【課題】光路上に配置した複数のミラーのうち角度ズレを生じたミラーを容易に特定できる光学装置を提供することを課題とする。
【解決手段】実施形態に係る光学装置は、光路上に配置した複数のミラーと、各ミラーを保持した複数のミラーホルダーと、各ミラーホルダーに設けられた反射面と、を有する。各反射面は、光路と直交する面に沿って各ミラーホルダーに取り付けられている。 （もっと読む）

【課題】複数光源からのビームを１本に合波する光源装置において、合波のための調整作業および部品組立作業を容易にし、また筐体に装着される光源同士の間の距離を狭めることにより小型化を可能し、コストダウンが図れる光源装置を提供する。
【解決手段】少なくとも２つの光源と、これら光源から出射されるビーム光を反射および透過させて、それらの光軸をほぼ同軸上に一致させる光軸一致素子とを備える光源装置１００において、これら少なくとも２つの光源は装置筐体の装着面に対してｘとｙの面内調整が可能となるように取り付け、且つ光軸一致素子は装置に対してβ、γの２軸回転調整が可能となるように取り付けて、光源からのビーム光の光軸位置を高精度に調整することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】光学箱に蓋部材の取付作業を行うことで発生した走査線の傾きを、蓋部材の取付後の工程において簡単な構成で再調整することを可能とし、生産性やサービス性を低下させず、走査線の照射位置を高精度に調整する。
【解決手段】ビス締め部３５で光学箱２９と蓋部材４０とが固定された状態で、折り返しミラー２７を変位させて被走査面におけるレーザ光の結像位置を調整するために、ビス締め部３５を支点として光学箱２９が変形することで、折り返しミラー２７が支持されている光学箱２９の折り返しミラー載置部２７１，２７２が変位するように、対向している光学箱２９と蓋部材４０との領域のうちビス締め部３５が設けられていない領域を相対的に接近又は離間させる方向に変位させる。 （もっと読む）

【課題】光学素子の光出射面の向きを、互いに直交する２方向に調整できる光学素子の角度調整機構、及び、高輝度で高品質な画像を投写できる投写型画像表示装置を提供する。
【解決手段】光学素子の角度調整機構１００は、ロッドホルダ２と、これを回動可能に支持するハウジング３と、第１の力付与部材（板ばねアーム１７）と、第２の力付与部材（板ばねアーム１８）と、ロッドホルダ２に位置決め部に向かう力を付与するコイルばね（４ａ，４ｂ）と、第１の力の第１方向の成分に抗する力を付与してロッドホルダ２を位置決め部を支点として回動させ、ハウジングに対するロッドホルダ２の光出射面の第１方向の位置を調整する第１の調整ねじ９ａと、第２の力の第２方向の成分に抗する力を付与してロッドホルダ２を位置決め部を支点として回動させ、ハウジングに対するロッドホルダ２の光出射面の第２方向の位置を調整する第２の調整ねじ９ｂとを備える。 （もっと読む）

【課題】複数の光学素子間の配置誤差による結像性能の劣化を効率的かつ高精度に補正することができるようにする。
【解決手段】補正要否判定部２により配置誤差を補正する必要があると判定された場合、複数の光学素子における補正対象の光学素子１１の偏心感度を測定する偏心感度測定部３と、波面収差抽出部１により抽出された波面収差と偏心感度測定部３により測定された偏心感度から、補正対象の光学素子１１を並進方向及び傾き角度方向に偏心させる駆動量を算出する駆動量算出部４とを設け、光学素子駆動部５が駆動量算出部４により算出された駆動量だけ補正対象の光学素子１１を並進方向及び傾き角度方向に偏心させる。 （もっと読む）

【課題】画像形成装置に用いられる光走査装置では、画像形成装置の可動部の振動により、光走査装置のミラーが振動すると、副走査方向の濃度ムラ（Ｂａｎｄｉｎｇ）が発生して画質劣化が生じてしまう。このため、高画質な画像を実現するためには、光走査装置のミラーの振動低減が課題である。
【解決手段】本発明の画像形成装置は、光源から射出された光を反射させるミラーと、ミラーを支持する支持部で構成された支持構造を両端に配置した画像形成装置であって、ミラー支持部の座面はミラーの長手方向に対し、垂直ではなく斜めに配置し、ミラーの装着位置を変更することができることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】光学素子の傾斜角度及び傾斜方向を同時に自在に調整すること。
【解決手段】この光学素子ホルダ１は、光学素子Ａの傾斜角を調整する光学素子ホルダであって、光学素子Ａが取り付けられるベース部２と、ベース部２を支持する支持台３と、ベース部２と支持台３とによって挟まれた状態で支持台３の平坦面３ａに沿って回転可能に積み重ねられた２段の回転板４Ａ，４Ｂとを備え、回転板４Ａ，４Ｂは、それぞれ、その回転軸線に垂直な特定の方向に沿って厚さが徐々に小さくなるように形成されている。 （もっと読む）

【課題】少なくとも１つのアクチュエータを用いて光学素子を特定の増分量で増分移動させることにより、操作されるべき少なくとも１つの光学素子の位置の設定を行う、投影照明システムの光学装置の製造及び／又は調整方法を提供する。
【解決手段】本発明による方法では、移動増分の増分量は、所望位置からの光学素子の距離の関数として、距離値として表される距離によって設定され、この距離値が第１の閾値を上回る場合、略一定の増分量が設定され、他方、この距離値が前記第１の閾値を下回る場合、所望位置からの距離が減少することに伴って、特定の増分量が減じられるステップ、及び／または、特定の増分量及び／又は事前に特定された増分量変化率からの、事前に特定された逸脱により、警告信号が発せられ及び／又は移動が中止されるステップ、を含む。 （もっと読む）

【課題】２つのミラーのそれぞれの反射面の成す角度を高精度に調整することができる調整方法を提供する。
【解決手段】第１のミラーの反射面と第２のミラーの反射面との角度を調整する調整方法であって、前記第１の基準面と前記第２の基準面との成す角度が目標角度となるように、前記第１の基準面及び前記第２の基準面を調整するステップ、第１の基準ミラー及び第２の基準ミラーを、互いに平行になるように配置するステップと、第１、第２のオートコリメータをベース部材に固定するステップと、前記第１のミラー及び前記第２のミラーを保持する保持部材を、オートコリメータを用いて前記第１のミラーの反射面と前記第２のミラーの反射面との成す角度が前記目標角度となるように、ミラーを調整するステップと、を有することを特徴とする調整方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】偏光ビームスプリッターの平面度を調整でき、画素ずれやフォーカスずれを抑制する偏光ビームスプリッター調整機構、及びプロジェクターを提供する。
【解決手段】偏光ビームスプリッター調整機構６００は、偏光ビームスプリッター３２０と、偏光ビームスプリッター３２０を固定する固定枠６１０と、固定枠６１０を押圧して変形させることにより偏光ビームスプリッター３２０の変形量を調整する調整ねじ６２０と、調整ねじ６２０の押圧力に抗して固定枠６１０に付勢力を付与する付勢ばね６３０と、固定枠６１０との間に付勢ばね６３０を介在させ、調整ねじ６２０及び付勢ばね６３０と協働し、固定枠６１０を変形させて保持する保持枠６４０と、を備える。 （もっと読む）

【課題】光学素子の角度を高精度で調整可能であり、角度調整後にロックネジを螺合することなく、そのまま設定角度が長期間安定する光学素子ホルダに対して、角度調整ネジの回転をスムーズにさせる改良を加える。
【解決手段】ミラー46を装着する保持部材14と、保持部材14と対向配置されたベース部材12と、ベース部材12の貫通ネジ穴に螺合され、先端が保持部材14の対向面に当接する複数の角度調整ネジと、保持部材14とベース部材12間を接合方向に付勢する圧縮コイルバネ70を備え、各角度調整ネジの軸にベアリング76のインナーレース76aを装着すると共に、そのアウターレース76bにプーリー78を装着し、このプーリー78間に弾性ベルト80を掛け渡した光学素子ホルダ10において、各角度調整ネジの雄ネジ非形成部とブッシュ30との間にベアリング31を介装させた。 （もっと読む）

【課題】照明光学系を簡易な構成ながら、照明光束の照射サイズを調整可能とし、光源の明るさを有効に活用する。
【解決手段】光源から画像表示素子を経て投影レンズに到る光路中に挿入され、光路を屈曲させるミラー51、ブロック上部で該ミラー51を所定の角度に保持する保持ブロック52、該保持ブロック52底面側に取付けられた略半球状の支点部材53、支点部材より小径の円形の窪み54Ａを支点部材受けとして形成したベース板54、ベース板54を貫通して保持ブロック52底面に取付けられ、保持ブロック52とベース板54の相対角度を固定する複数の調整ネジ55，55、及び、保持ブロック52とベース板54の相対距離を調整して光路長を可変する調整機構としてのネジ軸56を有する調整ミラー部を備える。 （もっと読む）

【課題】筐体とは独立した支持機構により支持した複数の光学素子の相対位置を維持した状態でその光学素子を前記筐体に固定する場合に、複数の光学素子の相対位置を維持した状態を作り出しやすくする。
【解決手段】複数の光学素子と、前記複数の光学素子が収容され、各前記光学素子の位置を調整する調整機構を有さない筐体と、前記各光学素子と前記筐体との間に配置され、前記各光学素子の前記筐体に対する支持位置を調整可能な支持材と、光源側からの光を被走査面へ導くことが可能な相対位置へ前記支持材による前記各光学素子の支持位置が調整された状態で前記各光学素子及び前記支持材を前記筐体に対して固定する固定材と、を有する中間部材と、を備える光走査装置。 （もっと読む）

【課題】入射光を折り曲げて射出する光学部品を精度良く位置合わせし、基板に実装すること。
【解決手段】本発明のある実施の形態の実装装置１は、基板２が載置されるステージ１１、基板２上に実装するプリズム３を搬送するマニピュレータ１２、光源ユニット１３、撮像ユニット１５、制御部１６等を備える。撮像ユニット１５は、マニピュレータ１２によって把持されたプリズム３の光入射面３３側の側方において、プリズム３によって折り曲げられる光の光路内に配設されたカメラ１５１を備える。そして、制御部１６は、カメラ１５１によって撮像された画像データをもとに、ステージ１１の移動量を制御する。 （もっと読む）

【課題】感光体における複数のビームの副走査方向の間隔を調整できる新たな光走査装置を提供する。
【解決手段】ＬＤ４は、ビームＢ１，Ｂ２を放射する。コリメータレンズ６は、ＬＤ４が放射したビームＢ１，Ｂ２を平行光に変換する。シリンドリカルレンズ１４は、コリメータレンズ６により平行光に変換されたビームＢ１，Ｂ２を、副走査方向に集光する。ポリゴンミラー１８は、シリンドリカルレンズ１４により集光されたビームＢ１，Ｂ２を偏向する。ミラー１０は、ビームＢ１，Ｂ２が通過する経路上においてコリメータレンズ６とシリンドリカルレンズ１４との間に設けられ、かつ、シリンドリカルレンズ１４の主点位置からシリンドリカルレンズ１４の焦点距離Ｌだけ離れた位置に設けられている。ミラー１０は、コリメータレンズ６により平行光に変換されたビームＢ１，Ｂ２の進行方向を副走査方向に傾けることができる。 （もっと読む）

【課題】鏡筒内に配置される光学素子の波面収差を好適に維持できる光学系、露光装置及びデバイスの製造方法を提供する。
【解決手段】投影光学系１６は、低熱膨張材料で構成される鏡筒４０と、鏡筒４０内に配置されるミラー２８，３３と、ミラー２８，３３を保持し、且つ鏡筒４０に対してミラー２８，３３を移動させるべく駆動するアクチュエータを有するミラー保持装置と、鏡筒４０に対するミラー２８，３３の位置を計測する計測装置６０と、計測装置６０による計測結果に基づきミラー保持装置を制御する制御装置と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】光学要素とマウントからなるアセンブリを用意することであって、アセンブリされたときに光学要素の位置決め精度が向上され、マウントに作用を及ぼす環境影響を少なくすること。
【解決手段】光学要素１とマウント５からなるアセンブリであって、アセンブリされた光学要素は多数の接合板２を介して剛性のある中間リング３と結合されていて、中間リングはアクチュエータ４を介してハウジング７および／または別のマウントに接続するためにマウント５と結合されている。 （もっと読む）

【課題】ビジネス、教育、行政及び／又は娯楽用途のためのデジタルプロジェクター等の投映装置の光トンネルの保持と調整を可能にする。
【解決手段】光トンネル組立物の光トンネル６１０を保持及び心合せする光トンネル保持調整機構６００は、第１軸において光トンネルの心合せを調整すると共に第１軸の所定位置に光トンネルを固定状態で保持するコンプライアントばね力を付与するように、第１表面に沿って光トンネルと当接する１個以上の第１コンプライアントばねフィンガー６４０を含む。光トンネル保持調整機構は、更に、第２軸において光トンネルの心合せを調整すると共に第２軸の所定位置に光トンネルを固定状態で保持するコンプライアントばね力を付与するように、第２表面に沿って光トンネルと当接する１個以上の第２コンプライアントばねフィンガー６４５を含む。光トンネル保持調整機構は単体で形成してもよい。 （もっと読む）

本発明は、特にマイクロリソグラフィ用の光学素子のための支持要素であって、支持部材と、支持部材を外部支持ユニットに接続する第１の接続要素と、支持部材を光学素子に接続する第２の接続要素とを備える、支持要素に関する。支持要素は、６自由度で外部支持ユニットに対して光学素子を位置決め及び姿勢決めするためにさらなる支持要素と並列運動的に協働するように構成される。支持部材は、複数の第１の曲げジョイントを含み、第１の接続要素及び／又は第２の接続要素は、少なくとも１つの第２の曲げジョイントを含み、第１の曲げジョイント及び第２の曲げジョイントはそれぞれ、曲げ軸を規定する。支持ユニットに対する光学素子の動作制限を、複数の第１の曲げジョイント及び第２の曲げジョイントにより最大２自由度で達成することができる。第１の曲げジョイント及び第２の曲げジョイントはそれぞれ、曲げ軸に沿って細長く設計される。 （もっと読む）

【課題】摩擦を比較的低レベルとし剛性を比較的高レベルとしつつ光学デバイスの１つまたは複数の光学素子を高精度かつ高信頼性に位置決めするシステムを提供する。
【解決手段】位置決めシステムは、可変ズームレンズシステム等の光学デバイス内の光学素子の位置を調整する。フレームが光学素子を支持し、細長支持構造の細長表面がそのフレームを支持する。フレームは細長支持構造に係合する圧電アクチュエータも支持する。制御部は圧電アクチュエータを駆動する制御信号を供給する。駆動されたアクチュエータモジュールの圧電素子は、細長支持構造の細長表面に第１及び第２の力を組み合わせて作用させ、細長表面に対しフレームを位置決めする。圧電素子により与えられた力の組合せによって、細長支持構造に対し圧電アクチュエータが前進する。 （もっと読む）