【課題】レーザ光源の発散角にばらつきがあったとしても、輝度の均一性を向上しかつ保持する。
【解決手段】面発光装置１０は、レーザ光を出射する少なくとも一つの半導体レーザ光源１ａ、１ｂ、１ｃを含む光源部１と、入射面８ａからレーザ光を導光して出射面８ｂから面発光させる導光板８と、光源部１から出射されたレーザ光をレンズ２１ａ、２２ａ、２１ｂ、２２ｂ、２１ｃ、２２ｃの作用により所定のビーム形状に成形するビーム成形部２と、ビーム成形部２によって成形されたレーザ光９の強度分布を、入射面８ａの長手方向において略均一な強度分布に変換する強度分布変換部５とを有する。ビーム成形部２は、半導体レーザ光源の発散角に応じてレンズの焦点距離を調整可能である。 （もっと読む）

【課題】 この発明は、焦点距離を短縮して小型化しうる太陽光集光装置の改良に関する。
【解決手段】一方の面の断面が略放物線形状からなり、該一方の面と対峙する他方の面の断面が直線または周辺部のみ略放物線形状から離れる方向に膨らんだ曲線からなる透明の物質で形成された透明体の前記一方の面に反射面形成層を設けて反射面とし、前記他方の面を太陽光の入射面とした集光器を設け、該入射面から入射した太陽光を上記反射面で反射させ、該反射光を前記入射面から屈折して外へ出射させることで、出射光の焦点距離を短縮してなることを特徴とする。 （もっと読む）

視野ファセットミラーを含むＥＵＶマイクロリソグラフィのための照明光学系、瞳ファセットミラーを含むその後の光学系、更に、この種の照明光学系を含む照明系、この種の照明系を含む投影露光装置、最後に、微細構造又はナノ構造構成要素を製造する方法、及びこの方法を用いて製造される構成要素を提供する。ＥＵＶマイクロリソグラフィのための照明光学系は、長手視野寸法（ｘ）と短手視野寸法（ｙ）の間で１よりも有意に大きい延長比を有する物体視野に放射線源からの照明光束を誘導するように機能する。視野ファセットミラー（１３）は、物体視野内に所定の照明条件を設定するための複数の視野ファセット（１９）を有する。視野ファセットミラー（１３）の下流にあるその後の光学系は、照明光を物体視野（５）に伝達するように機能する。その後の光学系は、複数の瞳ファセット（２７）を有する瞳ファセットミラー（１４）を含む。視野ファセット（１９）は、照明光束（１０）のうちで各場合に視野ファセット（１９）のうちの１つに入射する部分が、関連の瞳ファセット（２７）によって物体視野（５）上に誘導されるように、各場合に瞳ファセット（２７）に個々に割り当てられる。視野ファセットミラー（１３）は、関連の基本照明瞳ファセット（２７_G）によって物体視野（５）の基本照明を与える複数の基本照明視野ファセット（１９_G）を含むだけではなく、関連の補正照明瞳ファセット（２７_K）によって物体視野（５）の照明の補正を与える複数の補正照明視野ファセット（１９_K）をも備える。その結果は、照明パラメータ、例えば、照明強度分布又は照明角度分布の望ましくない変動を物体視野にわたって補正することを可能にする照明光学系である。 （もっと読む）

【課題】空間的なコヒーレンスに起因するゴースト像の発生を抑える技術を提供する。
【解決手段】インテグレータとして機能するフライアイレンズ１０４の分割数Ｎを、ある閾値より大きくすることで、観察される視野の領域内で発生するゴースト像のコントラストをあるレベルよりも小さくなるようにする。こうすることで、紫外レーザ光を用いたフォトマスクの欠陥の検査におけるゴースト像の影響を排除する。 （もっと読む）

【課題】光源からの光の集光効率をアップさせた集光レンズ群を有するプロジェクタ装置を提供する。
【解決手段】プロジェクタ装置１０は、光源１と、矩形形状の表示面６ａを有する表示素子６と、光軸周りの少なくとも一部の回転角での屈折力が他の回転角での屈折力と異なり、光源１からの光を集光して表示素子６の表示面６ａと略大きさにするとともに、照度を均一化して照射する自由曲面２ａを有する第１及び第２集光レンズ２，３と、表示素子６に形成される像を投影する投影レンズ群８，９と、から構成される。 （もっと読む）

【課題】照明装置において、発散光を出射する光源からの光を高効率に導光部材へ入射させる。
【解決手段】照明装置１は、発散光を出射する光源２と、コア部４ａ、および該コア部４ａの外周に配設されて該コア部４ａより屈折率の低いクラッド部４ｂを有する導光部材４と、光源２と導光部材４の間の光路に配置されて、光源２および導光部材４を光結合させるコンデンサー光学系３とを備える。コンデンサー光学系３の焦点距離をｆとし、光源２の発光部からコンデンサー光学系３の光源側の焦点位置までの距離をＤＬとしたとき、下記条件式（１）を満足する。
１．５≦ｆ／ＤＬ≦４ … （１） （もっと読む）

照明光学系、照明光学系を含む照明系、照明系を含む投影露光装置、投影露光装置を用いて構造化構成要素を生成する方法、及び本方法に従って生成される構成要素を提供する。マイクロリソグラフィのための投影露光装置の物体視野（１４）を照明する上で、照明光学系が用いられる。照明光学系は、有効光束を誘導する光学構成要素のコンデンサー群（１５）を含む。コンデンサー群（１５）の下流には、光束誘導構成要素の対物光学素子群（１８）が配置される。コンデンサー群（１５）のうちの少なくとも１つの構成要素（ＦＬＧ４、ＦＬＧ５）、及び対物光学素子群（１８）のうちの少なくとも１つの構成要素（ＲＥＭＡ１、ＲＥＭＡ２）は、実際の照明状態にある物体視野（１４）の望ましい照明状態からの偏位の補償に向けて変位可能である。 （もっと読む）

【課題】反射面に付着するデブリ等の微粒子の量を減少できる反射型の照明技術を提供する。
【解決手段】露光光ＥＬで被照射面を照明する照明光学装置は、曲面ミラー２４及び凹面ミラー２５を有し、曲面ミラー２４と凹面ミラー２５との間に実質的に被照射面と共役な位置を形成する照明光学系ＩＬＳと、曲面ミラー２４が配置される空間Ｂと凹面ミラー２５が配置される空間Ｃとを互いに異なる真空環境又は減圧環境に分離し、かつ露光光ＥＬが通過する開口５ａが形成された第２アパーチャ板５とを備え、開口５ａは露光光ＥＬの断面積が最も小さい位置又はその近傍に配置される。後続の光学系に対するデブリ等の微粒子の通過量を減少できる。 （もっと読む）

【課題】光源から出力される光の光路内に空間光変調部材が配置された場合であっても、光源の高出力化によるデバイスの製造効率の向上に貢献できる照明光学装置、露光装置及びデバイスの製造方法を提供する。
【解決手段】露光装置１１は、露光光源１２から出力された露光光ＥＬをレチクルＲに導く照明光学装置１３を備えている。この照明光学装置１３は、アレイ状に配列された複数の可動マルチミラー２２を備え、各可動マルチミラー２２は、可動する反射面を有する複数の要素ミラーをアレイ状に配列することによりそれぞれ構成されている。また、全ての可動マルチミラー２２は、露光光源１２から出力される露光光ＥＬの光路内にそれぞれ配置されている。 （もっと読む）

既知の走査型共焦点顕微鏡システムは、共焦点走査ヘッドに対して光を与えるために光ファイバを用いる。ファイバからの照射は一様でなく、ファイバ内には大きな光損失が生じ得る。この発明によれば、光源からの光ビームを走査型共焦点顕微鏡システムの共焦点走査ヘッドに入力するためのアセンブリが提供され、当該アセンブリは、ビーム幅調整器（６ａ、６ｂ）と、光ビームの経路を制御するためのビーム指向器（８，１０）と、前記共焦点走査ヘッドの光入力における所定の合焦点にビームを導くためのビーム合焦手段（１２）とを備える。
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ビーム断面長軸とビーム断面短軸とを有し、長軸上の長さが少なくとも200mmであり、短軸上の長さが最大で800μmである線状のビーム断面を有するレーザビームを生成するための方法及び構成であって、レーザビームが、長軸と短軸の両方に関して、それぞれ一つの焦点面を生成し、これらの焦点面上に、レーザビームのビーム断面が分割された多数の部分ビームをそれぞれ合焦させ、続いて、これらの部分ビームを束ねて、ビーム断面が均質化されたレーザビームを形成することによって、レーザ光源から発するレーザビームを長軸と短軸に関して別々に均質化させ、レーザビームが、少なくとも長軸に関してテレセントリックに結像され、すなわち、長軸に関して均質化されたレーザビームが、集光光学系(LACL)によって結像され、伝播方向に向いた平行な光の部分ビームからなる結像レーザビームに割り当てることができる光路が生じるようになる方法及び構成が記述される。本発明は、第一の集光光学系(SACL1)によって、短軸上で均質化して合わさったビーム断面を結像させて、均質な像視野(HFSA1)を生成し、第一の視野レンズ光学系(SAFL1)によって、第一の瞳(P1)を生成し、第一の瞳(P1)に、短軸に関して分割された部分ビームが合焦された焦点面が結像されるステップと、第二の集光光学系(SACL1)によって、均質な像視野(HFSA1)を第二の像視野(HSFA2)に結像し、第二の視野レンズ光学系(SAFL2)によって、第一の瞳(P1)を第二の瞳(P2)に結像させるステップであって、第二の瞳(P2)が、結像面上にレーザビームをテレセントリックに結像させるための結像光学系(pレンズSA)の入射瞳に相当し、結像面上に、長軸に関して均質化されたレーザビームが集光光学系(LACL)によって結像されるステップとを特徴とする。
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【課題】任意の距離にある被写体を照明し、アスペクト比の高い照射領域に対して均一に近い光線強度分布を実現するレーザー照射光学系を得る。
【解決手段】レーザーアレイ１より放射されたレーザー光線の光線強度を均一化し、任意の角度範囲を照射するレーザー照射光学系において、レーザー入射側がテレセントリック構造をしたリレー光学系をレンズ群２として有し、レーザーアレイ１の共役像の近傍に光学系の主点４を持ち、光学系の設計パラメータを用いて定義されるパラメータεｄに対してεｄ＜３を満足するレーザー照射光学系である。 （もっと読む）

【課題】輝度むらの無い画像をスクリーンに投影するとともに、低コストで製造できる投影型表示装置を提供する。
【解決手段】正面方向に対して一方の方向に傾いた入射方向から入射した光を反射して正面方向に出射するとともに複数の画素からの光の出射を制御して画像を表示する反射型表示素子１と、光源１１からの光を光源系レンズ２１により光束を拡大して反射型表示素子１に前記入射方向から投射する光源系２０と、前記反射型表示素子１からの出射光を投影系レンズ２４により光束を拡大して投影する投影系２３と、前記反射型表示素子１の前に配置され、光源系２０からの投射光を反射型表示素子１の正面方向に対して前記入射方向に所定角度傾いた方向に沿う平行光に補正して前記反射型表示素子１に入射させるとともに、前記反射型表示素子１の正面方向に出射した反射光をその光束を縮小して投影系レンズ２４に入射させる中継光学部材２５とを備えた。 （もっと読む）

【課題】複雑な構成となる像及び瞳の共役関係を保ったズーム系とすることなく、ズーミングによる瞳面の移動に対処する手段を設けた照明装置及びこの照明装置を備えたズーム顕微鏡を提供する。
【解決手段】標本面１０ａから順に、対物レンズ１１と、開口絞り１２と、アフォーカルズーム系１３とを有するズーム顕微鏡３０に設けられ、アフォーカルズーム系１３、開口絞り１２及び対物レンズ１１を介して標本面１０ａに照明光を照射する照明装置２０を、アフォーカルズーム系１３から光源側に向かって順に、結像レンズ１５と、瞳位置補正光学系１６と、光源１８とから構成し、瞳位置補正光学系１６が、アフォーカルズーム系１３のズーミングによって生じる照明光学系の光源側に生じる射出瞳の位置変化を補正する。 （もっと読む）

【課題】 レンズ収差を補償する方法を提供すること。
【解決手段】 （ａ）結像系の結像性能を定量化し、結像性能に対するレンズ収差の作用を反映するコスト測定基準を定義する段階と、（ｂ）光源照明プロフィルを定義する段階と、（ｃ）光源照明プロフィルに基づいてコスト測定基準を評価する段階と、（ｄ）光源照明プロフィルを修正し、修正された光源照明プロフィルに基づいてコスト測定基準を再評価する段階と、（ｅ）コスト測定基準が最小限に抑えられるまで段階（ｄ）を繰り返す段階とを含む方法。最小限に抑えられたコスト測定基準に対応する光源照明プロフィルは、結像デバイスの最適な照明を表す。 （もっと読む）

【課題】汎用ＬＥＤとレンズとで配光制御された光を光学反射部で反射して外部に放出する構成の照明装置において、レンズの光学的に異質な部分を光学反射部で補完することによって配光の良好な照明装置を提供することにある。
【解決手段】ＬＥＤ２の光軸Ｘを中心とする、係止突部挿通孔２１と同一円上の等角度の位置に段差下面１９である段差延長部２０を設けることにより、係止突部１７で生じる暗点と類似した光学状態をＬＥＤ２の光軸Ｘを対象軸とする点対称の位置に設けた。その結果、照明装置から出射される照明光が偏りなく略点対称の配光を形成するため、見栄えがよく美観に優れた照明灯具となるものである。 （もっと読む）

【課題】２枚の正レンズを用いた内視鏡照明光学系において、周辺部まで明るい優れた配光特性を有し、光の利用効率が高く、コストも安い内視鏡照明光学系を得る。
【解決手段】面光源側から順に、正の第１レンズと、正の第２レンズからなり、次の条件式（１）及び（２）を満足する内視鏡照明光学系。
（１）０．４０＜ｆ／Ｄ＜０．５３
（２）０．４０＜０．５・Ｄ・θ＜０．５６
但し、
Ｄ；面光源の最大径、
ｆ；第１レンズと第２レンズの合成焦点距離、
θ＝（１＋０．８５ｄ１／Ｒ２）（１-１／ｎ１）／Ｒ１-１．０５／Ｒ２
ｄ１；第１レンズの厚さ、
Ｒ１；第１レンズの面光源側の曲率半径、
Ｒ２；第１レンズの被照射面側の曲率半径、
ｎ１；第１レンズの屈折率。 （もっと読む）

【課題】
レーザ光が通過するレンズに付着した塵埃の有無を容易に確かめることができるレーザ光投影装置及びレーザ光の投影方法を提供することにある。
【解決手段】
レンズに付着した塵埃の有無等を確かめるためのレーザ光投影装置において、レンズを通過したレーザ光を映し出す色付きの投影部を備え、レンズに付着した塵埃の影を該投影部に投影して目視可能とし、投影部の色がレーザ光の色の補色又はレーザ光の色と等色相差の関係又はレーザ光の色と類似色相の関係にあることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 照射距離に応じて容易に焦点の調節を行うことができる紫外線照射装置を提供すること。
【解決手段】 ヘッド部４と、ヘッド部４を点灯制御するための電源制御部と、を備えた紫外線照射装置２。ヘッド部４は、紫外線を照射する発光ダイオード８と、発光ダイオード８が取り付けられる第１取付手段１０と、発光ダイオード８から照射される紫外線を集光するための集光レンズ１２と、集光レンズ１２が取り付けられる第２取付手段１４と、第１取付手段１０及び第２取付手段１４を保持する筒状外装体１６と、発光ダイオード８と集光レンズ１２との離間距離を調節するための離間距離調節手段１８と、を有し、離間距離調節手段１８は、第１取付手段１０を筒状外装体１６の内部においてその軸方向に移動させる。 （もっと読む）

【課題】全倍率域においてケラレの無い蛍光落射照明が可能な、ズーム顕微鏡を提供する。
【解決手段】 交換可能な対物レンズ３１、開口絞り３２、アフォーカルズーム系３３、結像光学系３４からなる観察光学系３、及びズーム落射照明光学系１を有するズーム顕微鏡であって、ズーム落射照明光学系１の光路は、対物レンズ３１とアフォーカルズーム系３３の間で、観察光学系３の光路と同一光路とされて被検物を落射照明するようにされ、かつ、ズーム落射照明光学系１においては、光源１１の像が対物レンズ３１の瞳位置近傍に形成されるようにされていることを特徴とするズーム顕微鏡。 （もっと読む）