【課題】加工精度が高く、かつ深く加工することが可能なガラスエッチング処理方法、及び、その方法に好適に使用される紫外線硬化型レジスト組成物を提供する。
【解決手段】（Ａ）酸基含有樹脂、（Ｂ）不飽和化合物、（Ｃ）光開始剤、（Ｄ）不飽和基又はエポキシ基を含有するアルコキシシラン化合物、及び、（Ｅ）無機微粉末を含有するガラスエッチング用紫外線硬化型レジスト組成物；並びに、このレジスト組成物を用いて（１）レジスト膜形成工程、（２）露光工程、（３）現像及び加熱工程、（４）ガラスエッチング工程及び（５）レジスト膜の剥離工程を行なうガラスエッチング処理方法。 （もっと読む）

【課題】高耐熱性、高透明性、低誘電率性の特性を併せ持ち、かつ良好な解像度のパターンを有する、ＴＦＴ基板用平坦化膜、層間絶縁膜、あるいは光導波路のコアやクラッド材の形成に用いられる感光性シロキサン組成物を提供する
【解決手段】（ａ）アルコール性水酸基を含有するポリシロキサン、（ｂ）キノンジアジド化合物、（ｃ）溶剤、（ｄ）架橋性化合物を含有し、（ｄ）架橋性化合物がポリシロキサン中のアルコール性水酸基と反応することでポリシロキサンが架橋する化合物である感光性シロキサン組成物。 （もっと読む）

【課題】微粒子を用いて粒子サイズレベルで均一厚みの被膜を製造する方法を提供する。
【解決手段】アルコキシシラン化合物とシラノール縮合触媒と非水系の有機溶媒を混合して作成した化学吸着液中に接触させてアルコキシシラン化合物と基材表面を反応させて基材表面に第１の有機膜を形成する工程。第１の有機膜を所定のパターンに加工する工程と、第２のアルコキシシラン化合物とシラノール縮合触媒と非水系の有機溶媒を混合して作成した化学吸着液中に分散させてアルコキシシラン化合物と微粒子表面を反応させて表面に第２の有機膜を形成する工程と、第１の基材表面に第２の有機膜で被覆された微粒子を接触させて選択的に反応させる工程と、第２の有機膜で被覆された余分な微粒子を洗浄除去する工程とを含む。以上の工程により、第１の有機膜と第２の有機膜を介して互いに共有結合しているパターン状の単層微粒子膜を得る。 （もっと読む）

【課題】凹凸パターンを有する無機物層を作業性良く形成できる製造方法を備えたプラズマディスプレイパネルを提供する。
【解決手段】（Ｉ）基板１上に無機物粒子を有する樹脂組成物層２を圧着、（ＩＩ）感光性樹脂組成物層３を積層圧着、（ＩＩＩ）活性光線５を照射、（ＩＶ）現像によりパターンを形成、（Ｖ）パターンの上部から圧力をかけ、樹脂組成物層に、パターンを埋め込む工程、（ＶＩ）パターンを除去して凹凸パターンを形成、（ＶＩＩ）焼成して凹凸パターンを有する無機物層を形成する工程、を少なくとも含む凹凸パターンを有する無機物層の製造法。 （もっと読む）

【課題】本発明は、赤外光のレーザーによる走査露光に対し、高感度で、かつセーフライト耐性及び耐刷性に優れたネガ型感光性組成物、及びこれを利用した平版印刷版を提供することを課題とする。
【解決手段】ラジカルを発生する化合物、ビニル基が置換したフェニル基を側鎖に有する重合体、分子内にビニル基が置換したフェニル基を２個以上有するモノマー、及び下記化１で表される増感色素を含有することを特徴とする感光性組成物。
化１
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【課題】安全性に問題がなく、感度、解像度、溶液としての保存安定性等に優れ、現像工程において最適現像時間を越えてもなお良好なパターン形状を形成できるような良好な現像マージンを有する感放射線性樹脂組成物、ならびにそれから形成された層間絶縁膜およびマイクロレンズを提供すること
【解決手段】感放射線性樹脂組成物は〔Ａ〕（ａ１）カルボン酸チオアセタール構造を有する不飽和化合物、および
（ａ２）エポキシ基またはオキセタニル基を有する不飽和化合物の共重合体、ならびに
〔Ｂ〕１，２−キノンジアジド化合物を含有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】薄膜で優れた遮光性能が得られ、高温環境に曝された場合の色味変化を抑制し、高コントラストで鮮やかな画像表示を可能とする微粒子含有組成物、該微粒子含有組成物を用いた表示装置用着色膜形成用インク、表示装置用遮光膜、遮光材料及び遮光膜付き基板、並びにカラーフィルタ、液晶表示素子及び液晶表示装置を提供する。
【解決手段】少なくとも、金属微粒子及び／又は金属化合物微粒子と、少なくとも１つのチオエーテル基を有する高分子化合物と、熱もしくは光で硬化する化合物とを含有する微粒子含有組成物である。 （もっと読む）

【課題】消偏特性に優れ、コントラストの高い着色画素を形成することができ、且つ保存安定性にも優れた顔料分散液と、この顔料分散液を含む着色樹脂組成物、この着色樹脂組成物を用いたカラーフィルタ、及びこのカラーフィルタを用いた液晶表示装置を提供する。
【解決手段】（Ａ）色材、（Ｂ）分散剤を含有する色材分散液であって、（Ａ）色材中に、結晶子サイズがシェラーの式よりＸ線回折の半価幅から計算される値で１４０Å以下である顔料を含有し、かつ（Ｂ）分散剤が（ａ）窒素原子を含有するグラフト共重合体及び／又はアクリル系ブロック共重合体を含有することを特徴とする色材分散液、及びこれを含む着色樹脂組成物、並びにこれを用いたカラーフィルタ、及び液晶表示装置。 （もっと読む）

【課題】 低露光条件下においても、感度、解像度、細線密着性、パターン形成性に非常に優れた感光性樹脂組成物及びフォトレジストフィルムを提供すること。
【解決手段】 カルボキシル基含有ポリマー（Ａ）、エチレン性不飽和化合物（Ｂ）、光重合開始剤（Ｃ）、及び、下記一般式（１）で示される化合物（Ｄ）を含有してなる感光性樹脂組成物及びフォトレジストフィルム、それを用いたレジストパターン形成方法。
【化１】


ここで、Ｒ¹、Ｒ²、Ｒ⁴、Ｒ⁵は各々独立して水素、炭素数１〜６のアルキル基、炭素数１〜６のアルコキシル基、又は置換基を有するフェニル基であり、Ｒ³は水素又は置換基を有するフェニル基である。 （もっと読む）

【課題】安全性に問題がなく、感度、解像度、溶液としての保存安定性等に優れ、現像工程において最適現像時間を越えてもなお良好なパターン形状を形成できるような良好な現像マージンを有する感放射線性樹脂組成物、ならびにそれから形成された層間絶縁膜およびマイクロレンズを提供すること。
【解決手段】感放射線性樹脂組成物は、〔Ａ〕（ａ１）不飽和カルボン酸および不飽和カルボン酸無水物から選択される少なくとも１種、および（ａ２）特定のオキセタン基含有不飽和化合物の共重合体、〔Ｂ〕１，２−キノンジアジド化合物、ならびに〔Ｃ〕感熱性酸生成化合物を含有する。 （もっと読む）

【課題】安全性に問題がなく、感度、解像度、溶液としての保存安定性等に優れ、現像工程において最適現像時間を越えてもなお良好なパターン形状を形成できるような良好な現像マージンを有する感放射線性樹脂組成物、ならびに該組成物から層間絶縁膜およびマイクロレンズを形成する方法を提供すること。
【解決手段】感放射線性樹脂組成物は、（ａ１）不飽和カルボン酸および不飽和カルボン酸無水物から選択される少なくとも１種、（ａ２）特定のオキセタニル基含有不飽和化合物および（ａ３）分子中にラクトン構造を有する不飽和化合物の共重合体、ならびに〔Ｂ〕１，２−キノンジアジド化合物を含有する。
層間絶縁膜およびマイクロレンズは、上記組成物から形成される。 （もっと読む）

【課題】 １９３ｎｍ放射波長において低屈折率を有する上面反射防止コーティングを提供する。
【解決手段】 芳香族部分及び１９３ｎｍの放射波長に対して１．５未満の屈折率値ｎを有する、塩基水溶液に可溶なポリマーの存在を特徴とする組成物は、１９３ｎｍドライ・リソグラフィ工程における上面反射防止コーティングとして特に有用であることを見出した。エチレン型主鎖を有し、フッ素及びスルホン酸部分を有するポリマーが特に有用であることを見出した。この組成物は、１９３ｎｍにおける上面反射の制御を可能にすると共に、アルカリ性水溶液現像液への溶解性により用い易いものとなる。 （もっと読む）

【課題】安全性に問題がなく、感度、解像度、溶液としての保存安定性等に優れ、現像工程において最適現像時間を越えてもなお良好なパターン形状を形成できるような良好な現像マージンを有する感放射線性樹脂組成物、ならびにその組成物を用いて優れた耐溶剤性、耐熱性、光透過率、密着性等を併せ備えた層間絶縁膜、および優れた耐溶剤性、耐熱性、光透過率、密着性等を併せ備え、良好なメルト形状を有するマイクロレンズを形成する方法を提供すること。
【解決手段】上記の感放射先生樹脂組成物は、〔Ａ〕（ａ１）不飽和カルボン酸および不飽和カルボン酸無水物から選択される少なくとも１種、（ａ２）特定のオキセタン基含有不飽和化合物、（ａ３）特定の芳香族環含有不飽和化合物の共重合体、ならびに
〔Ｂ〕１，２−キノンジアジド化合物を含有する。 （もっと読む）

【課題】安全性に問題がなく、感度、解像度、溶液としての保存安定性等に優れ、現像工程において最適現像時間を越えてもなお良好なパターン形状を形成できるような良好な現像マージンを有する感放射線性樹脂組成物ならびに該組成物から形成された層間絶縁膜およびマイクロレンズを提供すること。
【解決手段】上記感放射線性樹脂組成物は、（ａ１）不飽和カルボン酸および不飽和カルボン酸無水物から選択される少なくとも１種、（ａ２）特定のオキセタニル基含有不飽和化合物、（ａ３）特定の不飽和化合物の共重合体、ならびに〔Ｂ〕１，２−キノンジアジド化合物を含有する。 （もっと読む）

【課題】安全性に問題がなく、感度、解像度、溶液としての保存安定性等に優れ、現像工程において最適現像時間を越えてもなお良好なパターン形状を形成できるような良好な現像マージンを有する感放射線性樹脂組成物、ならびに該組成物から層間絶縁膜およびマイクロレンズを形成する方法を提供すること。
【解決手段】上記感放射線性組成物は、（ａ１）不飽和カルボン酸および不飽和カルボン酸無水物から選択される少なくとも１種、（ａ２）特定のオキセタン基含有不飽和化合物、および（ａ３）特定のエーテル構造を有する不飽和化合物の共重合体、ならびに〔Ｂ〕１，２−キノンジアジド化合物を含有する。 （もっと読む）

【課題】ハードディスクドライブ用サスペンションのように、バネ状弾性を有する金属基板の層を含む単層又は多層のバネ状弾性基板上に配線保護層等の樹脂構造部分を形成し、最終的に熱硬化処理したときに、該弾性基板との界面に応力が発生しない電子部品用感光性樹脂組成物を提供する。さらに該感光性樹脂組成物を用いて、平坦性に優れた電子部品、特にハードディスクドライブ用サスペンションとそれらの製造方法を提供する。
【解決手段】露光後に熱硬化処理を行ったときに、該熱硬化処理における安定した貯蔵弾性率が１．０×１０^７Ｐａ以下であることを特徴とする感光性樹脂組成物である。該感光性樹脂組成物は、好ましくは、熱硬化処理中における単位時間（分）当たりの寸法変化率が０．０１２％以下である。 （もっと読む）

【課題】 優れた光学的特性（例えば、高屈折率、高透明性（可視光線に対する透明性）など）を有し、かつ基板に対する高い密着性、ハードコート性、高耐熱性などの特性を有する硬化物を得るのに有用な重合性組成物を提供する。
【解決手段】 前記重合性組成物を、フルオレン骨格を有する特定の多官能性（メタ）アクリレート［９，９−ビス（４−（メタ）アクリロイルオキシエトキシフェニル）フルオレンなど］、重合性基を有する加水分解縮合性有機ケイ素化合物（例えば、（メタ）アクリロイルオキシアルキルトリＣ_1-4アルコキシシラン）、および光酸発生剤で構成する。前記組成物は、光重合性を高めるため、さらに、光ラジカル開始剤を含んでいてもよい。 （もっと読む）

【課題】３５０〜４５０ｎｍの波長に対し高感度で保存安定性に優れた新規な光開始系を用いた感光性組成物、およびこのような感光性組成物を支持体上に設けた、作業性、経済性、保存安定性に優れたＣＴＰシステム用の平版印刷版原版を提供する。
【解決手段】（Ａ）特定構造の増感色素、（Ｂ）ラジカル、酸または塩基を生成しうる開始剤化合物、および（Ｃ）ラジカル、酸または塩基の少なくともいずれかによって反応する重合性化合物、を含有する感光性組成物。該感光性組成物を支持体上に設けてなるネガ型平版印刷版原版。 （もっと読む）

【課題】表示装置用部材用に高解像度化した露光装置を用いても、感光層の表面を平坦にし、高精細に形成可能であり、低コスト、かつ表示特性に優れた液晶表示装置などに好適に用いられる表示装置用部材の製造方法、及び表示特性に優れた表示装置用部材、並びに該表示装置用部材を用いた表示装置を提供すること。
【解決手段】感光性組成物からなり、基材上に形成された感光層に対して、光照射手段及び光変調手段を少なくとも備えた露光ヘッドと、感光層のいずれかを移動させつつ、光照射手段から出射された光を光変調手段によりパターン情報に応じて変調しながら露光ヘッドから照射して、感光層を露光する露光工程を含み、感光性組成物が、バインダー、重合性化合物及び光重合開始剤を含み、感光層の厚みが０．１〜６μｍ、かつ感光層における最大の厚みと最小の厚みとの差が、平均厚みの３％以内である表示装置用部材の製造方法である。 （もっと読む）

【課題】アンダーカット形状およびエッジカールの両方が全く存在しない機能性パターンを形成することのできる機能性パターン形成用感光性樹脂組成物および機能性パターン形成方法を提供する。
【解決手段】ガラス基板上に塗布後にパターン露光と現像によって得られたパターンが焼成されることによって、機能性パターンを形成する機能性パターン形成用感光性樹脂組成物であって、現像後、前記現像パターンの断面形状の基板密着側長（底部長）Ａとパターン上部長Ｂの関係がＡ＜Ｂであり、該現像パターンが、無機粉末の融点より低い温度で焼成後、断面形状が基板密着部から上面に向かって狭幅化する形状に自己形成することを特徴とする機能性パターン形成用感光性樹脂組成物を、用いる。 （もっと読む）