【課題】簡便な処理で容易に投影面上での動作指示の検出ができ、動作応答性の良好な、走査型の画像投影装置を提供する。
【解決手段】光源から出射される光束を走査することにより投影面に画像を投影する投影部と、投影面を撮像する撮像部と、を有し、投影部による画像の投影走査の合間に、撮像部により投影面を撮像した撮像画像を取得し、この撮像画像に基づいて投影部による投影画像を変更する画像投影装置とする。 （もっと読む）

【課題】環境温度などによる共振周波数の変動を調整可能な光偏向器を提供する。
【解決手段】固定ベース６０と、光反射面を有するミラー部１０と、ミラー部１０を揺動可能に支持する弾性支持部材２０と、一端が固定ベース６０に接続され、他端が弾性支持部材２０に接続され、梁状部材に圧電部材が固着された一対の振動梁５０とを備え、振動梁５０は、交流電圧を印加することで、弾性支持部材２０に捻り変形を発生して、ミラー部１０を所望共振周波数で回転振動せしめる駆動梁３０と、直流電圧を印加することで、弾性支持部材２０に応力を与えて、共振周波数を調整する周波数調整梁４０とで構成する。 （もっと読む）

【課題】 金属基板に形成した圧電膜の特性を向上させることが可能で、かつ、ミラーの反射性能を低下させない光走査素子及びその製造方法を提供すること。
【解決方法】 金属基板に形成された、ミラー２と、ミラー２を保持するヒンジ部１と、ヒンジ部１を保持する金属フレーム３と、ヒンジ部１に捩れ振動を生じさせる振動部とを有し、振動部はヒンジ部１から離れた金属フレーム３上に形成された圧電膜１０と上部電極４とからなり、圧電膜１０が金属基板に形成された窪み５の中に形成されている。圧電膜を形成した後、熱処理を施し、その後、圧電膜が形成された側の面に鏡面研磨が施されている。 （もっと読む）

【課題】 静電駆動式の光偏向装置において、可動部を支持する支持部材の剛性を低下させることが可能な技術を提供する。
【解決手段】 本発明は基部に設けられた固定電極と可動部に設けられた可動電極の間に電圧を印加することで可動部を揺動させて、可動部に設けられたミラーを揺動させる光偏向装置として具現化される。可動部は第１支持部材と第２支持部材によって支持されている。第１支持部材は絶縁体のみから構成されている。第２支持部材は導体とその周囲を覆う絶縁体から構成されている。その光偏向装置は、第２支持部材が第１支持部材に比べて長く形成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ＭＥＭＳミラーに損傷を与えずにＭＥＭＳミラーを基板から分離する方法を提供する。
【解決手段】ミラーデバイス体が支持部４ｂに支持された基板２０の支持部４ｂにレーザー光７４を集光して照射し、支持部４ｂに改質部７５を形成する改質部形成工程と、支持部４ｂに力を加えて支持部４ｂを切断しミラーデバイス体２と基板２０とを分離する分離工程と、を有し、支持部４ｂの断面形状は台形に形成され、改質部形成工程では台形の平行な２辺のうち長い方の辺の側からレーザー光７４を照射する。 （もっと読む）

【課題】振動ミラーの特長を活かしつつ、小型化を図り、画像劣化を抑制する光走査装置及び画像形成装置を提供する。
【解決手段】光源１０Ｋと、光源１０Ｋからのレーザ光を偏向走査する振動ミラー１１と、振動ミラー１１で偏向走査されるレーザ光を被走査面に向かって集光する走査レンズ１４Ｋと、からなる走査ユニットＵ１と、光源１０Ｍと、光源１０Ｍからのレーザ光を偏向走査する別の振動ミラー１１と、振動ミラー１１で偏向走査されるレーザ光を被走査面に向かって集光する走査レンズ１４Ｍと、からなる走査ユニットＵ２が隣接して配置され、走査ユニットＵ１，Ｕ２に共通のものとして配置され、走査ユニットＵ１，Ｕ２それぞれにおいて偏向走査された所定のレーザ光の通過を検出するビーム検出器２１，２２と、ビーム検出器２１，２２の検出結果に基づいて、走査ユニットＵ１，Ｕ２それぞれの振動ミラー１１の駆動を制御する制御手段と、を備える。 （もっと読む）

【課題】ビーム光の走査によりフリッカが低減された画像を表示することが可能な画像表示装置を提供すること。
【解決手段】画像信号に応じて変調された複数のビーム光を走査させることにより画像を表示する画像表示装置１０であって、複数のビーム光を供給する光源部１０１Ｒ、１０１Ｇ、１０１Ｂと、被照射面Ｓにおいて、複数のビーム光を第１の方向であるＸ方向と、第１の方向に略直交する第２の方向であるＹ方向へ走査させる走査部２００と、を有し、走査部２００は、Ｘ方向へビーム光を走査させる周波数が、Ｙ方向へビーム光を走査させる周波数より高くなるように駆動され、ビーム光のスポットをそれぞれＹ方向において点在させながら、複数のビーム光を走査させる。 （もっと読む）

【課題】入射ミラーにおいて光ビームねじれを個別に補正し、感光体上に結像するまでに透過する走査レンズを共通化しつつ、波面収差の少ない安定したビームスポット径を実現し、かつ、品質が高く小型化可能な光走査装置および同装置を用いた画像形成装置を得る。
【解決手段】複数の発光源を備える光源手段、光源手段から射出された光ビームを集光するシリンドリカルレンズ、集光された光ビームを偏向走査する偏向手段、偏向走査された光ビームを被走査面上に結像する走査結像光学系、を備え、偏向手段と上記光源手段の光路中に光ビームに対応する複数の入射ミラーが配置され、各入射ミラーの法線と入射される各光ビームは副走査方向において各々異なる角度を有し、各シリンドリカルレンズは、各光ビームの進行方向を回転軸として異なる角度に母線が傾けられていることを特徴とする光走査装置による。 （もっと読む）

【課題】ミラー部の重量増加を最小限に抑えつつ、ミラー部の剛性を高め、ミラーが往復振動した場合でも反りや変形が生じることを防止できるマイクロミラー装置を実現する。
【解決手段】対向する一対の捻り梁によって往復振動可能な状態でフレーム部材に連結されたミラー基板と、該ミラー基板に対して前記捻り梁を回転中心として往復振動させるための駆動手段を有するマイクロミラー装置において、前記ミラー基板101は、少なくとも応力制御の機能を有する応力制御層102と、反射層103と、増反射機能を有する増反射膜104を備え、前記応力制御層102は、引っ張り応力を有する層102-aと圧縮応力を有する層102-bとを交互に積層した多層構造であることを特徴とするので、質量の増加を最低限に抑えつつ剛性を高めることができ、ミラーの平坦性の確保や往復振動時の変形を効果的に抑えることができる。 （もっと読む）

【課題】カンチレバーの配置効率を高めて、より一層小型化、低コスト化を図ることができる光走査装置を提供する。
【解決手段】光走査装置は、入射光を反射する反射面５５ａを有する可動板５５と、可動板を回動可能に支持しかつ可動板から互いに反対方向に延びるトーション梁５６，５７と、一端が固定端とされかつ他端が可動端とされて可動端にトーション梁の終端がそれぞれ連結されしかも曲げ振動により可動板を往復回転させるカンチレバー５１，５２と、このカンチレバーの固定端が接続されかつ内側に前記カンチレバーとトーション梁と可動板とが配設されて、カンチレバーとトーション梁と可動板とを支持する支持枠５０とを備え、カンチレバーの少なくとも一部がトーション梁の延びる方向を長手方向としてこの長手方向に対して略平行でかつトーション梁に隣接して配置された長手方向部とされている。 （もっと読む）

【課題】従来のミラー部のサイズに比べて装置全体のサイズを小さくできる、圧電駆動方式の光走査装置及びその製造方法を提供する。
【解決手段】光ビームを反射するミラー部２と、圧電素子を備えて圧電駆動部として機能する可動支持体３Ａ〜３Ｄと、可動支持体３Ａ〜３Ｄを囲む固定枠部４とを備え、ミラー部２と可動支持体３Ａ〜３Ｄの互いに近接する端部の内側角部とを連結するトーションバー５、６で可動支持体３Ａ〜３Ｄの内側にミラー部２を軸支し、トーションバー５、６と軸方向が直交するように固定枠部４と可動支持体３Ａ〜３Ｄの前記内側角部と対角位置にある各外側角部とを連結するトーションバー機能を有する連結部７Ａ〜７Ｄで固定枠部４の内側に可動支持体３Ａ〜３Ｄを軸支し、圧電素子に駆動信号を印加してミラー部２を揺動駆動する構成とした。 （もっと読む）

【課題】振動ミラーの共振周波数のばらつきを防止し、個別に共振周波数を高精度に調整することが可能な光走査装置の製造方法を提供すること。
【解決手段】ウエイト量決定装置のカメラにより金属構造体２０を平面視で撮影して、画像から所定の画像処理により捩り梁１１の画像を切り出し、ウエイト量決定装置のＣＰＵが所定の画像処理プログラムを実行することにより梁幅を測定する。ウエイト量決定装置のＣＰＵがＨＤＤのウエイト量テーブル記憶エリアに記憶されているウエイト量テーブルを参照して、測定した捩り梁の梁幅から塗布するウエイトの量を決定する。ウエイト量決定装置のＣＰＵが、測定された梁幅に基づいて、ウエイト量テーブルを各々参照して、ディスプレイに一例として、「梁結合部：０．１mm^３」や「ミラー裏：０．０１mm^３ 」と表示する。その後、ウエイト４０が梁結合部６又はミラー５の裏面に塗布される。 （もっと読む）

【課題】本発明は、ミアンダ形振動部を用いた光学反射素子において、ミラー部の振れ角を拡大することを目的とする。
【解決手段】この目的を達成するために本発明は、光学反射素子１において、固定枠体２と、この固定枠体２の内側の対向部分にそれぞれの外端が支持された一対の低速ミアンダ形振動部３と、この低速ミアンダ形振動部３のそれぞれの内端で支持した可動枠体４と、この可動枠体４の内側の低速ミアンダ形振動部３の振動軸と直交した対向部分に、それぞれの内端が支持された一対の高速ミアンダ形振動部５と、この高速ミアンダ形振動部５のそれぞれの内端を支持したミラー部６とを備え、高速ミアンダ形振動部５の湾曲部７の曲率をそれぞれ内端側から外端側へ向かうにつれて小さくした。 （もっと読む）

【課題】光スキャナを追加加工することなく製品歩留まりを向上させることが可能な光スキャナの製造方法及び光スキャナ搭載装置の製造方法を提供する。
【解決手段】ミラー部を振動可能に支持する本体部は、本体枠の内側底面に固定され、周囲を本体枠の側壁部で囲まれている。そして、本体枠の外側底面部を固定治具の取付面に当接させ、側壁部の上端部に押圧部材を所定押圧力で当接させて該本体枠を固定治具に取り付ける。その後、本体部に固着された圧電素子を駆動し、ミラー部の共振振動時の該ミラー部の共振周波数と該圧電素子の駆動電圧を測定する。そして、駆動電圧が所定規格値の最大値より大きい場合には、押圧部材の押圧力を増加させて、圧電素子を駆動し、ミラー部を共振振動させる該圧電素子の最小駆動電圧と、その時のミラー部の共振周波数とが共に所定規格値の場合には、その時の押圧部材の押圧力を取付用押圧力として取得する。 （もっと読む）

【課題】基板の上面と可動部の下面が対向しており、基板の上面が可動部の揺動軸に近い側で高く、遠い側で低くなる向きに傾斜している光偏向装置の製造方法を提供する。
【解決手段】 上面の高さを高くする部分ではエッチングホールが小さく、上面の高さを低くする部分ではエッチングホールが大きいという規則に従っている複数のエッチングホールを有するエッチング用マスクを材料ウェハの上面に形成するエッチング用マスク形成工程と、エッチングホールを通して材料ウェハを異方性エッチング処理する異方性エッチング工程と、異方性エッチング工程の後にエッチングホールを通して材料ウェハを等方性エッチング処理し、材料ウェハの上面に傾斜面を形成する等方性エッチング工程と、材料ウェハの傾斜面に犠牲層を形成する犠牲層形成工程と、犠牲層の上面に可動部およびミラーを形成する可動部形成工程と、可動部形成工程の後に犠牲層を除去する犠牲層除去工程とを含む。 （もっと読む）

【課題】ミラーを振動可能に維持する可動枠と、可動枠を振動可能に維持する支持枠とを有する２次元光スキャナにおいて、空気の逃げ道のためにミラーと可動枠との間及び可動枠と支持枠との間に空虚を設けていたので装置が大型化していた。
【解決手段】空洞部１１ａを有する半導体基板の可動枠１１にミラーＭ、ミラーＭを振動可能に支持する１対のトーションバー１２ａ、１２ｂ、２対の圧電アクチュエータ１３ａ、１２ｂ；１４ａ、１４ｂを形成する。空洞部２１ａを有する半導体基板支持枠２１に、可動枠１１、可動枠１１を振動可能に支持する１対のトーションバー２２ａ、２２ｂ、２対の圧電アクチュエータ２３ａ、２３ｂ；２４ａ、２４ｂを形成する。空気の逃げ道として、可動枠１１に複数の貫通孔１５を設ける。 （もっと読む）

【課題】小型化することが可能な走査光学系およびそれを備えたプロジェクタを提供する。
【解決手段】レーザ光を出射するレーザ光源部１と、出射されたレーザ光を平行化するレンズ光学系１１、１７、１９と、平行化されたレーザ光を所定の光路に導光する複数の光学部品と、導光されたレーザ光を投影面４１に向けて反射する走査ミラー３を有し、該走査ミラー３を二次元走査することによりレーザ光の走査を行う走査部２と、光学部品により導光されて入射する前記レーザ光を走査ミラー３に向けて反射する投射部材（投射ミラー８、投射プリズム８１）と、を備える走査光学系１０およびそれを備えたプロジェクタ１００とし、投射部材に入射する入射光Ｒ１と走査ミラー３から射出する射出光Ｒ３とを交差させる位置に、前記投射部材を配置する構成とした。 （もっと読む）

【課題】マイクロミラーを有する光偏向器の気密封止パッケージの光学透過窓において、製造コストを低下させ、かつ、パッケージを小型化できる反射防止機能構造を提供する。
【解決手段】表面側封止部材１は、放物線状凹凸構造の反射防止構造を有する光学透過窓１１を有するたとえばガラスよりなる。光偏向器２は、マイクロミラー２１、マイクロミラー２１をX軸に対して揺動させるための支持体２２、マイクロミラー２１をY軸に対して揺動させるための支持体２３及び貫通電極２４を有する。裏面側封止部材３は、貫通電極３１及びAu電極３２を有するたとえばガラスよりなる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、振動周波数を容易に調整でき、かつ迷光の発生しないミラー部を有する光スキャナを提供することを目的とする。
【解決手段】本発明の光スキャナ１は、ミラー部の周縁部から外方向に延出して設けられるトリミング部の、前記ミラー部の反射面が設けられている側の表面の光反射率が、エッチングによって前記ミラー部と比較して低くなるように構成されることにより、前記トリミング部が振動周波数調整のための加工を行う際に除去されない場合でも、ミラー部と比べて入射した光束を反射しにくいため、トリミング部に由来する迷光を最小限に抑えることが可能となり、高精度での走査が可能となる。 （もっと読む）

【課題】気密封止光偏向器パッケージを有する画像表示装置における往復走査の同期方式はパッケージ外に設けた光ビーム検出器の検出信号に基づいて行っていたために、有効光ビームへの影響が大きく、装置が大型化する。
【解決手段】封止ガラス１は中央に光学透過窓１１を有し、その周辺に遮光カバー１２ａが形成された遮光部１２を有する。光偏向器２をセラミック実装基板３のキャビティ３ａ内に配置し、セラミック実装基板３のキャビティ３ａを封止ガラス１によって気密封止してある。有機薄膜フォトセンサ４ａ、４ｂはパッケージ内部にあって、光偏向器２のマイクロミラー２１から反射される走査光ビームが通過する光学透過窓１１の極近傍に設けられている。 （もっと読む）