【課題】ダブルパターニングシステムにおけるアライメント欠陥を克服するための方法およびシステムを提供する。
【解決手段】ダブルパターニングプロセスを使用して半導体ウェーハが位置合わせされる。第１の光学特性を有する第１のレジスト層が堆積され、かつ、少なくとも１つのアライメントマークが形成される。第１のレジスト層が現像される。第１のレジスト層の上に第２の光学特性を有する第２のレジスト層が堆積される。第１および第２のレジスト層ならびにアライメントマークの組合せは、アライメントマークに入射する所定の波長の放射によって、第１および第２の光学特性の関数としての第１の次数またはより高い次数の回折が生成される特性を有している。 （もっと読む）

【課題】光学リソグラフィの解像度を向上させるためのダブルパターニング法などのリソグラフィパターニング法において、アライメントマークのコントラストを改善すること。
【解決手段】第１または第２リソグラフィパターンに色素を付加するリソグラフィダブルパターニングプロセスを伴う、半導体デバイスをリソグラフィにより製造するシステムおよび方法、ならびに製造物が提供される。第１リソグラフィパターンの位置を検出するとともに、それに第２リソグラフィパターンを直接位置合わせするために色素が使用される。この日は、特定の波長または所与の波長帯域において蛍光性、発光性、吸収性、または反射性とすることができる。この波長は、アライメントビームの波長と一致することができる。色素は、第１リソグラフィパターンを、それが放射感応層（例えばレジスト）で上塗りされている場合でも検出できるようにする。 （もっと読む）

【課題】 パターン間のショート不良などがなく、信頼性の高い高精細パターンを簡便に低コストで形成できるパターン形成方法と、このようなパターン形成方法に好適な感光性組成物を提供すること。
【解決手段】 基板上に感光性組成物の塗膜を形成し、該塗膜を露光、現像してパターンとし、得られたパターン上に無機粉末を付着させ、焼成することを特徴とするパターン形成方法。 （もっと読む）

【課題】微小網点再現性と印刷適性の両立可能な直描型水なし平版印刷版原版を提供すること
【解決手段】基板上に、少なくとも断熱層、感熱層およびシリコーンゴム層をこの順に有する直描型水なし平版印刷版原版であって、該断熱層が少なくともポリウレタン樹脂、活性水素基含有芳香族化合物および金属キレート化合物を含有し、該感熱層が少なくとも（Ａ）光熱変換物質、（Ｂ）金属含有有機化合物、（Ｃ）ノボラック樹脂および（Ｄ）ポリウレタン樹脂を含有し、（Ｃ）ノボラック樹脂と（Ｄ）ポリウレタン樹脂の重量比（ノボラック樹脂／ポリウレタン樹脂）が７以上５０以下であり、感熱層溶液として溶解度パラメーターが１９〜２４（ＭＰａ）^１／２の有機溶剤を１０重量％以上５０重量％以下含有するものを用いたことを特徴とする直描型水なし平版印刷版原版。 （もっと読む）

【課題】試し刷りする必要性を無くし、原稿と製版された版材とを画像で照合できるようにする。
【解決手段】少なくともフロアー層（３Ｂ）上にレリーフ層（３Ａ）を有するとともに、このレリーフ層（３Ａ）上に着色層（４）を有する版材（１）を形成し、この版材（１）のレリーフ層（３Ａ）と着色層（４）に頂面（８Ａ）が画像部を形成する凸部（８）を形成し、この凸部頂面（８Ａ）とレリーフ層（３Ａ）及びフロアー層（３Ｂ）とが視覚的に区別できる色分けとされたものである。 （もっと読む）

【課題】パターニング精度を維持したまま高ＯＤ化させる。
【解決手段】ポジ型あるいはネガ型のフォトレジスト中にクロミズム特性を有する材料を含む感光性樹脂組成物を提供する。この感光性樹脂組成物は、加熱あるいは光照射等によってＯＤ値を変化できる。したがって、パターニング工程後に加熱あるいは光照射等を行って高ＯＤ化させることによって、パターニング精度を高く維持すると共に、高ＯＤ化させたブラックマトリクスを提供することができる。 （もっと読む）

【課題】凸版印刷版の凸部に任意の形状を高精細に付与することのできる凸版印刷版の製造方法を提供する。
【解決手段】１．基板に、樹脂モールドを形成するためのネガ型感光性樹脂層を形成し、２．前記ネガ型感光性樹脂層上に、フォトマスクを配置した後、フォトマスク側から露光し、その後フォトマスクを取り外した後、現像を行い、該基板上に硬化したネガ型感光性樹脂の凸状体が配置された樹脂モールド前駆体を製造し、３．更に、前記樹脂モールド前駆体の該凸状体の表面を紫外線透過性の低い色材で被覆して樹脂モールドを製造する工程と、４．引き続き、前記樹脂モールドの凸状体が配置されている側に、印刷版を形成するためのネガ型感光性樹脂層およびその上に、拡散反射板６を配置し、５．前記基板側から、露光した後、樹脂モールドを取り外して製造する工程とを、経て製造されることを特徴とするネガ型感光性樹脂が硬化してなる印刷版５’の製造方法。 （もっと読む）

【課題】高感度なＣＴＰ印刷版においても、現像安定性、即ち画像部の印刷性能を阻害せず非画像部の溶出性を改良し、高い網点部画像再現性を保持しつつ、同時に画像部の視認性を向上させる平版印刷版の製版方法を提供する事である。
【解決手段】平版印刷版の感光層をレーザー露光により画像部を架橋させ、アルカリ性現像液を用いて未露光部を溶解除去し非画像部とする平版印刷版の製版方法であって、溶出促進剤を含むアルカリ性現像液による現像処理の後に、塩基性染料を含有する水洗液により水洗し、引き続いてガム液を付与する平版印刷版の製版方法。 （もっと読む）

【課題】少ない工程数で低欠陥な微粒子パターン、ドットアレイパターン、ホールアレイパターンを形成するための感光性シランカップリング剤、及び該感光性シランカップリング剤を用いたパターン形成方法を提供する。
【解決手段】ｏ−ニトロベンジルオキシカルボニル基で保護された２級アミノ基を有する感光性シランカップリング剤。基板１の表面に前記感光性シランカップリング剤を積層し、前記感光性シランカップリング剤層２にパターン状に露光を行ない、露光部３に２級アミノ基を発生させ、露光部２に選択的に微粒子を配する。得られた微粒子パターを用いて単一電子素子、パターンドメディア、化学センサ、量子ドットレーザー素子、フォトニック結晶光学デバイスなどを作製する。 （もっと読む）

【課題】 容易かつ迅速に欠陥検出が可能な機上現像型平版印刷版原版の製造時の欠陥検査方法を提供する。
【解決手段】（i）平版印刷版原版を露光する工程、（ii）露光済み原版を印刷機上以外で現像する工程、および（iii）画像形成していない欠陥部分を検出する工程からなる機上現像可能な平版印刷版原版の製造時の欠陥検査方法。工程（ii）がガム液を用いる現像であること、工程（ii）と工程（iii）の間で、現像後の画像部を染色する工程をさらに含むことが好ましい。 （もっと読む）

【課題】 煩雑な工程で形成されるレジストパターンを用いずに微細なパターンを形成し得る方法を提供する。
【解決手段】 基材の被エッチング層表面に重合開始剤を含む下地活性層を選択的に形成する工程と、有機モノマーをリビングラジカル重合させて前記下地活性層に重合体層を形成する工程と、前記重合体層をマスクとして前記被エッチング層を選択的にエッチングする工程とを含むことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 平滑な絶縁基板との密着性が良好であり、且つ、微細な導電性パターンを形成しうる導電性パターン材料の製造方法、及び該製造方法により製造された導電性パターン材料を提供すること。
また、本発明の導電性パターン材料の製造方法に好適なグラフトポリマーパターン形成方法、及びそれにより得られたグラフトポリマーパターン材料を提供すること。
【解決手段】 エポキシ樹脂を主成分とする基板表面に、分子内に重合性基を有する化合物を単体で、又は、溶媒に分散或いは溶解させた状態で接触させ、紫外線を用いてパターン露光し、露光領域に、該基板表面と直接結合するグラフトポリマーを生成させることを特徴とするグラフトポリマーパターン形成方法、及びそれにより得られたグラフトポリマーパターン材料。
前記グラフトポリマーパターン形成方法にて得られたグラフトポリマーに導電性素材を付与する工程を有することを特徴とする導電性パターン材料の製造方法、及び該製造方法により製造された導電性パターン材料。 （もっと読む）

【課題】 分離パターン、ホールパターンの微細化において、波長限界を超えるパターン形成を可能とする微細分離レジストパターン形成を実現する、下地レジストを溶解しない水溶性の微細パターン形成材料を提供すること。
【解決手段】 カチオン性基を有する水溶性有機化合物を主成分とする組成物と、該組成物を溶解する、水または水と水溶性有機溶媒との混合溶媒を含有する微細パターン形成材料であって、前記水溶性有機化合物は、該水溶性有機化合物中のカチオン性基が、アニオン性基を有する化合物を主成分とするレジストパターン中のアニオン性基と塩を形成して不溶化膜を形成可能なものであることを特徴とする微細パターン形成材料。 （もっと読む）