【課題】ミラー部の平面度を改良した光走査装置を提供する。
【解決手段】ミラー部４は、金属基板１上にシリコン基材にミラー面が形成されたシリコンミラー８が弾性接着剤９を介して貼り合わせて形成されている。 （もっと読む）

【課題】ミラーを揺動させ、光ビームを偏向させる光偏向装置において、ミラー密着力とフィルファクターとを同時に高めることが可能なミラーを提供すること。
【解決手段】光偏向装置は、基板と可動部とコア部と表面部材を備えている。可動部は、基板に対して揺動可能に支持されている。コア部は、可動部の一部から反基板側に伸びている。表面部材は、コア部の頂面を覆う部分と、可動部から立設しているとともにコア部を一巡するループに沿って伸びている側面部分と、その側面部分の上端から外側に向けて可動部の上面と平行に伸びている展開部を備えている。その表面部材は、コア部を形成するコア部形成材料と異なるとともに光を反射する材料で形成されている。その表面部材の少なくとも一部が、可動部を垂直方向から見たときに、可動部の輪郭の外側に至っている。 （もっと読む）

【課題】圧電駆動式光学素子において、投影画像面積を拡大することを目的とする。
【解決手段】光学反射素子において、支持枠１と、この支持枠１の内側の対向する部分にそれぞれの外端が支持された一対の第一のミアンダ形状梁２と、この第一のミアンダ形状梁２のそれぞれの内端で支持した一対の音叉型振動子３と、この音叉型振動子３の振動中心をそれぞれの外端で支持した一対の第二のミアンダ形状梁４と、この第二のミアンダ形状梁４のそれぞれの内端で支持したミラー部５とを備え、前記第二のミアンダ形状梁４は、前記ミラー部５の中心と前記音叉型振動子３の振動中心とを結ぶ中心軸Ｘに直交する一方側へ湾曲した第一の湾曲部４ａと、前記中心軸Ｘを通過し他方側へ湾曲した第二の湾曲部４ｂとを有し、前記第一の湾曲部４ａ及び前記第二の湾曲部４ｂから前記中心軸Ｘまでの距離をそれぞれ異ならせたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】圧電駆動式光学素子において、投影画像面積を拡大することを目的とする。
【解決手段】光学反射素子において、支持枠１と、この支持枠１の内側の対向する部分にそれぞれの外端２ａを支持された一対の第一のミアンダ形状梁２と、この第一のミアンダ形状梁２のそれぞれの内端２ｂで支持した一対の音叉型振動子３と、この音叉型振動子３の振動中心をそれぞれの外端４ａで支持した一対の第二のミアンダ形状梁４と、この第二のミアンダ形状梁４のそれぞれの内端４ｂで支持したミラー部５とを備え、前記第二のミアンダ形状梁４は、内端４ｂと外端４ａの少なくとも一端を、前記ミラー部５の中心軸から所定の長さ離れた位置において、それぞれ前記ミラー部５、または前記音叉型振動子３を支持したことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 消費電力が小さく、光走査に使用される走査レンズの温度上昇、並びにカラー機における各色の光走査系毎の温度偏差や振動を低減して、画像の経時安定性を確保する。
【解決手段】 光走査装置は、光源部１０から射出されるレーザビームを、振動ミラー１１によって主走査方向に偏向走査して、複数の感光体ドラムの被走査面３Ｙ、３Ｍ、３Ｃ、３Ｋに集光結像する。振動ミラー１１の揺動の振幅、オフセット、および位相を許容範囲となるように制御する。振動ミラー１１の振幅を一定に制御した状態で、振動ミラー１１の共振周波数ｆｒと駆動周波数ｆｄの関係が、条件：
ｆｄ＜ｆｒ
を満足するように、振動ミラー１１の共振周波数ｆｒおよび駆動周波数ｆｄを設定する。 （もっと読む）

【課題】可動部の機械振れ角に応じて出力が変化する受光素子を備えながらも、小型化を図れ且つ可動部の機械振れ角を大きくできるＭＥＭＳ光スキャナを提供する。
【解決手段】ＳＯＩ基板（半導体基板）１００を用いて形成され、外側フレーム部１０、ミラー面２１が設けられた可動部２０、一対の捩りばね部３０，３０を有する可動部形成基板１と、可動部形成基板１の一表面側に接合された第１のカバー基板２と、可動部形成基板１の他表面側に接合された第２のカバー基板３とを備える。可動部形成基板１の可動部２０のミラー面２１側に回折格子５が形成されている。第１のカバー基板２は、入射光を透過させる入射光透過部２０３、および、０次の回折光である反射光からなる走査光を透過させる走査光透過部２０４が形成されるとともに、０次以外の規定次数の回折光を受光する受光素子６が可動部形成基板１側に設けられている。 （もっと読む）

【課題】光学振れ角を大きくすることが可能で且つ不要な光が出射されるのを防止することが可能なＭＥＭＳ光スキャナを提供する。
【解決手段】ＳＯＩ基板（半導体基板）１００を用いて形成され、外側フレーム部１０、ミラー面２１が設けられた可動部２０、一対の捩りばね部３０，３０を有する可動部形成基板１と、第１のガラス基板２００を用いて形成され可動部形成基板１の一表面側に接合された第１のカバー基板２とを備える。可動部形成基板１の可動部２０のミラー面２１側に回折格子５が形成されており、第１のカバー基板２が、入射光および、回折格子５の法線に対して入射光とは反対側にある負の次数の回折光のうち規定次数の回折光以外を遮光するカバー基板を構成している。 （もっと読む）

【課題】低コストで信頼性が高く、光の不要な反射を抑制することが可能なＭＥＭＳ光スキャナおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】ＳＯＩ基板（半導体基板）１００を用いて形成され、外側フレーム部１０、ミラー面２１が設けられた可動部２０、一対の捩りばね部３０，３０を有するミラー形成基板１と、第１のガラス基板２００を用いて形成されミラー形成基板１の一表面側に接合された第１のカバー基板２と、ミラー形成基板１の他表面側に接合された第２のカバー基板３とを備える。第１のカバー基板２および第２のカバー基板３がミラー形成基板１と同じ外形寸法に形成され、第１のカバー基板２におけるミラー形成基板１とは反対の外表面側に、透光性樹脂もしくは低融点ガラスにより形成され光の反射を抑制する微細周期構造６を有する。 （もっと読む）

【課題】ミラー面の振れ角に応じて出力が変化するように配置された受光素子を備えた構成の採用による小型化を図ながらも、ミラー面において光ビームを入射させる位置が制限されたりミラー面の振れ角が制限されるのを防止することが可能なＭＥＭＳ光スキャナを提供する。
【解決手段】外側フレーム部１０、ミラー面２１が設けられた可動部２０、一対の捩りばね部３０，３０を有するミラー形成基板１と、ミラー形成基板１に接合された第１のカバー基板２および第２のカバー基板３とを備える。受光素子６は、ミラー面２１で反射された光のうち第１のカバー基板２を透過する主光線Ｉ１ではなく第１のカバー基板３におけるミラー面２１側の表面で反射された副光線Ｉ２を受光しミラー面２１の振れ角に応じて出力が変化するように、第１のカバー基板２の上記表面側に配置してある。 （もっと読む）

【課題】小型化が可能であり、且つ、低コストで、不要な反射光の方向がミラー面での反射光の方向に揃うのを抑制することが可能なＭＥＭＳ光スキャナおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】ＳＯＩ基板（半導体基板）１００を用いて形成され、外側フレーム部１０、ミラー面２１が設けられた可動部２０、一対の捩りばね部３０，３０を有するミラー形成基板１と、第１のガラス基板２００を用いて形成されミラー形成基板１の一表面側に接合された第１のカバー基板２と、ミラー形成基板１の他表面側に接合された第２のカバー基板３とを備える。第１のカバー基板２におけるミラー形成基板１とは反対の外表面側に透光性樹脂により形成された成形部６を有し、当該成形部６の表面が、第１のカバー基板２におけるミラー形成基板１側の平面とは非平行な非平行面６１となっている。 （もっと読む）

【課題】小型化を図りつつ光の走査角度の広角化を図れるＭＥＭＳ光スキャナを提供する。
【解決手段】外側フレーム部１０、ミラー面２１が設けられた可動部２０、一対の捩りばね部３０，３０を有するミラー形成基板１と、ミラー形成基板１に接合された第１のカバー基板２および第２のカバー基板３とを備える。外側フレーム部１０に形成された固定電極１２と可動部２０に形成された可動電極２２とで、可動部２０を駆動する駆動手段を構成している。第１のカバー基板２におけるミラー形成基板１側に、第１のカバー基板２を通して入射し１つのミラー面２１で反射した光を当該ミラー面２１側へ反射する複数の固定ミラー６が並設されている。 （もっと読む）

【課題】レーザー光を用いた走査型の画像表示装置において、従来のガウスビームを用いて画像表示を行う際に生じる不具合を解消し、鮮明で高解像度感が得られる画像表示を可能として、高品質な画像表示が可能な画像表示装置を提供することを目的とする。
【解決手段】高次のエルミートガウスビームＬを射出する光源部１０と、光源部から射出されたエルミートガウスビームＬを被投射面５０上で２次元方向に走査して画像を描画する走査光学系２０と、を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ラスタ走査において、横縞ノイズの発生や外乱振動の共振応答による垂直走査の不安定さを解消した２次元光スキャナ駆動装置を提供する。
【解決手段】負帰還制御手段１は、２軸を中心として回動させる回動機構１５に、駆動回路８により生成された駆動信号を与えることにより、当該２軸のそれぞれを中心として被駆動体を周期的に回動させ、光束の２次元的走査を行わせる走査駆動手段５と、当該回動機構１５の速度を検出して速度検出信号（Ｕｙ＋ａｘ）を生成する検出手段３と、当該速度検出信号（Ｕｙ＋ａｘ）から非共振速度信号（Ｕｙ）を抽出する抽出手段６とが設けられ、当該走査駆動手段５への速度負帰還信号（ＶＤ−Ｕｙ）を生成する負帰還信号生成手段４がさらに設けられる。 （もっと読む）

【課題】可動板と捻り梁との接合部における応力による可動板のたわみを抑制することができる光偏向素子、光偏向器、及び画像形成装置を提供する。
【解決手段】光偏向素子は、光反射性を有する反射鏡４２が設けられた可動板４１と、支持枠４４と、可動板４１を支持枠４４に対して回動可能に連結する弾性支持梁４３と、可動板４１の反射鏡４２と反対の面側に設けられた磁石３７とを備え、弾性支持梁４３は、可動板４１の回動軸Ｘに垂直な断面で見たときに、幅が反射鏡４２側から磁石３７側に向けて漸次増加する形状をなしている。 （もっと読む）

【課題】共振周波数のばらつきの発生を抑制しつつ、折れ難いカンチレバーと、捩り回転時にカンチレバーが折れ難く、ミラーの振れ角が大きい。
【解決手段】カンチレバーの端部の厚み方向に曲線をつけ、カンチレバーの固定端部が最も厚い厚さ分布をもたせる。これにより、引っ張り応力の集中が緩和される。カンチレバーと捩り梁を同一のＳｉ基板に形成し、捩り梁の板厚をＳｉ基板と同じ厚さとし、カンチレバーはそれよりも薄く形成する。 （もっと読む）

【課題】被走査面上の走査位置による反射光の明るさの差異を低減させることのできる光走査装置及び画像形成装置を提供する。
【解決手段】光を反射する光反射部材２１と、光反射部材２１を軸Ａ回りに揺動可能に支持する支持部材２６とを含む走査部２を有し、光反射部材２１が揺動することにより、光反射部材２１によって反射された反射光を半球面スクリーンＳＣ１上に走査可能な光スキャナー１０と、光スキャナー１０が設けられ、軸Ａに垂直な軸Ｂ回りに回動可能に構成された中空モーター７０と、を備え、光スキャナー１０は、半球面スクリーンＳＣ１上における反射光の所定方向の走査速度を変更するために、走査部２の半球面スクリーンＳＣ１に対する空間的位置を変更するＺステージ８を有する。 （もっと読む）

【課題】ミラー部の偏向角度を大きく設定する。
【解決手段】固定支持される第１端部、及び自由端であり第１端部よりも幅が狭いか又は厚みが薄い第２端部をそれぞれ有する一対の第１アーム部１２ｅ，１２ｅと、固定支持される第３端部、及び自由端であり第３端部よりも幅が狭いか又は厚みが薄い第４端部をそれぞれ有し、一対の第１アーム部に対向して配置された一対の第２アーム部１２ｅ，１２ｅと、一対の第１アーム部の第２端部と一対の第２アーム部の第４端部との間に配置され、外部から照射された光を反射するミラー部１２ｉと、一対の第１アーム部の第２端部とミラー部とをそれぞれ連結する一対の第１捩じりバネ部１２ｇ，１２ｇと、一対の第２アーム部の第４端部とミラー部とをそれぞれ連結すると共に、一対の第１捩じりバネ部に対向して配置された一対の第２捩じりバネ部１２ｈ，１２ｈと、を備えている光偏向子１２Ａを提供する。 （もっと読む）

【課題】被走査面上の走査位置による反射光の明るさの差異を低減させることのできる光学デバイス、光走査装置及び画像形成装置を提供する。
【解決手段】光を反射する光反射部材２１と、光反射部材２１を軸Ａ回りに揺動可能に支持する支持部材２６とを有し、光反射部材２１が揺動することにより、光反射部材２１によって反射された反射光を被走査面上に走査可能な走査部２と、被走査面上における反射光の所定方向の走査速度を変更するために、走査部２の被走査面に対する空間的位置を変更するアクチュエーター３と、を備える。 （もっと読む）

【課題】安価な構成でＭＥＭＳミラーの偏向状態を高精度にモニターすることができる光走査装置を提供すること。
【解決手段】光源から出射される光ビームを偏向するＭＥＭＳミラーと、該ＭＥＭＳミラーを一定の周期で駆動する駆動手段と、前記光源から出射される光ビームを検知する光検知素子（ＢＤセンサ）を備えた光走査装置において、前記駆動手段に入力される駆動位相信号の位相と前記光検知素子の検知信号の位相との関係から前記ＭＥＭＳミラーの偏向状態を求める。例えば、駆動位相信号が出力されてから光検知素子の検知信号が出力されるまでの時間Ｔを検出し、この時間Ｔと光検出素子の設置偏向角θ_０ 及びＭＥＭＳミラーの偏向周波数νを用いて次式：
θ_ｍ ＝θ_０ ／ｓｉｎ（２πνＴ−π／２）
にてＭＥＭＳミラーの最大偏向角θ_ｍを求める。 （もっと読む）

【課題】本発明は、光学反射素子の高精度な自励駆動を実現することを目的とする。
【解決手段】この目的を達成するため本発明は、ミラー部９と連結された振動子１０とを備え、振動子１０は、基材１９上に形成された分断溝３０Ａによって分離して配置されたドライブ素子１６およびモニター素子１７を有し、これらのドライブ素子１６およびモニター素子１７の下部電極層２１は、共通の外部電極と接続され、モニター素子１７とドライブ素子１６とが隣接して配置された任意の点において、分断溝３０Ａにより、モニター素子１７の下部電極層２１とドライブ素子１６の下部電極層２１との最短導通経路は、モニター素子１７の下部電極層２１から共通の外部電極までの距離より長いものとした。これにより本発明は、モニター素子１７、１８の検出精度を高め、光学反射素子８を高精度に自励駆動させることができる。 （もっと読む）