【課題】 照射光の照射距離の相違に起因して生じる照射むらを抑制可能な光偏向器を提供する。
【解決手段】 光偏向器Ａ１は、光源からの光を反射するミラー部１の中心において直交する第１軸線ｘ２と第２軸線ｘ１のうち、第１軸線ｘ２周りの第１角度範囲でミラー部１を往復回動させる第２の圧電アクチュエータ１０ａ，１０ｂと、第２軸線ｘ１周りの第２角度範囲でミラー部１を往復回動させる第１の圧電アクチュエータ４０ａ，４０ｂとを備える。第２の圧電アクチュエータ１０ａ，１０ｂは、ミラー部１の回動速度を、往復回動の往動では漸増し、復動では漸減することで、遠方の照射地域の水平方向走査線の密度を増大する。 （もっと読む）

【課題】 反射面を有するミラー部と、これを駆動する圧電アクチュエータとを備え、二次元方向に駆動可能で小型化できる光偏向器を提供する。
【解決手段】 光偏向器１は、ミラー部２と、駆動電圧の印加により屈曲変形する第１圧電体６１ａ〜６１ｄ及び第２圧電体６２ａ〜６２ｄを支持する圧電カンチレバー３１ａ〜３１ｄを有する一対の圧電アクチュエータ３ａ，３ｂとを備える。一対の圧電アクチュエータ３ａ，３ｂは、ミラー部２を挟んで対向するように配置される。第１圧電体６１ａ〜６１ｄに電圧が印加されると、ミラー部２を複数の圧電カンチレバー３１ａ〜３１ｄの並び方向に平行な第１軸ｘの周りに駆動し、第２圧電体６２ａ〜６２ｄに電圧が印加されると、ミラー部２を第１軸ｘと直交する第２軸ｙの周りに駆動する。 （もっと読む）

【課題】少なくとも１つの軸の回りのミラーの回転角を推定することができる走査型ミラーデバイスを提供する。
【解決手段】少なくとも１つの軸の回りに回転可能に取り付けられているマイクロシステム走査型ミラー２と、光ビーム１３を発する光源１４及び位置検出器１９、２５、２６を有する検出モジュール３とを有する走査型ミラーデバイスであって、検出モジュール３は、後方からミラー７上に光ビーム１３を誘導し、その結果、光ビーム１３は、マイクロシステム走査型ミラー２の背面で、位置検出器１９、２５、２６に反射され、位置検出器１９、２５、２６は、反射された光線ビーム２０の位置を測定し、測定された位置から、少なくとも１つの軸の回りのミラー７の回転角を推定する。 （もっと読む）

【課題】ミラーの動的変形を抑制し、かつ、高速駆動を実現することができる光偏向装置並びに光走査装置、画像投影装置および画像形成装置を提供する。
【解決手段】一対のトーションバースプリング２０ａ，２０ｂを介して一対の駆動部３０ａ，３０ｂの自由端に支持されているミラー部１０の反射面１０ａと反対側の面である裏面１０ｂに、ミラー部１０を補強する細長く直線状に盛り上がった畝状の補強リブ１１が複数設けられている。具体的には、補強リブは、ミラー部１０の回動軸方向と直交する方向に延びる複数の第１補強リブ１１ａと、ミラー部１０の回転中心に設けられ、ミラー部１０の回動軸方向に延びる第２補強リブ１１ｂとを備えている。 （もっと読む）

【課題】ミラー部の偏向角を直線的に変化させ得る期間が短くなりすぎないようにしつつ、ミラー部の高周波振動の発生が抑制されるように該ミラー部の揺動を行なうことができる光偏向器の駆動装置を提供する。
【解決手段】ミラー部１を揺動軸Ｘ２の周りに揺動させる圧電アクチュエータ１０ａ，１０ｂは、複数の圧電カンチレバー３(i)（ｉ＝１，２，３，４）を連結して構成され、圧電アクチュエータ１０ａ，１０ｂの一端及び他端のいずれか一方側から偶数番目の圧電カンチレバー３（偶数）と、奇数番目の圧電カンチレバー３（奇数）とのいずれか一方を圧電駆動する駆動電圧は、ノコギリ波状の２つの電圧信号を、所定の位相差だけ位相をずらした状態で合成することにより得られる波形の電圧信号である。圧電カンチレバー３（偶数）及び圧電カンチレバー３（奇数）の他方を圧電駆動する駆動電圧は一方を圧電駆動する駆動電圧の逆位相の波形とされる。 （もっと読む）

【課題】ミラーにおける反射面の平面精度の低下を抑制しミラーの回転角度を検出できる。
【解決手段】ミラー１２とトーションバースプリング１３との接続部分の近傍で検出部材１６ａ、１６ｂの固定端がミラー１２の端部の一部に接続される。各検出部材は片持ち状の梁の片面に圧電部材１６−１が積層され形成される。この各検出部材は、接続部分Ｃにおいて固定端１６−４によりミラー１２の一部の端部に接続されている。この各検出部材はミラー１２の回転軸と略直交する方向に延びている。ミラー１２が揺動すると固定端１６−４を介して検出部材１６の自由端がミラーの揺動による慣性力を受けて各検出部材１６ａ、１６ｂが揺動し圧電部材１６−１が伸縮する。圧電部材１６−１の上下面に電位差を生じこの電位差はミラー１２の変形とある一定の相関をもっている。よって、電位差信号を演算することでミラー１２の回転角度を検出することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】ミラー部の偏向角を直線的に変化させ得る期間が短くなりすぎないようにしつつ、ミラー部の高周波振動の発生が抑制されるように該ミラー部の揺動を行なうことができる光偏向器の駆動装置を提供する
【解決手段】ミラー部１を揺動軸Ｘ２の周りに揺動させる圧電アクチュエータ１０ａ，１０ｂは、複数の圧電カンチレバー３(i)（ｉ＝１，２，３，４）を連結して構成され、圧電アクチュエータ１０ａ，１０ｂの一端及び他端のいずれか一方側から偶数番目の圧電カンチレバー３（偶数）と、奇数番目の圧電カンチレバー３（奇数）とのいずれか一方を圧電駆動する駆動電圧は、周波数が異なる正弦波Ｓａ，Ｓｂのそれぞれの半周期分の波形を連接して構成される。圧電カンチレバー３（偶数）及び圧電カンチレバー３（奇数）の他方を圧電駆動する駆動電圧は一方を圧電駆動する駆動電圧の逆位相の波形とされる。 （もっと読む）

【課題】ミラー部を揺動駆動するための圧電アクチュエータを構成する圧電カンチレバーをノコギリ波状の駆動電圧により圧電駆動しつつ、ミラー部の高周波振動の発生が抑制されるように該ミラー部の揺動を行なうことができる光偏向器の駆動装置を提供する。
【解決手段】ミラー部１を揺動軸Ｘ２の周りに揺動させる圧電アクチュエータ１０ａ，１０ｂは、複数の圧電カンチレバー３(i)（ｉ＝１，２，３，４）を連結して構成され、圧電アクチュエータ１０ａ，１０ｂの一端及び他端のいずれか一方側から偶数番目の圧電カンチレバー３（偶数）を圧電駆動する第１駆動電圧と、奇数数番目の圧電カンチレバー３（奇数）を圧電駆動する第２駆動電圧とを逆位相のノコギリ波状の電圧とする。第１駆動電圧と第２駆動電圧との間の位相差が、ミラー部１の高周波振動が発生するのを抑制するように設定される。 （もっと読む）

【課題】駆動感度を損なうことなく、ミラー面垂直方向の加重に対する可動部の耐性が向上された光偏向器を提供する。
【解決手段】光偏向器１００は、ミラーユニット１１０と電極基板１４０を備えている。ミラーユニット１１０は、可動部１１２と一対の複合トーションバー１１４と一対の固定部１１６を備えている。一対の複合トーションバー１１４は、可動部１１２が固定部１１６に対して回転軸１１８の周りに回転変位すなわち傾斜し得るように可動部１１２と固定部１１６を機械的に接続している。各複合トーションバー１１４は、回転軸１１８に平行に延びている複数のトーションバーと、隣接する各二つのトーションバーの一端を互いに連結している複数の連結バーで構成されている。複数のトーションバーは、回転軸１１８に近いものよりも回転軸１１８から遠いものの方が高いねじり剛性を有している。 （もっと読む）

【課題】製造プロセスが簡便で、安定した制御が可能な光走査素子を提供する。
【解決手段】梁部１３ａ，１３ｂは、光を反射するミラー部１４がＸ軸方向の揺動可能なように、ミラー部１４を支持する。アーム部１２ａ，１２ｂは、梁部１３ａ，１３ｂを支持し、駆動されることによりミラー部１４をＸ軸方向に揺動させる。フレーム部１１は、アーム部１２ａ，１２ｂを支持する。駆動用圧電膜２１ａ，２１ｂは、アーム部１２ａ，１２ｂのＸ軸方向における一端側に設けられ、変位することによりアーム部１２ａ，１２ｂを駆動する。検出用圧電膜２２ａ，２２ｂは、アーム部１２ａ，１２ｂのＸ軸方向における他端側に設けられ、変位されることによりアーム部１２ａ，１２ｂの駆動を検出する。駆動によるアーム部１２ａ，１２ｂの他端側の振幅は、一端側の振幅より小さい。 （もっと読む）

【課題】消費電力、製造コスト、面積が小さく、光ビームを大きな角度に２軸方向に走査可能な光走査素子を提供する。
【解決手段】アーム部２３は、ミラー部２１がＸ軸方向の揺動可能なように、ミラー部２１を支持する。上層可動フレーム部２５は、アーム部２３を支持する。下層可動フレーム部３５は、上面に複数の凸部３２を有し、上面と上層可動フレーム部２５の下面との間に間隙を有するように、複数の凸部３２により上層可動フレーム部２５の下面に接合される。固定フレーム部（２０，３０）上層可動フレーム部２５及び前記下層可動フレーム部３５が、Ｘ軸方向と直交するＹ軸方向の揺動可能なように、上層可動フレーム部２５を支持する。 （もっと読む）

【課題】走査精度の低下を招くことなく、小型化と低価格化を図ることができる光走査装置を提供する。
【解決手段】 光源ユニットは、光源及びカップリングレンズを有し、それらはホルダ１０に取り付けられている。このホルダ１０は、光源支持部材１１、第１傾斜部材、第２傾斜部材、及びレンズ保持部材１４を有している。第１傾斜部材は、２つの部材（１２_１、１２_２）が基準面上に貫通孔を挟んで第１の方向に並んで配置され、表面が基準面に対して傾斜角θａで傾斜している。第２傾斜部材は、２つの部材（１３_１、１３_２）が基準面上に貫通孔を挟んで第１の方向に直交する第２の方向に並んで配置され、表面が基準面に対して傾斜角θｂで傾斜している。 （もっと読む）

【課題】従来の光偏向器においては、駆動電圧をフルに駆動用圧電アクチュエータに印加することによって行っているので、所定の駆動力を得るには、駆動用圧電アクチュエータを大型化しなければならず、消費電力を小さくさせる。
【解決手段】ミラー２は矩形反射面を有し、支持体１の空洞部１ａ内に位置する。１対のトーションバー３、４はミラーを揺動可能に支持する。トーションバーの支持体側に作用する駆動用圧電アクチュエータ５、６、７、８を設け、トーションバーのミラー側に作用する駆動兼検出用圧電アクチュエータ９、１０、１１、１２を設ける。制御ユニットＵ２は駆動兼検出用圧電アクチュエータの検出電圧Vの振幅に応じて駆動用圧電アクチュエータの駆動電圧及び駆動兼検出用圧電アクチュエータの駆動電圧を制御する。 （もっと読む）

【課題】ミラーを高精度に駆動でき、高精細の画像を表示できる画像表示装置を提供する。
【解決手段】ミラー２１０は、ホルダ２５０とカバー２５１により気密状態に保持されているので、空気抵抗が大きく、ミラー面積が大きいことも相まって、リンギングを抑制して精度良い低周波の非共振駆動を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、光走査装置等の構造体のパッケージングを行う場合に、温度上昇に伴う特性低下を防止することができる構造体を提供することを目的とする。
【解決手段】表面の所定領域３２、３６内に電極パッド３１、３５を有する第１の部品４０、４２、４３が、第２の部品５０、５３、５６上に接着剤６０、６１、６２で接着固定され、該第２の部品５０、５３、５６が端子パッド７１、７４、７７を有する基板７０、７３、７６上に接着固定され、前記電極パッド３１、３５と前記端子パッド７１、７４、７７とが超音波ボンディングされた構造体であって、
前記第２の部品５０、５３、５６は、前記第１の部品４０、４２、４３との接着面の前記所定領域３２、３６と重なる領域にボス５１、５４、５７を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】環境の変動に関わらず常に正確な角度情報を得ることができる光走査装置を提供することに。
【解決手段】光源と、該光源から出射される光ビームを偏向するＭＥＭＳミラー２６と、前記光源から出射される光ビームを前記ＭＥＭＳミラー２６上に線状に結像させる結像素子と、前記ＭＥＭＳミラー２６によって偏向された光ビームを被走査面上に結像させる走査レンズと、前記ＭＥＭＳミラー２６によって偏向された光ビームを検知する受光素子３１を備えた光走査装置において、前記受光素子３１を前記ＭＥＭＳミラー２６の揺動中心の両側端部に設ける。 （もっと読む）

【課題】フレア光の発生を抑えつつ、ＭＥＭＳミラーの動作の安定化を図ることができる光走査装置を提供することに。
【解決手段】レーザーダイオード（光源）と、該レーザーダイオードから出射される光ビームを偏向するＭＥＭＳミラーと、前記レーザーダイオードから出射される光ビームを前記ＭＥＭＳミラー上に線状に結像させる自由曲面ミラー（結像素子）と、前記ＭＥＭＳミラーによって偏向された光ビームを被走査面上に結像させる走査レンズ３３，３４を備えた光走査装置１３において、パッケージ壁３１とその開口部を覆うパッケージカバー及びカバーガラス３０によってＭＥＭＳ室３１を形成し、該ＭＥＭＳ室３１に前記レーザーダイオードと前記ＭＥＭＳミラー及び前記自由曲面ミラーを収容するとともに、ＭＥＭＳ室３１を気密封止する。 （もっと読む）

【課題】可動板を互いに直交する２つの軸のそれぞれの軸まわりに安定して回動させることのできる光スキャナーおよび画像形成装置を提供すること。
【解決手段】基台１２に載置した固定部１３に連結された駆動梁４３，５３，６３，７３が変位部４１，５１，６１，７１に接続され、変位部４１，５１，６１，７１に接続した可動梁４２，５２，６２，７２のもう一方の先端に配置された可動部２０１，２０２，２０３，２０４に、光反射部材２０を支持する支持部材２３が固定される。このため、固定部１３と基台１２の固着によって発生する各可動梁及び各駆動梁の歪みを緩和することができ、破損を防止しながら安定的に駆動する光スキャナー１を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】小型化を図ることができるとともに、可動板を安定して、できる限り大きく回動させることができるアクチュエーター、光スキャナーおよび画像形成装置を提供すること。
【解決手段】光スキャナー１は、光反射性を有する可動板２と、可動板２の外周側で可動板２を支持する支持部３と、可動板２と支持部３とを連結し、可動板２の外周部にその周方向に沿って等間隔に配置された連結部４〜７とを有している。各連結部４〜７は、それぞれ、可動板２と離間配置され、支持部３に対して回動可能な駆動部４１と、可動板２と駆動部４１とを連結する長尺状をなす第１の軸部４２とを備えている。第１の軸部４２は、その一端が可動板に連結される可動板側連結点４２４となり、他端が駆動部４１に連結される駆動部側連結点４２５となるものであり、可動板側連結点４２４が可動板２を介して駆動部側連結点４２５と反対側に配置されている。 （もっと読む）

【課題】小型化を図りつつ、可動板を互いに直交する２つの軸のそれぞれの軸まわりに安定してかつ大きく回動させることのできるアクチュエーター、光スキャナーおよび画像形成装置を提供すること。
【解決手段】光スキャナー１は、支持部３と、光反射性を有する光反射部２２を備える可動板２と、支持部３に対して変位可能に設けられた駆動部４１と、駆動部４１と可動板２とを連結する第１の軸部４２とを備え、可動板２を支持部３に対して変位可能に連結する連結部４を含む４つの連結部と、駆動部４１の中心に対して可動板２側の規制位置で第１の軸部４２が可動板２の厚さ方向に変位するのを局所的に規制する１対の捩り梁部４４とを有し、駆動部４１の変位に伴って、１対の捩り梁部４４の規制位置を支点として第１の軸部４２を回動させる。 （もっと読む）