【課題】蛍光灯に比べて消費電力を低くし、かつ、寿命を延ばすとともに、周辺部の照度の低下を抑え、照度の均一化を図ることのできる照明器具を提供する。
【解決手段】複数のＬＥＤ光源を一列または複数列に配置してなる光源と、光源からの光線を偏向して透過させる半円筒形状の光学部材と、を有し、前記光学部材は、その中心軸に垂直な断面形状が、内面及び外面のうち少なくとも１面において円ではない曲線で構成されている。 （もっと読む）

【課題】光源の指向性をより広くすることが可能な照明用レンズを提供する。
【解決手段】照明用レンズ１は、入射面１１および出射面１２を有している。出射面１２は、光軸Ａと交差し光源側に向かって窪む第１出射面１２１、第１出射面１２１の周縁部から外側に広がる第２出射面１２２とを有している。第１出射面１２１は、中心側に位置する領域であって光源から放射されて到達する光を透過させる透過領域と、透過領域の外周側に位置する領域であって光源から放射されて到達する光を全反射する全反射領域と、を含んでいる。 （もっと読む）

【課題】広い倍率でケラレや色ムラの発生が抑制されたコンパクトで且つ固定された構成の照明光学系を備えたズーム顕微鏡を提供することを課題とする。
【解決手段】照明光を射出するＬＥＤ光源１と、照明光を標本に非テレセントリックな状態で照射する対物レンズ４と、ＬＥＤ光源１の光源像１０を対物レンズの瞳位置１１、１２近傍に投影する照明光学系と、標本から生じる観察光が入射するズーム光学系６及び結像光学系７を含む観察光学系８を含んでズーム顕微鏡１００を構成する。その際、照明光学系２は、標本側から順に、対物レンズ４、ズーム光学系６、結像光学系７が配置された観察光路に、ズーム光学系６と対物レンズ４の間から照明光を入射させる。 （もっと読む）

遠く離れた投影面（3）において照射スポット（11a-b）の制御可能なパターン（10）を形成するための光出力系（1）。当該光出力系（1）は、光出力装置ピッチ（P LS）で光出力装置（6a-c）のアレイ（5）に配置された個別に制御可能な光出力装置（6a-c）、及び光出力装置と投影面（3）との間に配置された光学系（7）を含む。その光学系（7）は、光出力装置のアレイ（5）によって放たれる光を、投影面（3）において、光出力装置ピッチ（P LS）よりも大きい投影ピッチ（P スポット）として投影するように構成されている。この光出力系を死して、光出力装置による実質的に全ての発光出力が光パターンの投影に使用される。
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【課題】露光装置のステージ系を大型化することなく、基板を高いスループットで露光するために使用可能な投影光学系を提供する。
【解決手段】第１面に設けられたパターンの像を第２面に投影する投影光学系ＰＬであって、そのパターンからの照明光ＩＬを２つの照明光ＩＬＡ，ＩＬＢに分割する２分割光学系５０と、その２つの照明光ＩＬＡ，ＩＬＢをその第２面の２つの露光領域１８Ａ，１８Ｂにそれぞれ導いて、露光領域１８Ａ，１８Ｂにそのパターンの像を形成する結像光学系５１と、を備える。 （もっと読む）

【課題】使用頻度の高い倍率間での倍率変換において照明光学系の操作を不要とした照明光学系及び顕微鏡を提供する。
【解決手段】光源２側から順に、コレクタレンズ３と、視野絞り４と、正のパワーを有するフィールドレンズ５と、開口絞り６と、正のパワーを有する集光レンズ７とを、視野絞り４から標本面８の間がおよそ両側テレセントリックな光学系として配置し、さらに、Ｄ_ＦＳは視野絞り４の直径、βは標本面８から視野絞り４までの倍率、ＮＡは照明光学系の標本面８側の開口数とするとき、以下の条件式を満たして配置する。１５≧ＤＦＳ／β≧９・・・（１）０．８５≧ＮＡ≧０．５・・・（２） （もっと読む）

【課題】表示の明るさのむらを低減できる照明装置を提供する。
【解決手段】透過型の液晶表示パネル１０を照明する照明装置であって、液晶表示パネル１０に向かって発光するＬＥＤ装置２０と、液晶表示パネル１０とＬＥＤ装置２０との間に配置された凸レンズ３０とを有し、ＬＥＤ装置２０の発光面２０ａは、凸レンズ３０の焦点３０ｆよりも内側に位置している。 （もっと読む）

【課題】輪帯照明等の変形照明において、その照明光の偏光状態をＳ偏光とする際に、照明光の光量損失の低減、及び被照射物体上の照明光の照度不均一性の低減に寄与する偏光変換部材を提供する。
【解決手段】偏光変換部材１２は、光源からの照明光の照度を実質的に均一化するための照度均一化部材を介して物体に照射する照明光学系を備えた照明光学系に適用され、照度均一化部材よりも光源側に配置される。偏光変換部材は、照明光に対して透明な透明基板と、透明基板上に設けられた複数の偏光変換素子を備え、複数の偏光変換素子は、照明光学系の光軸と垂直な面内においてそれぞれ異なる位置に配置される。 （もっと読む）

【課題】ズーム倍率に依らず良好な照明を行うことができる照明装置とこれを備えたズーム顕微鏡を提供すること。
【解決手段】標本面１０ａ側から順に、対物レンズ１１とアフォーカルズーム１３系とを有するズーム顕微鏡３０に設けられ、アフォーカルズーム系１３及び対物レンズ１１を介して標本面１０ａを照明する照明光学系を備えて構成される照明装置において、アフォーカルズーム系１３のズーミングに応じて照明光学系の光源１８側に形成される照明光学系の射出瞳の位置と略一致するように光源１８位置を変更可能に構成した照明装置。 （もっと読む）

【課題】 放射の強度における損失および／または装置の増大した複雑さが除去または緩和されるＥＵＶ放射リソグラフィのためのリソグラフィ装置および方法を提供すること。
【解決手段】 レンズの第１アレイとレンズの第２アレイとを含む透過型フライアイインテグレータが開示される。レンズの第１アレイとレンズの第２アレイとは合わせてフライアイインテグレータを形成し、レンズの第１アレイおよびレンズの第２アレイは、５μｍ〜５０μｍの範囲から選択された直径、および、２５μｍ〜２５００μｍの範囲から選択された曲率半径を有するレンズを含む。 （もっと読む）

【課題】照明光の波長の切り換えに際して、光学系の調整を必要とすることなく対物レンズの瞳面と照明光の集光位置とのずれを補償してエバネッセント照明を行うことが可能な低コストの顕微鏡を提供する。
【解決手段】複数の波長の照明光を出力可能な光源１８と、対物レンズ６と、標本４をエバネッセント照明するために光源１８からの照明光を対物レンズ６の瞳面Ｐの所定の領域に集光可能な集光光学系２０と、を有しており、集光光学系２０が、正レンズと負レンズとからなり全体として正の屈折力を有する接合正レンズを少なくとも１つ有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】色むらを十分に抑制することができるとともに光利用効率を向上させることができる照明用レンズおよび照明装置を提供すること。
【解決手段】光軸に直交する第１の入射面２０と、発光装置８側に向かうにしたがって径が拡大する第２の入射面２１と、出射側に向かうにしたがって径が拡大する全反射面２２と、主として第１の入射面２１に入射した光を被照射面１８側に向かって出射させる第１の出射面２４と、第２の入射面に入射した光を被照射面１８側に向かって出射させる第２の出射面２５とを有し、第２の出射面２５を、第１の出射面２４よりも正のパワーが弱くなるように形成すること。 （もっと読む）

【課題】本発明は、高画角の観察光学系に適し、例えば医療分野や工業分野などで用いられる内視鏡装置に利用でき、側方、後方を適切に配光できて小型でかつ配光特性の優れた照明光学系を提供すること。
【解決手段】光源側から順に、正レンズ、反射部材、負レンズの順に、または光源側から順に、正レンズ、パワーを持った反射部材の順に、または光源側から順に、ロッドレンズ、正レンズ、反射部材、負レンズの順に、または光源側から順に、ロッドレンズ、正レンズ、反射部材、負レンズの順に配置されたことを特徴とする照明光学系。 （もっと読む）

【課題】投光素子の発光体から発せられた光における光ファイバのコア内を実質的に伝搬される光量を十分に確保することにより、投光素子と光ファイバとの光結合効率の向上を好適に図ることができる投光装置及び該投光装置を備えた光ファイバセンサを提供する。
【解決手段】投光装置１２において、透明パッケージ体３３内に封止された発光体２９の発光面から光ファイバ３５のコア３６の端面までのレンズ部３７の頂点を通過する光軸Ｐ方向における距離Ｌと、レンズ部３７を該レンズ部３７における頂点を通過する光軸Ｐを含む平面で切断した場合の断面形状の曲率半径Ｒとの数値関係を、距離Ｌを０．２ｍｍ≦Ｌ＜０．７ｍｍとなるように設定すると共に、曲率半径Ｒを０．２ｍｍ≦Ｒ≦２ｍｍとなるように設定したことにより、光結合効率が向上した。 （もっと読む）

【課題】自動車用照明器具を提供する。
【解決手段】少なくとも１つの光源と、該光源の光が入射可能な、少なくとも２つの光導体面と、少なくとも１つの周縁面を有する少なくとも１プレーナ光導体と、該光導体面の一方によって形成された光出射面と、を備える。前記光出射面に対向する前記光導体面に第１の出射素子が設けられている。前記プレーナ光導体と直接に結合されているかまたは該プレーナ光導体の一部をなしている少なくとも１つの棒状光導体が設けられ、該棒状光導体は、基本的に自動車の走行方向または反走行方向に光を出射する出射面を有する。前記プレーナ光導体の光出射方向は、前記光導体面の少なくとも一方に対して基本的に垂直であり、前記棒状光導体には、前記光源の光が入射可能であり、該棒状光導体は、該棒状光導体の前記出射面に対向する面に配置された第２の光出射素子を有する。 （もっと読む）

【課題】内視鏡用照明光学系に用いる高精度非球面レンズを、ガラスモールド成形であっても成形し易い形状とするとともに、射出された光が収束しないようにしたレンズを提案する。
【解決手段】内視鏡用照明光学系１０は、オプチカルファイバーバンドルからなるライトガイド２０の前に正のパワーを有するレンズ３０から構成される。レンズ３０は、非球面形状の入射面Ｐに、ライトガイド２０から射出された光が入射するように配置され、入射面が前記ライトガイド２０側に凸で正のパワーを持つとともに、光軸Ｚに平行に入射する光線の高さをｈ（範囲：０〜ｈ＿ｍａｘ）、入射面の光軸中心位置をｄ＝０としたときの高さｈにおける入射面の光軸方向の深さをｄ＝ｆ（ｈ）としたときに、ｆ（ｈ）のｈの一階微分が０以上で、かつ二階微分が０となるｈが、０＜ｈ＜ｈ＿ｍａｘに存在する非球面レンズを有する。 （もっと読む）

【課題】
ＬＥＤ等の点状光源を用い、色再現性を高めた直下方式の面光源素子において、光源の他の部材との厳密な位置合わせなく正面方向の高い輝度均一性と色の均一性とを実現する。
【解決手段】
複数の凸部（２１）を有した１枚の光制御部材（２）を用い、凸部を、Ｘ軸と、Ｘ軸に直交するＹ軸とに平行なＸ−Ｙ平面の法線の一方をＺ軸方向として、Ｘ−Ｚ平面と平行な任意の平面における断面形状を一定、且つＹ−Ｚ平面と平行な任意の平面における断面形状を一定とし、２次元的に、また光制御部材（２）の全ての面で光線方向を制御することによって、上記の課題を解決する。 （もっと読む）

マイクロリソグラフィのための照明光学ユニットは、物体視野を照明光で照明するように機能する。第１のファセットミラー（１３）は、複数の第１のファセット（１９）を有する。第２のファセットミラー（１４）は、複数の第２のファセット（２０）を有する。第１のファセットミラーのファセットと第２のファセットミラーのファセットとをそれぞれ含むファセット対（１９，２０）は、物体視野を照明するための複数の照明チャンネルを予備形成する。照明チャンネルの少なくとも一部は、各場合に、それぞれの照明チャンネル内で誘導される照明光の個別偏光状態（ｘ−Ｐｏｌ，ｙ−Ｐｏｌ，ｘｙ−Ｐｏｌ，ｙｘ−Ｐｏｌ）を予備形成するために割り当てられた偏光要素を有する。その結果、下流の結像の高い構造解像度を保証する物体視野の照明がもたらされる。 （もっと読む）

【課題】各観察方法に対応可能であり、光源装置の大型化を防ぎ、かつ、明るさを確保できる内視鏡光源光学系。
【解決手段】光源１から順に、光源からの光を集光する集光光学系２と、瞳倍率を縮小するための倍率変換光学系３と、該倍率変換光学系からの光を集光する正レンズ群４からなる光源光学系において、集光光学系２と倍率変換光学系３の主点間距離ｄと、集光光学系２の後側焦点距離ｆ_2Bと、倍率変換光学系３の前側焦点距離ｆ_3Fが満たす条件式（１）を満足する。 （もっと読む）

基板上にレチクルデザインを結像するためのレンズを含むフォトリソグラフィシステムを較正する方法が開示される。低温レンズコンターと呼ばれる、公称動作温度範囲内に維持されたレンズによるレチクルデザインに対する基板コンターと、高温レンズコンターと呼ばれる、光透過により加熱された少なくとも１つの基板と、が生成され、これらからプロセスウィンドウが特定される。レンズマニピュレータにより誘発される収差は、マニピュレータモデル内で特徴付けられ、プロセスウィンドウはマニピュレータモデルを使用して最適化される。収差は、複数のマニピュレータ設定に対するレンズ操作に起因するクリティカルディメンジョンの変動を特定すること、およびマニピュレータ設定と収差との間の関係としてマニピュレータの挙動をモデル化することにより特徴付けられる。プロセスウィンドウは、一組の重要位置に対する費用関数を最小化することにより最適化され得る。 （もっと読む）