【課題】短絡欠陥や断線等による真のデバイス欠陥と、コンタミネーションやパーティクル等を起因とする擬似欠陥とを識別して分類する。
【解決手段】異なる信号パターンの検査信号を用いることで、第１の真のデバイス欠陥を検出する第１の欠陥検出と、第２の真のデバイス欠陥と擬似欠陥とを合わせて検出する第２の欠陥検出とを行う。第１の欠陥検出では、擬似欠陥と正常状態とが分離されない状態で検出されるため、擬似欠陥検出によって擬似欠陥を検出する。第２の欠陥検出では、第２の真のデバイス欠陥と擬似欠陥とが分離されない状態で検出されるため、擬似欠陥検出で検出した擬似欠陥を用いて、第２の真のデバイス欠陥を分離して検出する。これによって、短絡欠陥や断線等による真のデバイス欠陥と、コンタミネーションやパーティクル等を起因とする擬似欠陥とを識別して分類する。 （もっと読む）

【課題】液晶セルをステージに載置し、また、取り出す場合にガラス基板に欠けや割れが発生しない液晶表示装置の製造用ステージを提供する。
【解決手段】液晶セル１０を載置するための固定ステージ１６であって、吸引孔２２と、固定ステージ１６の左側に設けられた２個の左ストッパー２６と、固定ステージ１６の上側に設けられた上ストッパー２４，２４と、固定ステージ１６の左右両側に設けられた取り出し用凹部２８，３０を有する。 （もっと読む）

【課題】精度よく点欠陥を検出可能な点欠陥検出装置、および点欠陥検出方法を提供する。
【解決手段】点欠陥検出システム１は、画像を表示させる液晶パネル２３と、液晶パネル２３に印加する電圧値を変えて複数のテスト画像を表示させる制御をするパターンジェネレータ３と、複数のテスト画像を撮像するＣＣＤカメラ４と、撮像画像のそれぞれに対して、点欠陥候補となる点欠陥候補画素を検出する画素解析処理手段と、これらの点欠陥候補画素の画素位置および輝度値を認識し、複数の撮像画像において、画素位置が同一である点欠陥候補画素の輝度値を積算する画像積算手段と、積算された点欠陥候補画素の輝度値が所定の検出閾値以上となる画素を点欠陥画素として検出する欠陥検出手段と、を具備した。 （もっと読む）

【課題】液処理装置の液処理ステージからの処理液の持ち出しを最小限のものとし、かつ基板への処理むらの発生を防止する。
【解決手段】現像ステージＳｔ１の内部に長さ寸法が基板１の幅方向の全長より長い寸法を有する排液ノズル１１が設置されており、その噴射通路１３は搬送される基板１に対して４５度以下となり、噴射口１３ａは基板１に対して平行な整流化面１５に開口しており、整流化面１５と基板１の表面１ａとの間には、均一な隙間Ｇを有するスリット状の通路が形成され、噴射口１３ａより前方側の部位には噴射通路１３の傾斜角より小さい角度の空気呼び込み壁１６が形成されており、噴射通路１３から噴射された加圧空気が噴射口１３ａから噴射する際に、コアンダ効果により整流化面１５への密着性が高くなり、スリット状の通路内でほぼ確実に基板１の表面と平行な流れにとなる。 （もっと読む）

【課題】平面表示装置等を製造するにあたり、連続帯状の支持シートから粘着テープ片を剥離して吸着し、別途に吸着保持されたワーク上に貼り付けるという工程操作を効率的に行えるとともに、この工程操作のための装置負担及び工程負担を小さくすることのできるものを提供する。
【解決手段】粘着テープ片２１を吸着し、ワーク３の所定箇所へと貼付け動作を行う吸着ヘッド４と、粘着テープ片２１の剥離のためのエアブローノズル６５と、ワーク吸着テーブル５と、吸着ヘッド４の吸着作用のための減圧配管、及びワーク吸着テーブル５での吸着作用のための減圧配管が吸引口に接続され、エアブローノズル６５への排気管が排気口に接続された真空用エジェクタ１とを備える。吸着及びエアブローは該真空用エジェクタ１への高圧ガス導入を制御する１つの電磁弁１１のみにより行われる。 （もっと読む）

【課題】配向性が良好な液晶分子を含む光学素子を製造可能な光学素子の製造方法を提供する。
【解決手段】基板に液晶分子を含む液晶インクを塗布し、基板上で液晶分子を配向させるステップ、液晶インクを塗布された基板の裏面に気体を吹き付けて基板を浮上させ、基板を搬送するステップ、及び搬送された基板上の液晶分子を固定するステップを含む。 （もっと読む）

【課題】製造が容易であり、製造歩留まり率を向上させることができるアレイ基板の製造方法を提供する。
【解決手段】基板上に、複数の第１配線と、複数の第２配線と、複数のスイッチング素子、複数の画素電極および複数の補助容量素子を有した複数の画素部と、切替え回路と、複数の第１検査パッドと、第２検査パッドと、を形成し、第２配線を第２検査パッドに接続し、画素部に電荷をチャージし、画素部の画素電極に電子ビームを照射し、画素電極から放出される２次電子の情報を検出し、画素部の欠陥の有無を検査する。 （もっと読む）

【課題】複数の貼り合わされた大型基板を切断する際の精度を向上させ、生産性を向上させることができる電気光学装置の製造方法及び製造装置を提供することである。
【解決手段】第１の大型基板１０と第２の大型基板３０を位置合わせした状態で貼り合わせ、貼り合わされた大型基板から電気光学装置を製造する方法において、第１の大型基板１０の一面に縦及び横方向に、溝状に切断ラインＬ1を形成する工程と、第２の大型基板３０に切断する大きさに合わせて縦及び横方向にレーザーによるレーザー加工痕Ｌ2を形成する工程と、第１の大型基板１０に形成された切断ラインＬ1に対して第２の大型基板３０に形成されたレーザー加工痕Ｌ2を位置合わせするアライメント工程と、を備えたものである。 （もっと読む）

【課題】基板端面の機能部へのダメージを回避することが可能な基板分割方法を提供する。
【解決手段】ＴＦＴ膜等の機能部３を形成する前に、石英基板１の当該機能部３を形成すべき端面側にレーザビームを照射し、集光して改質領域を形成し、次いで石英基板１の本来機能部３を形成すべき端面にＴＦＴ膜等の機能部３を形成し、次いで石英基板１の上面側にレーザビームを照射し、集光して改質領域を形成し、次いで分割対象基板４の両端部に下向きのモーメントを外力として加えて当該分割対象基板４を分割する。 （もっと読む）

【課題】 複数のノズルの吐出口の位置がそれらのノズルの交換、着脱に伴い位置ずれを生じても、各ノズルのこの位置ずれを解消し、ペーストパターンの描画精度を向上すること。
【解決手段】 複数のノズル２４Ａ〜２６Ａのそれぞれが吐出するペーストを基板１上の複数位置のそれぞれに塗布し、基板１上に複数のペーストパターンを描画するペースト塗布装置１０において、各ノズル２４Ａ〜２６Ａによるペーストの実塗布位置Ｐ１〜Ｐ３を検出する検出装置３１〜３３と、各ノズル２４Ａ〜２６Ａ毎に、検出したペーストの実塗布位置Ｐ１〜Ｐ３が予め定めてあるペーストの目標塗布位置Ｐ１０〜Ｐ３０に対する位置ずれを演算し、上記位置ずれを解消するように各ノズル２４Ａ〜２６Ａを基板１に対し相対移動する制御手段３０を有してなるもの。 （もっと読む）

【課題】基板の被洗浄表面を洗浄速度を上げても安定して洗浄することができる基板洗浄装置を提供する。
【解決手段】基板１の被洗浄表面に押圧される押圧子１１ａ、１１ｂと、押圧子１１ａ、１１ｂの被洗浄表面に対する対向面１５にテープ状の洗浄クロス１２を間欠的に送る洗浄クロス送給手段と、洗浄クロス１２に洗浄剤を吐出する洗浄剤供給手段としての吐出口１８と、押圧子１１ａ、１１ｂを基板１の被洗浄表面の長手方向に相対移動させる移動手段とを備え、押圧子１１ａ、１１ｂの対向面１５に、押圧子１１ａ、１１ｂの相対移動方向と直交する方向に延びる１つ又は複数の突部２０を形成した。 （もっと読む）

【課題】表示用パネルへの光学フィルムの貼り付け処理時に、異物が混入して生じる不良を大幅に削減する。
【解決手段】光学フィルム貼り付け装置を構成する表示用パネル供給手段、表示用パネルアライメント手段、光学フィルム起立供給手段、光学フィルム載置供給手段、光学フィルム貼り付け手段、剥離手段、保護フィルム排出手段、光学フィルム付表示用パネル搬送手段、及び表示用パネル排出手段の中で、表示用パネルアライメント手段、第１及び第２の光学フィルム起立供給手段、光学フィルム貼り付け手段、第１及び第２の剥離手段、並びに光学フィルム付表示用パネル搬送手段を最もクリーン度の高い別のエリアに配置し、これらの構成手段と他の構成手段との間での表示用パネル及び光学フィルムのやりとりを、筐体側部に設けられた最小面積のスリット部を介して行うようにした。 （もっと読む）

【課題】大型の表示用パネルを両側からガイドローラで挟み込んで縦型で搬送する際に、ラインが停止したり、表示用パネルに不具合が発生した場合でも、搬送途中の表示用パネルを容易にかつ安全に取り出せるようにする。
【解決手段】それぞれ側部搬送手段と下部搬送手段を含んで構成される表示用パネル供給手段、表示用パネル排出手段、表示用パネルアライメント手段、及び光学フィルム付表示用パネル搬送手段の一方の面側に設けられた側部搬送手段を移動可能とし、この側部搬送手段を移動させて表示用パネル又は光学フィルム付表示用パネルを取り出せるようにした。 （もっと読む）

【課題】光学フィルムから剥離後の保護フィルムをコンパクトに収納し、異物の発生を大幅に低減する。
【解決手段】それぞれ時間的に前後する異なる光学フィルムから剥離された保護フィルム同士を接続して連続的に巻取り軸に巻き取る巻取り手段と、保護フィルムの複数枚が順次前記巻取り軸に巻き取られることによって形成された円筒状の保護フィルム体を巻取り軸から取り外して排出する排出手段とを設けた。これによって、表示用パネルに貼り付けられる光学フィルムから保護フィルムが剥離され排出される際に、剥離された保護フィルム同士を接続して連続的に巻き取り、その巻き取り体（保護フィルム体）を排出すればよいので、その収納面積などを小さくすることができので、装置全体のフットプリントの縮小化に効果がある。 （もっと読む）

【課題】表示用パネルである液晶ディスプレイが大型化した場合でも高速でかつ廉価で、表示用パネルの姿勢をスムーズかつ安全に変換できるようにする。
【解決手段】表示用パネル供給手段によって表示用パネルを搬送させながら略水平状態から略垂直状態にその姿勢を変換するものであり、水平状態で搬送されて来た表示用パネルの両平面に接するように設けられた第１の側部搬送手段と、表示用パネルの周縁部と接して搬送する第１の下部搬送手段とを含んで構成される搬送部を、その搬送方向に沿った方向を中心軸として一体的に回転させる回転制御手段によって、水平状態から垂直状態に回転させて、その姿勢を変換するようにした。 （もっと読む）

【課題】装置を停止することなく不具合の発生を未然に防止することができる回転式基板処理装置を提供する。
【解決手段】エッジ露光ユニットＥＥＷ１は、基板Ｗを回転させつつ露光ヘッド５３０から光を照射して基板Ｗの端縁部を露光する。端縁部の露光処理に先立って、保持回転部２００によって基板Ｗを１回転させつつエッジセンサ８００が基板Ｗの端縁部の位置を検知してエッジデータを取得する。ＥＥＷコントローラ９００は、取得されたエッジデータに基づいて、基板Ｗの偏心量の異常、基板ＷのノッチＮＴの角度異常およびエッジセンサ８００の異常の有無を判断する。そして、エッジデータに異常有りと判断されたときには、ＥＥＷコントローラ９００アラーム発報を行う。 （もっと読む）

【課題】透過型表示パネルに、少なくとも２種類以上の異なる階調の表示領域を同時に有する検査パターンを有する場合において、表示領域毎の欠陥を高精度に検出する。
【解決手段】光透過量の増減を制御することにより階調表示を行う液晶パネル１１の欠陥検査を行う。液晶パネル１１を背後から照射する複数の蛍光管１ａを有し、かつ各蛍光管１ａの液晶パネル１１への照射光量を増減制御するバックライトユニット１と、液晶パネル１１に、少なくとも２種類以上の異なる階調の表示領域を同時に有する検査パターンを表示させる液晶パネル点灯制御装置３と、階調が高い表示領域ほど蛍光管１ａの照射光量を小さくすると共に、階調が低い表示領域ほど蛍光管１ａの照射光量を大きくするようにバックライトユニット１を制御するバックライト制御装置２とを備えている。 （もっと読む）

【課題】生産性を損なわず、生産コストを大幅に増加させることなく、高性能化したＴＦＴを搭載する表示装置の生産システムを提供することを目的とする。
【解決手段】表示装置の生産システムとして、成膜装置、エッチング装置、レジスト塗布／現像装置、露光装置を含み、各装置は工程間搬送機構又は工程内搬送機構で連結しているものが適用される。この生産システムは薄膜トランジスタを形成する工程を行うことが可能なように構成されている。この生産システムのうち、成膜装置として、微結晶半導体膜を形成するプラズマＣＶＤ装置を有し、プラズマＣＶＤ装置で形成された微結晶半導体膜にレーザ光を照射するレーザ処理装置が付加されるとともに、プラズマＣＶＤ装置とレーザ処理装置間において被処理基板が搬送機構、工程内搬送機構又は工程間搬送機構で行われる。 （もっと読む）

【課題】 光学フィルムの貼り付け品質を確保し、表示用パネルの両面に貼り付けられる光学フィルムの大きさが互いに異なる場合でも、両偏光板の貼位置精度を出して、気泡などを発生させることなく正確に表示用パネルの両面に光学フィルムを貼り付ける。
【解決手段】光学フィルムを表示用パネルの両面に同時に貼り付ける場合、第１，第２の光学フィルムの内部を貼り始め位置として、第１，第２貼り付けローラ，第１，第２貼始め端部保持手段を移動させながら端部付近を先に貼り付け、その後、光学フィルムの残りの部分を貼り付ける時は、第１，第２貼り付けローラを停止させて、表示用パネルを移動させて貼り付ける。これによって、大きさが異なる光学フィルムを表示用パネルの両面に対して光学フィルムの貼り付け品質を確保しつつ、同時に貼り付けることができる。 （もっと読む）

【課題】簡単な方法により、ロット間におけるパーティクルの除去効率のばらつきを抑制することができる基板洗浄方法を提供する。
【解決手段】基板洗浄方法は、洗浄槽１２内の洗浄液に溶解したガスの溶存濃度を飽和濃度にする工程と、洗浄槽内の洗浄液に超音波を照射して、洗浄槽内の洗浄液に浸漬された基板Ｗを洗浄する工程と、を備える。溶存濃度を飽和濃度にする工程においては、洗浄槽内にガスを供給して、洗浄槽内に洗浄液にガス溶存濃度を飽和濃度にする。また、溶存濃度を飽和濃度にする工程において、洗浄槽内の洗浄液への超音波の照射は停止されている。 （もっと読む）