【課題】層厚が内周側から外周側に向けて厚く形成したフォトレジスト層を簡便に、かつ低コストで製造することができるフォトレジスト塗布方法を提供する。
【解決手段】基板上にフォトレジストを塗布することによって形成されるフォトレジスト層の層厚を内周側から外周側に向かって厚く形成するフォトレジスト塗布方法であって、基板を載置したターンテーブルを回転させつつ前記基板上にフォトレジストを塗布する塗布工程と、前記基板上に塗布されたフォトレジストを乾燥させる乾燥工程と、を有し、前記乾燥工程では、前記ターンテーブルを回転させ、これにより基板上に塗布されたフォトレジストを前記基板の外周側に流動させる一方で、前記基板の外部に前記フォトレジストが飛散することを防止するように前記基板の外周側に空気を噴出することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ガラス基板のフッ酸エッチングでガラス基板との密着性に優れる特性を有する、感光性樹脂組成物及び感光性樹脂積層体を提供すること。
【解決手段】（Ａ）カルボキシル基含有量が酸当量で１００〜６００であり、かつ、重量平均分子量が５０００〜５０００００であるバインダー用樹脂、（Ｂ）少なくとも一つの末端エチレン性不飽和基を有する光重合性モノマー、（Ｃ）光重合開始剤及び、（Ｄ）オルガノシラン化合物を含有してなる感光性樹脂組成物であり、前記（Ｄ）成分が特定のオルガノシラン化合物であることを特徴とする感光性樹脂組成物。 （もっと読む）

【課題】 耐アルカリ性の高い、カチオン重合エポキシ系感光性組成物をドライフィルム化して、貫通孔や凹部を有する基板上へのパターン形成を可能にする。該ドライフィルムを用いて、信頼性に優れたインクジェットヘッドを提供する。
【解決手段】 バインダーとして、エポキシ環を有するフェノキシ樹脂を５〜６０ｗｔ％混合し、膜の皮膜性を高める。 （もっと読む）

【課題】アゾベンゼン基ポリマーを利用した微細パターニング方法、及び微細パターニング方法を利用した窒化物系半導体発光素子の製造方法を提供する。
【解決手段】被エッチング層上にアゾベンゼン基ポリマーフィルムを形成するステップと、アゾベンゼン基ポリマーフィルムに干渉レーザビームを照射して、アゾベンゼン基ポリマーの光物理的な物質移動特性による微細パターンの表面凹凸を形成するステップと、表面凹凸パターンのアゾベンゼン基ポリマーフィルムをエッチングマスクとして利用し、被エッチング層をエッチングするステップと、前記アゾベンゼン基ポリマーフィルムを除去するステップと、を含む微細パターニング方法である。 （もっと読む）

【課題】光加工プロセスに用い、光硬化性と耐光性のある感光性重合体組成物の提供。
【解決手段】下記式の化合物を用いて得られるかご型ケイ素化合物、金属錯体、および有機溶媒を配合して、感光性重合体組成物を得る。
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【課題】
バーニング不要で優れた密着性を有し、かつひび割れを防止した感光膜を得ることができる新規なポジ型感光性組成物を提供する。
【解決手段】
（Ａ）分子中に少なくとも１つのカルボキシル基を有する高分子物質、（Ｂ）画像露光光源の赤外線を吸収して熱に変換する光熱変換物質、及び（Ｍ）樹脂改質剤を含有してなるようにした。前記樹脂改質剤（Ｍ）としては、グリセリン及びその誘導体、ジグリセリン及びその誘導体、ポリグリセリン及びその脂肪酸エステル、ヒアルロン酸及びその塩、ポリエチレングリコール、ソルビトール、プロピレングリコール、１，３−ブチレングリコール、エチレングリコール、ジエチレングリコール、果糖、ブドウ糖、オリゴ糖、オリゴ糖アルコール、マルチトール、トレハロース、還元澱粉加水分解物、グリシンベタイン、ピロリドンカルボン酸及びその塩、並びに乳酸ナトリウム等が好適である。 （もっと読む）

【課題】塑性変形量が大きいフォトスペーサー与えるフォトスペーサー形成用感光性樹脂組成物を提供する。
【解決手段】バインダー樹脂（Ａ）、光重合性化合物（Ｂ）、光重合開始剤（Ｃ）および溶剤（Ｄ）を含む感光性樹脂組成物であって、該光重合性化合物（Ｂ）が式（Ｉ）で表される化合物を含有し、式（Ｉ）で表される化合物の含有量が、バインダー樹脂（Ａ）、光重合性化合物（Ｂ）および光重合開始剤（Ｃ）の合計量に対して質量分率で、５〜６０質量％であるフォトスペーサー形成用感光性樹脂組成物。
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【課題】精度の高いパターンを形成することができるとともに、有機成分の熱分解性に優れ、かつ、焼成後に収縮の少ない無機粒子含有感光性組成物を提供すること。
【解決手段】本発明に係る無機粒子含有感光性樹脂組成物は、無機粒子と、アルカリ可溶性樹脂と、１分子中に少なくとも２つの（メタ）アクリロイル基を有し、かつ、アセタール結合、ヘミアセタールエステル結合およびモノチオアセタール結合から選ばれる結合を少なくとも１つ有する光硬化剤と、光重合開始剤とを含有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ディスプレイデバイスで使用される誘電体を提供すること。
【解決手段】誘電体は、感光性組成物からなる下側誘電体層と、上記下側誘電体層の上に形成された感光性組成物からなる上側誘電体層とを有し、あるパターン露光において使用される光に対する上記上側誘電体層の透過率は、前記パターン露光において使用される光に対する上記下側誘電体層の透過率よりも低い。 （もっと読む）

【課題】高精度で、且つ電子線照射時間を短縮し製造効率の高い３次元モールドの製造方法の提供。
【解決手段】基体上にオルガノポリシロキサンで構成されるレジスト層を有する被加工体の該レジスト層に電子線を照射する照射工程と、電子線を照射した後のレジスト層を現像してレジスト層に凹凸部を形成する現像工程と、を有し、前記照射工程では、１次電子は前記基板に到達せず且つ２次電子は前記基板に到達するような加速電圧で照射する工程を含むことを特徴する３次元モールドの製造方法。 （もっと読む）

【課題】現像性及び密着性が高く、優れた電気特性を持ち、且つ良好な断面形状の配向制御用突起を形成する。
【解決手段】少なくとも、透光性基材及び液晶分割配向制御用突起を備え、当該液晶分割配向制御用突起が、アルカリ現像型感光性樹脂組成物を用いて形成され、当該アルカリ現像型感光性樹脂組成物として、特定のビスフェノール化合物と多官能エポキシ化合物とを交互共重合させた構造を有するエポキシ樹脂（Ａ）に、不飽和一塩基酸（Ｂ）を付加させた構造を有するエポキシ付加物に対し、多塩基酸無水物（Ｃ）をエステル化させて得られた構造を有する光重合性不飽和化合物（Ｌ）を含有し、その誘電正接が１０〜５０Ｈｚの周波数範囲のいずれかの周波数において０．００８以下であるアルカリ現像性樹脂組成物に、さらに光重合開始剤（Ｅ）を含有させたアルカリ現像型感光性樹脂組成物を用いたことを特徴とする液晶表示装置用基板。 （もっと読む）

【課題】現像液に対する溶解性が良好であり、吸水率が低いパターンを形成し得る感光性樹脂組成物、この感光性樹脂組成物を用いたパターン形成方法及び電子部品を提供する。
【解決手段】感光性樹脂組成物は、（ａ）下記一般式（Ｉ）で表わされる繰り返し単位から主としてなるポリマーと、（ｂ）現像液に対する溶解促進剤と、及び（ｃ）溶媒とを含有する。
【化１】


［式中、Ｒ¹は三価又は四価の有機基、Ｒ²は二価の有機基、Ｒは炭素炭素不飽和二重結合を有する一価の有機基又は炭素炭素不飽和二重結合を有する化合物がイオン結合したＯ^-Ｍ⁺（Ｍ⁺は水素イオン又は炭素炭素不飽和二重結合を有する化合物と水素からなる陽イオンを表わす。）で表される基であり、全繰り返し単位中に炭素炭素不飽和二重結合を少なくとも１つ含み、ｍは２以上の整数であり、ｎは１又は２である。］ （もっと読む）

【課題】取り扱いの容易な軟化点の樹脂状エポキシ樹脂を提供する。
【解決手段】テトラキスフェノールエタン型化合物、あるいは、それぞれのアルキル、または、フェニル置換化合物をエピハロヒドソンと反応させることにより得られる、軟化点が８０〜１２０℃のエポキシ樹脂。 （もっと読む）

【課題】高分子樹脂組成物、これを利用したパターン形成方法、及びキャパシタ形成方法が開示される。
【解決手段】ブロッキング膜を形成するに適合な高分子樹脂組成物で、ベンジルメタクリレート単量体、メタクリル酸単量体、及びヒドロキシエチルメタクリレート単量体からなる共重合体７５乃至９３質量％、架橋結合剤１乃至７質量％、熱酸発生剤０．０１乃至０．５質量％、光酸発生剤０．０１乃至１質量％、有機塩基０．００００１乃至０．００１質量％、及び残余の質量％の溶媒を含む。前記した高分子樹脂組成物を使用して、基板の一部領域をブロッキングするための膜を容易に形成することができる。 （もっと読む）

【課題】非化学増幅主鎖分解型ポジ型レジスト組成物層からなる第１のパターンを形成する工程と、その上に他のレジスト組成物からなる第２のパターンとを積層する工程とを有する場合、例えば、プリンターのノズルを形成する用途において、前記第２のパターンが加工中等に劣化することを抑制できる技術を提供する。
【解決手段】露光により主鎖が分解して現像液に対する溶解性が増大するベース樹脂成分（Ａ）と、ナフトキノンジアジドスルホン酸エステル化合物（Ｂ）を含有することを特徴とする非化学増幅主鎖分解型ポジ型レジスト組成物。 （もっと読む）

【課題】本発明はフラットパネルディスプレイの隔壁などの各種部材に用いる感光性ペースト組成物に関して、その感光性ペースト組成物の膜のタック性を制御し、露光時のフォトマスクの汚れなどの問題を生じないことによって、高精細なパターン形成が可能とする感光性ペースト組成物を提供する。
【課題手段】少なくともガラス粉末を含む無機粒子と感光性有機成分を有する感光性ペースト組成物であって、感光性有機成分に含まれるバインダーポリマーのガラス転移温度が３０〜１００℃であり、酸化物換算表記で７０〜９５重量％のＢｉ_２Ｏ_３、３〜１５重量％のＳｉＯ_２、５〜２０重量％のＢ_２Ｏ_３、１〜１０重量％のＺｎＯ、０〜３重量％のＺｒＯ_２の組成範囲のガラス粉末を含有する感光性ペースト組成物。 （もっと読む）

【課題】形成プロセスが簡便で、かつ、形成プロセスにおける現像残渣及びその後のプロセスにおける装置汚染が生ずることの無い、微細、且つ高解像性のオーバーハング形状または逆テーパー形状の断面形状を有するレジストパターンを形成する。
【解決手段】基板１上に酸失活層２を形成し、さらにレジスト膜層３を積層形成する。その後、フォトマスク４を介して露光光線５によりレジスト膜層３の露光を行い、露光後ベーク処理を施した後、任意の現像液と現像時間で現像することによりオーバーハング形状または逆テーパー形状の断面形状を有するレジストパターンを形成することができる。 （もっと読む）

【課題】 光架橋により親水性で生体適合性の高いポリエチレングリコールに由来する表面コーティングを容易に構築することが可能で、高感度な感光性樹脂及び感光性組成物並びにその光架橋体を提供する。
【解決手段】 下記式（１）で表される繰返し単位及び下記式（２）で表される繰返し単位を有する。
【化１】


（Ｒ₁及びＲ₂はそれぞれ独立に炭素数２〜５のアルキレン基であり、Ｒ₃はアジド基を有する感光基である。）
【化２】
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【課題】階調マスクを用いて表示装置等における複数のパターンを一括形成する場合に好適に用いられ、アルカリ現像性が良好である光硬化性樹脂組成物を提供する。
【解決手段】酸性官能基を有する構成単位および光重合性官能基を有する構成単位を含む酸性官能基含有共重合体と、酸性官能基および複数の光重合性官能基を有する酸性官能基含有多官能モノマーと、酸性官能基を有する構成単位およびエポキシ基を有する構成単位を含む酸性官能基含有エポキシ樹脂とを含有することを特徴とする異種部材一括形成用光硬化性樹脂組成物を提供することにより、上記目的を達成する。 （もっと読む）

【課題】高感度であるとともに保存安定性および耐刷性に優れた、例えばＣＴＰシステムに適合する走査露光用の感光性平版印刷版の感光層として有用な重合性組成物及び該重合性組成物を用いた感光性平版印刷版を提供する。
【解決手段】エチレン性不飽和二重結合を有する重合性化合物、ラジカル重合開始剤、および、該ラジカル重合開始剤から生成するラジカルによって水素引抜き反応を受ける基を有する重合体を含有することを特徴とする重合性組成物及び該重合性組成物を用いた感光性平版印刷版。 （もっと読む）