【課題】素子最表面に位置する基板と空気層との界面で全反射される光を減らすことにより、外部に取り出される光の取り出し効率の向上を実現する。
【解決手段】面状発光素子の光取出し面側に配することで光の取出し効率の向上を図る光学部材１０を、屈折率の異なる材料（高屈折率材料１１、低屈折率材料１２）を光取り出し面の法線Ｖに対し斜めに積層して構成し、光学部材１０が無い場合には空気層１０５との界面で全反射される光を光学部材１０に入射させ、その後、反射・散乱させることで光の取出し効率を向上させる。 （もっと読む）

【課題】十分な反射率を保持しつつ、着色時及び消色時の応答性に優れるエレクトロクロミックミラーを提供すること。
【解決手段】本エレクトロクロミックミラー１０は、パラジウムを５ａｔ％以上１５ａｔ％以下で含む銀合金からなり、クラックの発生が抑制された導電性反射膜１８と、還元反応することで着色されるエレクトロクロミック膜１６と、を備えることで、十分な反射率を保持しつつ、着色時及び消色時の応答性に優れるものとなる。 （もっと読む）

薄物部品（２、１４）の第１面（１６）のマイクロ変形方法であって、前記薄物部品は、前記第１面、前記第１面の反対側の第２面（４、１８）、及び前記第１面に接続する周辺部（２０）によって区切られており、前記第１面の上の最大測定可能距離（Ｄ）が前記第１及び前記第２面の間の距離（Ｅ）の約５倍を超え、好ましくは８倍を超え、前記第２面（４、１８）又は前記周辺部（２０）に局所的な加工が適用され、当該薄物部品に機械的な力を加えることなく、前記第１面（１６）に固定される静的マイクロ変形を生じさせることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】反射率の熱的安定性を向上させることができる反射型マスクブランクを提供すること。
【解決手段】基板と、当該基板上に形成されて露光光を反射する多層反射膜２と、当該多層反射膜上に形成されて露光光を吸収する吸収体膜とを有する反射型マスクブランクであって、上記多層反射膜は、シリコン層７とモリブデン層６とを交互に積層した材料から構成され、上記シリコン層７とモリブデン層６との間に、モリブデンと炭素を含む材料からなる拡散防止層８、例えば炭化モリブデン、炭化二モリブデンまたはそれらの窒化物からなる拡散防止層が形成されたものである。 （もっと読む）

【課題】高い反射率を得ることが可能な多層膜反射鏡を提供する。
【解決手段】本発明の多層膜反射鏡は、Ｍｏを主成分とするＭｏ層とＳｉを主成分とするＳｉ層とからなるＭｏ-Ｓｉペア層を積層した多層膜反射鏡であって、Ｍｏ-Ｓｉペア層におけるＭｏ層の厚さとＳｉ層の厚さの和が略一定であり、入射光の進行方向からみて、入射光が最初に入射する第１層目のＭｏ層から離れたＭｏ層であるに従い、Ｍｏ層の厚さが増大することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ダイシングによりコーティング層が剥離することを防止できる光学素子の製造方法を提供する。
【解決手段】基材１１上にコーティング層１６が形成された光学素子の製造方法において、親基材１の裏面にダイシングシート２を貼着し、前記親基材１の表面側をダイシングして複数の前記基材１１に分割するダイシング工程と、前記ダイシング工程を行なった後、前記ダイシングシート２に貼着された複数の前記基材１１の表面に前記コーティング層１５を成膜する成膜工程と、前記コーティング層１５が成膜された複数の前記基材１１を、前記ダイシングシート２から剥離するピックアップ工程とを備えること構成とする。 （もっと読む）

【課題】凹凸形状を有する光反射部やフォトスペーサなどの立体構造物をＴＦＴ基板の絶縁膜における所定位置に好適な形状で形成した表示装置を提供する。
【解決手段】本液晶表示装置には、無段階に光透過率が変化する半透明部を有するハーフトーンマスクを使用したフォトリソグラフィ処理により、良好な散乱反射特性を有する所定の曲面形状を有するマルチギャップ部１７０上に形成される反射電極１７や、表示部において目立ちにくい立体形状を有するフォトスペーサ５１、ステップカバレッジ性を向上させることができるテーパ面を有するコンタクトホール１６を層間絶縁膜１９に形成することができる。このことから液晶表示装置の表示品質を向上させることができる。 （もっと読む）

一定の外面形状を有し、反射コーティングが設けられるように意図され、かつミラー基板を意図されるように使用する際に高い負荷を受ける帯域として規定される、表面区域（surface region）を有する、ＥＵＶリソグラフィに使用されるミラー基板用の、高シリカ含有量を有するチタンドープガラス（ガラス）のブランクを製造する既知の方法に基づき、低コストで製造することができるにもかかわらず、均一性並びにブリスタ及び脈理がないことについて高い要件を満たすブランクを提供するために、（ａ）外面形状を包含するのに十分な大きさよりも大きい寸法を有するチタンをドープした高品質のガラスの前部体を作製する方法工程と、（ｂ）チタンドープガラスから円筒形の支持用基体（supporting body）を作製する方法工程と、（ｃ）前部体と支持用基体とを結合させる方法工程であって、複合体を形成する、前部体と支持用基体とを結合させる方法工程と、（ｄ）複合体を加工する方法工程であって、ミラー基板用ブランクを形成する、複合体を加工する方法工程とを含む手法が提案され、ここで、前部体を作製する工程は、ケイ素含有化合物の火炎加水分解によってストランドの形態で得られる出発用基体（starting body）をねじり加工して、前部体ブランクを形成することを伴う均一化プロセスを含み、支持用基体は、前部体よりも均一性の低い一体構造のガラスブロックとして形成される。 （もっと読む）

【課題】鋳造性、成形性に優れたＦｅを主成分とする非晶質合金、前記非晶質合金を用いた光学部品およびその製造方法を提供する。
【解決手段】組成式Ｆｅ_ａ−Ｂ_ｂ−Ｚｒ_ｃ−Ｎｉ_ｄ−Ｃｏ_ｅ（ａ、ｂ、ｃ、ｄ、ｅは原子組成百分率（ａｔ％）を示し、６０．０≦ａ≦６９．４、２２．３≦ｂ≦２９．３、３．６≦ｃ≦７．８、３．０≦ｄ≦７．０、０．５≦ｅ≦２．０の関係を満足する。且つ、ａ＋ｂ＋ｃ＋ｄ＋ｅの合計は９９．８以上である。）からなり、前記Ｆｅ_、Ｂ、Ｚｒ、ＮｉおよびＣｏ以外の元素を０．２ａｔ％未満含有する非晶質合金、前記非晶質合金を用いた光学部品およびその製造方法。 （もっと読む）

【課題】高い反射率を有すると共に、自動車用灯具などのように加熱と冷却を繰返し受ける環境下に曝して結露が生じても反射率が低下し難い、耐温水性に優れたＡｌ合金反射膜を提供する。
【解決手段】本発明のＡｌ合金反射膜は、Ｇｄ，Ｌａ，Ｙ，Ｓｃ，Ｔｂ，Ｌｕ，Ｐｒ，Ｎｄ，Ｐｍ，Ｃｅ，Ｄｙ，Ｈｏ，Ｅｒ，及びＴｍよりなる群から選択される少なくとも１種の元素を合計で２．５〜６原子％と、Ｃｒ，Ｃｕ，Ａｇ，Ｎｉ，Ｃｏ，Ｍｎ，Ｓｉ，Ｍｏ，Ｖ，Ｆｅ，及びＢｅよりなる群から選択される少なくとも１種の元素を合計で１５原子％以下（０％は含まない）とを含有し、残部がＡｌ及び不可避不純物であることを特徴とする。 （もっと読む）

本発明は、マイクロリソグラフィ投影露光装置で使用するミラーであって、基板及び反射コーティングを備え、反射コーティング自体はさらに第１層群及び第２層群を備えるミラーに関する。この場合、第２層群は、基板と第１層群との間に配置される。さらに、第１層群及び第２層群の両方が、上下に配置された複数の交互の第１層及び第２層を備え、第１層は第１材料を含み、５ｎｍ〜３０ｎｍの範囲の波長を有する放射線に関する第１材料の屈折率は、第２層に含まれる第２材料の屈折率よりも高い。この場合、第１層群は、２１個以上の数の層を備えるよう構成されることで、５ｎｍ〜３０ｎｍの範囲の波長を有する放射線の照射時に第２層群に達する放射線が２０％未満となるようにし、第２層群は、ミラーの表面形態の補正のための層厚変動を有する。これにより達成されるのは、ミラーの表面形態の補正のための層厚変動を有する第２層群が、ミラーの反射率特性に大きな影響を及ぼさないことである。 （もっと読む）

ＥＵＶリソグラフィ投影露光システムにおいて５０ｎｍ未満の波長域の光を反射させるための高精度の幾何学的形態の第１反射面（７５０）を有する本体を備える、反射光学素子。本体は、第１非反射面（７４１）及び第２非反射面（７４２）を備える。さらに、本体は、第１非反射面に形成される単一接続区域（７３０）であり、該接続区域内に、光学素子全体を軸受要素の少なくとも１つの軸受面に直接的又は間接的に固定するための少なくとも１つの固定面を有する単一接続区域を備える。さらに、第２非反射面は第１非反射面に形成される単一接続区域とは異なり、第２非反射面は単一接続区域を少なくとも部分的に包囲する。さらに、少なくとも１つの応力除去凹部が本体内に形成され、応力除去凹部（７９３）は、第１非反射面を第２非反射面から少なくとも部分的に分離する。 （もっと読む）

【課題】 輝度を向上させることのできる光源装置と、この光源装置を備えたプロジェクタを提供する。
【解決手段】 本発明のプロジェクタは、光源装置や表示素子、プロジェクタ制御手段等を備え、光源装置は、回転制御可能な基材に励起光を受けて緑色帯域光を発する蛍光体層が形成された蛍光発光領域及び光を拡散透過させる拡散透過領域を有する蛍光ホイールと、青色波長帯域の励起光を蛍光体に照射する励起光源と、赤色帯域光を発する発光素子と、蛍光ホイールからの光及び発光素子からの光を同一光路上に集光させる集光光学系と、励起光源及び発光素子の発光を制御する光源制御手段と、備え、緑色蛍光体が高密度励起光を受けたときにも蛍光飽和が少ない特性を有することを特徴とする。 （もっと読む）

本発明は、コリメータレンズ（１３）および集束レンズ（１４）を含み、コリメータレンズ（１３）および充足レンズ（１４）がＺｎＳからなるとともに少なくとも５mmの周辺厚さを有する、レーザービームを集束させるためのヘッドに関する。さらに、４０から５０°の入射角（α）にて作用する折り畳み反射鏡（１５）が前記集束ヘッド内のレーザービームの経路における、コリメーティングレンズ（１３）と集束レンズ（１４）との間に設けられる。本発明はさらに：、１.０６から１.１０μｍの波長および０.１から２５kWの出力を有する固体レーザー（ＳＬ）装置と、本発明に係る集束ヘッドと、そして、固体レーザー（ＳＬ）装置から集束ヘッドにレーザービームを伝達するように、固体レーザー（ＳＬ）装置を集束ヘッドに接続する伝達ファイバー（ＣＦ）を備えるレーザービーム切削機器に関する。
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【課題】色彩及び模様の多様性を備えるとともに色彩及び模様を好適に表出させることが可能な、意匠性に優れた光反射体を提供する。
【解決手段】例えば、釣りの疑似餌Ｇにおける眼球として好適に用いられる光反射体Ｒを、反射面１１を貝殻Ｓにより構成してなる基材１と、この基材１を覆うように設けられ中央部分２１の厚みＷａが周縁部分２２の厚みＷｂよりも大きい透明隆起層２とを具備するものとした。 （もっと読む）

本発明は、ＥＵＶ波長領域に対する反射コーティングと、基板とを具えるミラーであって、基板の表面領域は反射コーティングの下側でこの反射コーティングに沿って均一に延在しているとともに、基板の表面から見て５μｍまでの深さｄを有している当該ミラーに関するものである。この場合、この表面領域はこの表面領域以外の残りの基板よりも２％だけ高い密度を有する。本発明は更に、上述した表面領域を同様に有する基板に関するものである。本発明は更に、イオン又は電子を照射することにより、上述した表面領域を有する上述したミラー及び基板を製造する方法に関するものである。
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【課題】反射体より得られる反射光を効率的に被照射対象物に照射することができる反射光照射装置を提供する。
【解決手段】反射光照射装置１において、所定の波長範囲内の光を照射する発光素子２と、発光素子２から照射される光を集光する目的の集光体３と、発光素子の光照射方向（Ｄ１）とは異なる光取出方向（Ｄ２）に光を反射する反射体４と、を備え、発光素子２から照射される光が光取出方向に極力直接出力されず、反射体からの反射光を効率的に出力する。 （もっと読む）

本発明は、感光材料の構造露光のためのマイクロリソグラフィ用投影露光装置のミラー（Ｍ）、及びミラー（Ｍ）を製造する方法に関する。本発明によるミラー（Ｍ）は、基板本体（Ｂ）と、第１鏡面（Ｓ）と、第２鏡面（Ｓ５）とを有する。第１鏡面（Ｓ）は、基板本体（Ｂ）の第１面（ＶＳ）に形成される。第２鏡面（Ｓ′）は、基板本体（Ｂ）の第２面（ＲＳ）に形成され、該第２面は、基板本体（Ｂ）の第１面とは異なる。本発明によるミラー（Ｍ）は、特に、基板本体（Ｂ）がガラスセラミック材料から製造されるよう具現され得る。 （もっと読む）

【課題】親水膜をコーティングした素子の表面に付着した水が該表面の下部に流れて該表面下部に溜まるのを防止する。
【解決手段】親水膜をコーティングした素子を保持する枠部材の下面にパイプを配置して、素子表面下部に溜まる水を吸い込んで排水する。親水膜をコーティングした素子を保持する枠部材の下縁部に孔を開けて、素子表面下部に溜まる水を吸い込んで排水する。親水膜をコーティングした素子の外周縁部下端面に対向してその下方に空隙を隔てて外枠を配置し、素子表面下部に溜まる水を引き込んで排水する。 （もっと読む）

【課題】従来の粉末焼成プロセスによって作製された光反射基材のように製造プロセスが煩雑ではなく、当該光反射基材より高い光反射率を有し、かつ大面積の光反射基材用途にも対応可能な光反射基材を提供する。
【解決手段】バルク状ガラスを結晶化させてなり、屈折率が１．７以上の析出結晶を含有する結晶化ガラスからなる光反射基材であって、波長４００〜８００ｎｍにおける平均光反射率が９０％以上であることを特徴とする光反射基材。 （もっと読む）