【課題】水平方向のサイズがコンパクトで、かつ、高精度な位置合わせを可能とする露光マスク保持装置及びこれを用いる露光装置を提供する。
【解決手段】マスク保持装置２１は、リニアガイド機構２４ａが設けられたフレーム２３と、フレーム２３に対し鉛直方向に上下移動するＺ軸移動部２５と、Ｚ軸移動部２５の鉛直下方に位置すると共にＺ軸移動部２５に支持され、Ｚ軸移動部２５に対して鉛直軸周りの回転位置が調整されるθ軸移動部２７と、θ軸移動部２７の鉛直下方に位置すると共にθ軸移動部２７に支持され、θ軸移動部２７に対して水平面に対する傾きが調整されるチルト軸移動部２９と、チルト軸移動部２９の鉛直下方に位置すると共にチルト軸移動部２９に支持され、チルト軸移動部２９に対しＹ軸方向での位置が調整されると共に、下面で露光マスクＭを保持する水平方向移動部３１と、を備える。 （もっと読む）

【課題】プローブ装置の接触電極が被検査体の電極に対して位置ずれすることを防止すること。
【解決手段】プローブ装置は、可撓性を有する配線シートと、該配線シートを支持する支持体と、配線シートに取り付けられた間隔維持部材とを含む。前記配線シートは、該配線シートの一方の面に設けられた複数の配線と、該配線に設けられた複数の接触電極とを備える。前記間隔維持部材は、前記配線シートより低い熱膨張係数及び高い剛性を有し、前記配意線シートに取り付けられて、前記配線シートが膨張した状態で前記複数の配線相互の間隔を維持する。 （もっと読む）

【課題】製造ライン全体としての滞留状況を早期に検知するためのシステムを備え、効率的にカラーフィルタの製造が可能な多色混流型カラーフィルター製造装置を提供する。
【解決手段】各種処理を行う複数種の処理別処理装置が処理すべき基板の流れ方向に対して直列に搬送装置を介して配置され、この処理別処理装置は処理に応じて複数個の個別処理装置が処理すべき基板の流れ方向に対して並列に配置された多色混流型カラーフィルタ製造装置であって、製造ライン内に存在する各種処理工程の基板在荷状況を管理し、分岐／合流箇所での滞留や交互化処理の失敗により顕著化する各工程基板分布の偏りを、分布マップとして視覚化するシステムを備える。 （もっと読む）

【課題】基板表面に付着したパーティクル等の汚染物質を除去する基板処理方法および基板処理装置において、スループットの低下を招くことなく、しかも優れた面内均一性でパーティクル等を除去する。
【解決手段】基板Ｗの回転中心Ｐ（０）から基板Ｗの外縁側に離れた初期位置Ｐ（Ｒin）の上方に冷却ガス吐出ノズル７を配置し、回転している基板Ｗの初期位置Ｐ（Ｒin）に冷却ガスを供給して、初期位置Ｐ（Ｒin）および回転中心Ｐ（０）を含む初期領域に付着するＤＩＷを凝固させる。そして、初期凝固領域ＦＲ0の形成に続いて、ノズル７から冷却ガスを供給しながら初期位置Ｐ（Ｒin）の上方から基板Ｗの外縁部の上方まで移動させることによって、凝固される範囲を基板Ｗの外縁側に広げて基板表面Ｗｆに付着していた全ＤＩＷ（凝固対象液）を凝固して液膜ＬＦ全体を凍結する。 （もっと読む）

【課題】偏光フィルムのシート片を液晶パネルに貼り付ける際の糊欠け、糊残りによる気泡の発生を抑制できる液晶表示素子の連続製造システムを提供する。
【解決手段】キャリアフィルムからシート片を剥離する剥離手段と、キャリアフィルムを巻き取る巻取手段と、シート片を粘着剤を介して液晶パネルに貼り付けて液晶表示素子を形成する貼付手段と、液晶パネルにシート片を貼り付ける貼付過程において、シート片を液晶パネルに貼り付け始める貼付開始時点からシート片が剥離手段の先端部によりキャリアフィルムから剥離されるまでの間、巻取手段によるキャリアフィルムの巻取速度Ｖ１および貼付手段による貼付速度Ｖ２がＶ１＝Ｖ２となり、液晶パネルに貼り付けられてる最中のシート片が前記剥離手段の先端部によりキャリアフィルムから剥離された後、かつシート片の液晶パネルへの貼り付けが完了する前のある時点においてＶ１＜Ｖ２となるように、巻取手段及び貼付手段を制御する速度制御手段を有する。 （もっと読む）

【課題】積層されるシート片間の粘着剤のはみ出し（露出）を生じないようにした液晶表示素子の製造方法を提供する。
【解決手段】２以上のシート片を、シート片ごとに順番に液晶パネル側に積層して液晶表示素子を形成する液晶表示素子の製造方法であって、前記液晶パネルの一方面に積層される２以上のシート片において、次に積層されるシート片の４つの辺のそれぞれが、直前に積層されたシート片の４つの辺の内、積層状態で対応する辺より小さくなるように、前記２以上の連続ロールに巻回されている光学フィルムのフィルム幅が設定され、および前記切断サブステップにおける前記切断間隔が設定される。 （もっと読む）

【課題】粘着層が外部に露出することがない光学フィルム積層体の製造方法及び製造システム、並びに、光学フィルム積層体を提供する。
【解決手段】第１フィルム３１上に積層する第２フィルム３２及び第３フィルム３３の幅を、いずれも第１フィルム３１の幅よりも小さくするとともに、第２フィルム３２及び第３フィルム３３を、いずれも第１フィルム３１に対して幅方向にはみ出さないように、第１フィルム３１上に順次に積層する。これにより、光学フィルム積層体３０の粘着層３２Ａ，３３Ａが外部に露出することがない。 （もっと読む）

【課題】 工程短縮を図るとともに、分断面に十分な端面強度を与えることができる貼り合せ基板の分断方法を提供する。
【解決手段】 溝なしの第一カッターホイールと、所定の溝付きの第二カッターホイールとを用いて、（ａ）第二基板の第一方向に沿って第二カッターホイールでフルカットスクライブを行うと同時に、第一基板の第一方向に沿って第一カッターホイールによりスクライブを行い、（ｂ）ブレイク処理を行って複数の短冊状基板を形成し、（ｃ）各短冊状基板の第一基板の第二方向に沿って第二カッターホイールでフルカットスクライブを行うと同時に、第二基板の第二方向に沿って第一カッターホイールによりスクライブを行い、（ｄ）ブレイク処理を行って単位基板ごとに分割する。 （もっと読む）

【課題】整流環境を妨げることのない偏光フィルムの貼合装置およびこれを備える液晶表示装置の製造システムを提供する。
【解決手段】本発明の貼合装置は第１基板搬送機構６１と、第１基板搬送機構６１での基板５の下面に偏光フィルムを貼合するニップロールと、基板５を反転させて第２基板搬送機構６２に配置する反転機構６５と、基板５を搬送する第２基板搬送機構６２と、第２基板搬送機構６２での基板５の下面に偏光フィルムを貼合するニップロールとを含み、反転機構６５の基板反転部６７は反転軸Ｍを中心に回転して基板５を反転させる。第１基板搬送機構６１での反転前の基板５の中心を通り、基板５の搬送方向と垂直な直線に対して４５°の傾きを有する直線を含み、第１基板搬送機構６１での反転前の基板５を含む面内に反転軸Ｍが位置し、基板支持部６６ａ・６６ｂは反転軸Ｍに対して線対称に一対備えられている。 （もっと読む）

【課題】貼付時に偏光フィルムのシート片が振動することを抑制して貼付気泡の発生を防ぐことを目的とする。
【解決手段】キャリアフィルムからシート片を粘着剤とともに剥離する剥離手段と、キャリアフィルムを巻き取る巻取手段と、シート片を粘着剤を介して液晶パネルに貼り付けて液晶表示素子を形成する貼付手段と、貼付処理の貼付速度（Ｖｈ（ｔ））が、剥離手段で剥離されるキャリアフィルムの搬送速度（Ｖｓ（ｔ））より速く、かつ、貼付位置から剥離手段の先端部までの間で、貼付中のシート片に生じた撓みがなくなるように、貼付速度（Ｖｈ（ｔ））およびキャリアフィルムの搬送速度（Ｖｓ（ｔ））を設定し、および貼付位置から剥離手段の先端部までの距離（Ｌ）が、剥離手段の先端部からキャリアフィルムが折り返された部分である屈曲部までの距離（Ｌｓ）より長くなるように巻取手段および貼付手段の搬送速度を制御する。 （もっと読む）

【課題】焼き付き現象が生じ難い液晶パネルの製造方法を提供すること。
【解決手段】本発明の液晶パネルの製造方法は、一対の基板の液晶層に面する表面に配向膜を形成する配向膜形成工程（ステップＳ１）と、一対の基板を所定の間隔を置いて対向配置し、シール材を用いて貼り合わせる組立工程（ステップＳ２）と、一対の基板の隙間に液晶を注入して封止する注入封止工程（ステップＳ３）と、液晶が注入された一対の基板を含む液晶パネルを減圧下で加熱する真空加熱工程（ステップＳ４）と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】ガラス基板の割れ・欠けだけでなく、ヒビの検出も可能であり、且つ、割れ・欠け・ヒビが発生した工程から次工程に入る前に欠陥を検出し、そのことによって欠陥のあるガラス基板を排除可能な欠陥検査機構を備えた搬送装置を提供すること。
【解決手段】液晶表示装置の製造装置に使用されるガラス基板の搬送装置であって、
前記搬送装置は、駆動力を備えた複数の駆動ローラーと駆動力を備えていない複数の搬送ローラーを備えており、
少なくとも前記搬送ローラーは、荷重測定機構を備えていることを特徴とするガラス基板の搬送装置。 （もっと読む）

【課題】露光対象部材が連続的に供給される場合においても、マスク位置調整用のアライメントマークを露光対象部材の蛇行に応じて変化させ露光対象部材に対するマスクの位置を精度よく調整することができ、高精度で安定的な露光が可能な露光装置を提供する。
【解決手段】露光装置１には、露光対象部材２の搬送方向における露光光の照射領域よりも上流側に第１マーク形成部１７が設けられており、蛇行検出用マーク２ｂを検出し、検出部１４は、露光対象部材２の移動方向に交差する方向の蛇行検出用マーク２ｂを検出し、これに基づいて演算された露光対象部材２の蛇行量を打ち消すように、アライメントマーク形成部１３を移動させ、アライメントマーク２ａを露光対象部材２に対して相対的に直線状に形成する。 （もっと読む）

【課題】基板に描画するパターンの図形の円の弧で構成された部分を複数の直線で近似する際、円の半径に応じた分割角度を簡単な処理で高速に決定する。
【解決手段】基板に描画するパターンの図形の円の弧で構成された部分について、当該円の半径と、所定の半径の円において、円の弧を複数に分割し、分割した各弧の始点と終点を直線で結んで、円の弧を複数の直線で近似したときの近似誤差を、分割角度毎に予め求めたデータとから、近似誤差が許容値以下となる様に最大分割角度を決定し、決定した最大分割角度以下の分割角度で分割し、分割した各弧の始点と終点を結んだ複数の直線で近似して、基板に描画するパターンの図形のベクターデータを作成する。作成したベクターデータから、基板に対し光ビームの照射を開始する位置と、光ビームの照射を終了する位置とを演算で求めて、光ビーム照射装置の駆動回路へ供給する描画データを生成する。 （もっと読む）

【課題】露光対象部材が連続的に供給される場合においても、マスク位置調整用のアライメントマークを露光対象部材の蛇行に応じて変化させ露光対象部材に対するマスクの位置を精度よく調整することができ、高精度で安定的な露光が可能な露光装置を提供する。
【解決手段】露光装置１には、露光光の照射位置よりも上流側にアライメントマーク形成部１３が設けられており、露光対象部材２に移動方向に対して断続的な指標が付されたアライメントマーク２ａを形成する。検出部１４は、露光対象部材２の移動方向に交差する方向におけるアライメントマーク２ａの指標位置における位置を検出する。そして、検出部１４の検出結果によりアライメントマーク２ａの蛇行量を演算し、アライメントマーク形成部１３を移動させる。又は、検出部１４が露光光の照射位置に対応するように配置されている場合は、マスク１２の位置を調整する。 （もっと読む）

【課題】製造装置の設置スペースあたりの生産性が高く、搬送路と作業路とを別にして安全性を高めることも可能で、設備コストも低減できる液晶表示素子の製造システムを提供する。
【解決手段】一対の製造装置１００において、パネル搬送ラインＬ２を同じ向きに配置し、一方の製造装置１００の連続ロールＲ１，Ｒ２の導入部１０１，１０２と、他方の製造装置１００の連続ロールＲ１，Ｒ２の導入部１０１，１０２とを、一対のフィルム搬送ラインＬ１の内側又は外側の同じ一方側に配置する。これにより、同一通路に連続ロールＲ１，Ｒ２の搬送路Ｐ１００と作業路Ｐ２００とを設ける必要がなく、製造装置１００の設置スペースあたりの生産性を高めることができる。その際、搬送路Ｐ１００と作業路Ｐ２００とを別にすることで、安全性を高めることも可能である。 （もっと読む）

【課題】液晶パネルをより良好に上下反転及び回転させた状態にすることができる液晶表示素子の製造システム及び製造方法を提供する。
【解決手段】パネル反転機構２００により、液晶パネルＷの長辺と短辺の位置関係が逆転するように、前記長辺及び短辺のいずれとも平行でない軸Ａ１を中心に液晶パネルＷを反転させる。パネル反転機構２００は、液晶パネルＷの少なくとも一方の長辺に沿った端面に当接して液晶パネルＷを支持する長辺支持部２０１と、液晶パネルＷの少なくとも一方の短辺に沿った端面に当接して液晶パネルＷを支持する短辺支持部２０２とを有している。液晶パネルＷの長辺及び短辺の両方を支持して、長辺及び短辺のいずれとも平行でない軸Ａ１を中心に液晶パネルＷを反転させることにより、液晶パネルＷの長辺及び短辺の両側に向かって液晶パネルＷの重力を分散した状態で反転させることができるので、液晶パネルＷの割れ又は欠けが生じにくい。 （もっと読む）

【課題】糊欠け、糊残りを生じることなく、液晶パネルに貼り付けない偏光フィルムのシート片を排除できる液晶表示素子の連続製造システムおよび液晶表示素子の連続方法を提供する。
【解決手段】キャリアフィルムから偏光フィルムの第１シート片を剥離する第１剥離手段と、前記第１剥離手段により剥離された第１シート片を第１粘着剤を介して液晶パネルに貼り付けて液晶表示素子を形成する貼付手段と、前記キャリアフィルムから前記偏光フィルムの第２シート片を排除する排除手段とを有し、前記排除手段は、前記第２シート片において前記第２粘着剤を上側にした状態から当該第２シート片に対して前記キャリアフィルムを内側にして折り曲げることで、当該第２シート片を剥離する第２剥離手段を備える。 （もっと読む）

【課題】定速搬送装置による光学フィルムの搬送速度の増速を抑え、定速搬送装置による光学フィルムの搬送精度の悪化、及び光学フィルムに対する回収時の過度の衝撃の作用を防止することができる光学フィルムの中間搬送装置を提供する。
【解決手段】帯状の光学シートＳを光学レーザ装置２３，２４により２枚の光学フィルムＳ１に切断する光学レーザユニット２と光学フィルムＳ１を一定速度で搬送する定速搬送装置３との間に設けられた中間搬送装置１として、光学レーザユニット２からの光学フィルムＳ１を上流側装置本体部６で受け取る際に光学レーザユニット２からの送り出し速度よりも若干速い第１の搬送速度で上記光学フィルムを受け取るように加速され、光学フィルムＳ１を下流側装置本体部７から定速搬送装置３に受け渡す際に定速搬送装置３による搬送速度よりも若干遅い第２の搬送速度に減速している。 （もっと読む）

【課題】より小さい設置スペースで貼り合わせを良好に行うことができる液晶表示素子の製造システム及び製造方法を提供する。
【解決手段】パネル旋回部２００で液晶パネルＷを上下反転及び水平方向に回転させることにより、第１連続ロールＲ１及び第２連続ロールＲ２から繰り出される光学機能フィルムを平面視で直線状に配置されたフィルム搬送ラインＬ１で搬送し、かつ、フィルム搬送ラインＬ１に対して上側に位置するように重畳的に配置された平面視で直線状のパネル搬送ラインＬ２で液晶パネルＷを搬送する。フィルム搬送ラインに対して上方にパネル搬送ラインを配置し、第１連続ロールＲ１及び第２連続ロールＲ２から繰り出される光学機能フィルムを、いずれも下側から液晶パネルＷに貼り合せる。 （もっと読む）