一般的に、本発明に係る特定の代表的な実施の形態のシステム及び方法は、レンズによって蛍光色素分子の放射を集光し、光を平行化してビームとし、ビームの波面にわたって、複数の、区別可能な波長依存の位相遅延を与える位相素子を透過させることによって、高分解能イメージングを容易とすることができる。このビームは、続いて、プリズム、回折格子、又はその他の分散素子によって波長分散され、分光計に合焦される。例えば、ビームの個々の波長成分が分光計のある点に合焦されると、それらの波面の位相遅延された成分がお互いに干渉し合い、波長依存の、蛍光自己インターフェログラムを生成しやすくなる。この自己インターフェログラムを、フーリエ変化によって分析して、サブ回折の分解能情報を抽出することができる。サブ回折の限界情報は相対位相に含まれており、干渉の複素フーリエ成分から決定してもよい。 （もっと読む）

【課題】試料に対する走査光の選択性を向上させる。
【解決手段】表面形状測定装置１００は、共焦点光学系と非共焦点光学系とを切換え可能であって、試料１０１を照明する照明光の波長を切替える波長切替手段１７と、非共焦点光学系に切換えられた状態で、照明光から参照光を生成すると共に、照明光を試料に照射させ、その反射光と参照光を合成して干渉光を生成する干渉光学系（干渉型対物レンズ１３）と、干渉光学系からの干渉光を受光する光センサ（ＣＣＤカメラ３６）と、共焦点光学系に切換えた状態において、試料１０１と共焦点光学系の光学的な距離を変化させる距離変化手段（顕微鏡ステージ１）と、光センサが干渉光を受光したときの測定結果と、距離変化手段によって光学的な距離を変化させたときの測定結果とに基づいて、試料の表面形状を算出する演算処理部（コンピュータ６）と、を有する。 （もっと読む）

【課題】干渉縞のコントラストを下げることなく、大きな開口数で被検物体を観察することができる干渉対物レンズを提供する。
【解決手段】干渉対物レンズ１を、光源３１からの照明光を被検物体面３３に集光させる対物レンズ２と、この対物レンズ２から被検物体面３３側へ射出する照明光を分割するハーフミラー５と、ハーフミラー５で分割された照明光を反射し、再びハーフミラー５を介して被検物体面３３からの戻り光と同一光路上に合成する参照ミラー３と、ハーフミラー５及び参照ミラー３の間の光路上に配置され、参照ミラー３に照射される分割された照明光の光束径を絞るリング絞り４とから構成する。 （もっと読む）

【課題】横分解能が極めて高く、高精細、高コントラストの干渉波形が得られるレーザ走査干渉計を提供する。
【解決手段】レーザ光源１２からのレーザ光をコリメータレンズ１３で平行レーザ光束Ｂとし、走査ミラー１５で走査光Ｂ１〜Ｂ３に変換し、テレセントリックｆθレンズ１６を通して参照面１７ａ及び被観察面１８ａに照射する。参照面１７ａ及び被観察面１８ａからの反射光は、テレセントリックｆθレンズ１６で反射平行光束Ｂｒとなり、走査ミラー１５で反射し、ビームスプリッタ１４を通過して結像レンズ２０で集光され、ピンホール２１ａを通過して受光素子２２に入射する。受光素子２２で反射平行光束Ｂｒの光量を計測して演算手段を含む制御部２３に送信し、制御部２３で受光素子２２から得た光量信号を時系列データとして取得し、データ処理を行って表示手段２４に明暗データからなる干渉波形を出力する。 （もっと読む）

【課題】干渉像を有する干渉画像と干渉像が重畳されていない明視野画像を容易、且つ確実に選択可能に取得できる干渉対物レンズと、その干渉対物レンズを備える干渉顕微鏡装置を提供する。
【解決手段】本発明は、切換環５２を枠５３に対して光軸２２の周りに沿って回動させ、第１のビームスプリッタ１２は光軸２２に沿って対物レンズ１０に対して相対移動させる。切換環５２を回動させ、目盛５４ａが目盛５４ｂを選択すると、参照面１３が第１のビームスプリッタ１２を介して対物レンズ１０の物体側焦点位置と光学的に共役な位置に配置され、干渉画像が取得される。また切換環５２を回動させ、目盛５４ａが目盛５４ｃを選択すると、参照面１３が共役な位置から離れた位置に配置され、明視野画像が取得される。 （もっと読む）

【課題】 干渉光学系以外の光学系における観察光学系によって、干渉光学系と干渉光学系以外の光学系におけるサンプルの高さ情報の取得範囲を設定でき、サンプルの３次元形状画像を短時間に容易に取得することができる３次元形状観察装置を提供する。
【解決手段】 フィルタ切換機構１９は、バンドパスフィルタ２１を光軸上に配置し、第１の撮像素子１６は、可視光による光学顕微鏡観察像を撮像し、制御本体部５１は、光学顕微鏡観察画像を用いてサンプル１７の観察位置の調整と、フォーカス位置の調整と、干渉光学系と光学顕微鏡光学系の両方の高さ情報の取得範囲（取得範囲Ｄ１，Ｄ２）を設定する。 （もっと読む）

【課題】光利用効率が高く、外乱に対して強く、光量調節を容易に行え、波長に応じて専用の空間フィルタ４３を用いる必要がなく、測定試料Ｓの厚みなどの定量的な測定を高い測定精度で行うことが可能な定量位相顕微鏡Ａを提供する。
【解決手段】測定試料Ｓに関する位相情報を含む被測定光Ｈ１を、収束光Ｈ２に変換する集光レンズ４２と、集光レンズ４２の入射側に配されてなり、被測定光Ｈ１を偏光方向が互いに異なる２つの光Ｈ１ａ、Ｈ１ｂに分離する偏光分離素子４１と、入射して来る前記２つの光Ｈ１ａ、Ｈ１ｂを、前記位相情報を保持したままの物体光Ｈ３として出射、及び、前記位相情報を含まない参照光Ｈ４に変換してそれぞれ出射する開口４３１及びピンホール４３２と、ピンホール４３２の出射側に設けられ、前記物体光Ｈ３及び参照光Ｈ４の偏光方向を揃える半波長板４４と、前記半波長板４４により偏光方向を揃えられた物体光Ｈ３と参照光Ｈ４とを重ね合わせて干渉縞を生成する合成レンズ４５と、を具備するようにした。 （もっと読む）

【課題】微細な試料の表面各部の高さ情報から当該表面の画像を得るための新たな手法を提供する。
【解決手段】三次元形状測定器により取得された試料の表面各部の高さを示す高さ情報が高さ画像記憶部２０１で記憶される。画像−擬似輝度画像変換部２０７は、まず、当該試料の表面各部の高さ情報に基づいて当該表面各部の傾きを示す傾き情報を算出する。そして、この表面各部の傾きを当該試料表面の画像における当該表面各部の輝度に対応付けて当該画像における輝度情報を生成し、この輝度情報を用いて当該試料表面の輝度画像を構築する。 （もっと読む）

一実施形態では、装置は、複数のディテクターとプロセッサーとを有する光学システムを含む。光学システムは、所与の時間で、各ディテクターで、第１の次元と第１の次元に実質的に直交する第２の次元とで、光源の画像を生成するように構成される。画像の各画像は、光源からの第１の方向の発光と、光源からの第１の方向とは異なる第２の方向の発光と、の干渉に基づく。プロセッサーは、画像に基づいて第３の次元で位置を計算するように構成される。第３の次元は、第１の次元と第２の次元とに実質的に直交する。
（もっと読む）

【課題】 干渉画像だけでなくコントラストの良好な明視野画像を容易に得ることができる安価な干渉対物レンズと、その干渉対物レンズを備える干渉顕微鏡装置を提供する。
【解決手段】本発明は、サンプル１１の上方に配置され、対物レンズ１０と、第１のビームスプリッタ１２と、参照面１３を有する干渉対物レンズ１と、干渉対物レンズ１の上方に配置されている観察光学系２と、可視域から赤外域までの光を出射する例えばハロゲンランプ等の光源１４を有する照明光学系３から構成され、干渉画像だけでなくコントラストの良好な明視野画像を容易に得ることができる干渉顕微鏡装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】スライダユニット内に配設した偏光プリズムと筒状部材とを対物レンズの光軸上に容易に切換配置することができること。
【解決手段】光学顕微鏡１００は、微分干渉観察で干渉させる２つの偏光を合分岐するノマルスキープリズム１４と、対物レンズ７の光軸ＯＡに対して同軸な暗視野照明光路ＯＰ１と観察光路ＯＰ２とを隔離する遮光筒部品１５とを一体的に保持する保持機構３０１と、光軸ＯＡに対して直交した駆動軸ＭＡ方向に保持機構３０１を移動させて光軸ＯＡ上にノマルスキープリズム１４または遮光筒部品１５を電動で切換配置するとともに、ノマルスキープリズム１４を光軸ＯＡ上に配置した場合、ノマルスキープリズム１４を駆動軸ＭＡ方向に電動で微動させる電動駆動機構３０２と、をスライダ本体３０内に配設したスライダユニット１６を備え、スライダユニット１６は、対物レンズ７の瞳近傍でレボルバ装置１９に挿脱される。 （もっと読む）

【課題】物体の運動とくに測定光線に対して実質的に垂直な運動ならびに測定光線と実質的に平行な運動のいずれもが測定される走査型顕微鏡を提供すること。
【解決手段】走査型顕微鏡は、信号検出部１２と信号記憶部１３とを備え、信号検出部は走査型顕微鏡の光路内に配置されて、反射光線は信号検出部に集束され、信号記憶部は信号検出部と接続されるとともに、信号検出部の測定信号からなる測定信号列を記憶するように構成され、その際、走査制御部１１は信号記憶部と接続されて信号記憶部を制御して、物体上のそれぞれの測定点につき、時間的に順次連続する少なくとも２つの前記測定信号を有する少なくとも１つの測定信号列が記憶される。 （もっと読む）

本発明は、少なくとも１つの光源（１８）を含むサンプル（３）を撮像するための共焦点顕微鏡（１６）において、少なくとも１つの対物レンズ（２）および、像焦点を有する結像レンズ（５）と、該光源（１８）から干渉像を生成するように構成される干渉手段（１１）とを備え、該干渉手段（１１）は、該光源の第１の像を生成するように構成される第１の像生成手段（１２）と、像焦点に関して該第１の像と対称である該光源の第２の像を生成するように構成される第２の像生成手段（１３、１４、２２）と、該第１の像および該第２の像を干渉させるように構成される像干渉手段（１５）とを含むことを特徴とする、共焦点顕微鏡（１６）に関する。
（もっと読む）

本発明に従う装置は、基本的に２つの異なる測定モードで作動可能な対物レンズ（８）を有する。第１干渉モードでは、測定対象物（９）は干渉光学的に測定される。第２イメージングモードでは、イメージ処理ルーチンに供される光学イメージが作られる。２つの操作モード間の切り換えは、装置の光路の異なる位置に連結する照明装置を切り換えることで行われる。カメラから見て、一方はビーム分割器の前にあり、他方は参照光路を光路に結合するビーム分割器の後ろにある。
（もっと読む）

【課題】微視的又は巨視的対象物を結像する。
【解決手段】結像装置（１）は、光源（２）と、照明ビーム路（６）と、結像ビーム路（７）と、特に対物レンズの形態の結像光学手段（４）とを備える。光源の光を規定可能な偏光状態に変換するための少なくとも１つの偏光手段（９）が照明ビーム路（６）に設けられる。検光子手段（１０）が結像ビーム路（７）に設けられ、検光子手段（１０）と偏光手段（９）は、結像ビーム路（７）に入る光が検光子手段（１０）を通過できないよう、互いに調整可能である。結像装置（１）のビーム路の光学構成要素（４）における望ましくない反射を抑制するために、調整可能な光学構成要素（１１）が偏光手段（９）と検光子手段（１０）との間のビーム路に設けられ、光学構成要素の調整に応じ、対象物の照明に使用される偏光光を偏光解消するために、又は偏光光を部分ビームに分割するために光学構成要素を使用する。 （もっと読む）

【課題】偏光干渉顕微鏡の提供。
【解決手段】 対象物（５）を結像するための偏光干渉顕微鏡（１）は、光源（２）、照明ビーム路（６）、結像ビーム路（７）及び対物レンズ（４）を備える。照明ビーム路（６）は光源（２）から対象物（５）に延在する。結像ビーム路（７）は対象物（５）から検出器又はチューブ（３）に延在する。少なくとも１つの偏光手段（９）が照明ビーム路（６）及び／又は結像ビーム路（７）に設けられ、少なくとも１つの偏光手段によって、予め設定可能な偏光状態にそれぞれのビーム路（６、７）の光を変換することができる。検光子手段（１０）が結像ビーム路（７）に設けられる。複屈折構成要素が偏光手段（９）と検光子手段（１０）との間に設けられ、偏光手段（９）によって偏光された光を、複屈折構成要素によって異なる偏光方向を有する２つの部分ビーム（１３、１４）に分割することができる。構成要素は、２つの部分ビーム（１３、１４）の間の分割を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】観察対象に波動を作用させることで観察を行う際に、観察対象に作用する波動の影響を低減する技術を提供する。
【解決手段】可干渉性を有する複数の波動を発生し、この複数の波動の干渉させることにより観察対象に作用する波動の強度を観察対象の位置における波動の平均強度の２分の１以下とする。この観察対象から焦点をはずすことによって、観察対象と相互作用した波動から観察対象のホログラムを含む焦点はずし像を観察面に形成する。そして、観察面に形成された焦点はずし像から、観察対象の位置における波動を再生する。 （もっと読む）

【課題】内視鏡挿入部に配置できる共通化した光学系にし通常のマクロ画像と低干渉性光による高分解能の拡大観察画像とを得られる光イメージング装置を提供する。
【解決手段】照明手段と照明された被検体を結像する光学系と結像された像を撮像する撮像手段と、コヒーレント光源と、共焦点光学系と、この共焦点光学系からのコヒーレント光を被検体に導きさらに被検体からの反射光を共焦点光学系に戻す光学系と、共焦点光学系からの光信号から画像を構築する信号処理手段があり、被検体を結像する光学系と共焦点光学系に導く光学系のすくなくとも一部が同じであり、撮像素子に結像される光学系の開口数が、共焦点光学系に光が導かれる場合の光学系の開口数より小さくなるように構成する。 （もっと読む）

【課題】 主ビームのサイズを減らすことなくサイドローブを除去することを可能にし、数十nmのサイズを有する物体を歪むことなく観察することができる共焦点自己干渉顕微鏡を提供する。
【解決手段】既存の共焦点顕微鏡における自己干渉光学系に代えて、試片からの反射又は蛍光ビームを偏光する第１の偏光板111、上記第１の偏光板を通過したビームを偏光方向により２つのビームに分離する第１の複屈折波長板116、上記第１の複屈折波長板で分離された２つのビームを偏光する第２の偏光板112、上記第２の偏光板を通過した２つのビームを偏光方向により４つのビームに分離する第２の複屈折波長板117、及び上記第２の複屈折波長板で分離された４つのビームを偏光する第３の偏光板113とを有する自己干渉光学系で構成した。 （もっと読む）

本発明は、イメージ化される物体の断層イメージング装置に関し、その断層イメージング装置は、イメージ化される物体のスライスの厚さと略等しいコヒーレンス長を持つ光源と、少なくとも一つの対物レンズ、参照鏡及び光線分割手段からなる干渉イメージングシステムとを有する。本発明は、干渉システムが、対物レンズが解析される物体層のレベルに第１の焦点設定面を規定し、参照鏡のレベルに第２の焦点設定面を規定するように配置され、かつ、干渉システムは、第２の焦点設定面と光線分割手段の間に配置される少なくとも一つのタイプの補償媒体を有し、その補償媒体の厚さ及び屈折率は、第１の焦点設定面と光線分割手段の間における光源から放射された光線の光路が、第２の焦点設定面と光線分割手段の間におけるその光線の光路と略等しく、第１の焦点設定面と光線分割手段間の分散が第２の焦点設定面と光線分割手段間の分散と略等しくなるように選択されることを特徴とする。
（もっと読む）