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Fターム[2H045AB73]の内容

機械的光走査系 (27,008) | 振動ミラー走査手段 (6,561) | ガルバノ (6,155) | 製造方法 (757) | フォトリソグラフィによるもの (616)

Fターム[2H045AB73]に分類される特許

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【課題】画像形成装置に組み付けられた状態でMEMSミラーの取付角度を外部から調整することができる光走査装置を提供すること。
【解決手段】光源から出射される光ビームを偏向するMEMSミラー28をハウジング26に収容して成る光走査装置において、前記MEMSミラー28を支持部34と板バネ35によって前記ハウジング26に傾動可能に保持させるとともに、前記ハウジング26に螺合挿通する複数の調整ビス36,37の先端を前記MEMSミラー28の筐体30に当接させ、該調整ビス36,37を前記ハウジング26の外部から回転させることによって前記MEMSミラー28の取付角度を調整可能とする。 (もっと読む)


【課題】安価な構成でMEMSミラーの偏向角特性を高精度にモニターすることができる光走査装置を提供すること。
【解決手段】レーザー光源25から出射される光ビームLを偏向するMEMSミラー(偏向素子29)と、前記レーザー光源25から出射して前記MEMSミラー(偏向素子29)によって偏向された光ビームL2,L3を検知するBDセンサ(光検知素子)32を備えた光走査装置13において、前記MEMSミラー(偏向素子29)から前記BDセンサ32に向かう光路A,Bを有効走査領域Rの両端外側に設け、光路Aを通過する光ビームL2をBDミラー(反射手段)33aによって1回(奇数回)反射させてBDセンサ32に導き、光路Bを通過する光ビームL2をBDミラー33a,33bによって計2回(偶数回)反射させてBDセンサ32に導くよう構成する。 (もっと読む)


【課題】安価な構成でMEMSミラーの偏向状態を高精度に補償することができる光走査装置を提供すること。
【解決手段】光源から出射される光ビームを偏向するMEMSミラーと、該MEMSミラーを一定の周期で駆動する駆動手段と、該駆動手段を制御する駆動制御手段を備えた光走査装置において、前記駆動制御手段は、その駆動信号の基本周期を一定に保ったまま、該駆動制御信号の振幅を変動制御して前記MEMSミラーの最大偏向角を粗調整する第1の制御手段と、駆動制御信号の波形を変動制御して前記MEMSミラーの最大偏向角を微調整する第2の制御手段を備える。ここで、前記駆動制御手段の駆動信号は矩形波電圧信号であり、前記第2の制御手段は矩形波電圧信号のDuty比を変化させる。 (もっと読む)


【課題】互いに直交する2軸の周りに電磁力によって可動部を揺動させることが可能な光学装置において、電磁石部分を含む光学装置全体を小型化することと、消費電力の増大を抑制することとを両立させる。
【解決手段】光学装置は、ミラー部と、第1電磁石と、第2電磁石とを備えている。このミラー部は2軸駆動型であって、第1磁性体および第2磁性体を備えている。第1電磁石と第2電磁石の少なくとも一方の少なくとも一部がミラー部設置領域内に存在しているため、電磁石を小さくしても、可動部を揺動させるための駆動力を確保できるために、コイル巻き数、コイルに通電する駆動電流を大きくする必要がない。電磁石部分を含む光学装置全体を小型化することと、消費電力の増大を抑制することとを両立させることが可能となる。 (もっと読む)


【課題】回動軸方向の幅が有限な可動板に捻り梁が接合された端面においては、幅が無限な可動板における理論的な動たわみとは異なる形状の複雑な動たわみが発生する。当該動たわみを抑制することができる光偏向素子、光偏向器、及び画像形成装置を提供する。
【解決手段】光偏向素子は、光束が反射される反射面が形成された反射手段が固定されており板状の形状を有する可動板と、一端が可動板の端面に接続されており、可動板を反射面に平行な回動軸回りに回動可能に支持する弾性支持梁と、弾性支持梁の一端の反対側の一端が接続されており、弾性支持梁を支持する支持枠と、可動板の側面から反射面に平行な方向に突出し、回動軸に垂直な方向において可動板の先端より回動軸に近い範囲に配設された可動板突起と、を備える。光偏向器は、当該光偏向素子を備え、画像形成装置は、当該光偏向素子又は当該光偏向器を備える。 (もっと読む)


【課題】
往復走査いずれの区間でも効率的に画像書込みを行い、しかも記憶装置(RAM)を複数色で共通使用することで、その記憶容量を減らし、画像形成装置のコストを下げる。
【解決手段】
光源ユニット107からの光ビームを偏向して主走査方向に往復走査する振動ミラー106と、走査レンズ120、122、123と反射鏡126〜131などからなる結像光学系とを備えて、振動ミラー106の走査方向と直交する副走査方向へ前記光ビームの光路を切り替える手段を、振動ミラー106もしくは前記結像光学系に持たせることによって、往路走査と復路走査で感光体101〜104の異なる被走査面を走査を可能にし、複数色で画像記憶装置を共同使用することができ、記憶装置の容量を減らすことができる。 (もっと読む)


【課題】ねじれモードおよび垂直モードの動作を同時に行わせることで装置の小型化を可能とするプレーナ型アクチュエータを提供する。
【解決手段】一対のトーションバー3を介して枠状の固定部2に固定された可動部4を揺動してねじれモードで駆動するための可動部4上に形成された駆動コイル5と、可動部4を垂直モードで駆動するための、前記一対のトーションバー3上に設置された垂直駆動用圧電体6とを備えた構造にすることで、垂直方向の往復動とトーションバー3を回動軸としたねじれ運動を同時に行わせることを可能にする。 (もっと読む)


本発明は、マイクロメカニック式のプロジェクション装置(1)であって、第1の区分(30)、第2の区分(31)及び第3の区分(32)を有する保持体(2)が設けられていて、第2の区分(31)は第1の区分(30)と第3の区分(32)との間に位置していて、可撓性に形成されており、第1の区分(30)にミラー(6)が装着されており、第3の区分(32)に光源(15)が装着されており、第2の区分(31)は、光源(15)からの光線(16)がミラー(6)に向けられるように屈曲されている。
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【課題】光走査装置及びそれを採用した電子写真方式の画像形成装置を提供する。
【解決手段】本発明の光走査装置は、光ビームを出射する光源と、光源から出射された光ビームを主走査方向に偏向して走査する光偏光器と、光源と光偏光器との間に配され、光源から出射された光ビームを主走査方向に平行光ビームに整形し、副走査方向に光偏光器の反射面に集光させる、単枚に形成された第1光学素子と、光偏光器で偏向され走査される光ビームを被走査面に結像させる少なくとも単枚の第2光学素子と、を備え、|βm|>|βs|の数式を満足する。ここで、βmは、光走査装置の光学系の主走査方向の倍率であり、βsは、光走査装置の光学系の副走査方向の倍率である。 (もっと読む)


【課題】小型化とコストダウン及び制御の簡略化を図ることができる光走査装置を提供すること。
【解決手段】光源27から出射される光ビームを偏向素子26(MEMSミラー)で偏向し、偏向された光ビームを走査レンズ29,30によって結像させて感光ドラム(像担持体)2a上に形成される複数の走査線R1,R2を主走査方向に繋ぎ合わせることによって1本のライン状の静電潜像を感光ドラム2a上に形成する光走査装置13において、光源27と偏向素子26(MEMSミラー)をそれぞれ1つ設けるとともに、光源27から出射される光ビームLの光路を複数に切り替える光スイッチ28を設け、該光スイッチ28によって切り替えられる複数の光路を経て偏向素子26に入射する複数の光ビームL1,L2を偏向することによって感光ドラム2a上に形成される複数の走査線R1,R2を主走査方向に繋ぎ合わせるよう構成する。 (もっと読む)


【課題】走査開始位置のずれの発生を抑制する光走査装置および画像形成装置を提供する。
【解決手段】画像形成装置1はレーザ走査装置2を備えており、レーザダイオード21が出射したレーザビームLBを偏向ミラー25により偏向して感光体ドラム5の潜像形成領域50上を往復走査する。レーザビームLBの走査範囲の両端部に、ビーム検知センサ23L1、23L2と、ビーム検知センサにレーザビームLBを反射するビーム反射ミラー24を備えている。各ビーム検知センサが出力する信号の大きさが入れ替わるタイミングを論理回路51〜52で検出し、レーザビームの走査方向に応じて論理回路が出力する信号を選択し、論理回路での検出タイミングに基づいてレーザビームによる潜像の形成開始位置と、偏向ミラーの走査範囲を制御する。レーザビームのスポットが変形しても、検出タイミングは殆ど変化しないので、潜像の形成開始位置のずれを抑制できる。 (もっと読む)


【課題】単一のMEMSミラーと走査レンズを使用して複数の走査線を主走査方向に合成して所要の走査領域を確保することができ、小型化とコストダウン及び制御の簡略化を図ることができる光走査装置を提供すること。
【解決手段】複数の光源27a,27bから出射される各光ビームL1,L2をMEMSミラー(偏向素子26)で偏向し、偏向された光ビームL1,L2を走査レンズ31,32によって結像させて感光ドラム(像担持体)2a上に形成される複数の走査線R1,R2を主走査方向に繋ぎ合わせることによって1本のライン状の静電潜像を感光ドラム2a上に形成する光走査装置13において、前記MEMSミラー(偏向素子26)を1つ設け、前記複数の光源27a,27bから出射される光ビームL1,L2を単一のMEMSミラー(偏向素子26)によって偏向するよう構成する。 (もっと読む)


【課題】本発明は、ミラー部を支持する捻れ梁部を有する基板の振動を利用してミラー部に捻れ振動を生じさせる光走査装置において、ミラー部の研磨によるソリ、及び、高速振動時の動的変形を抑制することを目的とするものである。
【解決手段】基板本体と、基板本体の一側の両側部から突出した2つの片持ち梁部と、これら片持ち梁部間に捻れ梁部により両側を支持されるミラー部と、基板本体を振動させる駆動源と、ミラー部に光を投射する光源とを備え、基板本体のミラー部側と反対側の固定端部を支持部材に固定し、基板本体の一部に駆動源を設けるとともに、ミラー部は駆動源によって基板に加えられる振動に応じて共振振動し光源からミラー部に投射される光の反射光の方向がミラー部の振動に応じて変化する光走査装置において、ミラー部にSiミラーを貼り付け固定したことを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】大きなミラー部の変位量を得られる光スキャナを提供すること。
【解決手段】光スキャナ100は、ミラー部110、支持梁120、固定部140及び圧電駆動部130を備える。ミラー部110は、揺動軸線ARの周りに揺動される。支持梁120は、ミラー部110から延出する。支持梁120は、固定部140に連結される。圧電駆動部130は、固定部140から支持梁120の一部に亘って設けられる。支持梁120は、揺動軸線ARに対して対称配置され、固定部140に接続される一対の梁部分123を有する。一対の梁部分123は、第1部分123aと、屈曲部分123bとを有する。第1部分123aは、ミラー部110から離れる方向に、揺動軸線ARに沿って伸張する。屈曲部分123bは、第1部分123aに接続され、揺動軸線ARから離間する方向及び揺動軸線ARに沿う方向に屈曲する。 (もっと読む)


【課題】複雑な製造工程を必要とせずに、窓部の入射面と反射面とを傾かせることができる光偏向器、光偏向器の製造方法、及び画像形成装置を提供する。
【解決手段】光偏向器は、反射面が形成された反射手段が固定されており板状の形状を有する可動板と、可動板を回動軸回りに回動可能に支持する弾性支持梁と、弾性支持梁を支持する支持枠と、を備える光偏向素子と、光偏向素子を収容可能な素子室に配設されており、支持枠を支持する素子支持部を有する筐体本体と、反射面に入射する入射光が透過する窓部を有し、素子室の開口を封止する蓋部材と、を備え、支持枠と素子支持部とが第一の当接位置と第二の当接位置とにおいて当接することによって、支持枠が素子支持部に支持されており、入射光が窓部に入射する入射面に垂直な方向における入射面からの距離、又は反射面に垂直な方向における反射面からの距離が、第一の当接位置と第二の当接位置とで異なる。 (もっと読む)


【課題】光偏向器にミラーデバイスの温度を調整するための温度調整手段を配設することによってミラーデバイスの製造工程やパッケージへの組み込みに影響をあたえることを抑制できる光偏向器、光偏向素子の温度調整方法、光偏向器の製造方法、及び画像形成装置を提供する。
【解決手段】光偏向器は、光束が反射される反射面が形成された反射手段が固定されており板状の形状を有する可動板と、一端が可動板に接続されており、可動板を反射面に平行な回動軸回りに回動可能に支持する弾性支持梁と、弾性支持梁の一端の反対側の一端が接続されており、弾性支持梁を支持する支持枠と、を備える光偏向素子と、光偏向素子を収容可能な素子室を有する筺体本体を備える素子筺体と、光偏向素子の温度を調整可能な温度調整手段と、を備え、温度調整手段は、筺体本体に配設されている。 (もっと読む)


【課題】本発明は、安定して低速駆動を行うことができる圧電アクチュエータ及びこれを用いた光走査装置を提供することを目的とする。
【解決手段】駆動対象物30、31を軸X周りに傾動駆動させる圧電アクチュエータ110、111、112であって、
前記軸Xの両側に配置された錘部71と、前記軸Xと交差して延在し、前記錘部71を連結する連結部72とで前記駆動対象物30、31を平面的に囲む環状構造を有し、前記駆動対象物30、31が連結されて前記駆動対象物30、31を連結支持する可動枠70と、
弾性体15に圧電薄膜22が成膜された構造を有し、前記可動枠70の外側に配置され、該可動枠70の前記連結部72に前記軸X周りの傾動力を付与するように連結された駆動梁90と、を含むことを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】落下等の衝撃によって破壊されることを抑制可能とする光スキャナ装置を提供する。
【解決手段】光スキャナ装置1は、レーザ光Lを発振するレーザ光源3と、レーザ光Lを平行なビーム光Laに整形するレンズ4と、ビーム光Laを所定の方向に偏向走査する光偏向器10と、レーザ光源3を駆動するレーザドライバ部2と、光偏向器10を駆動するための駆動信号Dhを光偏向器10に出力する制御回路部5と、レーザドライバ部2及び制御回路部5を制御する演算処理回路部7と、演算処理回路部7に加速度検出信号Acを出力する加速度センサ6と、を備えている。演算処理回路部7は、加速度センサ6から入力された加速度検出信号Acに基づいて落下状態にあるか否かを判断し、落下状態にあると判断したときに制御回路部5を制御して光偏向器10によるビーム光Laの偏向走査を停止させる。 (もっと読む)


【課題】ミラー部を備えた可動部の正確な駆動とミラー部の正確な角度測定が可能なミラーデバイスおよび製造コストの低減したミラーデバイスの製造方法を得ること。
【解決手段】ミラー部10を備えた可動部30が回転軸Aを中心に回転することによって、可動部30に設けられた第1電極50の第1の面51と枠体40に設けられた第2電極60の第2の面61とで形成される容量が変化する。容量は、第1の面51と第2の面61との対向する面積で大部分が幾何学的に決まるので、温度変化等の影響を少なくできる。したがって、ミラー部10を備えた可動部30の正確な駆動とミラー部10の正確な角度測定が可能なミラーデバイス100を得ることができる。 (もっと読む)


【課題】揺動駆動時における駆動電圧の低減と、ミラー歪みの低減とが可能な光スキャナを提供すること。
【解決手段】光スキャナ100は、ミラー部110と、一組の第1梁111と、枠部112と、一組の第2梁120と、固定部140と、圧電駆動部130とを備える。一組の第1梁111は、揺動軸線ARを含む平面上で、ミラー部110から離れる方向にミラー部から延出する。枠部112は、ミラー部110を囲むように配置され、一組の第1梁111が接続される。一組の第2梁120は、揺動軸線ARに沿う方向に、枠部112から延出する。固定部140には、一組の第2梁120が接続される。ミラー部110の重心CMは、一組の第2梁111を揺動軸線ARに沿う方向に結ぶ第2梁延長線EL2に対して、揺動軸線ARに直交する方向に離間する。 (もっと読む)


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