【課題】従来の粉末焼成プロセスによって作製された光反射基材のように製造プロセスが煩雑ではなく、当該光反射基材より高い光反射率を有し、かつ大面積の光反射基材用途にも対応可能な光反射基材を提供する。
【解決手段】バルク状ガラスを結晶化させてなり、屈折率が１．７以上の析出結晶を含有する結晶化ガラスからなる光反射基材であって、波長４００〜８００ｎｍにおける平均光反射率が９０％以上であることを特徴とする光反射基材。 （もっと読む）

【課題】真円状の加工穴を形成することができるレーザ加工機を得る。
【解決手段】レーザ発振器１１と、第１スキャンミラー１２ａを有しその第１スキャンミ
ラーを軸の周りに揺動させ、第２スキャンミラー１２ｂを有しその第２スキャンミラーを
、前記第１スキャナミラーが揺動する軸とほぼ直交する軸の周りに揺動させるガルバノス
キャナ１３とを備え、前記レーザ発振器１１から出射されたレーザ光が前記第１スキャン
ミラー１２ａから前記第２スキャンミラー１２ｂを経て走査されるレーザ加工機にあって
、前記スキャンミラーには偏光制御膜が施されており、一方はＳ波の位相をＰ波に対して
遅らせるミラーであり、他方はＰ波の位相をＳ波に対して遅らせるミラーである。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線領域において用いる光学素子において、入射角度に依存した反射率の低下を防止する。
【解決手段】基板１１にＭｏ層１２とＳｉ層１４の交互層からなる反射多層膜を有する光学素子において、Ｍｏ層１２とＳｉ層１４の層間に拡散防止層であるＢ_４Ｃ層１３を設ける。Ｘ線の入射角度が光学素子の面内で矢印Ａの方向に増大する場合に、拡散防止層であるＢ_４Ｃ層１３の膜厚に同じ方向の分布を持たせることにより、拡散防止効果を増大させて、Ｘ線の入射角度による反射率の低下を抑制する。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成で照明ムラや観察像のムラを低減することができる汎用性の高い光学系、照明装置および顕微鏡装置を提供すること。
【解決手段】反射部材１３，１５を用いて少なくとも１回の反射を行う照明光学系１１において、照明光を反射させる反射部材１３，１５の反射面Ａ，Ｂ前面を、照明光学系１１が配置される雰囲気の屈折率よりも大きな屈折率を有する透過部材１３ｂ，１５ｂで覆う。 （もっと読む）

【課題】広い範囲の入射角度で反射特性を持ち、膜厚設計の自由度を向上させた軟Ｘ線ミラーを実現する。
【解決手段】Ｓｉ層１１とＭｏ層１２の交互層の一定膜厚構造に対して、各層の厚さ又は周期長を不均一にして、軟Ｘ線領域に対する反射特性を拡大するための最適化を行う。Ｓｉ層１１とＭｏ層１２の間には、この２種類の材料の界面拡散を防止する機能を有するＢ４Ｃ層１３を設けた不均一膜厚構造とすることで、ＭｏＳｉｘの形成による反射率の低下を防ぐとともに、膜厚設計の自由度を向上させる。 （もっと読む）

【課題】Ｍｏ、Ｓｉの多層膜を含む多層膜反射鏡を製造するにあたり、製品ごとの反射率のバラつきを低減する。
【解決手段】ＭｏとＳｉのターゲット１１、１２を交互にスパッタして反射多層膜を成膜する工程において、Ｍｏ層の内部応力は、真空チャンバー１内の雰囲気ガスの水分圧値に応じて変化し、製品ごとの反射率のバラつきを招く。そこで、Ｍｏ層の成膜工程において、真空チャンバー１に導入される高純度アルゴン２２と水を０，１％添加したアルゴン２３の混合比を調整することで真空チャンバー１内の雰囲気ガスの水分圧値を一定に制御し、ロットごとに多層膜の反射率が変化するのを防ぐ。 （もっと読む）

【課題】太陽光線のエネルギーを効率良く熱エネルギーに変換することができる太陽光線熱変換装置を提供する。
【解決手段】本発明の太陽光線熱変換装置Ａは、層状に形成され、一方の面側から太陽光線Ｙを受け入れる第１の層２と、この第１の層２は、所定の波長λ₀より短い波長の光線を透過すると共に、所定の波長λ₀以上の光線を反射するものであり、第１の層２の太陽光線Ｙを受け入れる側と反対の側に設けられ、該第１の層２を透過した光線を吸収して昇温する第２の層４と、第１の層２と第２の層４との間を流通すると共に、昇温した第２の層２からの伝熱により加熱される熱媒体３とを備えているものである。 （もっと読む）

【課題】従来とは異なる方法により耐紫外線性が高くかつ高反射率の可視光ミラーを実現する。
【解決手段】この課題を解決するために、本発明に係る可視光ミラーは、基板と、基板上に形成され、紫外線の照射により可視光吸収の増大が誘起される誘電体材料の層を含んだ、可視光を反射する多層膜ミラーである可視光ミラースタック層部と、可視光ミラースタック層部上に形成され、紫外線領域の所定の波長帯域における反射率が５０％以上の多層膜ミラーである紫外線ミラースタック層部とを備える。 （もっと読む）

【課題】表面粗さが容易に得られるオーダーのガラス基材を直接接合させる。
【解決手段】
第１プリズム２１と第２プリズム２２を接着剤を用いずに直接接合するときに、まず、第１プリズム２１の斜面２１ａに、第１プリズム２１に接合する第２プリズム２２と主成分が等しいガラス薄膜２４を成膜する。そして、ガラス薄膜２４と第２プリズム２２の側面２２ａとを、その相互間に蒸留水３１を介在させて密着させた後に、蒸留水３１を蒸発させて第１プリズム２１と第２プリズム２２とを一体化する。 （もっと読む）

【課題】大型反射鏡作成時に、加工時の破損による欠陥品を減らし、加工時間の短縮とコストの低減を実現する。
【解決手段】炭化ケイ素及びシリコンを含む粒子分散シリコン材料を用いた光学反射鏡１０を備える光学装置において、光学反射鏡１０は同一形状を有する複数の分割部品１１で構成され、複数に分割された分割部品１１は反応焼結によって接合面１４どうしが接合される。さらに光学装置は光学ベンチである光学装置構造体を備え、光学装置構造体はハニカム構造の同一形状を有する複数の部材を反応焼結によって接合されて構成される。 （もっと読む）

【課題】炭酸ガスレーザーを励起光とする光源の非露光光スペクトルを効果的に抑制し、各光学素子やウエハ、ステージ等の結像性能を良好に維持できる光学素子、露光装置、及びこれらを用いたデバイスの製造方法を提供する。
【解決手段】炭酸ガスレーザーを励起光とする露光光を反射するとともに前記励起光を透過する露光光反射層（１０３）と、前記励起光の反射を防止する励起光反射防止層（１０４）とが、前記露光光の光路に光源側からこの順に積層されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】低コストで生産性良く、広い入射角範囲において反射率変化が小さいポリゴンミラーとその製造方法を提供する。また、安価で、さらにはコンパクトな光走査装置および電子写真機器を提供する。
【解決手段】光を反射する複数の反射面を有するポリゴンミラーにおいて、該反射面上に、膜厚分布が、ブリュースタ角以下の入射角に対応する位置においては膜厚が均一であり、ブリュースタ角を超える入射角に対応する位置においてはブリュースタ角における反射率が得られる膜厚を有する単層膜を形成する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、光軸（５）との関係で正確な位置に配置された複数のミラー（Ｍ１，Ｍ２，Ｍ３，Ｍ４，Ｍ５，Ｍ６）を備えた、短波長、特に波長λ＜１５７ｎｍのための投影レンズ（１）に関する。
【解決手段】ミラー（Ｍ１，Ｍ２，Ｍ３，Ｍ４，Ｍ５，Ｍ６）は、多層膜を備えている。熱膨張係数のゼロ転移温度周辺の温度に応じて、熱膨張係数の傾き、具体的にはその値の符号が異なる少なくとも２つの異なるミラー材料が用いられる。 （もっと読む）

【課題】小型化と低コスト化を図った輪帯光源装置等を提供する。
【解決手段】環状の集光レンズ８と、集光レンズ８の入射面に沿って環状に配置された、線状の照明光を集光レンズ８の入射面に射出する複数の線状光源装置１００と、を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】各表示画素を透過表示領域と反射表示領域とに区分けすることなくバックライトが発光する光を用いた透過表示と外光を用いた反射表示とが可能になるとともに、高い表示品位を得ることができる液晶表示装置を提供する。
【解決手段】複数の色成分に対応したカラーフィルタ７が配置された液晶パネル１と、光を液晶パネル１に照射するサイドライト型のバックライト１５と、を備え、バックライト１５は、液晶パネル１との間に導光板１６を介在させるようにして配置され液晶パネル１と導光板１６とを順に通過してきた光を反射する反射板１９を有し、カラーフィルタ７は、光がそれぞれに対応する色成分のカラーフィルタ７を往復したときの各光を合成した合成光の分光特性が、導光板１６を間に介在させて反射板１９に向けて光を照射したときに導光板１６を往復することにより生じる所定の波長領域間での透過光量差を補正するように設定されている。 （もっと読む）

【課題】光線束を案内するためのミラーにおいて、ミラーの熱放散装置の熱放散能力を改善する。
【解決手段】光線束を案内するためのミラー（８；４４）は、ベース（２１；４５）と、ベース（２１；４５）の反射面（１９）におけるミラー（８；４４）の反射性を増大させるコーティング（２２）と、コーティング（２２）に溜まった熱（２３）を放散させるための熱放散装置（２４）とを備える。熱放散装置（２４）は少なくとも１つのペルティエ素子（２５）を有し、コーティング（２２）は、ペルティエ素子（２５）に直接に塗布される。 （もっと読む）

【課題】反射性画素電極の間に入射した光についても画像の表示に寄与させることのできる液晶装置、および該液晶装置を用いた電子機器を提供すること。
【解決手段】液晶装置１００では、第２基板２０側から入射した光は反射性画素電極９ａで反射して第２基板２０の側から出射される間に液晶層５０によって光変調される。また第２基板２０側から入射した光のうち、反射性画素電極９ａの間に入射した光は、反射性画素電極９ａによって挟まれた隙間９ｓに設けられた絶縁性反射層７３ａによって反射して第２基板２０側から出射させる。 （もっと読む）

本発明は、基板上に塗布した階層構造を有し、階層構造が複数個のサブ層系（Ｐ’’，Ｐ’’’）を含み、各サブ層系は、一連の個別層よりなる少なくとも１個の周期（Ｐ_２，Ｐ_３）の周期的配列で構成し、周期（Ｐ_２，Ｐ_３）は、高屈折率層（Ｈ’’，Ｈ’’’）および低屈折率層（Ｌ’’，Ｌ’’’）としての異なる材料からなる２個の個別層を含み、かつ各サブ層系（Ｐ’’，Ｐ’’’）に関しては、隣接するサブ層系の周期厚と相違する一定の厚さ（ｄ_２，ｄ_３）を有する、ＥＵＶ波長域用のミラーに関する。当該ミラーは、基板から最も遠く離れたサブ層系（Ｐ’’’）が、基板から２番目に遠く離れたサブ層系（Ｐ’’）の周期膜（Ｐ_２）の個数（Ｎ_２）より多い周期（Ｐ_３）の個数（Ｎ_３）を有する、及び／又は基板から最も遠く離れたサブ層系（Ｐ’’’）の高屈折率層（Ｈ’’’）の厚さが、基板から２番目に遠く離れたサブ層系の高屈折率層（Ｈ’’）の厚さと０．１ｎｍ超相違することを特徴とする。本発明はさらにそのようなミラーを備えるマイクロリソグラフィ用の投影対物鏡およびそのような投影対物鏡を含む投影露光装置に関する。
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【課題】任意の角度あるいは曲面をなす反射面を有する光学部材、およびその光学部材を用いた光学装置を容易に製造できるようにする．
【解決手段】シリコン基板５の表面５ａにフォトレジスト６を塗付して所要形状の開口６ｈを形成し、そのフォトレジスト６をエッチングマスクにして、シリコン基板５の表面５ａに垂直な方向にエッチングを行って、表面５ａに対して垂直で、かつ互いに段違いで平行な２平面５１ａ，５１ｂとその２平面間を接続する斜面５ｃとを含む凹部５ｈを形成し、その凹部５ｈの内壁面の一部をなす斜面５ｃに反射性金属膜を被覆して反射面を形成する。 （もっと読む）

【課題】光損失の波長特性を解消することができ、透過帯域拡大が可能となるような光部品を提供する。
【解決手段】対向する平行平面を有するガラス板１ａと、ガラス板の平行平面にそれぞれ形成された１００％の反射率の反射膜である反射面層１ｂ及び１００％より低い反射率の反射膜である出射面層１ｃと、を含んで構成される光部品であって、出射面層１ｃが、ガラス板内に入射した光が最初に反射する部分から多重反射方向へ、光の反射回数が増えるに従って透過率が高くなっていくように形成されることにより、出射面層１ｃを透過して出射する出射光の強度が、最初の出射位置から最後の出射位置までほぼ均一となる光部品。 （もっと読む）