【課題】半導体リソグラフィ光学システムにおいて、狭い設置領域で使用可能であると共に、レンズを汚す粒子を生成しないシステム絞りを備えた光学結像装置を提供する。
【解決手段】光学結像装置（ＰＬ）は少なくとも１つのシステム絞り（１）を備え、該システム絞りは、球状に湾曲し回転可能に取り付けられた複数の可動薄板を備える。該可動薄板は、一体構成のソリッドステート関節動作継手部により、互いに接触することなく回転するように回転軸受中心軸に取り付けられる。 （もっと読む）

【課題】大型化することなくマグネットの推力の向上を図ること。
【解決手段】コイル２０１が巻回された鉄芯部４０１とコイル２０１の巻き線の中心方向における鉄芯部４０１の両端から中心方向と直交する方向に突出する一対の突出部４０２とを備えたヨーク３０１と、一対の突出部４０２間においてコイル２０１の巻き線方向に変位可能なマグネット２０２と、を備えたアクチュエーター１０８において、変位方向において複数に分極されており、かつ、一対の突出部の対向方向において２つに分極されているマグネット２０２を用いるようにした。 （もっと読む）

【課題】要求される駆動体の変位量を確保しつつ小型化を図ることができるアクチュエーターおよび光学装置を提供すること。
【解決手段】リニア駆動部４０７を実現する面対向リニアアクチュエーターが、巻き線の中心方向に直交する平面内に直線上に配列された複数のコイル６０２ａと、少なくとも一部がコイルの内周部にそれぞれ挿入されたヨーク６０３と、ヨーク６０３の一端側に対向して配置され、複数のコイル６０２ａが通電状態にある場合に複数のコイル６０２ａの配列方向に沿って変位するように磁化されたマグネット３０１と、を備えたことを特徴とするため、コイル６０２ａへの通電によってマグネット３０１を直線移動することができる。 （もっと読む）

【課題】絞り機構の小型化を図るとともに、その駆動特性を改善する。
【解決手段】可動部Ａ２１０およびＢ２２０は、透明基板などの光透過率の十分高い部材により形成され、駆動方向と直行する方向に複数の電極２１９および２２９が設けられる。可動部Ａ２１０およびＢ２２０は、それぞれ遮光部２１１および２２１と光透過部２１２および２２２とを有する。固定部１００は、透明基板などの光透過率の十分高い部材により形成され、駆動方向と直行する方向に複数の電極１０９が設けられる。この電極１０９は、光透過率の十分高い透明電極として形成される。これにより、固定部１００に対して可動部Ａ２１０およびＢ２２０をクーロン力により駆動させる。すなわち、絞り羽根として機能する可動部Ａ２１０およびＢ２２０を静電アクチュエータとして駆動することにより、絞り機構を小型化して、その駆動特性を改善する。 （もっと読む）

【課題】第１、第２の可動レンズ群と各可動レンズ群間に虹彩絞り機構とを有する撮像レンズにおいて、各可動レンズ群を支持するガイドシャフトと虹彩絞り機構との位置関係を適切として、小型化、薄型化を図り、各可動レンズ群を安定して支持し、円滑に移動操作できるようにする。
【解決手段】各ガイドシャフト１５，１７は、各可動レンズ群１，２の反対側に配置され、第１の可動レンズ群１は、第１のガイドシャフト１５により支持され第２のガイドシャフト１７により回動方向の位置規制をされ、第２の可動レンズ群２は、第２のガイドシャフト１７により支持され第１のガイドシャフト１５により回動方向の位置規制をされる。各スクリューシャフト２２，２５は、各可動レンズ群１，２の反対側に配置され、第１のスクリューシャフト２２が第１のガイドシャフト１５の近くに、第２のスクリューシャフト２５が第２のガイドシャフト１７の近くに配置される。 （もっと読む）

【課題】ＮＤフィルタによる画質劣化を回避できる光学機器を提供する。
【解決手段】光学機器は、開口の大きさが変更可能な絞り９ａ，９ｂと、該絞りの開口に対して移動可能なＮＤフィルタ９ｆと、該ＮＤフィルタを駆動するアクチュエータ９ｃと、該アクチュエータを制御する制御手段３７とを有する。ＮＤフィルタは、上記絞りを絞った状態での開口の全体を覆うことが可能な大きさを有する領域を備え、制御手段は、該領域が上記絞った状態での開口に対して退避する第１の位置と、該領域が上記絞った状態での開口の全体を覆う第２の位置との間で、ＮＤフィルタが常に停止することなく移動するようアクチュエータを制御する。 （もっと読む）

【課題】絞りリングの回転時における摩擦抵抗を小さくすることが可能である上に、絞りリングの姿勢を常に好適に維持できるようにしたカメラ用絞り装置を提供すること。
【解決手段】絞りリング２は、地板１の収容部１ｃに回転可能に配置されていて、三つのカム溝２ａ，２ｂ，２ｃを有しているほか、外周面には、歯車３に噛合する歯部２ｇと突起部２ｈを形成している。また、３枚の絞り羽根６，７，８は、そのピン６ｂ，７ｂ，８ｂを、上記のカム溝２ａ，２ｂ，２ｃに嵌合させている。そして、絞りリング２が回転するときは、その外周面が、地板１に設けられた突起部１ｉ，１ｊ，１ｋに摺接し、突起部２ｈが、収容部１ｃの側壁１ｄに摺接するようになっている。 （もっと読む）

【課題】レンズ絞りの自動調整と手動調整とが切り替え可能な，簡易な構成の閉回路テレビカメラのレンズ絞り調整装置を提供する。
【解決手段】 レンズ絞り機構１４の絞り羽根２２を駆動するギアードモータＧＭと，自動調整用の第１駆動信号ＣＳ１または手動調整用の第２駆動信号ＣＳ２に応じて，ギアードモータＧＭを駆動させる駆動回路１３０と，撮像環境に応じた明度情報信号Ｓ１と第１基準信号Ｖｒｅｆ１とを比較して，自動調整用の第１駆動信号ＣＳ１を出力する比較回路と，操作者から入力された手動調整信号Ｓ２とギアードモータＧＭの駆動量の限界値を規定する第２基準信号Ｖｒｅｆ２とが入力されて手動調整用の第２駆動信号ＣＳ２を出力する差動アンプ１２０と，第１駆動信号ＣＳ１または第２駆動信号ＣＳ２のいずれかを駆動回路１３０に接続する選択回路１４０とを備える閉回路テレビカメラのレンズ絞り調整装置が提供される。 （もっと読む）

【課題】簡単な構造によってブレ補正光学系の移動を制限したレンズ鏡筒等を提供する。
【解決手段】レンズ鏡筒を、光軸Ａと交わる面内で移動可能に支持され、ブレ補正光学系Ｌ２を保持するブレ補正光学系保持部５と、ブレ補正光学系Ｌ２を含む光学系Ｌ１，Ｌ２，Ｌ３を通過する像光の光量、通過時間の少なくとも一方を調整する像光調整部１１と、像光調整部１１を駆動する駆動部１１ａと、駆動部１１ａが発生する駆動力によってブレ補正光学系保持部５に対して相対移動するとともに、ブレ補正光学系保持部５の光軸Ａと交わる面内の移動を許容する解除位置から、ブレ補正光学系保持部５の一部５ｃと係合してブレ補正光学系Ｌ２の光軸Ａと交わる面内における移動を制限するロック位置へ移行する移動制限部１２とを備える構成とする。 （もっと読む）

【課題】リング状駆動部材を介在することなく直接絞り羽根を駆動させることにより、リング状駆動部材の大きさに依存することなく小型化を図ることができるカメラ用絞り装置を提供する。
【解決手段】回転の中心位置が互いに異なる複数の絞り羽根４０ａ、４０ｂ、４０ｃにより基板１０に形成された開口１１への光量を調節するカメラ用絞り装置１において、基板１０には、複数の絞り羽根４０ａ、４０ｂ、４０ｃと該絞り羽根を回転させるためのギヤ３０ａ、３０ｂ、３０ｃとが設けられ、絞り羽根４０ａ、４０ｂ、４０ｃは、単一の絞り開口部４１ａ、４１ｂ、４１ｃを有し、絞り羽根４０ａ、４０ｂ、４０ｃの外周面には、ギヤ３０ａ、３０ｂ、３０ｃに噛合する受動ギヤ部４３ａ、４３ｂ、４３ｃが形成されている。 （もっと読む）

【課題】 アイリス羽根の開度制御を短い周期により繰り返して行う際に要請される高応答化，高速化及び高精度化を実現する。
【解決手段】 光学系Ｃの光路Ｒｃに配設することにより通過する光量を可変するアイリス装置１を構成するに際して、直進方向Ｆｓに変位自在に配した第一アイリス羽根２ａ及び第二アイリス羽根２ｂを有するアイリス羽根部２と、可動出力部４ｏの変位量を第一アイリス羽根２ａにそのまま伝達するリニアモータ４を有する駆動部３と、可動出力部４ｏの変位量を第二アイリス羽根２ｂに伝達し、かつ第二アイリス羽根２ｂを第一アイリス羽根２ａに対して対称方向に変位させる変位伝達機構５を備える。 （もっと読む）

【課題】環境温度の変化や光量調節手段の自己発熱等が生じても、適切な光量調節を行うことが可能な光学装置を提供する。
【解決手段】光学装置は、光量調節手段１の動作位置に応じた信号を出力する位置検出手段２と、該位置検出手段からの信号を用いて光量調節手段の動作を制御する制御手段５とを有する。メモリ６は、光量調節手段の動作位置と位置検出手段からの信号とが対応している状態での温度を記憶している。制御手段は、温度検出手段４による検出温度と記憶手段に記憶された温度とが異なる場合に、光量調節手段の動作位置と位置検出手段からの信号とを対応させるための処理を行う。 （もっと読む）

【課題】投写画像のコントラスト特性及び階調特性をさらに向上することが可能なプロジェクタを提供する。
【解決手段】照明装置１００と、液晶装置４００Ｒ，４００Ｇ，４００Ｂと、投写光学系６００と、第１レンズアレイ１２０と第２レンズアレイ１３０との間に配置され、照明光束を部分的に遮蔽する遮光部材７００と、遮光部材７００の遮蔽状態を制御することにより照明光束の通過光量を調整する制御部とを備えるプロジェクタ１０００。制御部は、遮光部材７００が照明光束を最も少なく遮蔽するときの照明光束の通過光量と遮光部材７００が照明光束を最も多く遮蔽するときの照明光束の通過光量との比率が所定の値となるように、遮光部材７００の遮蔽状態を制御する遮蔽状態制御機能を有する。 （もっと読む）

【課題】コイルを巻装したＵ字形のヨークを固定子としている複数のモータを、一つの地板上に効率的に配置したカメラ用羽根駆動装置を提供すること。
【解決手段】シャッタ羽根１３，１４を駆動するモータの回転子５は、地板１の軸１ｂに回転可能に取り付けられており、絞り羽根１５を駆動するモータの回転子９は、地板１の軸１ｆに回転可能に取り付けられている。また、シャッタ羽根１３，１４を駆動するモータの固定子を構成しているＵ字形をしたヨーク６は、コイル７を巻回したボビン８を嵌装して、地板１とカバー板４の間に配置されており、絞り羽根１５を駆動するモータの固定子を構成しているＵ字形をしたヨーク１０は、コイル１１を巻回したボビン１２を嵌装して、地板１と補助地板２の間に配置されている。そして、二つのヨーク６，１０は、それらの一部が、所定の間隔を空けて、相互に重なるように配置されている。 （もっと読む）

【課題】表示画像の輝度の低下を抑えつつ、コントラストを良好とすることができ、また、コントラストの低下を抑えつつ、高輝度の表示画像が得られるようになされた画像表示装置を提供する。
【解決手段】光源１から発せられた照明光により空間光変調素子１２，１８，２１を重畳照明し、この空間光変調素子２，１８，２１を経た照明光を投射光学系２２により結像させる画像表示装置において、光源１から投射光学系２２に至る光学系について、空間光変調素子２，１８，２１に入射する照明光の偏光方向及びこれに直交する方向以外の方向についてのＦ値を大きくする絞り手段５を設けた。 （もっと読む）

【課題】光路上に抜き差し自在な光学フィルタを備えた絞り装置の小型・軽量化を図り、ＣＣＴＶカメラのレンズ鏡筒に簡単に取り付けられるようにする。
【解決手段】光路を形成する開口部１０ａを有した絞り基板１０と、絞り基板の一方の板面に配置され該板面に沿ってスライドすることで光路を絞り調節する絞り羽根１２、１３と、絞り羽根を駆動する絞り駆動装置２０と、光学フィルタ１５２と、光学フィルタを光路上に挿入したり光路上から取り除いたりするフィルタ駆動手段とを備え、光学フィルタ１５２を薄膜状に形成した上で、別製作の薄板状のフィルタ枠１５１に一体に取り付けて、全体を薄板状の光学フィルタユニット１５とし、光学フィルタユニットを絞り基板の一方の板面側に配置して、絞り羽根に沿ってスライド自在に設けると共に、フィルタ枠に、フィルタ駆動装置による被駆動部であるクランクレバー部１５１ｂを設けた。 （もっと読む）

【課題】 専用電池を電源としている場合は起動時及び終了時に高速の制御を行い、汎用電池を電源としている場合は起動時及び終了時に省電力の制御を行う鏡胴ユニットの駆動制御装置を提供する。
【解決手段】 レンズ群１Ａ、１Ｂ、絞り２、シャッタ３と、それぞれを駆動するレンズ群用モータ４Ａ、４Ｂ、絞り用モータ４Ｃ、４Ｄ、シャッタ用モータ４Ｅとを備えた鏡胴ユニット１と、鏡胴ユニット１を駆動制御する制御装置本体５と、鏡胴ユニット１と制御装置本体５の電源電池の種別を判定する電池種別判定部６とを備え、制御装置本体１は、電池が専用電池である場合には、前記モータ４Ａ〜４Eのうち少なくとも二つのモータを同時に駆動制御する第一の制御を行い、電池が汎用電池である場合には、前記モータ４Ａ〜４Ｄを所定の順番で順次駆動する第二の制御または前記モータ４Ａ〜４Ｄのうち少なくとも二つのモータを所定のモータの駆動電圧を下げて同時に駆動制御する第三の制御を行う。 （もっと読む）

【課題】プロジェクタ装置等の高温になる光学機器に内蔵される光量調整装置における羽根部材の熱による変形を抑え、また羽根の重量を軽減し、以って円滑な作動で動作音が小さく確実に光量調整を行い得るプロジェクタ装置に搭載され、その光量を調整する光量調整装置の羽根部材として最適な光遮蔽用耐熱シート材を提供。
【解決手段】本願の光遮蔽用耐熱シート材はポリエチレンナフタレート樹脂及び／又はポリイミド樹脂をシート状に成形したフィルム基材と、ポリエステル樹脂を主剤に、イソシアネート化合物を硬化剤とし黒色顔料を含有した二液硬化型ポリエステル樹脂塗料からなり、そのフィルム基材の片面若しくは両面に二液硬化型ポリエステル樹脂を被覆形成したものである。また、当該シート材を用いた光量調整装置、及びプロジェクタ装置も提供する。 （もっと読む）

【課題】装置の大型化を招くことなく、広い範囲の光量調節を可能とする。
【解決手段】被写体光を導く開口部１ａを備える本体部１と、開口部１ａを通過する光の光路中に進退可能に配置されるとともに、互いに相対回転可能な２枚の偏光板Ａ，Ｂと、２枚の偏光板を互いに相対回転させる駆動と、２枚の偏光板を光路中に進退させる駆動とを行なう１つの駆動モータ８とを具備する。 （もっと読む）

【課題】羽根を開閉動作する際に、羽根が大きく撓んで歪むことがなく、常に確実な開閉動作が可能であると同時に高速動作時にも動作音が騒音を発することがなく、円滑な動作が可能な光量調整装置を提供する。
【解決手段】撮影光若しくは投影光の光路開口を有する基盤と上記基盤に基端部を軸受け支持され先端部を上記光路開口に臨ませた第１、第２少なくとも２枚の羽根部材と上記基盤の光路開口の周囲に回動自在に支持された伝動リングと、上記伝動リングを回動する駆動手段とを備える。上記第１、第２の羽根部材は基端部を上記基盤に形成したボス状突起部に回動自在に軸受け支持し、この各羽根部材の先端部は上記光路開口の開口縁に形成したフランジ状突出面に開閉自在に支持する。上記各羽根部材の中央部には上記伝動リング側に突出し基端部に段差面を有する軸ピンを一体に形成し、上記駆動リングには上記各光量調整羽根の軸ピンに嵌合するスリット溝を設ける。 （もっと読む）