【課題】迅速な分光測定が可能な分光測定装置を提供する。
【解決手段】分光測定装置１は、固定反射膜を有する固定基板、可動反射膜を有する可動基板、固定反射膜及び可動反射膜の間の反射膜間ギャップのギャップ量を変更する静電アクチュエーターを備えた波長可変干渉フィルター５と、波長可変干渉フィルター５により取り出された光の光強度を検出する検出部１１と、静電アクチュエーターに対して連続的に変化するアナログ電圧を印加する電圧設定部２１及び電圧制御部１５と、静電アクチュエーターに印加された電圧を監視する電圧監視部２２と、電圧監視部２２により監視される電圧が所定の測定対象電圧になった際に検出部１１により検出された光強度を取得する光強度取得部２４と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】基板の撓みを抑制可能な波長可変干渉フィルター、光学フィルターデバイス、光学モジュール、電子機器、及び波長可変干渉フィルターの製造方法を提供する。
【解決手段】波長可変干渉フィルター５は、固定反射膜５４を有する固定基板５１と、可動反射膜５５を有する可動基板５２と、固定基板５１及び可動基板５２を接合する接合部５３と、を具備し、可動基板５２は、可動部５２１と、保持部５２２と、基板外周部５２５と、を備え、保持部５２２は、均一厚み寸法の平坦部５２２Ａと、平坦部５２２Ａの外周側に設けられ、基板外周部５２５に向かうに従って厚み寸法が増大する曲面部５２２Ｂと、を備え、接合部５３は、固定基板５１及び可動基板５２の互いに対向する面のうち、各基板外周縁に沿った外周領域に設けられ、かつ、接合部５３の内周縁５３Ａが、曲面部５２２Ｂの外周縁５２２Ｅよりも内側に設けられた。 （もっと読む）

【課題】反射膜の帯電を防止可能な波長可変干渉フィルター、光学フィルターデバイス、光学モジュール、及び電子機器を提供する。
【解決手段】波長可変干渉フィルター５は、固定基板５１と、可動基板５２と、固定基板５１に設けられた固定反射膜５４と、可動基板５２に設けられ、固定反射膜５４と反射膜間ギャップＧ１を介して対向する可動反射膜５５と、反射膜間ギャップＧ１を変化させる静電アクチュエーター５６と、可動基板５２にに設けられ、接地された可動電極５６２と、を備え、可動電極５６２は、平面視において、光干渉領域Ａｒ１を覆って可動基板５２に設けられ、可動反射膜５５は、可動電極５６２を介して可動基板５２に設けられ、固定反射膜５４は、可動電極５６２に電気的に接続された。 （もっと読む）

【課題】装置を大型化すること無く選択波長の可変範囲を容易に広げること。
【解決手段】この分光装置は、光源からの光Ｌ２を、光Ｌ２の入射角に応じた波長範囲で選択的に透過させる４枚のバンドパスフィルタ１１ａ〜１１ｄと、バンドパスフィルタ１１ａ〜１１ｄが主面１０ａ上に立設され、主面１０ａに沿って回転中心Ｃ_１の周りを回転可能にされた平板状の回転テーブル１０とを備える分光装置であって、４枚のバンドパスフィルタ１１ａ〜１１ｄは、それぞれ、光入射面１２或いは光出射面１３が、回転テーブル１０の主面１０ａ上の回転中心Ｃ_１と主面１０ａ上の該バンドパスフィルタ１１ａ〜１１ｄの中心点１５ａ〜１５ｄとを結ぶ線に対して傾斜するように配置されている。 （もっと読む）

【課題】 画角による赤外カットの半値波長のシフト量が少なく、画面中心から画面周辺に至る広い範囲にわたり良好なる画質の画像情報が得られる撮像装置を得ること。
【解決手段】 画像情報を結像光学系によって、一方向に長い矩形状の受光部を有する受光手段に結像させて前記画像情報を得る撮像装置において、光路中に入射光束の分光特性を変化させて出射させる機能を有する多層膜を平行平板に施した分光特性調整手段を有し、
該分光特性調整手段は、前記一方向であって前記結像光学系の光軸に対し垂直方向の軸を回転軸として、該光軸に対して傾いて配置されており、該光軸に対する前記分光特性調整手段の面法線とのなす角度をα、前記受光手段に入射する光束のうち、最軸外主光線と光軸とのなす角度をθとするとき、
０．３θ＜α
なる条件を満足すること。 （もっと読む）

【課題】自然光が入る昼間だけでなく夜間などの暗視下であっても撮影を可能とする。
【解決手段】撮像デバイス１に設けられた光学フィルタモジュール３には、複数のフィルタが設けられている。複数のフィルタは、可視光を透過し、少なくとも赤外線をカットする第１フィルタ４と、赤外線のみをパスする第２フィルタ７とであり、第１フィルタ４と第２フィルタ７とが選択的に切換可能に配置されている。 （もっと読む）

【課題】装置を大型化すること無く選択波長の可変範囲を容易に広げることができる分光装置を提供する。
【解決手段】分光装置１によれば、遊星歯車機構１０に支持された各バンドパスフィルタ１１ａ〜１１ｄの回転移動とそれ自体の回転との協働により、各バンドパスフィルタ１１ａ〜１１ｄ間の干渉が広い回転移動範囲で低減されると共に、広い角度範囲で入射角が変化させられる。従って、遊星歯車機構１０を大型化すること無く選択波長の可変範囲を容易に広くすることができる。 （もっと読む）

【課題】微細機械的装置の光学的性質の操作により入射光を変調させ、優れた融通性をもたらすカラー方式を実現するため干渉変調装置及び干渉変調器のアレーを制御する方法を提供すること。
【解決手段】複数の干渉変調器を有し、該複数の干渉変調器が、着色光を射出するようになった少なくとも一つの干渉変調器と、白色光を射出するようになった少なくとも一つの干渉変調器とを有する干渉変調装置である。 （もっと読む）

【課題】基板に生じる撓みを低減させた波長可変干渉フィルターの製造方法を提供する。
【解決手段】第一基板１２と、第二基板１１と、第一反射膜１７と、第二反射膜１６と、第一反射膜１７と第二反射膜１６とのギャップＧの大きさを変えることができるギャップ変更部１４と、を備え、第一基板１２は、第一反射膜１７が設けられた可動部１２１と、可動部１２１の厚み寸法よりも小さい厚み寸法に形成され可動部１２１を第二基板１１に対して進退移動可能に保持する保持部１２２と、を有する波長可変干渉フィルター１の製造方法であって、第一基板１２に第一反射膜１７及びギャップ変更部１４を形成する第一基板製造工程と、第二基板１１に前記第二反射膜１６及びギャップ変更部１４を形成する第二基板製造工程と、第一基板１２の温度を第二基板１１の温度よりも高くした状態で、第一基板１２と第二基板１１とを接合する接合工程と、を実施する。 （もっと読む）

【課題】アライメントのズレが発生しても、接合膜による基板の傾きの発生を抑制し、更に接合膜の一部を光学膜としたことによって、対向する光学膜のギャップが均一となる光フィルターを提供する。
【解決手段】第１基板と、前記第１基板を支持する支持部を有する第２基板と、前記第１基板に備える第１光学膜と、前記第２基板に備え、前記第１光学膜と対向して配置される第２光学膜と、を備え、少なくとも前記第１光学膜を覆う第１保護膜と、少なくとも前記第２光学膜を覆う第２保護膜と、を備え、前記第１保護膜の表面に平面視において一部が重なり、且つ前記第１光学膜には重ならない第１接合膜と、前記第２保護膜の表面に平面視において一部が重なり、且つ前記第２光学膜には重ならない第２接合膜と、を備える光フィルター。 （もっと読む）

【課題】簡素な構成で、かつ所望のギャップを正確に設定でき、正確な分光特性を測定可能な光モジュール、及び光分析装置を提供すること。
【解決手段】第１基板及び第２基板に互いに対向配置されて、ギャップが可変されて最小となる最小ギャップにおいて互いに接触する一対の検出電極と、反射膜間のギャップ及び電圧の関係を示すマップを複数有する相関データ７２１が記憶された記憶部７２と、検出電極の接触時での最小ギャップにおける静電アクチュエーターに印加している接触電圧を取得する接触検出部７１１と、相関データ７２１から１つのマップを選択するデータ選択部７１２とを備える。相関データ７２１は、最小ギャップに対する接触電圧が異なる複数のマップを備え、データ選択部７１２は、接触検出部７１１で取得した接触電圧に基づいて、マップを選択する。 （もっと読む）

【課題】基板を小型化でき、エッチング時間を短縮できる波長可変干渉フィルター、光モジュール、光分析装置、及び波長可変干渉フィルターの製造方法を提供すること。
【解決手段】第１基板５１と対向する可動面５２２Ａを有する可動部５２２、及び可動部５２２を第１基板５１の厚み方向に移動可能に保持する連結保持部５２３が設けられた第２基板５２と、可動面５２２Ａ及び第１基板５１に所定のギャップを介して対向配置された一対のミラー５６，５７と、ミラー５６，５７間のギャップＧを可変する静電アクチュエーター５４とを備える。連結保持部５２３は、第２基板５２を厚み方向に見た平面視において、第１溝部５２１Ａにおける可動面５２２Ａと平行な第１底面５２１Ａ１と、第２溝部５２１Ｂにおける可動面５２２Ａと平行な第２底面５２１Ｂ１とが重なる領域で構成される。 （もっと読む）

【課題】基板に生じる撓みを低減して分解能を向上させた波長可変干渉フィルター、光モジュール、及び光分析装置を提供する。
【解決手段】エタロン５（波長可変干渉フィルター）は、固定基板５１と、固定基板５１に対向する可動基板５２と、固定基板５１に設けられた固定反射膜５６と、可動基板５２に設けられ、固定反射膜５６とギャップを介して対向する可動反射膜５７と、固定基板５１に設けられた固定電極５４１と、可動基板５２に設けられ、固定電極５４１と対向する可動電極５４２と、を備え、可動電極５４２は、圧縮応力を有する圧縮電極層と、引張応力を有する引張電極層と、が積層されて構成された。 （もっと読む）

【課題】 光フィルターの特性設計を容易化すること。
【解決手段】 エタロンフィルター３００は、第１基板２０と、第１基板に対向する第２基板３０と、第１基板に設けられた第１光学膜４０と、第２基板に設けられ、第１光学膜と対向する第２光学膜５０と、を含み、第１光学膜４０の、反射帯域における各波長の光の反射率によって定まる反射特性Ｌ１と、第２光学膜５０の、反射帯域における各波長の光の反射率によって定まる反射特性Ｌ２とが異なる。第１光学膜４０は、第１波長λ１を中心波長とする反射特性を有し、第２光学膜５０は、第１波長とは異なる第２波長λ２を中心波長とする反射光特性を有することができる。エタロンフィルター３００の分光帯域での中心波長をλ３としたとき、λ１＜λ３＜λ２となるように、各光学膜４０，５０を設計する。 （もっと読む）

【課題】出力光の光軸ずれを低減しつつ、選択波長の可変範囲を容易に広げること。
【解決手段】この光源装置１は、光源からの光を直線偏光成分Ｌ３，Ｌ４に分離する偏光分離素子８と、直線偏光成分Ｌ３を偏光分離素子８に向けて反射させる高反射ミラー１１と、偏光分離素子８と高反射ミラー１１との間に設けられたフィルタ回転体９及び１／４波長板１０とを備え、フィルタ回転体９は、偏光分離素子８からの直線偏光成分Ｌ３に基づく光成分を、その光成分の入射角に応じた波長範囲で選択的に透過させ、入射角が変更可能なように回転可能に支持された４枚のバンドパスフィルタ９１ａ〜９１ｄを有する。 （もっと読む）

【課題】ギャップが形成される空間の内圧の上昇を抑制し、ギャップの精度を向上させることができる波長可変干渉フィルターの製造方法を提供すること。
【解決手段】波長可変干渉フィルターの製造方法は、第一基板１００のチップ領域１０１に、静電ギャップ形成溝１１１と、静電ギャップ形成溝１１１からチップ領域１０１の外周縁に延びる配線形成溝１１３、１１４と、これらの配線用形成溝と第一基板１００の外部とを連通する空気連通溝１２０、１３０と、を形成する第一基板溝形成工程と、前述の各種溝に固定ミラー１６、第一電極１４１、および第一配線部１４１Ａを形成する第一基板配線形成工程と、可動ミラー、第二電極、および第二配線部と、を備えた第二基板を形成する第二基板形成工程と、第一基板１００および第二基板を貼り合わせる貼合工程と、を含む。 （もっと読む）

【課題】簡易なプロセス技術や実装技術で光学素子の反射戻り光の影響を抑制した小型な波長可変レーザを実現する。
【解決手段】半導体ゲインチップと波長可変フィルタを集積した波長可変レーザ光源において、静電力を使ってエタロン間隔を調整する波長可変フィルタに金属の斜め反射鏡を集積すること、および垂直出射型の半導体ゲインチップに用いる45°斜め反射鏡の角度を45°からずらすことで、フィルタを斜め配置することなく、一般的かつ簡易なプロセス技術や実装技術を用いて波長可変フィルタ入射端面からの波長反射戻り光の影響を抑制した小型な波長可変レーザ光源。 （もっと読む）

【課題】印加電圧を低く抑えるためにダイアフラム部を薄くした場合においても、ダイアフラム部の強度低下を抑制することができ、その結果、最大印加電圧が低くかつダイアフラム部の強度を高め、安定的なギャップ変位を可能とし、良好に駆動することができる光フィルター及び分析機器を提供する。
【解決手段】光フィルター１は、下部基板３と、下部基板３に設けられた下部ミラー４Ｂと、下部基板３に設けられた下部電極６Ｂと、下部電極６Ｂに対向して設けられた上部基板２と、上部基板２に設けられ下部ミラー４Ｂと対向する上部ミラー４Ａと、上部基板２に設けられ下部電極６Ｂと対向する上部電極６Ａを有し、上部基板２は平面視において上部ミラー４Ａを囲む溝８を有し、前記溝８は断面視において底面部８ａと第１端部８ｂ、第２端部８ｄと第１側面部８ｃ、第２側面部８ｅとを有し、第１端部８ｂ、第２端部８ｄは曲面を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 ギャップ量を精度良く得る光フィルター及び光フィルターモジュール並びに分析機器及び光機器を提供すること。
【解決手段】 光フィルター１０は、第１基板２０と、第２基板３０と、第１基板に設けられた第１反射膜４０と、第２基板に設けられた第２反射膜５０と、平面視で第１反射膜の周囲の位置にて第１基板に設けられた第１，第２電極６２，６４と、第２基板に設けられて第１，第２電極と対向する第３，第４電極７２，７４とを有する。 （もっと読む）

【課題】プロジェクタにおいて、青色光源からの青色光のカラーホイールからの反射を防止し、光の有効利用をする。
【解決手段】カラーホイール本体２４に蛍光体層２３の両側に、低屈折率層２１、高屈折率層２２の誘電体薄膜を単位として、繰り返して積層される周期的誘電体層Ａ、Ｂ（総数Ｘ）、Ｃ（総数Ｙ）を設ける。周期的誘電体層Ａに入射する青色光は、多重干渉効果が強められて蛍光体層２３に光が集中し、蛍光体層２３から発光した緑色光は、周期的誘電体層Ｂにより多重干渉効果が少なくなり、周期的誘電体層Ｃにより反射され、逆の道筋で出射される。本発明によれば、従来よりも青色光が有効に利用される。 （もっと読む）