【課題】揺動駆動時における駆動電圧の低減と、ミラー歪みの低減とが可能な光スキャナを提供すること。
【解決手段】光スキャナ１００は、ミラー部１１０と、一組の第１梁１１１と、枠部１１２と、一組の第２梁１２０と、固定部１４０と、圧電駆動部１３０とを備える。一組の第１梁１１１は、揺動軸線ＡＲを含む平面上で、ミラー部１１０から離れる方向にミラー部から延出する。枠部１１２は、ミラー部１１０を囲むように配置され、一組の第１梁１１１が接続される。一組の第２梁１２０は、揺動軸線ＡＲに沿う方向に、枠部１１２から延出する。固定部１４０には、一組の第２梁１２０が接続される。ミラー部１１０の重心ＣＭは、一組の第２梁１１１を揺動軸線ＡＲに沿う方向に結ぶ第２梁延長線ＥＬ２に対して、揺動軸線ＡＲに直交する方向に離間する。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で可動板の撓みを抑制することができるとともに、迷光の発生を抑制することができ、被投影面に所望の画像を高品質に描画することのできる光スキャナおよび画像形成装置を提供すること。
【解決手段】光スキャナ１は、一方の面側に光反射性を有する光反射部２１１を備える可動板２１と、可動板２１を支持する支持部２２と、支持部２２に対して可動板２１を回動可能とするように、支持部２２と可動板２１とを連結する一対の連結部２３、２４とを有し、可動板２１には、可動板２１の回動による光反射部２１１の撓みを抑制する貫通孔２５、２６が形成されおり、貫通孔２５、２６は、可動板２１の光反射部２１１と反対側の面から光反射部２１１側の面に向けて横断面積が漸減するテーパ状をなしている。 （もっと読む）

【課題】弾性支持部の破断を防止することができる光偏向器の製造方法を提供する。
【解決手段】反射膜１１を有する可動板１０を形成する工程と、可動板１０とは異なる部材で、可動板１０を取り付けるための取付部２１と、取付部２１に取り付けられた可動板１０を所定の軸の周りに回動可能に支持する弾性支持部２２とを有する軸部材２０と、軸部材２０と連結する支持部材３０とを一体で形成する工程と、軸部材２０と支持部材３０に丸め処理を施す工程と、取付部２１に可動板１０を取り付ける工程とを備える。 （もっと読む）

【課題】外部衝撃による破損およびそれによるコストアップを抑制できるＭＥＭＳデバイス、およびその製造方法を提供する。
【解決手段】フレーム１１１と、フレームと同じ層に形成され、フレームに対して相対運動可能に一対のトーションバネ１１３によりフレームの内側に連結された駆動体１１５と、駆動体の高さ方向変位を制限する上昇ストッパ１４０および下降制限ストッパ１５０と、を備えたＭＥＭＳデバイスであり、駆動体は周辺部を備えており、外部衝撃が加えられて駆動体が急激に上昇する場合には駆動体の周辺部が上昇制限ストッパの一端部１４１にひっかかり、外部衝撃が加えられて駆動体が急激に下降する場合には下降制限ストッパの一端部１５１がフレームにひっかかることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】可動部の振動特性（Ｑ値）を簡易に調整できるプレーナ型アクチュエータを提供する。
【解決手段】可動部４に備えられる駆動コイル５への通電を行うアルミニウム配線６ａ，６ｂを、固定部２に対して可動部４を揺動可能に支持するトーションバー３ａ，３ｂ上に形成する。また、トーションバー３ａ，３ｂ上に、アルミニウム配線６ａ，６ｂを挟んで線対称に、可動部４の振動特性（Ｑ値）を調整するための特性調整部１１を、アルミニウム配線６ａ，６ｂと同じ材料又はアルミニウム配線６ａ，６ｂの配線保護膜と同じ材料によってアルミニウム配線６ａ，６ｂ又は配線保護膜の形成工程で同時に形成する。そして、特性調整部１１の形成パターンの選択によって、可動部４の振動特性（Ｑ値）を要求特性（要求Ｑ値）に調整する。 （もっと読む）

【課題】確実に、内部空間（可動板が設けられている空間）の気密性を確保することができるアクチュエータ、光スキャナおよび画像形成装置を提供すること
【解決手段】アクチュエータ１は、内部空間Ｓを画成する壁部を有するパッケージ２と、内部空間Ｓに回動可能に収容された可動板３２と、可動板３２の一方の面側に設けられた永久磁石４１と、コイル（駆動用コイル４２、挙動検知用コイル５１）とを有し、前記コイルは、少なくとも一部がパッケージ２の壁部に埋設されており、永久磁石４１と対向するように、または永久磁石４１が内側に位置するように設けられている。 （もっと読む）

【課題】反射部以外での光の反射を防止できる光偏向器を提供する。
【解決手段】反射膜１１を有する可動板１０と、可動板１０とは異なる部材で、可動板１０を取り付けるための取付部２１と、取付部２１に取り付けられた可動板１０を所定の軸の周りに回動可能に支持する弾性支持部２２とを有する軸部材２０と、軸部材２０と連結された支持部材３０を備え、弾性支持部２２の表面に光吸収膜２３が、支持部材３０の表面に光吸収膜３３が設けられている。 （もっと読む）

【課題】静電駆動式でミラーを揺動させ、光ビームを偏向させる光学装置において、可動部に設置されたミラーの傾斜角を精度よく調整する。
【解決手段】基板と可動部のうちのいずれか一方の部材に固定されているとともに他方の部材に向かって突出している第１突起部および第２突起部を備えている。第１突起部が第２突起部よりも、基板に垂直な方向の高さが高く、第１突起部が第２突起部よりも、可動部の揺動軸に近い位置に設置されている。基板に対して可動部が最大傾斜角で傾斜した場合に、第１突起部および第２突起部が、前記した他方の部材に当接する。これによって、可動部の傾斜角が精度よく調整される。 （もっと読む）

【課題】ミラーと弾性支持部を連結するための接着剤が、弾性支持部へ付着してばね定数が変化することを防止する。
【解決手段】反射膜１１を有する可動板１０と、可動板１０とは異なる部材で、磁石４０を介して可動板１０取り付けるための取付部２１と、取付部２１に取り付けられた可動板１０を所定の軸の周りに回動可能に支持する弾性支持部２２と、を有する軸部材２０と、を備え、取付部２１は、取付面に、溝内に接着剤２５が存在する溝２３と、接着剤２５が存在しない溝２４を有しており、溝２４は溝２３よりも弾性支持部２２に近い位置に設けられている。 （もっと読む）

【課題】消費電力が小さく、走査レンズの温度上昇、光走査装置の温度偏差や振動を低減して画像の経時安定性を確保し、プリント画像の倍率誤差を低減する。
【解決手段】駆動信号とＰＤａとの位相差は位相比較器とカウンタにより計測し、基準となる共振周波数との差分を演算して、差分が許容値範囲外であれば駆動周波数を変化させ、共振周波数に一致させるように調整する。許容値設定は共振周波数の変動で生じる振幅低下を補正できる限界値から設定される。振幅低下を補正（振幅一定の制御）するために、駆動電圧を上昇させる駆動回路の耐圧、および振動ミラーの許容耐圧のどちらか低い方に差分の許容値を決める。共振周波数と駆動周波数の差異検出は、振動ミラー振幅を一定に制御した状態で行われ、駆動電圧の周波数調整タイミングは、偏向走査ビームの走査特性が変わるため、被走査面領域をレーザビームが走査していない非画像形成中のタイミングで行う。 （もっと読む）

【課題】 検出コイルの設置スペースを大きく確保することができ、Ｓ／Ｎ比を増大させて可動部の正確な位置検出を行うことのできるプレーナ型アクチュエータを提供する。
【解決手段】 デバイス基板に設置された枠状の固定部２と、固定部２の内側にトーションバー５を介して可動自在に支持され駆動手段により駆動される可動部６と、可動部６に設置され可動部６を駆動するための渦巻き状に形成された駆動コイル７と、駆動コイル７のコイル配線の間に沿って設置され可動部６の動作を検出する検出コイル９と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】真円状の加工穴を形成することができるレーザ加工機を得る。
【解決手段】レーザ発振器１１と、第１スキャンミラー１２ａを有しその第１スキャンミ
ラーを軸の周りに揺動させ、第２スキャンミラー１２ｂを有しその第２スキャンミラーを
、前記第１スキャナミラーが揺動する軸とほぼ直交する軸の周りに揺動させるガルバノス
キャナ１３とを備え、前記レーザ発振器１１から出射されたレーザ光が前記第１スキャン
ミラー１２ａから前記第２スキャンミラー１２ｂを経て走査されるレーザ加工機にあって
、前記スキャンミラーには偏光制御膜が施されており、一方はＳ波の位相をＰ波に対して
遅らせるミラーであり、他方はＰ波の位相をＳ波に対して遅らせるミラーである。 （もっと読む）

【課題】走査ミラーを用いた画像表示装置において、使用時における走査ミラーの温度変化、レーザ光源の温度変化、振動等で発生し、時々刻々と変化する特性に即座に対応することが不可能になっていた。
【解決手段】前記画像処理部からの電気信号を受けて、前記レーザ光源の出力タイミングを制御する第１のゲート回路と、前記得レーザ光を受光し、光の強度情報を受光電気信号に変更する受光器と、前記受光器で発生した受光電気信号を取得するコントローラ回路と、前記受光器で発生した受光電気信号のうち、前記コントローラ回路が前記受光電気信号を取得する信号取得タイミング信号を発生するクロック回路と、を備え、前記コントローラ回路は、前記信号取得タイミング信号に応じて取得した受光電気信号から、前記レーザ光源の出力タイミングのシフト量を算出する。 （もっと読む）

【課題】可動部の揺動を検出するためのピエゾ抵抗素子によってトーションバーの幅が制約されることがなく、かつ、可動部の揺動に伴ってピエゾ抵抗素子の抵抗値を大きく変化させて、高い検出精度が得られるプレーナ型アクチュエータを提供する。
【解決手段】アクチュエータ１は、枠状の固定部２と、一対のトーションバー３ａ，３ｂと、可動部４とを備え、前記可動部４は、前記一対のトーションバー３ａ，３ｂを介して前記固定部２の開口部に揺動可能に支持される。前記固定部２のトーションバー３ａが接続される部分、及び、固定部２のトーションバー３ｂが接続される部分に、トーションバー３ａ，３ｂの軸を挟んで、ピエゾ抵抗素子１０ａ〜１０ｄを配置する。そして、ピエゾ抵抗素子１０ａ〜１０ｄの抵抗値変化によって出力電圧が変化するブリッジ回路を構成し、ブリッジ出力から前記可動部４の揺動を検出する。 （もっと読む）

【課題】可動板の質量を増やすことなく、配線が比較的な動歪補正手段を備えた光偏向器を提供する。
【解決手段】可動板２０１の裏面に動歪補正手段として、動歪補正用圧電素子２２０、２３０、２３１を設ける。そして、駆動梁２０４の裏面の駆動用圧電素子２１０の上部電極、下部電極をトーション梁２０３を通し、動歪補正用圧電素子２２０の上部電極、下部電極には電極逆転部２４０、２５０を介して接続し、動歪補正用圧電素子２３０、２３１の上部電極、下部電極にはそのまま接続する。可動板２０１上の動歪は、トーション梁２０３と平行な方向では駆動梁２０４の反り変形と同じ方向に発生し、トーション梁に直交する方向では駆動梁２０４の反り変形と逆方向に発生する。該動歪は、駆動用圧電素子２１０と同位相及び逆位相で動歪補正用圧電素子２２０、２３０を駆動することで軽減される。 （もっと読む）

【課題】非線形な周波数特性を有する光スキャナであって、大きな偏向角を得ることと外乱に対して安定な駆動とを両立した定常駆動が可能な光スキャナ、この光スキャナを備えた画像表示装置、光スキャナの駆動方法を提供すること。
【解決手段】第１共振周波数よりも低い周波数値からアップスイープすることで（ステップＳＡ１〜ＳＡ３）、偏向下落現象が検知できる（ステップＳＡ９）。偏向下落現象が発生したと判断された駆動周波数よりも低い周波数値が、目標駆動周波数として決定される（ステップＳＡ１３）。第１共振周波数よりも低い周波数値から目標駆動周波数まで駆動周波数を再アップスイープすることで（ステップＳＡ１４〜ステップＳＡ２１）、非線形な周波数特性を有する光スキャナを、大きな偏向角を得ることと外乱に対して安定な駆動とを両立した定常駆動することが可能になる。 （もっと読む）

【課題】走査開始位置のずれの発生を抑制する光走査装置および画像形成装置を提供する。
【解決手段】画像形成装置１はレーザ走査装置２を備えており、レーザダイオード２１が出射したレーザビームＬＢを偏向ミラー２５により偏向して感光体ドラム５の潜像形成領域５０上を往復走査する。レーザ走査装置２は、光ビームＬＢの走査範囲の両端部に、ビーム検知センサ２３Ｌ１と２３Ｌ２、２３Ｒ１と２３Ｒ２を備えている。各ビーム検知センサがレーザビームの走査時に出力する信号の大きさが入れ替わるタイミングを論理回路５１〜５４で検出し、レーザビームの走査方向に応じて論理回路が出力する信号を選択して、論理回路で検出したタイミングに基づいてレーザビームによる潜像の形成開始位置と、偏向ミラーの走査範囲を制御する。レーザビームのスポットが変形しても、論理回路で検出するタイミングは殆ど変化しないので、潜像の形成開始位置のずれを抑制できる。 （もっと読む）

【課題】小さな駆動電圧で、光スキャナの大きな光学振れ角を得られる光スキャナを提供する。
【解決手段】光スキャナ１は、ミラー部２と、可動梁３と、一対の駆動部４ａ、４ｂと、固定部５とを備えている。ミラー部２は、揺動軸線ＳＷの回りに揺動可能で、入射した光束を反射して、走査する反射面６を備える。可動梁３は、一対の支持梁７ａ、７ｂと、一対の延出梁８ａ、８ｂと、４つの連結梁９ａ〜９ｄとを備える。一対の支持梁７ａ、７ｂは、Ｘ軸方向に、即ち揺動軸線ＳＷに平行な方向にミラー部２の両側から延出する。駆動部４ａ、４ｂは、各々、一対の連結梁９ａ、９ｂと固定部５とに跨って設けられる。ミラー部２の重心ＧＣは、延長線ＸＴに対して、駆動部４ａ、４ｂとは反対の側ＣＳに位置する。 （もっと読む）

【課題】 ミラー部を駆動させると共にミラー部の動きを検出可能とし、かつ、従来よりも小型化が可能な光偏向器及びこれを用いた画像表示装置を提供する。
【解決手段】 光偏向器１は、外部から照射された光を反射する反射面Ａ２１及び上記光を通過させるピンホール２２ｂ，２２ｄを有するミラー部２１と、ピンホール光偏向器を通過した光を受光する受光部１１ｂ，１１ｄと、ミラー部２１を所定の回転軸２１ａで駆動させ反射面Ａ２１で反射した光を所定の方向に偏向させる駆動手段３０ａ，３０ｂと、を備える。受光部１１ｂ，１１ｄは回転軸２１ａに直交する方向に対して幅が異なる形状を有している。 （もっと読む）

【課題】構造、構成が簡素であり、ミラーをより大きな角度で傾けることが可能であり、しかも、Ｘ方向及びＹ方向の２方向への駆動の際、クロストークが生じ難いミラー構造体を提供する。
【解決手段】ミラー構造体１０Ａは、（Ａ）ミラー本体部２２、及び、該ミラー本体部２２の表面に設けられた光反射層２１を備えたミラー２０、（Ｂ）ミラー本体部２２の裏面２３に上端部３０Ａが固定された複数の支柱３０、（Ｃ）それぞれの支柱３０の下端部３０Ｂに一端部４０Ａが固定された変位部材４０、並びに、（Ｄ）変位部材４０の他端部４０Ｂを固定する支持部６０から成る。 （もっと読む）