【課題】画像の明るさや画質を確保しながら小型化を実現できる光走査装置を提供すること。
【解決手段】本光走査装置は、光源素子と、前記光源素子から出射される光束が入射するカップリングレンズと、を含む入射光学系と、前記入射光学系から出射される光束を２次元的に偏向する光偏向器と、前記光偏向器により偏向された光束が入射する凹面ミラーと、前記凹面ミラーで反射された光束が入射して２次元像が形成される透過性を有する被走査面と、を含む走査光学系と、を有し、前記光偏向器の反射面による偏角の符号と、前記凹面ミラーによる偏角の符号とが互いに反対である。 （もっと読む）

【課題】レーザ光源を用いた安価なプロジェクタ装置を提供する。
【解決手段】レーザ光源２の出射光を、赤色蛍光を発する赤色蛍光体４、緑色蛍光を発する緑色蛍光体５、青色蛍光を発する青色蛍光体６のそれぞれに入射し、各蛍光体４〜６の蛍光光を光学系７で偏向して投光面２１に投光するプロジェクタ装置１において、レーザ光源２の出射光を、入力画像信号に規定された色、及び画素位置に応じて、赤色蛍光体４、緑色蛍光体５、及び青色蛍光体６のいずれかの所定の位置に入射する可動ミラー３を備える構成とする。 （もっと読む）

【課題】振動系を有する基体上に導体パターンを設けた構成において、比較的簡単に、長寿命化を図ることができるアクチュエーターの製造方法、アクチュエーター、光スキャナーおよび画像形成装置を提供すること。
【解決手段】光スキャナー１の製造方法は、基板をエッチングした後に平坦化処理することにより、所定の軸まわりに回動可能な可動部、可動部に連結された連結部、連結部を支持する支持部、可動部および連結部に対して基板を貫通する貫通孔２２５を介して離間するとともに支持部に対して構造的な強度が前記支持部よりも弱い脆弱部を介して接続された除去可能な除去部２６、を含む基体３０２を形成する第１の工程と、基体３０２の上方に導体パターン８を形成する第２の工程と、除去部２６を除去する第３の工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】大きな光偏向角が得られる光偏向装置、広範囲な範囲を走査できる光走査装置、大きさサイズの記録媒体への画像形成が可能となる画像形成装置及び大型スクリーンへの投影が可能となる画像投影装置を提供できる。
【解決手段】一対のトーションバースプリング１２、１３の一端がミラーの回動軸の仮想線から所定値オフセットしてミラー１１の両端縁に接続されている。一対のトーションバースプリング１２、１３の他端には一対のカンチレバー１４、１５の可動端がそれぞれ接続され、各カンチレバー１４、１５には圧電材料が積層されユニモルフまたはバイモルフ構造が形成されている。カンチレバー１４、１５の固定端は保持枠１６に接続されている。 （もっと読む）

【課題】 反射面を揺動するときの回転角を減少させることなく、反射面の揺動を検知できる光偏向器を提供する。
【解決手段】 光偏向器１は、反射部２を支持する第１支持部４と、これを支持する第２支持部６と、一端が第１支持部４に、他端が第２支持部６にそれぞれ連結され、圧電駆動により第１支持部４を第２支持部６に対して第２軸Ｘ周りに揺動させる第２圧電アクチュエータ５１，５２とを備える。第２圧電アクチュエータ５１，５２の圧電駆動により、第２支持部６に伝達される振動を検知する検知部７１，７２が第２支持部６に配置される。 （もっと読む）

【課題】ミラー部の傾向量を大きくできる光走査装置及びミラー駆動装置を提供する。
【解決手段】異なる２方向に傾向駆動するミラー部３と、電気機械変換素子部と、電気機械変換素子部で発生する変位をミラー部３の傾向に伝達する弾性変形部１２と、を一体に形成し、電気機械変換素子部は、正電極と負電極で挟まれた電気機械変換素子層を複数層積層して構成され、正電極と負電極とが対向していない非活性部１７Ａ、１７Ｂを固定枠４に固定した構成の光走査装置２とし、この光走査装置２を用いたミラー駆動装置１とした。 （もっと読む）

【課題】本発明は三次元構造体の製造効率の低下を招くことなく、電極パッドをシリコン基板に形成可能な三次元構造体の製造方法を提供すること。
【解決手段】本発明の三次元構造体の製造方法は、シリコン基板T、B、Hを用いて形成された三次元微細構造体の電極パッド１６P３、１６P４の形成領域１６P３’、１６P４’に金Ａｕを堆積させる金属堆積工程と、シリコン基板T、B、Hを熱により酸化させて金Ａｕの形成領域以外の表面にシリコンの酸化膜ＳiO₂を形成する酸化膜形成工程とを含む。 （もっと読む）

【課題】光スキャナの走査精度を向上させることが可能な光走査装置を提供する。
【解決手段】この画像投影装置１００（光走査装置）は、水平方向の共振モードを２つ有する光スキャナ１０と、この光スキャナ１０を駆動する駆動装置とを備えている。駆動装置は、２つの共振モードのいずれか一方を選択して、選択した共振モードで光スキャナ１０を水平方向に駆動する。 （もっと読む）

【課題】設計の自由度を向上させるとともに、印加電圧を少なくして偏向角を大きくする。
【解決手段】光スキャナOSは、外枠となる固定枠1と、主軸トーションバー3と、主軸トーションバー3の直交方向に長尺となるよう配設されるとともに、一端を主軸トーションバー3に接続し、他端を固定枠1に固定した片持ち梁構造の保持部41と、保持部41を変形させるための力を電圧印加に応じて生じさせる圧電素子42と、主軸トーションバー3を基準に揺動するミラー部21とを含む。駆動回路から圧電素子42に対して印加される電圧は、光スキャナOS自身の固有振動数に近似または一致するとともに、保持部41に、当該の保持部41の短手方向に対し交差する節を少なくとも1つ発生させる周波数である。保持部41は、前記短手方向におけるミラー部21側の部分のみで、主軸トーションバー3に接続される。 （もっと読む）

【課題】リサージュ描画を行う投影型表示装置において、走査線ができるだけ緻密な軌跡を描くように駆動周波数を設定し、高い解像度が得られる光走査装置を提供する。光源からの光束をリサージュ描画する際、駆動周波数によって軌跡が粗になったり、軌跡が経時変化したりするため動画を表示する際に解像度が低下する。
【解決手段】光束を射出する光源と、前記光束を第一の周波数ｆ_Ｈ及び第二の周波数ｆ_Ｌで略直交する二軸方向に走査する走査手段とを備えた光走査装置であって、前記走査手段は、前記第一の周波数ｆ_Ｈ及び前記第二の周波数ｆ_Ｌを所定の数式を用いて演算し、前記演算された第一の周波数ｆ_Ｈ及び第二の周波数ｆ_Ｌで前記光束を走査する。 （もっと読む）

【課題】製造コストが小さく、信頼性が高い光走査装置を提供する。
【解決手段】走査部１１は、２軸方向に揺動することにより光を走査する。梁部１２は、走査部１１が第１の方向の揺動可能なように、走査部１１を支持する。可動支持部１５は、梁部１２を支持する。駆動部１４は、走査部１１を第１の方向に揺動させるように駆動する。ワイヤ１７は、可動支持部１５が第１の方向と直交する第２の方向の揺動可能なように、一端側において可動支持部１５を支持し、駆動部１４と電気的に接続する。導電性材料３１は、ワイヤ１７の一端側と可動支持部１５とを固定する。固定支持部２１は、ワイヤ１７の他端側においてワイヤ１７を支持する。 （もっと読む）

【課題】品質良く光反射面が動作する光スキャナーを提供する。
【解決手段】光反射面９ａを支持する可動部８と、可動部８に一端が接続され、光反射面９ａと平行に延在する可動梁１０と、可動梁１０の他端に連結された変位部５と、変位部５に固定された永久磁石７と、可動梁１０の延長方向に変位部５から隔てて配置され、変位部５を駆動する駆動部１１と、変位部５に接続され可動梁１０と直交して変位部５を支持する駆動梁６と、駆動梁６が連結された固定部３と、固定部３が固定された基台２と、固定部３を基台２に固定する連結部４と、を備え、固定部３は第１孔部３ａを有し、基台２は第２孔部２ａを有し、連結部４は第１孔部３ａより大きい頭部４ａと第１孔部３ａを通過する本体部４ｂとを有し、本体部４ｂが第１孔部３ａを貫通し第２孔部２ａに挿入され、本体部４ｂの他端が基台２と接着剤４ｃを介して固着され、固定部３は頭部４ａと基台２とに挟まれて配置される。 （もっと読む）

【課題】走査面上での主走査方向のビーム径の変動を小さく抑えつつ等速走査を行光走査装置を提供する。
【解決手段】レーザーダイオード（光源）２５と、該レーザーダイオード２５から発せられる光ビームを偏向するＭＥＭＳミラー２８と、該ＭＥＭＳミラー２８によって偏向された光ビームを感光ドラム（走査面）２ａ（２ｂ〜２ｄ）上に結像させる複数の走査レンズ２９、３０を備えた光走査装置１３において、ＭＥＭＳミラー２８に最も近い走査レンズ２９の光学特性を、該走査レンズ２９に対して光ビームが次式：θ（ｔ）＝Ａ_１ｓｉｎωｔ＋Ａ_２ｓｉｎ（ｎωｔ）で表される偏向角特性で入射し、且つ、次式；


を満たすように光ビームを感光ドラム２ａ（２ｂ〜２ｄ）上に結像させるよう設定する。 （もっと読む）

【課題】揺動部の慣性モーメント或いは重心位置の調整を比較的大きな範囲で比較的高速に行うことが可能な光偏向器などの揺動体装置、その製造方法を提供する。
【解決手段】揺動体装置は、揺動部と弾性支持部305、306と支持体301とを備え、揺動部が弾性支持部により揺動軸304回りに揺動可能に支持されている。揺動部は、該揺動部の質量を調整するための突出部303、321を持つ可動子302、320で構成されている。突出部は可動子から揺動軸と平行な方向に突出しており、突出方向の何れの個所でも切断可能に形成されている。突出部の揺動軸を法線とする断面積は、揺動軸方向に一定である。
【選択図】図10
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【課題】製造における可動部の形状ばらつきを従来よりも小さくして、可動部の回動時の慣性モーメントを低減することができるアクチュエーター、光スキャナーおよび画像形成装置を提供すること。
【解決手段】光スキャナー１は、光反射性を有する光反射部２１１と、光反射部２１１を備え、かつ所定の回動中心軸まわりに回動可能な板状の可動部２１と、可動部２１に連結し、かつ前記可動部２１の回動に伴って捩り変形する連結部２３、２４と、連結部２３、２４を支持する支持部２２と、を有し、可動部２１は、可動部２１の板厚方向からの平面視にて四角形の四隅の部分をそれぞれ矩形に欠いた形状（十字状）をなし、連結部２３、２４の回動中心軸に垂直な断面は、可動部２１の第１の面から前記第１の面に対向する第２の面側に向けて幅が漸増する形状をなす。 （もっと読む）

【課題】駆動コイルと外部接続端子を接続する引出し配線の応力により、トーションバーの動きが阻害されることを防止し、可動部の駆動効率を向上させる。
【解決手段】固定部３、可動部４及びトーションバー３を半導体基板で一体形成し、可動部４に配置した駆動コイル５Ａ、固定部２に配置した外部電極端子７及び駆動コイル５Ａと外部電極端子７間を接続するようトーションバー３上を介して配線する引出し配線５Ｂを含む導電パターン５を、半導体基板表面の絶縁層８上に形成し、駆動コイル５Ａに電流供給することにより、可動部４を駆動するプレーナ型電磁アクチュエータにおいて、トーションバー３上の引出し配線５Ｂ部分を除いて、絶縁層８と導電パターン５との間に、絶縁層８に対する密着性が導電パターン５より高い密着層９を設け、密着層９のないトーションバー３上の引出し配線５が絶縁層８と接するよう構成した。 （もっと読む）

【課題】３倍波重畳振動を行うＭＥＭＳミラーを用いても、安価な構成で各振幅と位相差の誤差を高精度にモニターして補償制御を行うことによって高い走査性能を確保することができる光走査装置を提供する。
【解決手段】ＭＥＭＳミラー２８は次式：θ（ｔ）＝Ａ_１ｓｉｎωｔ＋Ａ_３ｓｉｎ（３ωｔ＋φ）ここに、Ａ_１，Ａ_３：偏向角の振幅ω：角周波数ｔ：時間で表される偏向角θ（ｔ）で光ビームを偏向走査し、往復走査の何れにおいても偏向角θ（ｔ）が定められた角度θ_１，θ_２に達したときに信号を発生するＢＤセンサー（信号発生器）３３，３４を配置し、角度θ_１とθ_２は絶対値が互いに異なり、且つ、何れか一方の絶対値がＡ_１√３／２に略等しく、前記ＢＤセンサー３３，３４からの信号発生間隔を測定し、その測定結果に基づいてＡ_１,Ａ_３,φを調整制御する。 （もっと読む）

【課題】複雑な可動フレーム構造を必要とせず簡便に作製でき、耐久性に優れたミラー駆動装置及びミラー駆動方法を提供する。
【解決手段】ミラー部12の両側に一対のアクチュエータ部30が連結され、さらにその外側の両側に一対のアクチュエータ部20が連結される。外側アクチュエータ部20の一端は固定部22として支持部材に固定され、他端は内側アクチュエータ部30に連結される。各アクチュエータ部20,30は、圧電体の変形によって屈曲変位を行うものであり、それぞれ対応する駆動電圧供給部28,38から駆動電圧が印加される。一方の駆動電圧供給部（例えば28）から、対応するアクチュエータ部（例えば20）に対して共振を励起する周波数の駆動電圧が供給され、これと同時に他方の駆動電圧供給部（例えば38）から、他のアクチュエータ部（例えば30）に非共振でミラー部12を傾ける駆動電圧を供給する。 （もっと読む）

【課題】部品点数の増加やコストアップを招くことなく、ＭＥＭＳミラー近傍の温度を求めて高い走査性能を得ることができる光走査装置を提供すること。
【解決手段】光ビームを出射するレーザーダイオード（ＬＤ）２５と、オートバイアスコントロール（ＡＢＣ）機能を備えるＬＤドライバと、前記レーザーダイオード２５から発せられる光ビームを偏向するＭＥＭＳミラー２６と、該ＭＥＭＳミラー２６によって偏向された光ビームを走査面上に結像させる走査レンズ２９，３０を備えた光走査装置１３において、ＬＤドライバによって前記レーザーダイオード２５に対する閾値電流を求め、求められた閾値電流に基づいて前記ＭＥＭＳミラー２６の駆動制御を行う。 （もっと読む）

【課題】 照射光の照射距離の相違に起因して生じる照射むらを抑制可能な光偏向器を提供する。
【解決手段】 光偏向器Ａ１は、光源からの光を反射するミラー部１の中心において直交する第１軸線ｘ２と第２軸線ｘ１のうち、第１軸線ｘ２周りの第１角度範囲でミラー部１を往復回動させる第２の圧電アクチュエータ１０ａ，１０ｂと、第２軸線ｘ１周りの第２角度範囲でミラー部１を往復回動させる第１の圧電アクチュエータ４０ａ，４０ｂとを備える。第２の圧電アクチュエータ１０ａ，１０ｂは、ミラー部１の回動速度を、往復回動の往動では漸増し、復動では漸減することで、遠方の照射地域の水平方向走査線の密度を増大する。 （もっと読む）