【課題】 小型化された光学走査装置およびそれを用いた画像形成装置を提供することを目的とする。
【解決手段】 回動軸と反射面２４とを備え、回動軸周りに反射面２４が往復回動することにより光源から出射するレーザ光１０を偏向走査するプレート部材１１と、プレート部材１１を駆動するアクチュエータ１４と、プレート部材１１によって偏向走査されたレーザ光１０を感光ドラム３２の面上に結像するｆθレンズ３と、プレート部材１１、アクチュエータ１４、及び、ｆθレンズ３を収容する光学箱３１と、を有する光学走査装置において、アクチュエータ１４は、プレート部材１１の反射面２４よりもレーザ光１０が反射面で反射する側に配設されている。 （もっと読む）

【課題】混色により画像を形成した際に画像の重ね合わせ精度を向上して色味の変動が少ない高品位な画像形成を行うことができると共に、作像システムのレイアウトに適合したコンパクトな光走査装置及びこれを用いた画像形成装置を提供する。
【解決手段】画像情報により変調される複数色に対応した複数の光源手段１０７，１０８，１０９，１１０と、光源手段からの各光ビーム２０１，２０２，２０３，２０４を一括して走査する偏向手段４４１と、偏向手段により走査された各光ビームを各色に対応した被走査面に結像する複数の結像手段１２０，１２１とを有し、各光ビームを、単色で画像形成を行う単一の光ビーム２０１と複数色を混色して画像形成を行う光ビーム群２０２，２０３，２０４とに分けると共に、光ビーム群は同一方向に偏向して主走査を行い、単一の光ビームは偏向手段に対して光ビーム群とは相反する方向に偏向して主走査を行う構成とした。 （もっと読む）

【課題】光スキャナー等の、光走査を行なう際に回転運動を伴う機器に非接触で電力を供給する際の電力伝送効率を向上する。
【解決手段】
可動部と固定部とを有し、前記可動部は、光源４０からの光ビームＬの光軸と平行な回転軸を軸心として回転可能であって、光ビームＬを通過させる透孔３０１，３１２が設けられた回転部材３０，３１と、透孔３０１，３１２を通過した光ビームＬを光ビームＬの光軸に対して可変の角度で反射するミラー２４と、を備え、回転部材３０，３１は、ミラー２４と電気的に接続された第１のコイル３１１を有し、前記固定部は、一部又は全部に磁性材料を有する磁性部材３２と、第１のコイル３１１に電磁界を供給可能であって、磁性部材３２を磁心として設けられた第２のコイル３２１と、を備える。 （もっと読む）

【課題】可動部の軽量化を十分に図ることが可能な光走査装置用揺動ミラー、及び、該光走査装置用揺動ミラーを備える光走査装置を提供することを課題とする。
【解決手段】固定部３１ａ、３１ｂ、可動部３２、及び、固定部３１ａ、３１ｂに対して可動部３２を揺動可能に支持する支持部３３ａ、３３ｂを有する基板３と、可動部３２の一方の面側に設けられるミラー部４と、可動部３２とミラー部４との間に介装される平面コイル５とを備えることを特徴とする光走査装置用揺動ミラー２、及び、該光走査装置用揺動ミラー２を備える光走査装置１を提供する。 （もっと読む）

【課題】ＭＥＭＳ技術を利用した光学装置において、可動ミラーの沈み込みを抑制し、かつ、可動ミラーの正常動作を阻害しないようにする。
【解決手段】可動ミラーは、可撓梁の上方に可撓梁と接離可能な抑止部を備えている。抑止部の下方への変位量は、可動ミラーの沈み込み量と同じである。可撓梁の下方への変位量が可動ミラーの沈み込み量よりも小さい領域に抑止部を設置すると、可動ミラーが沈み込むことによって抑止部が沈み込んで、抑止部の下方に位置する可撓梁の上面に抑止部が接触する。抑止部が可撓梁の上面によって支持されることによって抑止部の下方への変位量が規制され、可動ミラーの沈み込み量が規制される。可撓梁は、可動ミラーと比較して細長く、柔軟性を有するため、可動ミラーの正常動作を阻害しない。 （もっと読む）

【課題】広角度範囲を高速に走査することが可能で且つ角度分解能に優れる光走査装置及びレーザレーダ装置を提供する。水平方向での被走査面との距離に応じた走査を行うことができる光走査装置及びレーザレーダ装置を提供する。
【解決手段】光走査装置は、複数の発光点が光軸と交差する所定方向に離間して配列されたレーザアレイ光源と、複数の発光点の各々から出射されたレーザ光を集光する集光レンズと、集光レンズの焦点位置に配置され且つ集光されたレーザ光を反射して被走査面に照射する可動ミラーを備え、光軸に対する可動ミラーの配置角度が変化するように駆動されるミラーデバイスと、レーザアレイ光源の複数の発光点の各々を被走査面の位置に応じた強度及びタイミングで発光するように独立に駆動制御すると共に、ミラーデバイスの可動ミラーを配置角度の変化によりレーザ光が所定方向に沿って被走査面を走査するように駆動制御する制御部と、を備える。 （もっと読む）

【課題】本発明はミアンダ形振動子の駆動効率を向上させることを目的とする。
【解決手段】この目的を達成するため本発明は、複数の振動板１１上には、それぞれドライブ素子１５が設けられ、これらのドライブ素子１５は、振動板１１の一方の端部側であって、隣接する振動板１１上に設けられたドライブ素子１５とは反対の端部側に片寄って配置されたものとした。これにより本発明は、ミアンダ形振動子全体としてはつづら折り状となるように駆動し、従来と比べてエネルギーロスの少ない自然な動作モードとなる。そしてその結果、高い駆動効率を実現できる。 （もっと読む）

【課題】ミラーの表面金属膜に入射した光によって表面金属膜と平板部が加熱されて湾曲することを防止する。
【解決手段】一方の可撓ビーム１０ｂにｎ型の半導体７６ｄを配置し、他方の可撓ビーム１０ａにｐ型の半導体７６ａを配置する。ｎ型の半導体７６ｄとｐ型の半導体７６ａの間で通電すると、平板部８と基板４の間で熱が移送される。すなわちペルチェ素子９０が形成される。ペルチェ素子９０への通電方向によって平板部８と基板４の間での熱の移送方向が決定される。表面金属膜１６等が加熱されれば冷却し、冷却されれば加熱することができる。表面金属膜１６の温度を調整して表面金属膜１６と平板部８が湾曲することを防止できる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、光学反射素子の高精度な自励駆動を実現することを目的とする。
【解決手段】この目的を達成するため本発明は、第一振動子１０および第二振動子１２は、それぞれ複数の振動板１０Ａ、１２Ａがターン部１３、１４で折り返すように連結されたミアンダ形であって、第二振動子１２の隣接する振動板１２Ａの間の間隔は、これらの振動板１２Ａ間のターン部１４手前からこのターン部１４に向って広がっているものとした。これにより本実施の形態では、第一振動子１０の駆動振動と第二振動子１２のノイズ振動θＹとの相互干渉を抑制でき、第一振動子１０のモニタ素子２２の検出精度を向上させ、高精度な自励駆動が実現できる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、光学反射素子の高精度な自励駆動を実現することを目的とする。
【解決手段】この目的を達成するため本発明は、ミラー部９と連結された振動子１０を備え、振動子１０は、基材１９上に形成された絶縁層２０上に分断溝３０Ａによって分離して配置されたドライブ素子１６およびモニター素子１７を有し、これらのドライブ素子１６およびモニター素子１７の下部電極層２１は、共通の外部電極と接続され、モニター素子１７とドライブ素子１６とが隣接して配置された任意の点において、分断溝３０Ａにより、モニター素子１７の下部電極層２１とドライブ素子１６の下部電極層２１との最短導通経路は、モニター素子１７の下部電極層２１から共通の外部電極までの距離より長いものとした。これにより本発明は、モニター素子１７の検出精度を高め、光学反射素子８を高精度に自励駆動させることができる。 （もっと読む）

【課題】ミラー部の中心位置の上下方向の変位が小さく、駆動周波数以外の振動成分の影響を受けにくく、レーザー光の走査精度が高い光走査装置を提供する。
【解決手段】基板１は、ミラー部４を支持する梁部３を軸対称として長手方向両端部が各々支持部５に固定されている。 （もっと読む）

【課題】ミラー面の鏡面性と製造歩留りに優れたＭＥＭＳ走査型ミラーおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】 少なくとも１つの段差付き静電櫛歯アクチュエータを有するＭＥＭＳ走査型ミラーであって、ミラーがその最上面ＴＯＰＳよりも下に形成されている。また、少なくとも１つの段差付き静電櫛歯アクチュエータを有するＭＥＭＳ走査型ミラーの製造方法では、絶縁層Ｉを除去することによりミラー板１０Ｂの表面１０ＢＳが露出される。 （もっと読む）

【課題】安価に反射面の汚れを防止することのできる光学デバイス、光スキャナ及び画像形成装置を提供する。
【解決手段】光学デバイス１は、光を反射する反射膜２１を有する可動板１１と、可動板１１をＸ軸周りに回動可能に支持する弾性支持部１３とを備え、可動板１１の側面１４は、Ｘ軸と反対側に反射膜２１の外縁より突出している。これにより、可動板１１をＸ軸周りに回動させたときに、気流によって可動板１１に吸い寄せられる塵や埃などが、反射膜２１ではなく可動板１１の側面１４に付着する。 （もっと読む）

【課題】トーションバー上のアルミニウム配線の物性変化に起因するアクチュエータの駆動特性の変化を抑制することによりプレーナ型アクチュエータの経時的安定性を向上させる。
【解決手段】トーションバー３に不純物拡散による拡散導通部９を形成し、拡散導通部９上にトーションバー３の軸方向で複数に分断した配線パターンのアルミニウム配線６を配置する。これにより、アルミニウム配線の捩れ剛性がトーションバー全体の捩れ剛性に及ぼす影響を小さくでき、アルミニウム配線の捩れ剛性が変化してもアクチュエータの駆動特性の変化を抑制できるようになる。 （もっと読む）

【課題】大幅な低コスト化を可能とする光偏向ミラー、光偏向ミラーの製法、光偏向器を提供する。
【解決手段】光ビームを偏向するための光偏向ミラーであって、基板４の表面が光反射性を有し、裏面にポリマー材料を主成分とする樹脂皮膜５が形成されたミラー部１と、ミラー部１に設けられ、樹脂皮膜５の突出部からなるトーションバー２と、トーションバー２に連結された固定部３とを有し、ミラー部１は磁気感受性を有し、トーションバー２はミラー部１を傾動自在に支持する。基板４の表面で光を反射でき、基板４が磁気感受性を有するので、電磁石で基板を傾動させることができる。トーションバー２の材料がポリマーを主成分とする樹脂を主成分とする樹脂であるから柔軟性があり、小さな駆動源で傾動できる。基板４の表裏両面とも、フォトリソグラフィ技術によるパターニングと、ウエットエッチングにより製造でき、光偏向ミラーを廉価に製造できる。 （もっと読む）

【課題】消費電力を増加させることなく、反射面の汚れを防止することのできる光学デバイス、光スキャナ及び画像形成装置を提供する。
【解決手段】光学デバイス１は、光を反射する反射膜２１ｂを有する可動板１１と、可動板１１をＸ軸周りに回動可能に支持する弾性支持部１３とを備え、可動板１１は、Ｘ軸と水平に直交する方向における長さが反射膜２１ｂの長さより大きい薄膜２１ａを有する。 （もっと読む）

本発明は、マイクロマシニング型の構成素子（Ｓ）を回動軸線（ＤＡ；ＤＡ’；ＤＡ’’；ＤＡ’’’；ＤＡ’’’’）を中心として回動させるためのカスケード接続されたマイクロマシニング型のアクチュエータ構造体に関する。本発明によれば、トーションばね装置が設けられており、該トーションばね装置が、一方で保持体（ＶＳ）に取り付けられていて、他方でマイクロマシニング型の構成素子（Ｓ）に取付け可能であり、トーションばね装置が、複数のトーションばね（ｆ１，ｆ２，ｆ３；ｆ’，ｆ_ｉ’；ｆ１’’，ｆ２’’；ｆ１ａ’’’，ｆ１ｂ’’’，ｆ２’’’；ｆ１ａ’’’’，ｆ１ｂ’’’’，ｆ２’’’’）を有しており、該複数のトーションばねが、回動軸線（ＤＡ；ＤＡ’；ＤＡ’’；ＤＡ’’’；ＤＡ’’’’）に沿って延びているかまたは回動軸線（ＤＡ；ＤＡ’；ＤＡ’’；ＤＡ’’’；ＤＡ’’’’）に対して平行に延びており、回動駆動装置が設けられており、該回動駆動装置が、複数の回動駆動体（Ａ１，Ａ２，Ａ３；Ａ_ｉ’；Ａ１’’，Ａ２’’；Ａ１’’’，Ａ２’’’；Ａ１’’’’，Ａ２’’’’）を備えており、該回動駆動体が、トーションばね装置（ｆ１，ｆ２，ｆ３；ｆ’，ｆ_ｉ’；ｆ１’’，ｆ２’’；ｆ１ａ’’’，ｆ１ｂ’’’，ｆ２’’’；ｆ１ａ’’’’，ｆ１ｂ’’’’，ｆ２’’’’）に結合されており、各回動駆動体（Ａ１，Ａ２，Ａ３；Ａ_ｉ’；Ａ１’’，Ａ２’’；Ａ１’’’，Ａ２’’’；Ａ１’’’’，Ａ２’’’’）が、回動軸線（ＤＡ；ＤＡ’；ＤＡ’’；ＤＡ’’’；ＤＡ’’’’）を中心とした１つのマイクロマシニング型の構成素子（Ｓ）の全回動角に数分の一ずつ寄与するようになっている。
（もっと読む）

【課題】接着部材による圧縮応力を低減することによって、光走査体の共振周波数等の固有値の変化を抑制することができる光走査装置、画像形成装置、及び光走査装置の製造方法を提供する。
【解決手段】光走査体は、入射した光を反射する反射ミラーと、反射ミラーから相反する方向に延びる一対の梁と、一対の梁を支持する固定部と、反射ミラーを揺動駆動する駆動体とを有する。光走査装置は、光走査体と、光走査体の固定部に接着部材で接着され、光走査体を支持する台座と、を備えている。光走査体の固定部における台座への接着領域、又は台座における光走査体の固定部への接着領域に、接着部材を逃がす凹部が形成された。 （もっと読む）

【課題】可動部を固定部に対して一対のトーションバーで揺動可能に軸支するアクチュエータを、高調波成分を含む波形の駆動信号で駆動する場合に、高調波成分に起因する可動部の共振振動を抑制する。
【解決手段】波形データを格納する波形メモリ１と、可動部の振れ角情報に基づいて駆動信号の振幅を演算する振幅演算部２と、振幅演算部２からのデジタル駆動信号をアナログ駆動信号に変換するＤ／Ａ変換器３と、可動部が共振振動する共振周波数成分を前記アナログ駆動信号から除去するノッチフィルタ４と、ノッチフィルタ４のフィルタ出力に基づいて可動部に駆動信号を供給する駆動信号供給部５とを備えて構成した。 （もっと読む）

【課題】フレームと可動部とを連結する連結部のバネ定数の変動を抑制するのに適したマイクロ可動素子、および、そのようなマイクロ可動素子を備える光スイッチング装置を提供する。
【解決手段】本発明のマイクロ可動素子Ｘ１は、フレーム３０、可動部２０、及びこれらを連結して可動部２０の回転変位の軸心Ａ２を規定する連結部４２，４３が形成されている基板Ｓ１と、基材Ｓ２と、基板Ｓ１のフレーム３０および基材Ｓ２の間に介在してこれらに接合するスペーサ部、並びに、当該スペーサ部を覆ってフレームおよび支持基材に接合する接着剤部、を有する少なくとも一つの強固定部７０Ｃ，７０Ｄとを備える。フレーム３０は、軸心Ａ２の延び方向において可動部２０と対向する第１領域部３０Ａおよび第１領域部３０Ａ外の第２領域部３０Ｂを有する。強固定部７０Ｃ，７０Ｄは、フレーム３０における第２領域部３０Ｂに対して接合している。 （もっと読む）