【課題】 複数の棒状の高圧放電ランプが、各々のランプ中心軸が一方向に延びる状態で、当該一方向に並んで配置された構成のものにおいて、ランプ点灯初期時と同様の均一な照度分布が長時間の間安定して得られる光照射装置を提供すること。
【解決手段】 この光照射装置は、各々バルブの内部に一対の電極が対向配置された複数の棒状の高圧放電ランプが、各々のランプ中心軸が一方向に延びる状態で、当該一方向に並んで配置された構成のものにおいて、隣接する２つの高圧放電ランプの各々の端部には、遮光体が設けられており、当該２つの高圧放電ランプの一方の高圧放電ランプが他方の高圧放電ランプに対して、均一な照度分布が得られるよう前記一方向に調整された位置に配列されている。 （もっと読む）

【課題】空間光変調器にて反射された描画に寄与しない光が周辺部材に与える熱的影響を確実に排除して高い描画精度を担保する。
【解決手段】光学ユニットのヘッド部は、レーザ発振器から出射された光を空間変調させて、パターンの描画に寄与させる必要光Ｌ１と、パターンの描画に寄与させない不要光Ｌ０とを、互いに異なる方向に反射させる空間光変調器を備える。光学ユニットは、さらに、必要光Ｌ１を通過させつつ不要光Ｌ０を遮断する第２遮断板２３２と、第２遮断板２３２を冷却する冷却部を備える。第２遮断板２３２における不要光Ｌ０の入射領域を含む対象領域部分には、入射した光を乱反射させる乱反射面４２が形成される。 （もっと読む）

【課題】取り付け機構に対する放電ランプの装着等を容易に短時間に行うことができる光源装置を提供する。
【解決手段】発光部を形成するガラス管２５とこれに連結された口金部２６とを有する放電ランプ１と、口金部２６を介して放電ランプ１を保持する取り付け装置３１とを備えた光源装置であって、口金部２６は、取り付け装置３１の位置決め板５０と当接するフランジ部２６ａと、フランジ部２６ａを位置決め板５０に押圧する押圧力が付勢される固定部２６ｈとを有し、取り付け装置３１は、圧縮コイルばね４４Ａによって固定部２６ｈを付勢する固定用アーム５５Ａを有する。 （もっと読む）

【課題】放電管に外管が被嵌された高圧放電ランプの外周に水冷管が設けられた高圧放電ランプの両端に、保持ブロックが着脱自在に設けられてなる水冷式放電ランプユニットにおいて、保持ブロックを樹脂製としても、水冷管の端部から紫外光が放射されて保持ブロックの壁面を劣化させることのないようにした水冷式放電ランプユニットを提供することである。
【解決手段】前記保持ブロックは樹脂製であって、該保持ブロックの壁面に対向する前記水冷管の端部には紫外光遮蔽部材が設けられていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】複数の半導体発光素子を用いて露光光を形成する際、露光光の強度を一定に保ちながら、各半導体発光素子の寿命を均一化する。
【解決手段】露光光照射装置３０から照射される露光光の強度を検出すると共に、各半導体発光素子４２の温度を検出する。各半導体発光素子４２の温度の検出結果に基づき、所定温度又は所定温度範囲より低い温度の半導体発光素子の点灯時間を、所定温度又は所定温度範囲より高い温度の半導体発光素子の点灯時間より長くし、または、所定温度又は所定温度範囲より低い温度の半導体発光素子の駆動電流を、所定温度又は所定温度範囲より高い温度の半導体発光素子の駆動電流より大きくして、検出した露光光の強度の変化を補う。 （もっと読む）

【課題】光源部の交換が簡易であり、且つ冷却効率を高めることができる露光装置用光照射装置を提供する。
【解決手段】複数の光源部７３と、所定数の光源部７３をそれぞれ取り付け可能なカセット８１と、を備え、カセット８１には、その前面側外周縁８３ｄに沿って複数の放熱フィン１０１が設けられる。 （もっと読む）

【課題】放電管の外周に外管が被嵌された高圧放電ランプと、該高圧放電ランプの外管の周囲を覆うように設けられた水冷管とを備え、該冷却管と高圧放電ランプの間に冷却水流路が形成された間接水冷型高圧放電ランプ装置において、水冷管や外管が放電管からの紫外線歪によって破損することがなく、冷却水が漏洩してしまうようなことのない構造を提供することにある。
【解決手段】前記高圧放電ランプを構成する放電管の表面粗さを、前記外管および前記水冷管の表面粗さよりも大きくしたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】コールドミラーである反射鏡を液体で効率よく冷却する手段を、簡便な構造により実現し、小型で安価な構成とすること
【解決手段】長尺なランプと、該ランプに沿って長手方向に配置される反射鏡を備え、該反射鏡の内面に紫外線を反射し赤外線を透過する反射膜を有する紫外線照射装置において、前記反射鏡の外面に近接して配置されるとともにこれを保持する反射鏡冷却保持体を備え、該反射鏡冷却保持体は内部に冷却液体が流通する流路を複数備え、該流路は該反射鏡冷却保持体の長手方向の両端部に開口を有し、該端部は蓋部材によって密閉されてなり、該蓋部材の内側に、溝状の折り返し流路部が形成されるとともに、一の流路と他の流路が折り返し流路部を介して空間的に連結されていること。 （もっと読む）

【課題】ランプ交換や調整などのメンテナンスに要する作業時間の短縮化を図る。
【解決手段】マイクロ波を発生するマグネトロンおよび導波管を介してマイクロ波に基づき、紫外線を発光することが可能な放電媒体が封入された無電極ランプ１２が収容されたランプハウス１１からモジュール化された紫外線照射部１００を構成する。紫外線照射部１００から放射される紫外線は、リフレクタを用いて集光または拡散させながら照射室２００に配置される被照射体に照射させる。紫外線は通過し、マイクロ波は遮蔽する電磁シールド２４が配置される。電磁シールド２４は支持枠３０に複数取り付けられ、行方向に複数配置された紫外線照射部１００に対向させる。支持枠３０は電磁シールド２４を取り付けた状態で取り出し可能とした。照射室２００から紫外線照射部１００に対するメンテナンス性を向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】紫外線ランプ表面温度を規定温度範囲内に収める管理を可能としたことでランプの長寿命化を実現する。
【解決手段】ランプハウス１０内に、紫外線を放射される紫外線ランプ１３を主に構成するランプユニット部１１とランプユニット部１１から放射される紫外線が照射される照射部１２が構成される。さらに、紫外線ランプ１３と反射板１７１，１７２との間には耐熱性の紫外線透過ガラス板２７２，２７２を設置した。紫外線透過ガラス板２７１，２７２が紫外線ランプ１３に対して風量を増やす作用を生かしてランプ温度の管理を実現することができる。 （もっと読む）

【課題】ＧＩＣ（斜入射集光器）シェルスパイダが、長期的にＥＵＶや他の放射副産物に曝されると、加熱され潜在的にミラーが変形し、性能上の問題を引き起こす。
【解決手段】斜入射集光器用冷却スパイダ１０は、外側リング２０と、内側リング５０と、両者を機械接続及び流体接続する複数のスポーク８０とを備える。内側リング５０、外側リング２０およびスポーク８０の複数の冷却チャネルは、冷却スパイダ１０を通過する主冷却液流路を形成する。主冷却液流路は、略１８０度の角度をなすように離間して配置される流入点及び流出点を有している。冷却液流路は、流入点において冷却スパイダ１０上を逆方向に流れる２つの分岐流路に分岐し、流出点において合流する。流入側冷却液マニホールド１１０Ａ及び流出側冷却液マニホールド１１０Ｂは、流入点及び流出点において外側リング２０に流体接続され、冷却液を冷却液流路に流す役割を果たす。 （もっと読む）

【課題】極端紫外線（ＥＵＶ）リソグラフィにおいて使用される斜入射集光器（ＧＩＣ）用の冷却システム及び冷却方法を提供する。
【解決手段】冷却システムは、離間して円形状に構成される複数の冷却ライン３０を備えている。冷却ラインは、シェルの中心軸ＡＣに対して垂直であると共に互いに平行である複数の平面ＰＬに配置されており、シェルの背面に熱接触し、背面の外周の周囲に配置される。流入側第２冷却液マニホールド及び流出側第２冷却液マニホールド４４，４６は、複数の冷却ラインにそれぞれ流体接続されている。その結果、流入側第２冷却液マニホールドから各冷却ラインの２つの半円形流路を介して流出側第２冷却液マニホールドに冷却液が流れる。冷却液の流入位置及び流出位置を離間させることにより、焦点能力の低下につながり得るシェル表面の局所変形を引き起こす可能性のある熱勾配が低減される。 （もっと読む）

【課題】基板の上に発光素子の光軸と光学部品の光軸を正確に位置合わせした光源装置を低コストで実現する。
【解決手段】本発明の光源装置は次のような構成である。基板４は第１の電極パッド４１１と第２の電極パッド４１２を有し、発光素子２は、出光面２１と第３の電極パッド２６を有するパッケージと、前記パッケージの内部に収容された発光素子チップを有し、光学部品は、レンズ部３１と台座部３２と、台座部３２に形成された接合面３３を有し、レンズ部３１は発光素子２の出光面２１を覆っており、基板４に形成された第１の電極パッド４１１と発光素子２に形成された第３の電極パッド２６ははんだ１０で接合され、基板４に形成された第２の電極パッド４１２と光学部品の台座部３２に形成された接合面３３は、はんだ１０によって接合されている。 （もっと読む）

【課題】均一な紫外線照射することにより、高性能で液晶パネル製造の歩留まり向上を実現する。
【解決手段】紫外線透過性の石英ガラスで気密性を有する放電空間１１を備えた発光管１２内の軸方向に一対の放電用の電極１３ａ，１３ｂを対向して配置する。放電空間１１内にアーク放電させた状態を維持するために十分な量の希ガス、水銀、ハロゲン、発光金属からなる封入物を封入することで紫外線ランプ１００を構成し、点灯時に紫外光を発光させる。紫外線ランプ１００を冷却ユニット２００で冷却させるとともに、被照射物とは反対側に反射板１９を配置し、被照射物に照射させる。反射板１９の複数の向きの異なる反射面６１で入射された紫外線を拡散したことで、被照射物に照射させる紫外線の照度の均一化を実現する。 （もっと読む）

【課題】平面ミラーが反射する光によって高温になり変形する際、ミラー周辺と保持板との干渉を防止する。
【解決手段】ランプからの光の方向を曲げ、また、ランプからの光の波長を選択する第１平面鏡を保持する保持板の平面鏡周辺と干渉する面に溝を設ける。また、第１平面鏡周辺と保持板に隙間を開けるための部材を設けたものである。または、保持板に平面鏡サイズより小さい保持面を設ける。または、平面鏡周辺にテーパー形状を設ける。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で、複数の発光素子搭載基板間の温度ばらつきを抑制し、同時に発光素子搭載基板の放熱特性も向上させる。
【解決手段】
セラミックの基体上に形成した電極に発光ダイオード（ＬＥＤ）チップを接続したＬＥＤ素子体と、ＬＥＤ素子体を複数搭載したＬＥＤ素子搭載基板と、ＬＥＤ素子搭載基板で発生した熱を放熱する放熱素子とを備えたＬＥＤ光源において、ＬＥＤ素子搭載基板と放熱素子との間に熱伝導樹脂を介在介させ、この熱伝導樹脂の一部はＬＥＤ素子搭載基板に設けられた貫通穴を介してＬＥＤ素子搭載基板のＬＥＤ素子体が搭載されている面の側にはみ出して複数のＬＥＤ素子体と接合している構成とした。 （もっと読む）

【課題】 対象体に対して、比較的高い光量の光を、比較的小さい光量分布で照射する光照射ヘッド、露光デバイス、画像形成装置、液滴硬化装置、および液滴硬化方法を提供する。
【解決手段】 この光照射ヘッド１０は、第１基板２０と、第１基板２０の上に配置されている発光素子１２と、を備えている。第１基板２０は、冷却媒体が通過する冷却流路が内部に設けられている。 （もっと読む）

【課題】複数の半導体発光素子を用いて露光光を形成する際、複数の半導体発光素子を効率良く冷却する。
【解決手段】複数の半導体発光素子４２から露光光を形成する光を発生し、複数の半導体発光素子４２から発生した光を拡大して集光して露光光を形成する。複数の半導体発光素子４２を冷却しながら、複数の半導体発光素子４２の内、点灯する半導体発光素子の数を変更して、露光光の照度を調節し、消灯する半導体発光素子を、時間の経過に伴って変更する。あるいは、複数の半導体発光素子４２を冷却しながら、複数の半導体発光素子４２の一部又は全部を断続的に点灯して、露光光の照度を調節し、断続的に点灯する半導体発光素子の一部を、他の断続的に点灯する半導体発光素子と異なるタイミングで点灯する。 （もっと読む）

【課題】 水銀ランプ交換などの照明系メンテナンス等で発熱体の発熱量変化に対して周辺部への影響を抑制し、メンテナンス復帰時間を短縮し、露光装置の性能変動への影響を最小限に抑える。
【解決手段】 照明光発生手段の照明光に寄与しない発熱手段、及び照明系の熱量を制御する熱量制御手段により、照明光発生手段における熱量を所定値とする、もしくは温度分布を一定とするように熱量制御手段から熱量を制御する。 （もっと読む）

【課題】封入物に水銀を含むランプを収納する光照射装置において、ランプが破損した場合にランプに封入されている水銀の飛散を防ぎ、水銀を回収できるようにすること。
【解決手段】水銀を含むランプ１からの光は集光鏡２により集光され、インテグレータ５、コリメータミラー６等を介して光照射装置１０から出射する。光照射装置１０には冷却風を供給する冷却風の取り入れ口７ａと排気口７ｂが設けられ、排気口７ｂと排気ブロア（排気ファン）８の間にサイクロン捕集器１３が設けられる。ランプ点灯時には排気ブロア８が動作し、冷却風取り入れ口７ａから取り込まれた冷却風は、集光鏡２やランプ１を冷却し、排気口７ｂから排気される。点灯中にランプが破損すると、液体粒子になった水銀やランプの細かいガラス片などは、ランプ１を冷却していた冷却風とともサイクロン捕集器１３内に入り、ランプの破片や水銀粒子は、冷却風から分離され捕集される。 （もっと読む）