【課題】光反射性光学部品と光透過性光学部品とを近づけて配置することができ、基板の特性に関する要求が光学部品によって相反する場合でもそれらの要求を満たすことが可能な光モジュール及びその製造方法を提供する。
【解決手段】光モジュールは、シリコン領域１１をエッチングすることにより形成された光透過性光学部品１２を有する第１の板状部材１０と、光透過性光学部品１２を透過した光を反射する為の光反射性光学部品（鏡２１〜２４）を有する第２の板状部材２０とを備える。第１及び第２の板状部材１０，２０は互いに接合されており、光透過性光学部品１２を透過する光の光路が、第１の板状部材１０の部品形成面及び第２の板状部材２０の主面に沿っている。 （もっと読む）

【課題】基板面に対して大きく傾斜した（或いは垂直に近い）半透過反射面に酸化シリコン膜を均一に形成し得る光学部品の製造方法、並びにこの方法により製造された光学部品を提供する。
【解決手段】光透過性光学部品１２を製造する方法であって、板状部材のシリコン領域１１をエッチングして凹部を形成する第１のエッチング工程と、凹部の内側面を熱酸化させて酸化シリコン膜１４を形成する熱酸化工程と、酸化シリコン膜１４を覆う窒化シリコン膜１６を形成する窒化膜形成工程とを含む。 （もっと読む）

【課題】軽量化ミラー１００の剛性を高めるには本体プレート２００の厚み方向に本体リブ壁２０４の高さを高くし、かつ、個片プレートで補強する必要がある。しかし、本体リブ壁２０４の高さを高くすると、製造が困難となる。また個片プレートのコストも加わることとなる。
【解決手段】一方に鏡面２０５が形成され、他方に本体リブ壁２０４が形成された本体プレート２００と、少なくとも一方に底板３０９とリブ壁３０８とが形成されたバックプレート３００とを接合して軽量化ミラー１００を構成する。 （もっと読む）

【課題】反射率の高い反射材及びそれを用いた発光装置用パッケージを提供する。
【解決手段】ガラスセラミックスを主成分とした焼結体から成る反射材（反射層２０）であって、ガラスセラミックスを形成するガラス２１がホウ珪酸ガラスから成るとともにガラスセラミックスを形成するセラミックス２２がケイ酸塩化合物を含む。 （もっと読む）

【課題】本発明は、金属ミラーの表面におけるレーザ光の光反射率を向上させて、光化学反応におけるレーザ光の利用効率を高めることの可能な金属ミラーの表面の改質方法を提供することを課題とする。
【解決手段】光透過性反応用容器２１を囲むように配置され、かつ光化学反応に用いるレーザ光を反射する金属ミラー１９の表面１９ａの改質方法であって、金属ミラー１９の表面１９ａに、炭酸ガスレーザまたはチタンサファイヤレーザを照射して、金属ミラー１９の表面１９ａをアニーリングするアニーリング工程を有する。 （もっと読む）

【課題】鏡体に文字を形成する場合に、反射膜が透過したり鮮明度の低下を伴うことがない形成方法の提供を図る。
【解決手段】ガラス板２の一面に所要の警告文字３を印刷した後、その一面の全体に反射膜４を蒸着またはスパッタリングして鏡体１を形成する。これにより、反射膜４が警告文字３の対応ヶ所で透過することはない。また、警告文字３は印刷によって鮮明度を低下させずに形成できる。 （もっと読む）

【課題】約６．４ｎｍから約７．２ｎｍの範囲の波長を有する放射を反射させるように構成された多層ミラーが提供される。
【解決手段】多層ミラーは、第１層および第２層を含む相互層を有する。第１層および第２層は、Ｕ層またはその化合物や窒化物層およびＢ_４Ｃ層、Ｔｈ層またはその化合物や窒化物層およびＢ_４Ｃ層、Ｌａ層またはその化合物や窒化物層およびＢ_９Ｃ層、Ｌａ層またはその化合物や窒化物層およびＢ_４Ｃ層、Ｕ層またはその化合物や窒化物層およびＢ_９Ｃ層、Ｔｈ層またはその化合物や窒化物層およびＢ_９Ｃ層、Ｌａ層またはその化合物や窒化物層およびＢ層、Ｕ層またはその化合物や窒化物層およびＢ層、Ｃ層またはその化合物や窒化物層およびＢ層、ならびにＴｈ層またはその化合物や窒化物層およびＢ層、からなる群から選択される。 （もっと読む）

【課題】定量的な管理による表示品質を保証すると共に、管理コスト及び製造コストを削減することができるリアプロジェクションテレビ（ＲＰＴＶ）の反射ミラー用ガラス基板を提供する。
【解決手段】リアプロジェクションテレビ（ＲＰＴＶ）の反射ミラー３は、フロート製法により板厚が３ｍｍに形成されたフロートガラス板（ガラス基板）１と、ガラス基板１の一方の表面１ａに、スパッタ法により形成されたアルミニウム（Ａｌ）から成る増反射膜２とを備える。カットオフ値０．８〜２５ｍｍの測定条件において、ろ波うねり曲線の最大振幅が０．５μｍ以下であり、ろ波うねり曲線のスペクトル解析による空間周波数２〜５００本／ｍｍ間の見易さ指標値γ（＝Ａ／Ｄ^３）の最大値が０．２（／ｍ^２）以下であり、見易さ指標値γの積分値が２０．０（／ｍ^３）以下である。 （もっと読む）

【課題】ＥＵＶ光以外の他の光を取り除き、ＥＵＶ光のみをマスクに供給することができる露光装置を提供する。
【解決手段】ミラー５１０の表面には、Ｍｏ／Ｓｉの多層膜が設けられており、この多層膜にブレーズド溝５１３が形成される。ＥＵＶ光源装置１から入射する光２０３，３０１は、ミラー５１０に入射し、反射または回折する。ＥＵＶ反射光２０４（ＥＵＶ回折光を含む）と、他の波長の光３０１Ａ，３０１Ｂとは、反射角度または回折角度が異なるため、進行方向が異なる。アパーチャやダンパによって他の光３０１Ａ，３０１Ｂを除去することにより、純度の高いＥＵＶ光をマスク６００に照射することができる。 （もっと読む）

【課題】精度上の要求を満たしつつ、大型化及び軽量化の両立を可能にするミラー及びその製造方法を提供する。
【解決手段】反射膜１４を形成する板状の母材１１が、板ガラスを加熱によって軟化させ湾曲させることで形成されるととともに、研磨を含む表面仕上処理を施した光学面である表面１１ａを有するので、ミラー本体１０の光学的な精度を高めることができる。すなわち、母材１１の表面（光学面）１１ａは、加熱を利用した湾曲によって所望の曲率を有する曲面になっているだけでなく、研削や研磨といった表面仕上処理によって精度劣化につながる微視的な凹凸や巨視的な凹凸が除去されて光学的に精密なものとなっている。よって、この表面１１ａ上に反射膜１４を形成することにより、湾曲した板状でありながら高精度の反射面を有するミラー本体１０を得ること。 （もっと読む）

【課題】ＡｒＦリソグラフィ用ミラーに適した特性を有する光学部材、および、該光学部材を用いたＡｒＦリソグラフィ用ミラーの提供。
【解決手段】光学面が下記（１）〜（５）を満たし、２２℃における熱膨張係数（ＣＴＥ）が０±２００ｐｐｂ／℃であるＡｒＦリソグラフィ用光学部材。
１ｍｍ≦λ（空間波長）≦１０ｍｍにおけるＲＭＳが０．１ｎｍ以上３．０ｎｍ以下 （１）
１０μｍ≦λ（空間波長）≦１ｍｍにおけるＲＭＳが０．１ｎｍ以上３．０ｎｍ以下 （２）
２５０ｎｍ≦λ（空間波長）≦１０μｍにおけるＲＭＳが０．０５ｎｍ以上１．０ｎｍ以下 （３）
１００ｎｍ≦λ（空間波長）≦１μｍにおけるＲＭＳが０．０１ｎｍ以上１．０ｎｍ以下 （４）
５０ｎｍ≦λ（空間波長）≦２５０ｎｍにおけるＲＭＳが０．０１ｎｍ以上１．０ｎｍ以下 （５） （もっと読む）

【課題】露光装置等の高価な装置を使用することなく低コストで製造でき、生産性に優れた光路変換用のミラー部品を提供する。
【解決手段】光導波路の光伝送方向の端面に接合される光路変換用のミラー部品であって、内部を光が伝播する導光部と、前記導光部の内部において光を入射方向と垂直な方向に反射させる４５°ミラー面とを少なくとも有し、前記導光部は、前記４５°ミラー面に対向し、光導波路と接合される接合面（第１の面）と、前記４５°ミラー面を形成する第２の面と、前記４５°ミラー面に対向し、光を入射又は出射させる第３の面とを少なくとも有することを特徴とするミラー部品。 （もっと読む）

【課題】 空間映像表示装置を構成する主要部分品である反射型面対称結像素子を高精度で単純かつ効率的に製造することができる製造方法を提供する。
【解決手段】 複数の平板ミラーをその光反射主面を同一方向に向けて積層して複数の平板ミラーを固着させることにより平行ミラーブロックを形成し、平行ミラーブロックを複数の平板ミラーの光反射主面に対して垂直となる方向に等間隔で切断して複数の長手光反射面が平行に配列された少なくとも２つのミラーシートを形成し、２つのミラーシートのうちの一方のミラーシートの長手光反射面と他方のミラーシートの長手光反射面とが直交するように２つのミラーシートを貼り合わせて反射型面対称結像素子を作成する。 （もっと読む）

【課題】同じ輝度であればより低消費電力な、或いは、同じ消費電力であればより高輝度な液晶表示装置を提供すること。
【解決手段】薄膜トランジスタが形成されたＴＦＴ基板４０と、ＴＦＴ基板４０に対向する対向基板５０との間に液晶層６０を挟持し、ＴＦＴ基板４０に画素電極ＭＩＴと共通電極ＣＴとが絶縁層ＬＩを介して積層され、画素電極ＭＩＴと共通電極ＣＴのうち、液晶層６０から離れた電極は平面状に形成され、液晶層６０に近い電極は、複数のスリットＳＬを形成され、複数のスリットＳＬの端部が閉じている液晶表示パネル１０と、液晶表示パネル１０の光源となる照明手段２０と、を有する液晶表示装置１において、液晶表示パネル１０は、平面視でスリットＳＬの長手方向の端部、及びその近傍や、スリットＳＬの内側領域と一部が重なる照明装置２０側の面に形成された光を反射する反射手段１００を有してなる。 （もっと読む）

【課題】反射性に優れた反射膜を形成するのに有用な組成物を提供する。
【解決手段】組成物を、白色顔料（例えば、酸化チタン、酸化ジルコニウム、酸化アルミニウムなど）、ホウケイ酸亜鉛ガラスを少なくとも含むガラス、および樹脂を含む組成物で構成する。このような組成物において、白色顔料とガラスとの割合は、前者／後者（重量比）＝９５／５〜５／９５程度であり、樹脂の割合は、白色顔料及びガラスの総量１００重量部に対して３〜７０重量部程度であってもよい。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で優れた形状精度を持つミラーを得るために有利な技術を提供する。
【解決手段】ミラーの製造方法は、熱により膜厚が変化する形状修正層１２を基板１１の上に配置する第１工程と、第１層、第２層、および、前記第１層と前記第２層との間に配置されて前記第１層を構成する材料と前記第２層を構成する材料との反応を防止するバリア層１６を含む反射層１３を前記形状修正層１２の上に配置する第２工程と、前記第２工程の後に、前記形状修正層１２の膜厚分布を変化させることによって前記反射層１３の形状を目標形状に近づける第３工程とを含み、前記第３工程は、前記形状修正層１２を部分的にアニールする処理を含む。 （もっと読む）

【課題】ポリオレフィン系樹脂フィルムを反射層として使用した光反射体であって、たわみにくくて、ロールに巻き回すことができ、内蔵式光源の部材として用いても寸法安定性に優れている光反射体を提供すること。
【解決手段】紙材からなる基材層の少なくとも片面に、ポリオレフィン系樹脂フィルムからなる反射層を設けた光反射体であって、反射層表面における反射率が９５〜１０５％であり、テーバー剛度が０．４〜１００ｍＮ・ｍであり、環境温度を２０℃から７０℃まで変化させたときの寸法変化率が−０．３〜０．３％である光反射体。 （もっと読む）

【課題】 取付部と被取付部との位置精度にバラツキが生じた場合であっても、取付部が被取付部の内部にてスムーズに回転し、反射ミラーの回転動作に悪影響を与える虞のないミラーユニットを提供する。
【解決手段】 樹脂からなる基板４３の前面部４４に反射膜４４ａが形成された反射ミラーである凹面鏡４１を少なくとも有し、基板４３の一側面部４６に凹面鏡４１をハウジング５０に設けられた被取付部５４ａに取り付けるための取付部４７を設け、取付部４７には、取付部４７が被取付部５４ａに取り付けられた際に、取付部４７に作用する応力を吸収する応力吸収部４７ａが設けられている。 （もっと読む）

【課題】入射光を複数の光線に分配しつつ、各光線の強度を可変とした光分配装置を提供すること。
【解決手段】液晶パネル１０１１に対して平行となるように第１の反射偏光板１０２１と第２の反射偏光板１０３１とを配設する。さらに、液晶パネル１０１１と平行に向かい合うように、第１の反射鏡１０５と第２の反射鏡１０６１とを配設する。第１の反射偏光板１０２１及び第２の反射偏光板１０３１は、入射光の偏光成分光のうちで偏光面が反射軸と平行な第１の偏光成分光を反射し、偏光面が反射軸と直交している第２の偏光成分光を透過する。液晶パネル１０１１に発生する電界の大きさを変化させて液晶パネル１０１１に入射した偏光成分光を０°から９０°の間で旋光させることにより、２種の強度の光を射出させる。 （もっと読む）

【課題】 空間映像表示装置を構成する主要部分品である反射型面対称結像素子を高精度で単純かつ効率的に製造することができる製造方法を提供する。
【解決手段】 複数の平板ミラーをその光反射主面を同一方向に向けて積層して複数の平板ミラーを固着させることにより平行ミラーブロックを形成し、平行ミラーブロックを複数の平板ミラーの光反射主面に対して垂直となる方向に等間隔で切断して複数の長手光反射面が平行に配列された少なくとも２つのミラーシートを形成し、２つのミラーシートのうちの一方のミラーシートの長手光反射面と他方のミラーシートの長手光反射面とが直交するように２つのミラーシートを貼り合わせて反射型面対称結像素子を作成する。 （もっと読む）