【課題】 印刷精度を向上させる。
【解決手段】 架台１４上に設けたガイドレール１５上に、版テーブル１６と基板テーブル１７を走行可能に設ける。各テーブル１６，１７に、アライメントステージ１６ａ，１７ａをそれぞれ備えて、版１０や基板１１をそれぞれ保持させる。架台１４上の所要個所に版１０と基板１１に共通のアライメントエリア２３を設ける。アライメントエリア２３の精密カメラ２４からの画像の信号を基に、各テーブル１６，１７のアライメントステージ１６ａ，１７ａに補正指令を与えるコントローラを備える。アライメントエリア２３にて、版テーブル１６に保持させた版１０の位置と、基板テーブル１７に保持させ基板１１の位置のアライメントを取ることで、版１０よりブランケットロール９を介して基板１１へ印刷される印刷パターンの印刷位置の再現性を高精度なものとさせる。 （もっと読む）

【課題】フィルム基板の各端子を、表示パネルの各端子にそれぞれ確実に接続する。
【解決手段】製造方法には、仮圧着工程と本圧着工程とが含まれる。仮圧着工程には、表示パネルに設けられた２つの第１基準位置２５の間隔と、第１基準位置２５に対応してフィルム基板２１に設けられた２つの第２基準位置２６の間隔との差を検出する間隔差検出工程が含まれる。本圧着工程には、間隔差検出工程での検出結果に基づいて、本圧着後における第２端子１８最外端子間の間隔(トータル端子ピッチ)が、第１端子最外端子間１７の間隔(トータル端子ピッチ)と同じ大きさになるように、圧着条件を設定する設定工程が含まれる。 （もっと読む）

【課題】表示装置の部品搭載接合処理にあたり、表示基板の反りに起因する部品搭載位置精度や接合信頼性の低下を回避できる基板固定ベースを提供し、前記基板固定ベースを有する実装処理作業装置または前期基板固定ベースを用いた実装処理作業方法を提供し、それらの実装処理作業装置または作業方法を有するライン構成とし、歩留まり又は稼働率の高い表示基板モジュール組立ラインを提供することである。
【解決手段】表示基板の周辺に部品を実装する実装処理作業装置または作業方法において、部品を搭載する作業辺を下から支える作業辺固定台座と、前記作業辺を挟む両辺の下から支える移動可能な両側保持部と、前記作業辺固定台座および前記両側保持部とから構成される凹み形状部分に入る寸法の搬送移動台座を設けた特徴を有し、さらに前記作業辺固定台座には、前記平面表示基板の吸着開始後に平面表示基板を引き込む基板吸着パッドを有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】基板に対し非定常状態も含めて加熱処理条件に不均一性が発生することを緩和し、加熱処理条件が基板内で不均一となることによる不具合を防止して加熱処理することが可能となる。
【解決手段】本発明の基板加熱処理方法においては、ホットプレート２の加熱面２ａ上に突出し基板１を保持する基板保持有効位置と基板より離れた基板保持無効位置との間を移動可能な複数個のプロキシミティピン３を備え、一部のプロキシミティピン３を基板保持有効位置に配置し基板保持に有効な有効プロキシミティピンとし、基板１を加熱面２ａ上に所定の間隔をあけて保持することにより加熱処理し、加熱処理中において有効プロキシミティピンの少なくとも一部を移動して有効プロキシミティピンと無効プロキシミティピンを順次入れ替えるものである。 （もっと読む）

【課題】複数の基板処理部が搬送路に沿って配列されている場合でも、基板搬送時間の増加を抑制または回避することができる基板処理装置および基板搬送方法を提供すること。
【解決手段】基板処理装置１は、複数の処理ユニット６と、シャトルＳＴと、メインロボットＭＲと、ＭＲ移動機構７と、シャトル移動機構とを含む。複数の処理ユニット６は、それぞれ基板Ｗを１枚ずつ処理するためのものであり、搬送路Ｃ１に沿って配列されている。また、シャトルＳＴは、基板Ｗを待機させておくためのものであり、搬送路Ｃ１に沿って移動可能に設けられている。また、メインロボットＭＲは、シャトルＳＴと各処理ユニット６との間で基板Ｗを搬送するためのものであり、搬送路Ｃ１に沿って移動可能に設けられている。シャトル移動機構は、搬送路Ｃ１に沿ってシャトルＳＴを移動させる。また、ＭＲ移動機構７は、搬送路Ｃ１に沿ってメインロボットＭＲを移動させる。 （もっと読む）

【課題】表示パネルの欠陥の有無を検査して、欠陥があった場合、欠陥の種別と欠陥の場所を判定できる表示パネルの点灯検査装置と検査方法を提供すること。
【解決手段】表示パネル点灯検査装置は、検査対象の表示パネル４を駆動する信号発生部８と、該信号発生部８からの信号によって駆動された表示パネル４の表示画像を撮像するエリアセンサ１と、エリアセンサ１からの画像を検査および分析して欠陥の種別と欠陥位置を決定する検査処理部７と、検査装置全体の制御をつかさどる主制御部６と、を有する。 （もっと読む）

【課題】非接触状態へ基板を移行させる基板搬送装置において、タクトタイムを向上させ、安定的に基板の搬送を行うことを実現する。
【解決手段】基板Ｗを浮上させる浮上パッド６４の間に、昇降可能な移載昇降コロコンベア６０が設置された基板長よりも短い長さの移載ユニット６において、上流側のコロコンベア３０から搬送されてきた基板Ｗは、上昇した移載昇降コロコンベア６０により、基板Ｗの下面を支持されながら、下流側の入口浮上ステージ１０に搬送される。このとき、基板Ｗの後端が、移載昇降コロコンベア６０に乗り移ると、移載昇降コロコンベア６０は、浮上面よりも下方に下降する。基板Ｗは全面が浮上状態となり、浮上した基板Ｗを保持して浮上搬送路上を移動せしめる基板搬送チャック８により搬送される。 （もっと読む）

【課題】この発明は基板を搬送するための搬送ユニットを処理槽内に容易かつ精度よく設置することができるようにした処理装置を提供することにある。
【解決手段】処理槽１は、矩形状の下部フレーム２の四隅部に下端部が連結されて立設された支柱部材４と、支柱部材の上端部に四隅部が連結されて設けられた上部フレーム３と、支柱部材の高さ寸法に対応する間隔で上下方向に離間した下部フレームと上部フレームとがなす４つの側面に設けられ所定方向に位置する一対の側面の一方に上記基板の搬入口が形成され他方に上記基板の搬出口が形成された側壁部材１１と、下部フレームに所定間隔で架設されそれぞれの上面に第１の基準面１８が形成された複数の連結部材９と、第１の基準面を基準にして取付けられ搬入口から内部に搬入された基板を搬出口に向かって搬送する搬送ユニット２９と、下部フレームの開口部分を閉塞する底部材２１ａ，２１ｂと、上部フレームの開口部分を閉塞する天井部材２５によって構成されている。 （もっと読む）

【課題】粘着テープによって基板に仮圧着された電子部品を本圧着するときに、電子部品が受ける熱影響を低減した実装装置を提供する。
【解決手段】上下方向に駆動可能に設けられＴＣＰ１３が仮圧着された側辺部を外方へ突出させて基板Ｗを保持する保持テーブル１１と、保持テーブルに保持された基板の一方の面に仮圧着されたＴＣＰを支持する支持面２０を有し、支持面が第１の温度で加熱される固定ツール１９と、固定ツールと対向する位置に上下方向に駆動可能に設けられて第１の温度よりも高い第２の温度で加熱され支持面によって支持される基板のＴＣＰが仮圧着された部分に対応する他方の面を加圧加熱して粘着テープ１２を溶融硬化させてＴＣＰを基板に本圧着する加圧面１５を有する加圧ツール１６を具備する。 （もっと読む）

【課題】液晶層とシールとの接触を防ぐ隔壁を精度良く形成し、シールによる液晶の汚染を抑えることを可能とする液晶光学素子およびその製造方法を提供する。
【解決手段】液晶光学素子１０は、第１の透明基板５０と第２の透明基板５１が、内側面に形成された透明電極６０、６１が対向するようにシール７０を介して貼り合わされた構成を有する。第１の透明基板５０上には透明電極６０と配向膜４０が形成されており、第２の透明基板５１上にはインプリント樹脂層３０として隔壁３５とフレネルレンズ１００がインプリント工程にて一体に形成されており、インプリント樹脂層３０の上に透明電極４１と配向膜６１が形成されている。隔壁３５の内側には液晶２０が充填されていて、隔壁３５により液晶とシールの接触を防ぐ。 （もっと読む）

【課題】基板が薄肉化されても、常に安定して、セル内に液晶を気泡を巻き込むことなく簡単且つ円滑に注入可能な液晶注入装置を提供する。
【解決手段】液晶注入装置は外槽３と４個の樋状をなす液晶貯溜溝４からなり、外槽３の一対の短手側壁３１、３１には、夫々１３個の位置規制柵３１１が等間隔に立設され、この短手側壁３１に平行に、４個の液晶貯溜溝４が等ピッチｐ1で配置され、各液晶貯溜溝４の一対の側板４２には、前記位置規制柵３１１に対応させて１３個の鋸歯４２１が同ピッチで形成され、液晶を注入すべきセルアレイパネル１が、その注入穴側端面１１を隣り合う鋸歯４２１、４２１の傾斜端面４２１ａ、４２１ａが対向するＶ字空間４２２に支持され、反注入穴側端部を櫛歯竿５の対応する一対の櫛歯５１、５１間の保持空間５２に収容され、液晶面に略垂直な注入姿勢に保持されている。 （もっと読む）

【課題】シランカップリング剤の加水分解に必要な水分が不足することを防止して、未反応の官能基が被膜の表面に残存することを防止できる表面処理方法および表面処理装置を提供する。
【解決手段】大気圧よりも低い圧力下で処理剤を気化させ、処理剤の雰囲気に被処理基板を晒すことで被処理基板上に処理剤の被膜Ｃ１を形成する表面処理工程を有し、表面処理工程の後に、被処理基板を冷却する冷却工程と、被処理基板の表面に水分を供給する水分供給工程と、を有する。 （もっと読む）

【課題】 脆弱な機械的特性を有する大寸ガラスシートを、シートの主表面に触れずに、高速で移動させるための手段を提供する。
【解決手段】 ガスが、圧力Ｐ_プレナムで動作するプレナムからベアリングのオリフィス（２２）に供給される。ベアリングは、ベアリングの中央オリフィス（２６）とその最近接オリフィス（２８）のそれぞれとの間の水平方向における中点（２７）において、関係式Ｐ_中点/Ｐ_プレナム≧０.０５を満たす、計算された静圧Ｐ_中点を有する。ベアリング（３）は、例えば６０ｍ/分で走向しているＬＣＤ基板（１３）とベアリング（３）の面（２０）との間隔の、時間平均ピーク対ピーク変動を５００μｍ未満まで下げることができ、よって基板（１３）がベアリング（３）に打ち当たり、ベアリング（３）によって損傷を受けるであろう機会を減じる。 （もっと読む）

【課題】装置の大型化、複雑化を生ずることなく、高い処理効率を維持したまま紫外線処理を行うことが可能な紫外線処理装置を得ることができる。
【解決手段】搬送される基板１に順次紫外線３を照射する紫外線処理を行い下流側装置に搬送する紫外線処理装置において、紫外線３を照射する紫外線照射ユニット４、紫外線照射ユニット４を回転し、紫外線３が基板１に向かう方向となる第一の定位置と、反対方向となる第二の定位置の何れかに移動する回転機構５、及び発生するエラー信号の有無をモニタする検知機能と前記のエラー信号が出た時点で紫外線照射ユニット４を第二の定位置に移動し、消えた時点で第一の定位置に移動する様に回転機構５を制御する制御機能を有する退避動作制御部６を備えた。 （もっと読む）

【課題】基板上に滞留した洗浄液を一定方向に流し去ることにより液切り効果を向上させることが可能となる洗浄基板の液切り装置を提供する。
【解決手段】基板３０上に滞留する洗浄液９０を排除する液切りローラー２０は、基板３０を搬送する搬送ローラー４０により洗浄工程を経て搬入されてきた基板３０を、接触して上下から挟み込んで配備され、且つ、基板３０上に滞留する洗浄液９０が一方向に流出するよう、基板３０の進行方向に対し直角を除く任意の角度で設置される。 （もっと読む）

【課題】吐出不良の発生を抑制して、配向膜を良好に形成できる配向膜の形成方法を提供する。
【解決手段】配向膜の形成方法は、配向膜形成用材料及び複数種類の溶媒を含むインクをインクジェットヘッドの吐出口より基板に供給して、基板に配向膜を形成する工程を含む。形成方法は、複数種類の溶媒のうち、インクに占める割合が最も高い第１溶媒を、吐出口に通ずるインクジェットヘッドの内部流路に供給する第１工程と、第１工程後、内部流路が第１溶媒で満たされた状態で、第１溶媒及び配向膜形成用材料を含む溶液を、内部流路に供給する第２工程と、第２工程後、内部流路が溶液で満たされた状態で、インクを内部流路に供給する第３工程とを含み、第３工程後、吐出口より基板にインクを供給する。 （もっと読む）

【課題】基板に光学機能膜を押圧状態で貼着するに当って、吸着孔の部位を含めて光学機能膜を吸着孔の部位を含めて全面に対して押圧力を作用させる。
【解決手段】ホルダドラム１０のドラム本体１０ａに流体接続チャンバ１２が設けられており、このドラム本体１０ａの外周面に設けた弾性シート層１０ｂの表面には、偏光フィルム２を吸着保持するため、吸着孔群１１を構成する複数の吸着孔１１ａが開口しており、流体接続チャンバ１２には切換手段１３を介して負圧源１４及び加圧源１５に接続されており、この切換手段１３は、第１の切換弁２０と第２の切換弁２０とを備えており、第１の切換弁２０には、流体接続チャンバ１２に接続した流入流路２２が接続され、この流入流路２２を第２の切換弁２１を介して負圧源１４に接続する状態と、加圧源１５からの加圧流路２３に接続する状態とに切り換え可能な構成となっている。 （もっと読む）

【課題】基板やマスクの撓みを低減し、高精度に蒸着できる有機ＥＬデバイス製造装置並びに成膜装置並びに液晶表示基板製造装置を提供することである。あるいは、駆動部等を大気側に配置することで真空内の粉塵やガスの発生を低減し生産性の高い、あるいは保守性を高め稼働率の高い有機ＥＬデバイス製造装置及び成膜装置を提供することである。
【解決手段】本発明は、基板を立てた姿勢に保持する基板保持手段と、シャドウマスクを垂下した姿勢に保持するシャドウマスク垂下手段と、前記基板とシャドウマスクに設けられたアライメントマークを撮像するアライメント光学手段と、前記垂下姿勢の状態で前記シャドウマスクを駆動するアライメント駆動手段と、前記アライメント光学手段の結果に基づいて前記アライメント駆動手段を制御する制御手段とを有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】表示パネルの狭額縁化に対応することができるとともに、簡単な構成で、表示パネルを識別することができる表示パネル及び表示パネルの識別方法を提供することを目的とする。
【解決手段】液晶表示パネル１は、ＴＦＴ基板１０と、ＴＦＴ基板１０に対向して配置されたＣＦ基板２０と、ＴＦＴ基板１０及びＣＦ基板２０の間に設けられた液晶層２５とを備えている。そして、液晶表示パネル１において、端子が設けられた端子領域Ｔに、フーリエ変換赤外分光光度計により赤外吸収スペクトルが測定されるとともに、液晶表示パネル１を識別するための樹脂２が設けられている。 （もっと読む）

【課題】適切なタイミングで自己検出及び自己修復を行う表示装置を提供する。
【解決手段】本発明に係る液晶テレビジョン４００の表示部９０は、表示パネル８０と、表示パネル８０を駆動するソースドライバ１０であって、表示パネル８０との電気的な接続を切り離した状態で当該ソースドライバ１０の不良を検出し、修復する比較判定回路５０および切替回路６０を有するソースドライバ１０とを備えている。比較判定回路５０および切替回路６０は、チャンネルの切り替えや番組からＣＭへ移行するタイミングで、ソースドライバの不良を検出する処理を実行することを特徴とする表示装置。 （もっと読む）