【課題】より容易にマイクロミラーアレイ基板を製造すること。
【解決手段】基板３上に配列させた金属柱２２を封止膜２３で被覆し、封止膜２３と金属柱２２の表面が略面一となるように研削して、封止膜２３の表面から金属柱２２の上端面２２ａを露出させる際、その上端面２２ａを研磨して鏡面加工を施し、光反射面２として形成することにより、マイクロミラーアレイ基板１Ａのミラー面に複数の光反射面２を一括して形成することを可能にした。 （もっと読む）

【課題】反射率および耐熱性に優れた電子部品を提供する。
【解決手段】電子部品１０は、基板１１と、基板１１上に形成された高反射性の金属薄膜層１２と、金属薄膜層１２上に形成されたＳｎＯ_２系の保護層１３とを備える。 （もっと読む）

【課題】本発明は、表示デバイス又は太陽電池の電極部材として９３％以上の可視光反射率を有し、さらに耐久性を向上させることが可能な反射体を提供することを課題とする。
【解決手段】基材上に形成される反射体であり、該反射体は、基材側から見て基材に近い側から、金属酸化物層、Ａｇに対して小さい原子半径を有する元素がドープされたＡｇからなる反射層、を有するものであり、該反射体のＣｕＫα線を用いたＸ線回折測定により、Ａｇに由来する回折ピークから算出される結晶子サイズが２〜２３ｎｍであることを特徴とする反謝体。 （もっと読む）

【課題】保護層により封止した全固体型反射調光エレクトロクロミック素子及びそれを用いた調光部材を提供する。
【解決手段】透明基材の上に多層膜を形成した反射型調光素子であって、該多層膜が、少なくとも透明基材の上に、透明導電膜層、イオン貯蔵層、固体電解質層、バッファ層、触媒層、反射調光層、保護層を形成した多層構造を有していることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】多層ミラー、特に多層分散ミラーを提供する。
【解決手段】基体（４）に堆積し且つ平行で平らな界面（６）を介して並んでいる異なる性質の複数の個々の層（２、３）を有し、個々の層（２、３）の間の界面（６）に対して傾斜しているビームが当たる側の平らな前面（５；５’）を有する。 （もっと読む）

マイクロリソグラフィ用の投影露光ツール（１００）で使用するための配置構成は、反射光学素子（１０；１１０）と放射検出器（３０；３２；１３０）を備える。反射光学素子（１０；１１０）は、光学素子（１０；１１０）の機械的強度を保証するキャリア要素（１２）と、キャリア要素（１２）上に配設された、使用放射（２０ａ）を反射するための反射コーティング（１８）とを備える。キャリア要素（１２）は、使用放射（２０ａ）と相互作用して二次放射（２４）を放出する材料からなり、二次放射（２４）の波長は、使用放射（２０ａ）の波長とは異なり、放射検出器（３０；３２；１３０）は、二次放射（２４）を検出するように構成される。 （もっと読む）

【課題】ミラー部において光を精度よく反射させることが可能な振動ミラー素子を提供する。
【解決手段】この振動ミラー素子１００は、Ｙ１側に形成された端部３１ａと、Ｙ２側に形成された端部３１ｂと、端部３１ｂ側に形成された接続部３１ｃとを含み、Ｙ方向に沿って直線状に延びるとともに、片持ち梁状の駆動部３１と、駆動部３１の接続部３１ｃと接続され、駆動部３１の駆動時に接続部３１ｃと略同じ傾斜になるように構成されたミラー支持部３２と、ミラー支持部３２により接続部３１ｃにおける傾斜と略同じ傾斜になるように支持されることによって、Ｘ方向に延びる回動中心Ｒ２回りに回動されるＸ方向光走査部１０とを備え、回動中心Ｒ２は、駆動部３１の非駆動状態において駆動部３１の端部３１ａと接続部３１ｃとを結ぶＹ方向に延びる直線（接線Ｃ１およびＤ１）の略中央Ｒ４を通る位置に配置されている。 （もっと読む）

【課題】
熱膨張係数の異なる材質の積層構造で、ミラー製造時の温度差に起因する歪による表面形状の加工誤差と、ナノ集光作業時の設置環境条件に起因する歪による表面形状の誤差を解消し、ｎｍオーダーの形状精度を実現し、Ｘ線ビームを理想波面に変更し、また焦点距離可変な反射面形状制御ミラー装置を提供する。
【解決手段】
基板１の表面中央部に帯状のＸ線反射面２を形成し、Ｘ線反射面の両側に沿って基準平面３を形成し、基板の両側部で少なくとも表裏一面に複数の圧電素子４をＸ線反射面の長手方向に並べて基板に接合した反射面形状制御ミラーと、各圧電素子に電圧を印加する多チャンネルのコントロールシステムとからなる。 （もっと読む）

【課題】９００℃，１００時間の熱処理によるＯＨ基濃度の減少量が１００ｐｐｍ以下であることを特徴とするチタニアドープ石英ガラス、及びその製造方法を提供する。
【解決手段】火炎加水分解により合成微粒子を回転するターゲット上に堆積すると同時に溶融ガラス化してチタニアドープ石英ガラスを製造する方法において、バーナーの中心管に供給される酸素ガスがケイ素源原料ガス及びチタン源原料ガスの和のモル比で５以上であること、水素ガスがバーナーの一又は複数の水素ガス供給管から噴射されるに際しての線速がそれぞれ１００ｍ／ｓｅｃ以下であること、各ガスの供給流量の変動を±１％以内に制御すると共に、炉内に吸入する空気、炉からの排気及び炉周囲の外気の各々の温度の変動を±２．５℃以内に制御して、上記ターゲットを５ｒｐｍ以上の回転数で回転させ、上記微粒子をターゲット上に付着させるようにした製造条件による。 （もっと読む）

【課題】全長の短い小型の撮像装置を提供する。
【解決手段】ＣＣＤ１２とレンズユニット８１と、を具備する撮像装置１であって、レンズユニット８１が、入射光をＣＣＤ１２の周囲に導光するレンズ群８２と、レンズ群８２が導光した光を光軸Ｏ方向に反射し、中央部にＣＣＤ１２が配置されたリングミラー２２と、リングミラー２２が反射した光をＣＣＤ１２に導光する、ＣＣＤ１２と対向する光軸Ｏ上の位置に配置された形状可変ミラー４０と、を有し、レンズユニット８１が格子状に配置された複数のレンズユニット８１を有するレンズユニット基板８０から個片化されたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】本発明は、製造工程中に生じる反射率の低下を回復することができる電磁波反射部材の製造方法を提供することを主目的とする。
【解決手段】本発明は、右円偏光成分または左円偏光成分の電磁波を反射する選択反射層を含有する選択反射層含有部材と、上記選択反射層の表面上に形成された第一粘着剤層と、上記第一粘着剤層の表面上に形成された第一透明外装基板とが、加熱および加圧により一体化された中間部材を作製する中間部材作製工程と、上記中間部材を、上記選択反射層の配向乱れを修正する温度以上の温度で加熱する修正加熱工程と、を有することを特徴とする電磁波反射部材の製造方法を提供することにより、上記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】低コストで製造できると共に、高い光学機能を実現し得る光学部品を提供する。
【解決手段】光学部品１は、第１の透光性部材１１と、第２の透光性部材１２と、光学的機能膜１３とを備えている。光学的機能膜１３は、第１の透光性部材１１と第２の透光性部材１２との間に設けられている。光学的機能膜１３は、第１の多層膜１３ａと、第２の多層膜１３ｂと、接着剤層１３ｃとを有する。第１の多層膜１３ａは、第１の透光性部材１１の上に形成されている。第２の多層膜１３ｂは、第２の透光性部材１２の上に形成されている。接着剤層１３ｃは、第１の多層膜１３ａと第２の多層膜１３ｂとを接着している。 （もっと読む）

【課題】圧電駆動式光学素子において、投影画像面積を拡大することを目的とする。
【解決手段】光学反射素子において、支持枠１と、この支持枠１の内側の対向する部分にそれぞれの外端が支持された一対の第一のミアンダ形状梁２と、この第一のミアンダ形状梁２のそれぞれの内端で支持した一対の音叉型振動子３と、この音叉型振動子３の振動中心をそれぞれの外端で支持した一対の第二のミアンダ形状梁４と、この第二のミアンダ形状梁４のそれぞれの内端で支持したミラー部５とを備え、前記第二のミアンダ形状梁４は、前記ミラー部５の中心と前記音叉型振動子３の振動中心とを結ぶ中心軸Ｘに直交する一方側へ湾曲した第一の湾曲部４ａと、前記中心軸Ｘを通過し他方側へ湾曲した第二の湾曲部４ｂとを有し、前記第一の湾曲部４ａ及び前記第二の湾曲部４ｂから前記中心軸Ｘまでの距離をそれぞれ異ならせたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】より広い角度で所望の色光を観測することが可能な発色構造を提供することを目的とする。
【解決手段】表面に形成された、光が反射する頂面２６と、頂面２６と平行であって、表面に形成された底面２５とを備え、底面２５は、頂面２６に対して垂直な方向における位置が、底面２５とずれており、頂面２６によって反射された光と、底面２５によって反射された光が重なることによって、ずれの量に対応する波長が強められ、頂面２６と底面２５は、隣接しており、交互に配置されている、発色構造である。 （もっと読む）

【課題】光学部材の光学特性を高精度に調整することができる光学部材変形装置、光学系、露光装置、及びデバイスの製造方法を提供する。
【解決手段】凹面鏡４１の形状を変形させるミラー変形装置５３において、凹面鏡４１に固定される第２永久磁石７２と、第２永久磁石７２に対向して配置される第１永久磁石７１と、アクチュエータ６１から伝達される駆動力に基づいて、第１永久磁石７１を第２永久磁石７２に対して相対距離が変化するように変位させる変位機構８０とを備える。 （もっと読む）

【課題】観察者の目の前方に配置するヘッドマウント式表示装置に関し、小型化を可能にする。
【解決手段】表示素子５５から発射されて結像素子５６を通った光が通る第１及び第２の焦点を有する第１の楕円体５１の一部として形成された第１の凹面鏡５３と、第２の焦点と共通の位置に配置される第３の焦点及び第４の焦点を有する第２の楕円体５２の一部として形成された第２の凹面鏡５４とを備え、表示素子から発射された光が第１の焦点の近傍に集光され、第１の焦点を通った光が第１の凹面鏡によって反射されて共通の第２及び第３の焦点に向かって進み、第２及び第３の焦点を通った光が第２の凹面鏡によって反射されて第４の焦点の近傍に集光され、観察者の目が第４の焦点の近傍に配置されるようにした。 （もっと読む）

【課題】光触媒親水層の層厚の変動に対する反射光の色調の変動を小さくする。
【解決手段】反射鏡１０では、基板１２の表面に反射膜１４が設けられ、反射膜１４の表面に光干渉膜１６が設けられ、光干渉膜１６の表面に光触媒親水膜１８が設けられている。ここで、光干渉膜１６が光触媒親水膜１８より屈折率を高くされており、特に光干渉膜１６の膜厚を調整することで、光干渉膜１６の表面で反射される光と反射膜１４の表面で反射される光との干渉を調整できて、反射鏡１０の反射光の波長のピークを調整できる。このため、光触媒親水膜１８の膜厚の変動に対する反射鏡１０の反射光の色調の変動を小さくできる。 （もっと読む）

【課題】可視光の反射率がきわめて高く、耐熱性や寸法安定性等にも優れたＬＥＤ照明、有機エレクトロルミネッセンス照明、有機エレクトロルミネッセンスディスプレイ等に用いることができる反射板を提供する。
【解決手段】ガラス繊維の基材に透明樹脂が保持されている透明フィルムの背面に金属層を有し、４００〜７８０ｎｍの可視光領域における反射率が９５％以上であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 ガラスやプラスチック等の透明基材を用いて、宝玉と同じような深みのある、光透過性メッキを有する装飾体を提供すること。
【解決手段】
装飾体２を、光透過性再帰反射メッキシート７で構成する。装飾体２の裏面６に光透過性再帰反射メッキシート７を設ける事により、(図１)の所望の４の光の反射５を可能にしつつ、(図１)からの光源１の光透過性も可能にする。光透過性再帰反射メッキシート７(図１)を設けることによって、装飾体は所望の色相を呈する事ができるため、遊色効果を楽しむことができる 。装飾体１の表面にはブリリアントカット面８からの反射光による色模様が浮き上がった感じに見えると共に、反射光による色模様が見る方向や見る角度を変えることで変化に富んだ色模様となり、変貌自在の遊色効果を楽しむことができる。
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【課題】機能的な光学コンポーネントを有するシリコン光学ベンチを提供する。
【解決手段】シリコン光学ベンチに光路となるトレンチ５０１−５０３を形成し、その間に機能的なコーテイング１２８が形成された光学コンポーネント１０１−１０３を配置する。光学コンポーネントは、アーム-取付部分および下部を含む光学路部、アーム-取付部分の第１の端部から伸びる第1のアーム１４１と、アーム-取付部分の第２の端部から伸びる第２のアーム１４２を含む。第1のアームは、少なくとも一つのレスティング特徴を有し、第２のアームは少なくとも一つのレスティング特徴を有する。光学路部は、入力表面を有する。第1のアームおよび第２のアームのレスティング特徴が、トレンチシステムのトレンチの短い端で頂部表面に配置されるときに、光学路部はトレンチに垂直に整列配置される。 （もっと読む）