【課題】気密封止光偏向器パッケージを有する画像表示装置における往復走査の同期方式はパッケージ外に設けた光ビーム検出器の検出信号に基づいて行っていたために、有効光ビームへの影響が大きく、装置が大型化する。
【解決手段】封止ガラス１は中央に光学透過窓１１を有し、その周辺に遮光カバー１２ａが形成された遮光部１２を有する。光偏向器２をセラミック実装基板３のキャビティ３ａ内に配置し、セラミック実装基板３のキャビティ３ａを封止ガラス１によって気密封止してある。有機薄膜フォトセンサ４ａ、４ｂはパッケージ内部にあって、光偏向器２のマイクロミラー２１から反射される走査光ビームが通過する光学透過窓１１の極近傍に設けられている。 （もっと読む）

【課題】周囲温度等の変化により共振型偏向素子の共振周波数が変化した場合においても、偏向面を一定の揺動振幅に維持することができる光走査装置及びそれを備えた画像表示装置を提供する。
【解決手段】共振型偏向素子５０を駆動する駆動信号Ｓｉｇ１の周波数を変化させ、偏向面５２の揺動振幅を検出して、共振型偏向素子５０固有の共振周波数を判定し、この共振周波数から所定周波数だけずれた周波数の駆動信号Ｓｉｇ１で共振型偏向素子５０を駆動した後、駆動信号Ｓｉｇ１の振幅を変更して偏向面５２の揺動振幅を所定値にする駆動制御部１０を備える。 （もっと読む）

【課題】ミラー部の走査振幅を変更するに際しオーバーシュートを発生することなく短時間で速やかに収束させることが可能な制御性の良い光走査装置の駆動制御装置を提供する。
【解決手段】比較部１５においてエラー信号ｅ１が発生すると、振幅レベル調整部１２は、目標振幅レベルに相当する補正電圧Ｖ３より大きな振幅レベルに相当する加速用補正電圧Ｖ１と目標振幅レベルに相当する補正電圧より小さな振幅レベルに相当する減速用補正電圧Ｖ２のうち少なくともいずれかを生成してエラー信号ｅ１の増減値を打ち消すように駆動回路１３へ所定時間出力するフィードバック制御を行なう。 （もっと読む）

【課題】小型化、低コスト化を実現できるとともに、受光感度がよくて距離測定精度の高いレーザレーダ装置を提供する。
【解決手段】レーザレーダ装置１０は、装置本体を構成するベースフレーム１２と、ベースフレーム１２の所定位置に固定され、レーザ光を出射する光源１４と、光源１４からの出射光を図示しない対象物に向けて走査する光走査装置１６とを有している。光走査装置１６はリコン基板から半導体微細加工法により可動板（反射ミラー）やトーションバー等が一体に形成されており、可動板の中央部にはフォトダイオードが一体に形成されている。対象物からの反射光２２は、光学部品を介することなく直接フォトダイオードにより受光される。 （もっと読む）

【課題】光スキャナを一度製造した後に光スキャナの構造または剛性を変更するなどの手間をかけずに所望の共振周波数を得ることが可能な光スキャナを提供する。
【解決手段】駆動信号生成部４０から駆動部４に駆動信号が供給される（Ｓ１）。駆動部４に駆動信号が供給されると、電流供給部５０から磁界発生部５に電流が供給される（Ｓ２）。電流が供給されると、共振周波数決定部７４により共振周波数が決定される（Ｓ３）。共振周波数が決定されると、判断部７６により決定された共振周波数が所望の共振周波数と等しいか否かが判断される（Ｓ４）。決定された共振周波数が所望の共振周波数でないと判断されると（Ｓ４：Ｎｏ）、磁界発生部５に供給される電流の絶対値が所定の微小幅分、増大される（Ｓ５）。 （もっと読む）

【課題】ジッタ変動を抑制しさらなる高画質化を実現可能な光走査装置および該光走査装置を用いたカラー画像形成装置、並びに光走査装置の駆動方法を提供すること。
【解決手段】振動ミラー１１を備え、前記振動ミラー１１の揺動運動の位相、振幅及びオフセットを制御する制御手段を有し、該制御手段は、前記振動ミラー１１の共振周波数が駆動周波数より高く、且つ、前記振動ミラー１１を駆動可能な範囲内で駆動周波数と共振周波数との差が大きくなるように制御することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】光走査領域の近傍に設置しても、大きな光走査領域を確保することのできる画像形成装置を提供する。
【解決手段】画像形成装置１００は、レーザー光ＬＬを出射する光出射部２００と、光出射部２００から出射したレーザー光ＬＬを反射する光反射部２２を有し、光反射部２２を互いに直交する回動中心軸Ｘ１、Ｙ１にそれぞれ回動させて、光反射部２２で反射したレーザー光ＬＬを回動中心軸Ｘ１、Ｙ１にそれぞれ走査する光スキャナー１と、回動中心軸Ｘ１、Ｙ１の交点と光出射部２００との相対的位置関係を一定に保ちつつ、光スキャナー１を所定の軸線まわりに回動させる駆動手段３００とを有している。 （もっと読む）

【課題】３自由度連成振動系を構成した光走査装置において走査範囲を大きくする
【解決手段】光走査装置１は、ミラー１３、内ジンバル１２、外ジンバル１１、支持部３、弾性連結部１６ａ，１６ｂ、弾性連結部１５ａ，１５ｂ、及び弾性連結部１４ａ，１４ｂが、固有の周期的外力が作用した場合に大きい回転角で捩じり振動する３自由度連成振動系を構成する。このため、櫛歯電極部１７，１９と櫛歯電極部４ａ，４ｂとの間に電圧を印加して、固有の周期的外力を外ジンバル１１に作用させることにより、３自由度捻り振動子を共振状態にできる。そして、ミラー１３の振幅角を大きくするために、｛（ミラー１３のねじりバネ定数Ｋ１）／（ミラー１３の慣性モーメントＩ１）｝＞｛（外ジンバル１１のねじりバネ定数Ｋ３）／（外ジンバル１１の慣性モーメントＩ３）｝となるように光走査装置１を構成する。 （もっと読む）

【課題】可動板を互いに直交する２つの軸のそれぞれの軸まわりに安定して回動させることのできる光スキャナーおよび画像形成装置を提供すること。
【解決手段】光スキャナー１は、光反射性を有する光反射部２２を備える可動板２と、可動板２を支持する支持部３と、可動部２と支持部３とを連結する４つの連結部４〜７とを有し、連結部４〜７は、可動板２の平面視にて、可動部２の外周に、周方向に沿って９０度間隔で設けられており、連結部４〜７は、支持部３に対して回動可能な駆動板４１〜７１と、可動板２および駆動板４１〜７１を連結する第１の軸部４２〜７２とを有し、第１の軸部４２〜７２は、駆動板４１〜７１の回動によって、可動板２との離間方向の途中で可動板２の厚さ方向に屈曲変形するように構成されている。 （もっと読む）

【課題】封止基板の接合での気密封止パッケージで発生する内部応力による振動デバイスの共振周波数の変化やばらつきを低減し安定した特性の共振振動デバイスを提供する。
【解決手段】共振振動デバイスは、振動部が形成されている基板と、該基板に接合されて気密封止する封止基板とによって構成され、振動部が形成されている基板に封止基板に接合する接合フレーム１０１とは別に振動部を支持する支持フレーム１０３が設けられていて、接合フレーム１０１と支持フレーム１０３とがそれぞれのフレームよりも剛性の小さい部材によって結合されている。 （もっと読む）

【課題】反射面を備える可動板の有効面積を確保しつつ、可動板の慣性モーメントを低減させた光偏向器及びその製造方法を提供する。
【解決手段】反射面と側面を備える可動板と、所定の軸の周りに可動板を回動可能に支持する支持部とを有し、可動板の側面が軸に向かって窪んでいる。 （もっと読む）

【課題】固定位置ずれによる光スキャナの特性のバラツキを低減した光スキャナを提供する。
【解決手段】光スキャナ１は、可動部２と外板３と一対の基台４とを備える。可動部２は、ミラー部５と、一対の支持梁６と、振動部材７と、駆動部８Ａ、８Ｂとを備える。ミラー部５は、入射した光線束を反射する反射面５１を備える。一対の基台４は、一対の支持梁６を結ぶ延長線ＡＸに垂直なＹ軸方向に延出する。一対の基台４は、延長線ＡＸに平行なＸ軸方向において互いに離間する。一対の基台４は、外板３の下面に接着されて設けられる。 （もっと読む）

【課題】偏向ミラー部分の厚みを半分程度に減じることにより薄型化を達成し、携帯電話等への搭載の可能性を大きく進めることができる走査型画像表示装置を実現する。
【解決手段】ビーム供給部１０から出射されたビームをビーム走査部１１の偏向ミラーで偏向走査して被投射面に投射し画像情報に対応してビームの光強度を制御することにより画像を形成する走査型画像表示装置において、偏向ミラーのミラー部１２Ｍが形成された基板１２の平面を、ビーム供給部から出射されるビームの光軸と平行あるいは略平行に配置すると共に、偏向ミラーの前段に、ビーム供給部から出射されるビームを偏向ミラーの方向へ偏向してミラー部に斜め入射させる少なくとも１面の反射面を有する光学素子１３を設け、かつ光学素子の反射面は、偏向ミラーで偏向走査された走査光がかからない位置に配置した。 （もっと読む）

【課題】走査部に何らかの異常が発生した場合に同じ領域にレーザー光が照射され続けることを防ぐことを可能にするプロジェクタを提供する。
【解決手段】プロジェクタは、レーザー光を出射する光源部１０１と、光源部１０１から出射されたレーザー光を走査する走査部とを有する。プロジェクタは、走査部によるレーザー光の走査範囲に配置され、レーザー光の一部を反射し、残りを透過させる投射窓１１０と、投射窓１１０によって反射されたレーザー光を受光する受光素子１１１と、受光素子１１１が受光したレーザー光の光量に基づいて、光源部１０１から出射されるレーザー光の出力を抑制する光源出力抑制手段１１２，１０２と有する。 （もっと読む）

【課題】第１方向（Ｙ方向）に長くなるのを抑制するとともに、非駆動状態においてミラー部が傾斜するのを抑制することが可能な振動ミラー素子を提供する。
【解決手段】この振動ミラー素子１００は、Ｙ１側に形成された端部（固定端）４１ａとＹ２側に形成された端部（自由端）４１ｂとを含み、直線状に延びる片持ち梁状の駆動部４１と、Ｘ方向光走査部１０を傾斜させた状態で支持することが可能なミラー支持部４６と、Ｙ２側に形成された端部（固定端）５１ａとＹ１側に形成された端部（自由端）５１ｂとを含み、Ｘ方向光走査部１０（ミラー１１）の中心Ｒ３を対称点として駆動部４１と略点対称の関係を有し、直線状に延びる片持ち梁状の駆動部５１と、中心Ｒ３を対称点としてミラー支持部４６と略点対称の関係を有し、Ｘ方向光走査部１０を傾斜させた状態で支持することが可能なミラー支持部５６とを備える。 （もっと読む）

【課題】ミラー部において光を精度よく反射させることが可能な振動ミラー素子を提供する。
【解決手段】この振動ミラー素子１００は、Ｙ１側に形成された端部３１ａと、Ｙ２側に形成された端部３１ｂと、端部３１ｂ側に形成された接続部３１ｃとを含み、Ｙ方向に沿って直線状に延びるとともに、片持ち梁状の駆動部３１と、駆動部３１の接続部３１ｃと接続され、駆動部３１の駆動時に接続部３１ｃと略同じ傾斜になるように構成されたミラー支持部３２と、ミラー支持部３２により接続部３１ｃにおける傾斜と略同じ傾斜になるように支持されることによって、Ｘ方向に延びる回動中心Ｒ２回りに回動されるＸ方向光走査部１０とを備え、回動中心Ｒ２は、駆動部３１の非駆動状態において駆動部３１の端部３１ａと接続部３１ｃとを結ぶＹ方向に延びる直線（接線Ｃ１およびＤ１）の略中央Ｒ４を通る位置に配置されている。 （もっと読む）

【課題】支持部において撓み変形が生じるのを抑制することが可能な振動ミラー素子を提供する。
【解決手段】この振動ミラー素子１００は、Ｘ方向光走査部１０（ミラー１１）と、接続部４１ｃを含み、Ｙ方向に沿って直線状に延びるとともに、変形可能な駆動部４１と、駆動部４１の接続部４１ｃと端部４２ａ側で接続され、Ｙ方向に沿って直線状に延びる連結支持部４２とを備え、連結支持部４２の厚みｔ２は、駆動部４１の厚みｔ１よりも大きい。 （もっと読む）

【課題】 複数の被走査面の配列に対応して扁平な構成とし、コンパクトに構成する。
【解決手段】 半導体２０１〜２０４からの複数色の画像情報によりそれぞれ変調される光ビームを、振動ミラー４００の回転軸支された可動ミラーにより一括して偏向走査する。偏向走査された光ビームを走査光学系によりそれぞれ各色に対応する複数の被走査面に結像し、それぞれ各色に対応する複数の画像を形成する。各色に対応する複数の被走査面上の走査位置を同一平面内に配列し、且つ各光ビームの射出軸を、互いに所定角度だけ離隔するように配置する。光ビームを、入射ミラー１０６によって振動ミラー４００へ折り返し偏向する。振動ミラー４００により偏向走査される複数の光ビームを、反射ミラー１０７によって可動ミラーの回転軸に平行な方向へ折り返し偏向する。複数の光ビームの結像スポットを用いて各色に対応する被走査面を走査する。 （もっと読む）

【課題】 可動部に磁石を設置し、電磁石を磁石との間に作用する磁力によって可動部を揺動させることが可能な光学装置において、可動部の磁石を設置するためのスペースを小さくする。
【解決手段】 可動部の上面に上部磁石が設置されており、下面に下部磁石が設置されている。上部磁石は、可動部から突出して可撓梁の上方または側方に可撓梁と離間して延在している上部延在部を有しており、下部磁石は、可動部から突出して可撓梁の下方または側方に可撓梁と離間して延在している下部延在部を有している。可動部が設置されていない領域（可撓梁の上方、下方、側方）に磁石（上部磁石、下部磁石）が突出しているので、磁石の平面方向の面積に対して、可動部の磁石を設置する部分の面積を小さくすることができる。 （もっと読む）

【課題】ミラー部の平面度を改良した光走査装置を提供する。
【解決手段】ミラー部４は、金属基板１上にシリコン基材にミラー面が形成されたシリコンミラー８が弾性接着剤９を介して貼り合わせて形成されている。 （もっと読む）