【課題】過剰損失の抑制を図り、透過特性を向上させる。
【解決手段】レンズ１１ａは、入力光を集光して集光ビームを生成する。ＶＩＰＡ板１２は、光を高反射する反射面１２ａおよび反射面１２ａよりも低い反射率を持つ反射膜１−１が蒸着される透過面１２ｂを備え、反射面１２ａと透過面１２ｂとで挟まれる内部領域で、窓１２ｃから入射された集光ビームを多重反射させて、透過面１２ｂを介して回折した光を出射する。反射ミラー１３は、透過面１２ｂから出射された出射光を反射し、戻り光を生成して透過面１２ｂに再び到達させる。反射膜１−１は、高反射率の高反射膜１ａと低反射率の低反射膜１ｂとを含み、出射光と戻り光との結合部分が大きくなるように、光強度の高い出射光が放出される透過面１２ｂの部分には高反射膜１ａを蒸着し、光強度の低い出射光が放出される透過面１２ｂの部分には低反射膜１ｂを蒸着する。 （もっと読む）

本発明は、改善された極紫外線放射反射要素であって、ａ）高反射材料から本質的に作製される第１層と、ｂ）5nm以下の厚さを有し、且つ、10⁸ショット毎に10nm以下のスパッタ抵抗を有する材料から本質的に作製される、第２層と、を含み、前記第２層が入射及び／又は反射された極紫外線光の経路において設けられる、極紫外線放射反射要素に関する。 （もっと読む）

自動車バックミラーアセンブリのような画像維持反射器に使用するための異方性薄膜積層体及び関連の製作方法。薄膜は、光偏光層及び他の機能層のような異方性層を含むことができる。制御された含水量を有する薄膜は、基板に積層されるように薄膜のガラス転移温度範囲の下限値に実質的に等しいか又はそれよりも高い温度まで全方向圧力及び真空下で加熱される。積層体は、ミラー構造体の背後に位置決めされた光源によって生成されて視覚者の方向へミラー構造体を通じて伝達される光のコントラストを増大させるようにミラー構造体の一部として構成される。ミラー構造体は、いかなる広範な歪みも欠如しており、かつ３未満、より好ましくは２未満、最も好ましくは１未満のＳＷ値及びＬＷ値によって特徴付けられる。 （もっと読む）

【課題】光学部材の光学薄膜設計仕様を緩め、容易に光学薄膜製造が行える安価な光学部材と、これを有する光学系と光学装置を提供すること。
【解決手段】光学系内に配置される光学部材であって、前記光学部材は、可視光の分光特性に２〜４の極大値を有し、使用する光源の前記可視光の分光特性とＣＩＥ３刺激値ｘ、ｙ、ｚとの積のピーク波長λｘ、λｙ、λｚの少なくとも１つの波長の近傍に前記分光特性のピークを有することを特徴とする光学部材。 （もっと読む）

【課題】本発明の露光装置は、ＥＵＶ光以外の他の光を取り除き、ＥＵＶ光のみをマスクに供給することができる。
【解決手段】ミラー５１０の表面には、Ｍｏ／Ｓｉの多層膜が設けられており、この多層膜にブレーズド溝５１３が形成される。ＥＵＶ光源装置１から入射する光２０３，３０１は、ミラー５１０に入射し、反射または回折する。ＥＵＶ反射光２０４（ＥＵＶ回折光を含む）と、他の波長の光３０２とは、反射角度または回折角度が異なるため、進行方向が異なる。アパーチャやダンパによって他の光３０２を除去することにより、純度の高いＥＵＶ光をマスク６００に照射することができる。 （もっと読む）

【課題】小型、低コストでかつ安定性が高く、フェムト秒領域のCWモード同期を実現できる固体レーザ装置を得る。
【解決手段】固体レーザ媒質15と可飽和吸収ミラー16とをレーリ長の２倍以下の距離で近接配置する。その上で、可飽和吸収ミラー16の吸収変調深さΔＲを0.4％以上とし、パルス幅に対して所定の関係式で表される、共振器内を所定の波長の光が一往復した場合の共振器内全分散量の絶対値｜Ｄ｜（ただしＤ＜０）を、可飽和吸収ミラー16により基本周期のソリトンパルス以外の動作様式が抑制可能なパルス帯域内に設定し、出力ミラーとして、所定の波長の光18に対して、ミラー分散量が−1000fs²〜−100fs²であり、かつ、反射率が97％〜99.5％である負分散ミラー５を用いる。 （もっと読む）

【課題】オーバーコート層及び光路差調整層を形成する２工程を１工程とし、半透過型液晶表示装置用カラーフィルタを廉価に工期を短縮して製造するカラーフィルタの製造方法、カラーフィルタ、用いるフォトマスク、液晶表示装置を提供する。
【解決手段】光路差調整層２８に対応したパターンは透明部５１で、オーバーコート層２７に対応したパターンはハーフトーン部５２であるフォトマスクＰＭ２。ブラックマトリックス１２を形成する工程、着色画素１３を形成する工程、請求項１記載のフォトマスクを用い、光路差調整層とオーバーコート層を一体的に同時に形成する工程を具備する。着色画素１３Ｔｒと着色画素１３Ｒｅで構成され、着色画素１３Ｒｅにはスルーホール部１６がある。 （もっと読む）

【課題】ＥＵＶリソグラフィ機器に適用するＥＵＶ放射とＤＵＶ放射の比を拡大する多層ミラーを提供すること。
【解決手段】スペクトル純度増強層を上部に含む多層ミラーが提供され、スペクトル純度増強層は、第１スペクトル純度増強層を含むが、多層ミラーと第１スペクトル純度増強層の間に、任意選択で、中間層、又は第２スペクトル純度増強層及び中間層を設けることもできる。したがって、多層ミラー／第１スペクトル純度増強層、多層ミラー／中間層／第１スペクトル純度増強層、及び多層ミラー／第２スペクトル純度増強層／中間層／第１スペクトル純度増強層の構成の多層ミラーが可能である。ＥＵＶ放射よりもＤＵＶ放射が比較的大きく減少するように、垂直入射放射のスペクトル純度を高めることができる。 （もっと読む）

【課題】高反射部の反射率の経時的な低下を防止し易く、検出精度を長期間維持することが可能な光学式エンコーダのスケールを提供する。
【解決手段】基板２１と、基板２１の表面に形成された低反射率材料層２３と、低反射率材料層２３の表面に形成され、低反射率材料層２３より反射率が高い高反射率材料層２５と、高反射率材料層２５の表面に形成された透光性保護層２７とからなり、高反射率材料層２５が低反射率材料層２３の表面の複数の部分を覆うことで、低反射率材料層２３からなる低反射部３３と高反射率材料層２５からなる高反射部３５とでパターン３１が構成され、高反射率材料層２５は、基板２１の周縁２１ｅより内側に離間して配置され、透光性保護層２７は、高反射率材料層２５の表面及び全ての縁部２５ｅを被覆している。 （もっと読む）

【課題】リブ構造体の成形が容易であり、コストを削減することができる軽量化ミラー及びその製造方法を得ることを目的とする。
【解決手段】炭素、または炭素と炭化ケイ素の混合材料を主成分とする素地母材に圧縮成形を施して板状の第１炭素素地部材１８ａを得る第１素地母材成形工程と、第１炭素素地部材１８ａの厚さ方向に穴方向が一致する複数の凹穴５を第１炭素素地部材１８ａに切削により形成して炭素素地成形体１９を得る切削加工工程と、炭素素地成形体１９に溶融したシリコン２１を含浸させ、炭素素地成形体１９の炭素とシリコン２１とを反応焼結させてリブ構造体３Ａを得る反応焼結工程と、ガラス材料からなるミラー機能部１０Ａを、反射面を外方に向けてリブ構造体３Ａの一面に接合する接合工程と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】簡素な工程で高精度な小型の光学素子を製造する方法を提供することである。
【解決手段】仮想面に垂直な第１〜第４面１０ｃ〜１０ｆを有し、第１面１０ｃと第２面１０ｄが平行であり、第２面１０ｄと第３面１０ｅとのなす角がθであり、第４面１０ｆが第１、第２面１０ｃ、１０ｄに垂直であり、第３面１０ｅが鏡面である光学素子１０の製造方法において、角θをなす２つの面を有するプリズム２０の一方の面２０ｃを加工基準面とし、他方の面２０ｄが鏡面であり、加工基準面２０ｃの反対側から加工基準面２０ｃに平行な面Ａまで研削し第１面１０ｃを形成する第１工程と、加工基準面２０ｃに垂直で、且つ前記２つの面で形成される稜線に平行な面Ｂで切断して第４面１０ｆを形成する第２工程と、前記２つの面を含む切断片４０を、加工基準面２０ｃ及び第４面１０ｆに垂直な面で所定間隔に切断して個々の光学素子１０を得る第３工程とを備えるものとする。 （もっと読む）

太陽エネルギーシステムにおいて太陽光を集光するための一体ガラス反射器を製造する方法を開示する。製造方法は、太陽エネルギーシステムの総システム費用において有意な費用節約を実現するために、大型一体ガラス反射器がフロートガラスから作られることを可能にする。製造方法は、ガラスの板が金型の形状に一致するようにたわみ、伸展するまで、凹面金型を覆って位置付けられるフロートガラスの板を加熱するステップを含む。皿型ガラスの縁は、周囲の構造補強のために巻かれる。次いで、皿型ガラスは、太陽放射を焦点に反射させる皿型鏡を作成するように、銀めっきされる。フロートガラスに接触する金型の表面は、好ましくは、複数の尖頭および凹面くぼみを備える、溝付きの表面外形を有する。この溝付きの外形は、接触面積および鏡面反射ガラス面の損傷を最小限化し、金型への寄生熱伝達を低減し、金型の寿命を増加させる。
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太陽光を集光するための複数の皿形一体反射器を有する２軸太陽光トラッカー装置を開示する。皿形一体反射器は、可動フレームによって支持されるアレイの中で同軸上に整列している。可動フレームは、空を横断する太陽の移動を辿るための制御手段を有する、２軸トラッカーの仰角構造を形成する。各皿形一体反射器は、太陽エネルギーの生成に好適な集光された太陽光の領域を産生する。発電機は、各反射器の焦点に位置付けられる。好ましい発電機は、皿形一体反射器によって発電機に方向付けられる高い太陽光電力入力により、高出力電力で電気を生成するための太陽電池を使用する。
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【課題】 応力緩和層や反射層の、面内の膜質の差に起因する応力分布を除去する。
【解決手段】 基板１０上に応力緩和層１２を介して反射層１１を積層する。応力緩和層１２は、反射層１１の内部応力を相殺するための、均一な膜厚分布をもつ応力緩和部１２ａと、膜厚分布を二次偶関数近似した応力分布除去部１２ｂを有する。応力は膜厚にほぼ比例するので、任意の膜厚分布を形成することで応力分布を制御することができるが、設計値による膜厚分布を変えることは光学特性の劣化につながる。そこで、応力分布を除去するための応力分布除去部１２ｂの膜厚分布を二次偶関数で近似することで、膜厚分布による収差を光学系の調整によって低減可能とする。 （もっと読む）

【課題】トロイダル鏡等の非球面反射光学素子を光学系に設置する場合の軸合わせを容易にするとともに、反射面の研削、研磨作業に要する手間を軽減して低コスト化を図る。
【解決手段】正四角形状の外形の四隅の角部１４を切り落として外形を正八角形状にし、互いに直交する中心軸Ｘ、Ｙに沿った方向の２つの曲率半径、即ち、水平方向の曲率半径Ｒｈ、垂直方向の曲率半径Ｒｖで表される、有効反射領域が円形である反射面１０を形成する。有効反射領域１０ａ外の非球面量が大きな部分の面積が小さいので、面精度等を確保するための研削・研磨作業の負荷が軽減され、コストを低減できる。外面１１ａ、１１ｂ、１２ａ、１２ｂは中心軸Ｘ、Ｙに平行又は垂直であるので、光学系への設置時の軸合わせも容易である。 （もっと読む）

【課題】ビームスプリッタにおいて、入射光を透過或いは反射させるミラー膜をＡｕ等の金属膜で形成すると波長依存性及び偏光依存性が大きくなってしまう問題がある。
【解決手段】ビームスプリッタの対角面１１を基準としてその両側に対称となるように、入射光を反射させる成膜領域５と入射光を透過させる非成膜領域６を備えた第１のミラー膜１、及び前記第１のミラー膜１の反射光を反射させる第２のミラー膜２を配置し、前記第１のミラー膜１は光の入射角が２２．５°となるように配置する。 （もっと読む）

ペリクルビームスプリッタ(200,300,400,500,600,612,716)を製造するための方法は、アパーチャ（214,606,610,718,720）を支持基板（202,608,700）内にエッチングして、ビームスプリッタ基板（208,406,710）を該支持基板の上面に対して結合して該ビームスプリッタ基板が該アパーチャを覆うようにして、及び、少なくとも１つの光学コーティング（210、212、402、404、602、604、712、714）を前記ビームスプリッタ基板上に蒸着する、ことを含む。ペリクルビームスプリッタは、支持基板（202,608,700）と、半導体製造プロセスを用いて該支持基板内に作成されたアパーチャ（214,606,610,718,720）と、該アパーチャを覆うビーム分割コーティング（210,402,602,712）とを含む。
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【課題】本発明は光学反射素子の駆動精度を高めることを目的とする。
【解決手段】この目的を達成するため本発明は、ミラー部１と、このミラー部１とそれぞれ第一の支持部２で連結された、対の第一の音叉形圧電振動子３と、これらの第一の音叉形圧電振動子３とそれぞれ第二の支持部５で連結され、対の第一の音叉形圧電振動子３の外周を囲う枠体６と、この枠体６とそれぞれ第三の支持部７で連結された第二の音叉形圧電振動子８と、これらの第二の音叉形圧電振動子８とそれぞれ第四の支持部１０で連結された支持体１１とを備え、第一の音叉形圧電振動子３は、それぞれ第一の支持部２の両側に第一、第二のアーム１２、１３を有し、対の第一の音叉形圧電振動子３の少なくともいずれか一方は、第一または第二のアーム１２、１３上に第一のモニター電極１７を有するものとした。これにより本発明は、光学反射素子の駆動精度を高めることができる。 （もっと読む）

【課題】特別な設備を必要とすることなく光源装置の反射鏡が曇るのを防止することが可能な、光学部材を提供すること。
【解決手段】支持部（透明ガラス１６ａ）と、支持部に支持され、所望の波長の光１４ｂ（例えば、紫外線光から可視光線）を反射させる反射部１６ｂと、前記支持部と前記反射部との間に支持され、前記反射部を透過した熱線を吸収し、前記反射部を加熱する熱線吸収部１６ｂ'と、
前記支持部の前記反射部及び前記熱線吸収部が設けられた面と対向する面に設けられ、前記反射部及び前記熱線吸収部を透過した熱線を前記熱線吸収部に向けて反射する熱線反射部１６ｃとを具備してなる。 （もっと読む）

【課題】特別な設備を必要とすることなく光源装置の反射鏡が曇るのを防止することが可能な、光学部材を提供すること。
【解決手段】支持部（透明ガラス１６ａ）と、支持部に支持され、所望の波長の光１４ｂ（例えば、紫外線光から可視光線）を反射させる反射部１６ｂと、支持部に支持され、少なくとも前記所望の波長以外の光１４ｃ（例えば、赤外線光）を反射部に向けて反射し、反射部を加熱する熱線反射部１６ｃとを具備してなる。 （もっと読む）