【課題】 三次元干渉顕微鏡観察を提供する。
【解決手段】 サンプル内にあるスイッチャブル光源のうち統計的に散在するサブセットが活性化され、活性化されたスイッチャブル光源が励起され、それにより、光ビームが、少なくとも２つの光路に沿って、活性化されたスイッチャブル光源から放出される。活性化されたスイッチャブル光源から第１の光路に沿って放出される第１の光ビームでの第１の波面修正が導入され、活性化されたスイッチャブル光源から第２の光路に沿って放出される第２の光ビームでの第２の波面修正が導入され、第２の波面修正が、第１の波面修正とは異なる。第１および第２の光ビームが、互いに干渉されて、複数の出力ビームを生成し、光源の三次元位置情報が、複数の出力ビームからの各出力ビームの強度に基づいて決定される。 （もっと読む）

【課題】 簡易な構成により、参照ミラーを僅かに傾斜させるだけで、ウェハなどの試料（被測定物）の表面形状を計測し、ごみやポールピースなどの正確な座標位置を特定し、電子顕微鏡、描画装置などの荷電粒子ビーム装置にその正確なデータを送受信して、作業効率の向上に一層貢献することができる干渉顕微鏡及び測定装置を提供する。
【解決手段】ウェハなどの試料にレーザ光を照射し、干渉計を用いて、試料の表面内部を観察検査する干渉顕微鏡及び測定装置において、ビームスプリッターと参照ミラーとの間に光を導光するための参照光路を設けるとともに、ビームスプリッターと試料との間に光を導光するための測定光路を設けて、参照光路と測定光路において光学的光路差を設ける。しかも、参照ミラーを微小量傾けることによって、検出手段に干渉縞を形成する。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成により超解像観察を行うことができる顕微鏡装置を提供する。
【解決手段】可干渉性を有する照明光を少なくとも２つ以上に分離し、分離された前記照明光の少なくとも一の照明光に変調を加える変調手段と、前記分離された照明光をそれぞれ対物レンズに導くとともに、その焦点付近における前記照明光による干渉光を生じさせる照明光学系と、前記干渉光を戻り光として検出する検出手段とを備える。分離された前記照明光の個々の前記焦点の位置が互いに異なっている。 （もっと読む）

【課題】小型化が容易な軸外しホログラフィック顕微鏡を提供する。
【解決手段】本発明を例示するホログラフィック顕微鏡の一態様は、光源（１１）から供給されるコヒーレント光を参照光（ＬＲ）と測定光（ＬＭ）とに分離するビームスプリッタ（１３）と、測定光の光路に配置され、ビームスプリッタの側に瞳を配し、その瞳の内部へ入射した測定光で物体（１５）を落射照明する対物レンズ（１４）と、物体で発生した散乱光である物体光（ＬＯ）を、対物レンズ及びビームスプリッタを介して受光する二次元画像検出器（１６）と、ビームスプリッタから射出した参照光をビームスプリッタの側へ折り返すと共に、ビームスプリッタに関して瞳と対称な領域の縁部（ＣＳ）に向けてその参照光を集光する反射集光光学系（１７）とを備える。 （もっと読む）

干渉計用の光学アセンブリが提供される。この光学アセンブリは、光軸に沿って定置され、光軸に対して異なる非垂直角に配置された第１及び第２の部分反射表面を含む。第２の部分反射表面は、光軸に沿って第１の部分反射表面を透過した光を受け取り、受け取った光の一部分を検査対象物へ透過して干渉計用の測定光を規定するとともに受け取った光の別の部分を第１の部分反射表面に向け反射して戻して干渉計用の参照光を規定するように構成される。参照光は第２及び第１の部分反射表面間を少なくとも１往復する。
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【課題】光波干渉光学機器の使用者の作業効率を向上させることができるようにする。
【解決手段】温度検出部１０１は、温度センサ６１_１ないし６１_５のそれぞれから供給される検出信号に対応する温度、湿度、気圧等の環境パラメータを検出し、比較演算部１０２は、環境パラメータに基づいて、光波干渉光学系内の空気が揺らいでいるか否かを判定する。装置制御部１０３は、空気が揺らいでいると判定された場合であって、標本画像の取得ができないと判定された場合、CCDカメラ１４による標本の撮像を停止させるとともに、表示部１０４に、「ＮＧ」である文字列を表示させる。本発明は、光波干渉光学系を有する顕微鏡に適用することができる。 （もっと読む）

【課題】外乱（例えば温度変化や振動）が測定精度に与える影響を抑制でき、測定レンジに依存しない高精度の測定が可能な低コヒーレンス干渉計を提供する。
【解決手段】本発明に係る低コヒーレンス干渉計１は、測定対象２の三次元形状又は膜厚測定に供される低コヒーレンス干渉計であって、白色光を射出する光源１１と、白色光を測定対象に集光させ光軸方向に移動可能な対物レンズ１４と、白色光を測定対象２に照射する物体光３と参照鏡１７に照射する参照光４とに分波し、測定対象で反射された物体光３と参照鏡１７で反射された参照光４を合波して白色干渉光を出力させる光分波合波器１６と、光分波合波器１６から出力された白色干渉光を検出する白色光検出器２０と、対物レンズの光軸方向の移動量を測定するための移動量測定器３０を備え、移動量測定器はレーザ光を射出するレーザ光源３１と光軸上に形成されレーザ光を反射する反射膜３２を有する。 （もっと読む）

【課題】被検査物の断層像を撮像するに当たり、被検査物に対する前記測定光群の入射する位置と角度とによる入射状態を観察することができ、
該測定光群を被検査物の所定の位置に結像させて、該断層像を高速に取得することが可能となる光断層画像撮像装置等を提供する。
【解決手段】光源から出射され分割された複数の光を、又は複数の光源から出射された複数の光を、測定光群と参照光群とに分割し、該測定光群を被検査物に導くと共に前記参照光群を参照ミラーに導き、
前記被検査物によって反射あるいは散乱された前記測定光群による戻り光群と、前記参照ミラーによって反射された前記参照光群とを用い、前記被検査物の断層画像を撮像する光断層画像撮像装置であって、
前記被検査物の観察画像を取得する観察手段を備え、
該観察手段によって、前記被検査物に対する前記測定光群の入射する位置と角度とによる入射状態が観察可能とされている。 （もっと読む）

位相分布及び振幅分布の内挿及び外挿を含めて、波を再生するための方法及び装置、並びに顕微鏡などの結像装置への適用が開示される。
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【課題】 簡易な構成により、参照ミラーを僅かに傾斜させるだけで、ウェハなどの試料（被測定物）の表面形状を計測し、ごみやポールピースなどの正確な座標位置を特定し、電子顕微鏡、描画装置などの荷電粒子ビーム装置にその正確なデータを送受信して、作業効率の向上に一層貢献することができる測定方法及び測定装置を提供する。
【解決手段】ウェハなどの試料にレーザ光を照射し、干渉計を用いて、試料の表面内部を観察検査する測定方法及び装置において、ビームスプリッターと参照ミラーとの間に光を導光するための参照光路を設けるとともに、ビームスプリッターと試料との間に光を導光するための測定光路を設けて、参照光路と測定光路において光学的光路差を設ける。しかも、参照ミラーを微小量傾けることによって、検出手段に干渉縞を形成する。 （もっと読む）

【課題】より正確な標本画像を取得できる顕微鏡装置を提供する。
【解決手段】顕微鏡装置１は、光源１１から射出された光に対し空間変調を行う回折格子１６を有し、当該回折格子１６により空間変調されて得られた照明光を標本５へ照射する照明光学系１０と、照明光が照射された標本５からの変調像を結像する結像光学系３０と、変調像を撮像する撮像素子３５と、照明光の位相を変調する回折格子駆動装置２５と、照明光の位相を変調する毎に撮像素子３５が撮像した複数の変調像から標本５の画像を生成する画像処理装置４１とを備え、画像処理装置４１は、撮像素子３５から出力された画像信号の強度を撮像素子３５の画素単位で補正して変調像の光量に換算するようになっている。 （もっと読む）

【課題】観察環境の変化にかかわらず、精度よく観察する。
【解決手段】観察対象を撮影する撮影部２と、該撮影部２により取得された画像から１以上の特徴量を抽出する特徴量抽出部４と、該特徴量抽出部４により抽出された特徴量に基づいて、撮影部２による観察対象の撮影条件を調節する撮影条件調節部６と、該撮影条件調節部６により撮影条件が調節された後に、撮影部２により取得された画像に基づいて、観察対象における位相差の分布を抽出する位相差分布抽出部３とを備える観察装置１を提供する。 （もっと読む）

【課題】光コヒーレンス断層法機構が顕微鏡システムに一体化された外科用顕微鏡システムが提供される。
【解決手段】ＯＣＴシステムのコリメーティング光学素子によって形成された測定光ビームは、ビームスキャナによって偏向され、結像光学素子を横断し、反射器によって反射され、測定光ビームが顕微鏡光学素子の対物レンズを横断し、顕微鏡光学素子の物体領域に照射される。反射器に入射する測定光ビームの位置は、測定光ビームがビームスキャナによって偏向される方向には実質的に依存しない。ビームスキャナを通って進行する際、測定光ビームは実質的に平行な光線のバンドルからなる。 （もっと読む）

試料を検査するシステムを提供する。システムは、光エネルギーの複数チャネルを生成するように構成した照射サブシステムを有して、各チャネルにおける光エネルギーは、少なくとも一つの他のチャネルにおける光エネルギーと異なる特性（種類、波長）を有するよう生成する。光学系は、複数チャネルの光エネルギーを受光し、複数チャネルの光エネルギーを複合して空間的に分離した複合光エネルギービームに複合させ、空間的分離した複合光エネルギービームを試料に向けて方向付けするように構成する。データ取得サブシステムは、少なくとも一つの検出器を有し、複数チャネルの光エネルギーに対応する複数の受光チャネルに反射光エネルギーを分離して受光チャネルを検出するよう構成する。 （もっと読む）

本発明は、サンプル（１４）の三次元顕微鏡検査のための構造化照明システム（８）に関する。システム（８）は、コヒーレント光ビーム（Ｉ_N，Ｉ_-N，Ｉ₀）の生成に適合されたビーム生成手段（９，１０）と、後方焦点面（ＰＦＡ）を有し、自身の焦点合わせ面（ＰＭＰ）にサンプル（１４）が配置可能であるレンズ（１２）と、ビームがレンズ（１２）の焦点合わせ面（ＰＭＰ）でコリメートされた状態で干渉するように前記光ビームを後方焦点面（ＰＦＡ）に集束させる焦点合わせ手段（１９）と、を備え、ビーム生成手段（９， １０）が、レンズ光軸に対して非対称な少なくとも２つの異なる回折ビーム（Ｉ_N、Ｉ₀）、（Ｉ_-N、Ｉ₀）を生成すべく光信号（２２）を回折するようプログラムさ
れた光空間変調器（１０）を備え、光空間変調器（１０）は、少なくとも２つのコヒーレントビームの各々に一定の位相項を適用する計算機を備えていることを特徴とする。
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【課題】瞳変調素子の心出し操作を簡単に行うことができる操作性のよい顕微鏡を提供すること。
【解決手段】試料５を照明する照明光学系である光源１およびコンデンサレンズ４と、照明光学系側に配置されたリングスリット２と、リングスリット２を保持するターレット３と、ターレット３を回転させ、光軸Ｌに対して垂直な面内の軌道円周１７上でリングスリット２を移動させる回転軸３ａと、対物レンズ６の瞳をリレーするリレー光学系である結像レンズ８およびリレーレンズ１１と、リレー光学系側に配置された位相板１２と、位相板１２を保持するターレット１３と、ターレット１３を回転させ、光軸Ｌに対して垂直な面内の軌道円周１８上で位相板１２を移動させる回転軸１３ａを備え、軌道円周１７と軌道円周１８とは、光軸Ｌ方向から見て対物レンズ６の瞳内で互いに直交することを特徴とする顕微鏡１００。 （もっと読む）

本開示の一態様の方法は、顕微鏡を用いて、直交偏光状態を有する複数の成分を含む光を試験対象物に向けるとともに試験対象物から反射された光を検出器に向けること、光の成分間の光路長差（ＯＰＤ）を変化させること、成分間のＯＰＤを変化させながら検出器から干渉信号を収集すること、収集された干渉信号に基づいて試験対象物に関する情報を決定することを備える。 （もっと読む）

透明な媒体の中に分散した１つ以上の粒子といった試料の画像を作成するインラインホログラフィである。光散乱理論の結果を用いたこれらの画像の分析により、ナノメートル分解能での粒子のサイズと、１０００分の１の範囲内での粒子の屈折率と、ナノメートル分解能での粒子の３次元位置とが得られる。この手順は、試料および試料媒体の力学的特性と、光学的特性と、化学的特性とを迅速かつ直接的に特徴付ける。
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【課題】フェルールの位置決めと姿勢保持を行うフェルール保持装置において、フェルールの先端部を光軸の倒れ変位を伴うことなく高精度に押圧保持する。
【解決手段】フェルール１０をフェルール固定用のフェルール挿通孔１２０に軸方向に挿入した態様に保持するものであって、フェルール挿通孔１２０を有する装置本体１１０より突出したフェルールの先端部を保持するクランプ部材１３０を備え、該クランプ部材はフェルール挿通孔の延長上の保持孔１３１から放射２方向に延び、一端がクランプ部材の一側辺の開放端に開放し他端が閉止端で閉じ、対向する固定部１３４と変位部１３５とを分離する切欠き溝１３２を備え、装置本体１１０は変位部の変位量を調整する変位調整部１５０を備え、該変位調整部の作動により前記変位部の保持孔のフェルール押圧部位１３６が固定部に接近移動し、フェルールの先端部をフェルール軸方向と直交する方向から押圧保持する。 （もっと読む）

【課題】主鏡筒に干渉部鏡筒を嵌挿させた状態で、干渉対物レンズの偏心調整を可能にする技術を提供する。
【解決手段】本発明の干渉対物レンズは、複数のレンズが格納されている主鏡筒と、干渉部を備え主鏡筒の外周部に嵌挿される干渉部鏡筒からなる干渉対物レンズであって、主鏡筒は、複数のレンズの内の第１のレンズの偏心調整を行うための調整部材が挿入される第１の調整孔と、複数のレンズの内の第２のレンズの偏心調整を行うための調整部材が挿入される第２の調整孔と、を有する。第１の調整孔は、主鏡筒に干渉部鏡筒を嵌挿させたときに、干渉部鏡筒に覆われる位置に形成されている。第２の調整孔は、主鏡筒に干渉部鏡筒を嵌挿させたときに、干渉部鏡筒に覆われない位置に形成されている。 （もっと読む）