【課題】 レンズ媒体の外周部に反射鏡を用いることなく、有効にＬＥＤ等の光源の迷光成分等を集光し、所望の照度を得ることが可能な非球面レンズを提供する。
【解決手段】 外側頂部３、底部及び光軸に平行方向の側面からなる外周部を有するバルク型のレンズ媒体４と、この底部から外側頂部３に向かってレンズ媒体４の内部に設けられた収納部６とから構成された砲弾型や卵型等のバルク型レンズ２０である。レンズ媒体４の内部に設けられた収納部６の凹部天井部２と凹部側壁部５とが第１のレンズ面（２，５）、レンズ媒体４の外側頂部３が第２のレンズ面３として機能する。収納部６の内部に光源１若しくは光検出器が収納される。 （もっと読む）

【課題】本発明は、全体構成がコンパクトである上、発光の利用率も高い集光装置を提供する。
【解決手段】発光部２と、そこから発光される光を集光して実像パターンとして結像させる実像集光レンズ４１、４２からなる実像集光部４とを備える。発光部２と実像集光部４との間に、焦点が実像集光部４の焦点距離より小さい虚像集光レンズ３１、３２からなる虚像集光部３を配設する。発光部２は、虚像集光部３の焦点領域に配設する。 （もっと読む）

【課題】光線投射用モジュールを提供する。
【解決手段】光線を生成するのに適している光源１０と、表面の一方の側だけから光線を放射するように光源が配置される実質的に平坦な支持面２０と、支持面の一方の側に延在して支持面の方に面するそのくぼみを有しており、光源の支持面と実質的に平行な主方向に光源から始まる光線を反射することができる湾曲した反射面３０と、を備えて、反射面は、光線の各部分を受け入れるのに適している複数の反射領域(３１，３２，３３)に分割されている。複数の反射領域は、その領域によって反射された光線の一部分が、垂直方向に実質的に平行にされ、第一の所定角度α_１未満の水平方向の小広がりαを有しているような少なくとも一つの領域(３２，３３)と、その領域によって反射された光線の一部分が、第二の所定角度α_２より大きな水平方向の大広がりαを有するように設計されている少なくとも一つの領域３１と、を備える。 （もっと読む）

【課題】従来のストロボ装置においては、光の出射面を小型化すると、光源に対する光束利用率が低下して効率が減少すると共に、充分な照射範囲が得られないものとなり、実用性が低下するという問題点を生じていた。
【解決手段】本発明により、光源２とは大気を介してして対峙し、光源から水平方向に射出される光を入射させる正面入射部３ａを有すると共に、正面入射部の上方と下方に光源に向かい突出する一対のプリズム部３ｃ、３ｄを有するレンズと、光源から上下方向に射出される光をプリズム部の外側からレンズに取り込み、それ以外の方向から放出される光をプリズム部の内側からレンズ内に取り込むリフレクタとから成るストロボ装置とすることで、小型化と光束利用率の向上を共に可能として課題を解決するものである。 （もっと読む）

【課題】非等方的な所望の照射範囲を発光素子からの出射光によって滑らかな照度分布となるように照射し、複数の発光素子を備えた面光源装置において輝度ムラの発生を防止する。
【解決手段】発光素子４からの光は光束制御部材５を介して出射する。光束制御部材５の光制御出射面６は、発光素子４から出射した光のうち、少なくともその最大強度の光が出射される方向から出射光の強度が最大強度の半分の値となる光が出射される方向までの角度範囲内に出射される光について、光束制御部材５に入射して光制御出射面６に到達した前記角度範囲内の光とその到達点を通り発光装置の基準光軸と平行な線とのなす角θ１と光制御出射面６から出射する光の出射角θ５が、発光素子４から出射される光のうちの光軸Ｌ近傍の光を除き、θ５／θ１＞１の関係を満足するとともに、このθ５／θ１の値をθ１及びφ（Ｌ軸回りの回転角）によって変化させる形状に形成されている。 （もっと読む）

【課題】光学系の光路長を短縮したり、照射面におけるレーザ光の長さを長くすると、前記レーザ光の両端がぼける場合がある。
【解決手段】光学系の光路長を短くしたり、照射面におけるレーザ光の長さを長くすると、レーザ光のレンズに対する入射角度や入射位置によって集光位置が異なってしまう現象（像面湾曲）が生じる。そこで、本発明は、凹レンズや凹シリンドリカルレンズなどの光学素子を挿入して、集光位置を照射面に一致させて、前記照射面上に像を形成することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】十分な照射範囲と良好な光学特性を確保しつつ、射出部をより薄型化することが可能な照明装置を提供する。
【解決手段】 照明装置５は、光源６と、該光源からの光が入射する第１の光学部材８と、該第１の光学部材から射出した光を照射範囲に照射する第２の光学部材９とを有する。第１および第２の光学部材のそれぞれには、互いに光学特性が異なる光学面Ｈ，Ｎが照射光軸方向に直交する第１の方向に交互に形成され、該第１および第２の光学部材が第１の方向に相対移動することで照射範囲が変化する。第２の光学部材における射出面９Ｅの第１および照射光軸方向に直交する第２の方向での大きさは、第１の光学部材の該第２の方向での大きさよりも小さい。 （もっと読む）

【課題】量産性に優れ、生産時に欠陥が生じ難く、しかも、量産時、形状にバラツキが発生し難い構造を有する光取出しレンズを提供する。
【解決手段】底面１１の中心部に有限の大きさを有する面光源１３を配する光取出しレンズであって、頂面１５は、側面１４と頂面１５の交わる部分における極角Θ₀よりも小さい極角を有する放射光成分の一部分を全反射させるための、ｚ軸に対して回転対称である非球面から成り、側面１４は、極角Θ₀よりも大きな極角を有する放射光成分、及び、頂面１５によって全反射された放射光成分を透過させるための、ｚ軸に対して回転対称である非球面から成り、側面１４を表すｚを変数とした関数ｒ＝ｆ_S（ｚ）において、０≦ｚ≦ｚ₁（側面１４と頂面１５の交わる部分のｚ座標）の閉区間においてｚが減少するとき関数ｒ＝ｆ_S（ｚ）は単調増加し、且つ、該閉区間において｜ｄ²ｒ／ｄｚ²｜が極大となる点を少なくとも１つ有する。 （もっと読む）

【課題】 ダイレクト接続タイプの測定装置で、結像光学系よりＦ値の大きな明るい照明光学系を照射することが可能な光源装置を実現する。
【解決手段】 光源からの光をレンズ群を介して被検査撮像素子に照射する光源装置において、前記レンズ群の中のレンズのうち、結像面に最も近いレンズをレンズ群とは分離して配置した。 （もっと読む）

【課題】 光学系全体の大型化を招くことなく、色収差を良好に補正し得る顕微鏡用の照明光学系を提供する。
【解決手段】 本発明は、光源１１と、前記光源１１からの光を集光するコレクタレンズ群１２とを備える照明光学系１において、前記コレクタレンズ群１２内あるいは前記コレクタレンズ群１２の近傍に、回折光学面（回折光学素子ＤＯＥ）を配置して構成される。 （もっと読む）

【課題】 一様なライン強度のライン光を得ることができる広角レンズの提供。
【解決手段】 レーザー光源１４からのレーザービーム１４Ａを２２０°のライン光に広角化するための広角レンズたる天井広角レンズ部１７は、最入射側１７Ａと最出射側１７Ｂとを結ぶ方向に積層配置された第１シリンドリカルレンズ１７１と、第１サブシリンドリカルレンズ１７２と、第２サブシリンドリカルレンズ１７３とにより構成されている。第１シリンドリカルレンズ１７１は入射側に凹レンズ面１７１Ｂ、出射側に凸レンズ面１７１Ａを有する。第１サブシリンドリカルレンズ１７２は入射側、出射側にそれぞれ凹レンズ面１７１Ｂ、１７１Ａを有する。第２サブシリンドリカルレンズ１７３は第１サブシリンドリカルレンズ１７２と同一形状である。 （もっと読む）

【課題】 光源からの発散光の光強度分布を均一化すると共に光利用効率を向上させ、光源のＮＡの違いを容易に吸収し、かつローコストな光強度分布補正光学系およびそれを用いた光学顕微鏡を提供する。
【解決手段】 入射光の強度分布を必要な視野内で平坦な強度分布に補正する光強度分布補正光学系において、
少なくとも１つのレンズから成る正の屈折力をもつ第１レンズ群と、
前記第１レンズ群の後段に配置され、少なくとも１つのレンズから成る負の屈折力を持つ第２レンズ群と、
前記第２レンズ群の後段に配置され、少なくとも１つのレンズから成る正の屈折力を持つ第３レンズ群と、
を有し、
発散して出射される点光源からの入射光をコリメートすると共に、各レンズ群の球面収差により前記入射光の強度分布を平坦にして出射することを特徴とする光強度分布補正光学系。 （もっと読む）

【課題】光の抽出効率を高く維持し、かつ大面積を均一に照射可能なハイブリッド発光方式の光学レンズを提供する。
【解決手段】本発明による光学レンズは、凸形状の中心レンズ部と、中心レンズ部の外側を囲む凹形状の周辺レンズ部とを含む。この光学レンズは特に、外部の点光源から底部に入射した光の経路を調節し、中心部では光を弱めて出射し、周辺部では光を強めて出射する。 （もっと読む）

マイクロリソグラフィ露光装置（１０）の照明システム（１２）は瞳平面（５４）を視野平面（６２）に変換するための集光装置（６０１；６０２；６０３；６０４；６０５）を有する。この集光装置は複数の連続したレンズを含むレンズ群（Ｌ１４、Ｌ１５、Ｌ１６、Ｌ１７；Ｌ２４、Ｌ２５、Ｌ２６、Ｌ２７、Ｌ２８；Ｌ３４、Ｌ３５、Ｌ３６、Ｌ３７；Ｌ４４、Ｌ４５、Ｌ４６；Ｌ５３、Ｌ５４、Ｌ５５）を有する。これらのレンズは、集光装置（６０１；６０２；６０３；６０４；６０５）によって軸上の結像点（７２）に焦点を合わせられる光束（７０）がレンズ群の各々のレンズの中で集束するように配置される。この照明システムは、少なくとも部分的に集光装置（６０１；６０２；６０３；６０４；６０５；６０６）の残存瞳収差を補正する視野絞り対物レンズ（６６；６６６、６６６’）をさらに有することもある。
（もっと読む）

【課題】高収斂性で輝度ムラが少なく、高精度のフォーカシングを得ることの可能なＡＦ補助光源用光半導体装置を提供する。
【解決手段】発光素子と、この発光素子を固定する台座と、前記発光素子を前記台座上で被覆し、前記発光素子からの照射光を透過、収斂させる樹脂部と、前記発光素子と外部回路を接続するリードと、前記樹脂部の端部と接し、光射出方向に筒状に形成されるホルダーを有し、前記樹脂部は、曲率半径ｒの光射出面を備え、前記光射出面と前記発光素子の発光面との距離をｄ、前記樹脂部の屈折率をｎ、前記発光素子の発光サイズをｇとしたとき、
Σ＝ｒ／（（１−ｎ）ｄ＋ｎｒ）
で表される収斂係数Σと、その関数（１／ｒ）ｇΣ^４が、
２＜Σ＜５
２＜（１／ｒ）ｇΣ^４＜２０
を満たす。 （もっと読む）

【課題】光抽出効率が高くて表示領域全体に一様な輝度分布ができるようにし、側面発光特性と上面発光特性を両方とも有する発光ダイオードのレンズを提供する。
【解決手段】第１変動曲率を有する第１曲面と第２変動曲率を有する第２曲面とを備えた発光ダイオード用レンズを形成して、第２曲面は前記発光ダイオード用レンズの中心軸から側面分散突起を形成する発光ダイオード用レンズを構成する。 （もっと読む）

【課題】照明光学系等に用いることができ、製造可能で薄型の回折光学面を備えたＤＯＥレンズおよびこのＤＯＥレンズを有する照明光学系を提供する。
【解決手段】非球面形状を利用した回折光学面Ｇｆを備えるＤＯＥレンズ１３において、非球面形状を双曲面に基づいて決定し、超高屈折率法で設計する。このとき、ｍを回折の次数とし、λを波長とし、Κを円錐係数とし、ｎｕを超高屈折率法における仮想的な屈折率としたとき、回折光学面が、次式
【数８】


を満足することにより、製造を容易とする。また、照明光学系１４を、光源１１とこのＤＯＥレンズ１３とを有して構成する。 （もっと読む）

【課題】 照明用の光学要素として使用した場合でも、照明むらを発生しにくい非球面レンズを提供する。
【解決手段】 非球面レンズ１においては、通常の非球面レンズと異なり、レンズの外周付近を通過する光線６が、焦点４より手前で光軸５と交差するように、局所曲率半径が小さくなるようにされている。よって、光線６は、リレーレンズ２を通過したときは、光軸から遠ざかる方向に進行し、照射面３から外れて照明に寄与しない。従って、３を照明する場合の照明一様性が、非球面レンズ１の周辺部を通る光線６により悪くなることが防止される。 （もっと読む）

【課題】 高品位な露光を実現する照明光学系及びそれを有する露光装置を提供する。
【解決手段】 所定のパターンが形成された被照明面を照明する照明光学系であって、前記照明光学系による照明光の主光線の傾きと光軸に垂直な方向の位置を調節する補正光学系を含み、当該補正光学系は、非球面光学素子を有することを特徴とする照明光学系を提供する。 （もっと読む）

【課題】 液浸光学系において、ＮＡを最終レンズに用いられる硝材の屈折率の屈折率近傍以上まで高める。
【解決手段】 光源からの光１０を第１の面１３ａに向かって集束させる光学系であり、該第１の面に最も近いレンズ面１１ａが凹面であるレンズ１１と、該レンズ面と第１の面との間の光の透過領域を満たす液体１２とを有する。さらに、以下の条件を満足する。
ｄ＞Ｌ／［２×ｔａｎ｛ａｒｃｓｉｎ（ＮＡ／ｎｉ）｝］
但し、第１の面に対して略直交する方向において該レンズ面上の第１の点１１ｂと第１の面上の第２の点１３ｂとの間の距離が最大となる場合に、ｄは第１の点と第２の点との間の距離、Ｌ／２は第２の点から第１の面上での光の照射領域Ｌの端までの最大距離、ＮＡは該光学系の開口数、ｎｉは該液体の屈折率である。 （もっと読む）