−ジヒドロキシナフタレン等）を含有することを特徴とする感光性樹脂組成物。 （もっと読む）

【課題】十分なプロセスマージンを有し、高感度、断面形状、圧縮強度、ラビング耐性、透明基板との密着性等の諸性能に優れたスペーサーを容易に形成することができ、しかもスペーサー形成プロセスにおいて現像時間やポストベーク時間を延長することなく、保存安定性に優れたスペーサー用感放射線性樹脂組成物の提供。
【解決手段】不飽和カルボン酸および／または不飽和カルボン酸無水物と、スルホニウム塩構造を含有する不飽和化合物及びヨードニウム塩構造を含有する不飽和化合物から選ばれる少なくとも一種のオニウム塩構造を含有する不飽和化合物と、オキセタンの（メタ）アクリル酸エステル類と、前記いずれの化合物とも異なる他の不飽和化合物との共重合体を含む感放射線性樹脂組成物。 （もっと読む）

【課題】光重合開始系として、新規な組み合わせ系を感光性組成物中に含有することにより、青紫色レーザに対して高解像度で高感度を実現でき、かつ青紫色レーザ露光によるパターン形成において、黄色安全灯下では感光せず、プラズマディスプレイの製造に好適な感光性組成物、パターン形成材料、感光性積層体、パターン形成方法、及びプラズマディスプレイを提供する。
【解決手段】バインダー、重合性化合物、光重合開始系化合物、及び無機粒子を含み、前記光重合開始系化合物が、一般式（Ｉａ）及び一般式（Ｉｂ）で表されるオキシム誘導体の少なくともいずれか、並びに一般式（IIａ）で表されるアクリドン誘導体及び一般式（IIｂ）で表されるチオキサントン誘導体の少なくともいずれかを含む感光性組成物、支持体と、該支持体上に前記感光性組成物からなる感光層を少なくとも有するパターン形成材料、などである。 （もっと読む）

本発明は、微小電気コンポーネント、微小機械コンポーネント、微小電気機械（ＭＥＭＳ）コンポーネント、又は微小流体コンポーネントを基板上にパッケージするための方法であって、容易に除去可能な第二基板上の架橋フォトレジストから作られた空洞を形成し、選択されたマイクロデバイスを含む第三基板に前記空洞を結合し、次に前記除去可能な第二基板を剥がすことによりパッケージする方法に関する。
（もっと読む）

【課題】少ない工程数で低欠陥な微粒子パターン、ドットアレイパターン、ホールアレイパターンを形成するための感光性シランカップリング剤、及び該感光性シランカップリング剤を用いたパターン形成方法を提供する。
【解決手段】ｏ−ニトロベンジルオキシカルボニル基で保護された２級アミノ基を有する感光性シランカップリング剤。基板１の表面に前記感光性シランカップリング剤を積層し、前記感光性シランカップリング剤層２にパターン状に露光を行ない、露光部３に２級アミノ基を発生させ、露光部２に選択的に微粒子を配する。得られた微粒子パターを用いて単一電子素子、パターンドメディア、化学センサ、量子ドットレーザー素子、フォトニック結晶光学デバイスなどを作製する。 （もっと読む）

【課題】高密度、高精細であり、かつ、高い導電性を有する配線パターンを有するメタライズドセラミックス基板の製造方法を提供する。
【解決手段】セラミックス焼結体基材上に、金属粉末および現像液に可溶な有機バインダーを含有する導電ペーストを塗布して、導電ペースト層を形成する工程、導電ペースト層上に、フォトレジスト層を形成する工程、フォトレジスト層上の所望の位置に光を照射し、現像液に不溶なレジストパターンを形成する工程、現像液により、レジストパターン以外のフォトレジスト、および、レジストパターン以外のフォトレジスト下部の導電ペーストを除去し、所望の導電ペーストパターンを形成する工程、焼成により、レジストパターンを除去し、導電ペーストパターンを焼結して、配線パターンを形成する工程、を有するメタライズドセラミックス基板の製造方法。 （もっと読む）

【課題】高い膜硬度を有し、スペーサー表面の平滑性に優れるとともに、未露光部の基板上に残渣や地汚れを生じ難く、しかも焼き付きや表示ムラなどの表示不良が起こり難いスペーサー、並びに上記スペーサー形成用の感放射線性樹脂組成物を提供する。
【解決手段】（Ａ）カーボンブラックに代表される導電性粒子、（Ｂ）アルカリ可溶性樹脂、（Ｃ）エチレン性不飽和結合を有する重合性化合物、および（Ｄ）光重合開始剤を含有することを特徴とするスペーサー用感放射線性樹脂組成物によって達成される。 （もっと読む）

【課題】
本発明の課題は、エネルギー線、特に光の照射により活性なラジカルを効率よく発生し、ラジカル重合性化合物が極めて短時間で重合しうる高感度な重合性組成物を提供することである。本発明の更なる課題は、硬化速度が極めて速く、かつエネルギー線により、非常に鮮明なパターン露光あるいは直接描画に好適に用いることが可能で、なおかつ基板との密着性に非常に優れた、特にフォトレジスト材料に好適に用いられるアルカリ現像性を有するネガ型レジスト材料および該ネガ型レジストを用いた画像パターン形成方法を提供することである。
【解決手段】
下記一般式(１)で表されるラジカル重合開始剤（ａ）、ラジカル重合性化合物（ｂ）、およびアルカリ可溶性樹脂（ｃ）を含んでなる重合性組成物。
一般式（１）
【化１】


（式中、ＡおよびＢは、複素環基または縮合多環炭化水素基を表し、
Ｘは一価の有機残基を表す。
ただし、ＡとＢとが同じになることは無い。） （もっと読む）

【課題】同一面内ピットパターンとグルーブパターンの二領域が露光される光記録媒体用原盤において、ピットパターン形成を容易にすることができ、露光装置の使用環境を厳しくしないことによりコストアップを抑制することができる光記録媒体用原盤ならびに光記録媒体用原盤の露光方法を提供すること。
【解決手段】基盤上に第一のフォトレジスト層、酸化膜からなる中間層、および第二のフォトレジスト層が順次積層されている二層フォトレジスト原盤を使用した光記録媒体用原盤において、該フォトレジスト原盤の露光工程で、同一面内で露光線速を変更させ、線速が異なる各領域で異なったパターンが露光されたものであることを特徴とする光記録媒体用原盤。 （もっと読む）

【課題】パターン制御性、パターン精度及び生産性に優れた微粒子パターン形成方法および単電子素子、磁気記録媒体、化学センサ、量子ドットレーザー素子、フォトニック結晶光学デバイスの製造方法を提供する。
【解決手段】光分解性保護基で保護されたチオール基、アミノ基、ヒドロキシル基、カルボキシル基またはスルホ基を有するシランカップリング剤を含有する層５が最上面に形成された基板１をパターン状に露光した後、該基板を金属原子含有微粒子が分散されたコロイド溶液に浸漬し、金属原子含有微粒子３を露光部４に選択的に付着させる微粒子パターン形成方法。前記微粒子パターン形成方法を用いた単電子素子、磁気記録媒体、化学センサ、量子ドットレーザー素子、フォトニック結晶光学デバイスの製造方法。 （もっと読む）