【課題】先発ロットＡの基板と後発ロットＢの基板との間で、加熱モジュールの加熱処理温度を変更する場合に、スループットの向上を図ること。
【解決手段】先発ロットＡの最後の基板を前記処理部に受け渡した後、前記後発ロットＢの最初の基板を前記処理部に受け渡すまでに、前記整定処理に要する時間を一の搬送サイクルを実行するときに要する最大時間であるサイクル時間で除して得られる遅延サイクル数だけサイクルを空けるように搬送スケジュールを作成し、前記所定の実行サイクルを終了後次のサイクルを開始する前に、整定対象モジュール毎に次のサイクルを実行するための適正時間を求め、これらのうち最も長い適正時間と前記実行サイクルの実行時間とを比較して前記適正時間が長い場合には、前記適正時間と前記実行時間との差に相当する時間だけ前記実行サイクルの次のサイクルの開始を待機するようにメインアームを制御する。 （もっと読む）

【課題】アルミニウム粉末と感光性成分とを混合してもゲル化を起こさず、安価で高精細かつ低抵抗なパターンを形成することができる感光性ペースト組成物を提供する。
【解決手段】アルミニウム粉末およびアルミニウム合金粉末から選択される少なくとも１種の金属粉末（Ａ）、アルカリ可溶性樹脂（Ｃ）、多官能（メタ）アクリレート（Ｄ）、光重合開始剤（Ｅ）、溶剤（Ｆ）、ならびに下記式（１）で表される化合物および特定のアゾ化合物から選択される少なくとも１種の化合物（Ｇ）を含有する感光性ペースト組成物。
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【課題】液処理装置の総排気量の増大を抑えながら、基板保持部の配列数を増加すること。
【解決手段】ｎ個（ｎは３以上の整数）のカップ体４を、夫々第１のダンパ７２が設けられた複数の個別排気路７と、これら複数の個別排気路７の下流側に共通に接続される共通排気路７３を介して排気量Ｅで吸引排気するにあたり、薬液ノズル５がウエハＷと対向する設定位置にある一のカップ体においては、当該カップ体側から外気を第１の取り込み量Ｅ１で取り込み、他の残りのカップ体においては、当該カップ体側から第１の取り込み量Ｅ１よりも小さい第２の取り込み量Ｅ２で取り込み、かつカップ体４側及び分岐路７６側の両方の外気の取り込み量が（Ｅ−Ｅ１）／（ｎ−１）となるように第１のダンパ７２を構成する。 （もっと読む）

【課題】染料の滲み出しを防ぎ、混色を抑えて色純度及び解像度の高いカラーフィルタを作製するカラーフィルタ及びその形成方法を提供する。
【解決手段】（ａ）染料と重合性モノマーと有機溶剤とを含む着色硬化性組成物を、露光し現像して、基板の上に着色パターンを形成する工程と、（ｂ）形成された前記着色パターン上に、透明性保護膜を形成する工程と、（ｃ）前記透明性保護膜の形成後に少なくとも該透明性保護膜を光照射処理する工程とを含んでいる。 （もっと読む）

【課題】 パターン間のショート不良などがなく、信頼性の高い高精細パターンを簡便に低コストで形成できるパターン形成方法と、このようなパターン形成方法に好適な感光性組成物を提供すること。
【解決手段】 基板上に感光性組成物の塗膜を形成し、該塗膜を露光、現像してパターンとし、得られたパターン上に無機粉末を付着させ、焼成することを特徴とするパターン形成方法。 （もっと読む）

【課題】本発明は、高さの異なる付加構造体の一括形成に用いた際、微細加工精度良く形成することが可能な樹脂組成物を提供することを目的とする。
【解決手段】上記課題を解決するために、本発明は、半透過膜またはｉ線波長での解像限界以下の遮光膜パターンを有するフォトマスクを介して露光され、少なくともバインダー樹脂、光重合性モノマー、光重合開始剤、および溶剤からなる液晶表示装置用感光性樹脂組成物において、該感光性樹脂組成物が、バインダー樹脂／光重合性モノマーの重量比が４０／６０以上８０／２０以下、バインダー樹脂の重量平均分子量が１００００以上１０００００以下、かつバインダー樹脂の酸価が５０ｍｇＫＯＨ／ｇ以上７５ｍｇＫＯＨ／ｇ以下であることを特徴とする感光性樹脂組成物。 （もっと読む）

【課題】基板上に塗設された着色感光性組成物層の現像工程において、基板上、およびブラックマトリックス上に着色感光性組成物の残渣がなく、また大型基板でも面内での現像ムラがない現像液を提供し、生産性の良好な画像形成方法、残渣発生の少ないカラーフィルタを提供する。
【解決手段】(A-1)ポリオキシアルキレンモノスチリルフェニルエーテルと、(A-2)ポリオキシアルキレンジスチリルフェニルエーテルとを、質量比［（A-1)／〔(A-1)＋(A-2)〕］が０．２から０．９の範囲で含む（Ａ）非イオン性界面活性剤、及び、(B-1)水酸化カリウムを含む（Ｂ）塩基性組成物、を含有する着色感光性組成物用アルカリ現像液。 （もっと読む）

【課題】重合性液晶を含む感光性組成物を基材に塗布した後、マスクを用いて露光し、感光性組成物塗布層の未硬化部分を有機溶媒で現像し、リンスしてパターン化された位相差制御機能層を形成する方法において、基材に上に感光性組成物の残渣を発生させることがなく、最適にパターン化された位相差制御機能層を形成することができるパターン化位相差制御機能層の形成方法を提供する。
【解決手段】本発明のパターン化位相差制御機能層の形成方法は、基材に塗布してプリベークした後、マスクを用いて露光した感光性組成物塗布層の未硬化部分を有機溶媒で現像、リンスした後、ポストベークしてパターン化された位相差制御機能層を形成する方法において、高分子界面活性剤として櫛形高分子カルボン酸類を含有する水系リンス液を用いてリンスすることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】保護膜としての透明性が高く、ガラス基板や透明導電膜との密着性に優れ、高い表面硬度を示し、耐擦傷性に優れたタッチパネルの保護膜形成用感放射線性樹脂組成物とその形成方法に関する。
【解決手段】
（Ａ）アルカリ可溶性樹脂、
（Ｂ）式（１）及び式（２）から選ばれる１つ以上のエチレン性不飽和基を有する化合物、
（Ｃ）感放射線性重合開始剤
を含むことを特徴とするタッチパネルの保護膜形成用感放射線性樹脂組成物とその形成方法によって達成される。 （もっと読む）

【課題】微粒子パターンを単層で、かつ位置選択的に形成可能な微粒子パターンの形成方法および基板の加工方法を提供する。
【解決手段】基板上に光開裂によりラジカル重合を開始しうる重合開始部位を有するシランカップリング剤（Ｂ１）を成膜してシランカップリング剤層を形成する工程、前記シランカップリング剤層上に表面がラジカル重合性官能基で修飾された微粒子（Ａ１）からなる微粒子層を形成する工程、前記微粒子層にマスクを通して露光し、露光部位の最下部の微粒子（Ａ１）を光ラジカル重合によりシランカップリング剤（Ｂ１）と結合させて基板上に固定する工程、前記微粒子層の基板に固定されていない微粒子を除去する工程を有する微粒子パターンの形成方法。上記の方法を用いて形成された微粒子パターンをエッチングマスクとして、下地基板を加工するする基板の加工方法。 （もっと読む）

【課題】安価で、低抵抗、高精細かつ基板に対して薄膜で密着強度が高いパターンを形成することが可能な感光性ペースト組成物を提供すること。
【解決手段】アルミニウム粉末（Ａ）、ガラス粉末（Ｂ）、アルカリ可溶性樹脂（Ｃ）、多官能（メタ）アクリレート（Ｄ）および光重合開始剤（Ｅ）を含有し、該アルミニウム粉末（Ａ）の平均粒子径が２〜２０μｍ、平均円形度が０．７以上、該粉末粒子の長径と短径との比（長径／短径）の平均値が５以下であり、該アルミニウム粉末（Ａ）およびガラス粉末（Ｂ）の合計１００重量％に対する、該ガラス粉末（Ｂ）の含有量が１０〜３０重量％であることを特徴とする感光性ペースト組成物。 （もっと読む）

【課題】複雑な構成を用いることない、描画開始から終了に至るまでの全体にわたって欠陥のない滑らかなパターン形成方法を実現することを目的とする。
【解決手段】保護剤で被覆して安定化した超微粒子を基板に接触させ、基板上にエネルギービームを照射しながら基板上を走査することで超微粒子を基板上に固定するパターン形成法において、エネルギービームの照射開始時にエネルギービームのエネルギーをエネルギービームの照射開始点のパターン中央部に欠陥が生じないよう所定時間かけて増加させることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】膜厚、解像度、パターン形状、透明性、耐熱性、耐溶剤性等の諸性能、特に耐熱性に優れ、且つ諸性能のバランスに優れたマイクロレンズを形成することができる感放射線性樹脂組成物を提供する。
【解決手段】感放射線性樹脂組成物は、酸性官能基を有する重合性不飽和化合物、脂環式炭化水素基を有する重合性不飽和化合物および他の重合性不飽和化合物を重合して得られるアルカリ可溶性共重合体、重合性不飽和化合物、光重合開始剤ならびに、相互に独立に、水素原子または（メタ）アクリロイル基を有する１価の基を有する化学式で表される化合物を含有する。 （もっと読む）

【課題】安価で、低抵抗かつ高精細のパターンを形成することができる感光性ペースト組成物を提供すること。
【解決手段】アルミニウム粉末およびアルミニウム合金粉末から選択される少なくとも１種の金属粉末（Ａ）、アルカリ可溶性樹脂（Ｃ）、多官能（メタ）アクリレート（Ｄ）、光重合開始剤（Ｅ）、溶剤（Ｆ）、ならびにＡｌ、ＬｉおよびＭｇから選択される金属を含有する有機金属化合物（Ｇ）を含むことを特徴とする感光性ペースト組成物。 （もっと読む）

【課題】精製前のフォトレジスト用樹脂を含有する樹脂溶液中に含まれる、樹脂の重合の際に副生したオリゴマーや低分子量のポリマー、目的とする重量平均分子量よりも高分子量のポリマーを効果的に除去することができ、分子量分布が狭く且つ残留金属濃度の低いフォトレジスト用樹脂を得ることができるフォトレジスト用樹脂の精製方法を提供する。
【解決手段】本フォトレジスト用樹脂の精製方法は、フォトレジスト用樹脂と溶剤とを含有する樹脂溶液におけるフォトレジスト用樹脂の精製を、カラムクロマトグラフィー（充填剤；例えば、シリカゲル等の無機材料）により行う。 （もっと読む）

【課題】十分な解像度を持ち、露光マージンが広く、平坦化性能に優れ、高温の加熱工程を経ても高い透明性を維持することができ、金属配線を経時劣化することのない配線隔壁形成用感放射線性樹脂組成物を提供すること。
【解決手段】上記感放射線性樹脂組成物は、（Ａ）（ａ−１）アリール基を有するアルコキシシラン化合物５０〜９９重量％、（ａ−２）アルキル基を有するシラン化合物１〜４５重量および（ａ−３）その他のアルコキシシラン化合物０〜５重量％を重縮合してなるポリシロキサンならびに（Ｂ）放射線の照射を受けて酸を発生する化合物を含有する。 （もっと読む）

【課題】
本発明の目的は、ＰＤＰの背面板製造において、誘電体層表面の凹凸や、電極のよれの問題がなく、電極層と誘電体層とを同時に焼成し得るのに有効な同時焼成用感光性導電ペースト、およびそれを用いた電極パターンの製造方法を提供することである。
【解決手段】
電極層と誘電体層が同時に焼成されるプラズマディスプレイパネルの工法に用いるペーストであって、（Ａ）アルカリ可溶性樹脂、（Ｂ）光重合性モノマー、（Ｃ）光重合開始剤、（Ｄ）導電粉末、および（Ｅ）熱潜在性硬化剤を含むことを特徴とする電極用感光性導電ペースト。 （もっと読む）

【課題】 凹凸パターンが形成された無機レジストを速やかに除去することが可能な光ディスク原盤処理液及び光ディスク原盤の処理方法を提供する。
【解決手段】 基板２上に無機レジストにより凹凸パターン（無機レジスト層３）が形成された光ディスク原盤１の凹凸パターンを除去するための光ディスク原盤処理液である。この処理液は、過酸化水素とアンモニアを含有する。処理液に含まれる過酸化水素及びアンモニアは、過酸化水素水（試薬特級）及びアンモニア水（試薬特級）を基準として、１倍〜２００倍に希釈されている。また、過酸化水素水とアンモニア水の比率は４：１〜１：１０である。 （もっと読む）

【課題】高感度で硬化し、未硬化部の除去性に優れ、アルカリ現像時に良好なパターン形成性を有し、支持体との密着性に優れた着色パターンを形成しうる光重合性組成物を提供する。
更に、上記光重合性組成物を用いてなるカラーフィルタ、製造方法、固体撮像素子を提供することにある。加えて、高感度で、経時安定性及び耐刷性に優れ、且つ、残膜のない平版印刷版原版を提供する。
【解決手段】（Ａ）下記一般式（１）で表されるラジカル重合性化合物と、（Ｂ）光重合開始剤とを含有する光重合性組成物である。


〔前記一般式（１）中、Ａは、ｎ+１価の有機連結基を表す。Ｘは、Ｓ原子またはＮ−Ｒ基を表し、Ｒは、水素原子または１価の有機基を表す。Ｙは、カルボキシ基またはスルホン酸基を有する１価の有機基を表す。ｎは、２以上１１以下の整数を表す。Ｚ^１及びＺ^２は、各々独立に、水素原子またはメチル基を表す。〕
である。 （もっと読む）

【課題】
本発明の目的は、ＰＤＰの背面板製造において、誘電体層表面の凹凸や、電極のよれの問題がなく、電極層と誘電体層とを同時に焼成し得るのに有効な同時焼成用感光性導電ペースト、およびそれを用いた電極パターンの製造方法を提供することである。
【解決手段】
電極層とその上層側に形成される誘電体層が同時に焼成されるプラズマディスプレイパネルの工法に用いるペーストであって、（Ａ）アルカリ可溶性樹脂、（Ｂ）光重合性モノマー、（Ｃ）光重合開始剤、および（Ｄ）導電粉末を含むペーストであって、前記光重合性モノマー（Ｂ）は、その（Ｂ）成分全体のアクリル当量が１３０以下であり、さらにペースト中に、０質量％以上１質量％未満のガラス粉末を含むことを特徴とする電極用感光性導電ペースト。 （もっと読む）