【課題】減圧封止環境下で好適に使用可能なマイクロミラーデバイスを提供する。
【解決手段】マイクロミラーデバイス１００は、可動ミラー１１２を有するマイクロミラーチップ１１０と、マイクロミラーチップ１１０に対向して配置される電極基板１３０と、マイクロミラーチップ１１０と電極基板１３０との間に配置されてマイクロミラーチップ１１０と電極基板１３０とを接合するハンダバンプ１５０とを有している。マイクロミラーチップ１１０はまた４つの薄膜永久磁石１２４を有している。電極基板１３０はまたシート状永久磁石１３８を有している。シート状永久磁石１３８と薄膜永久磁石１２４は互いに引き合うことにより、マイクロミラーチップ１１０と電極基板１３０とハンダバンプ１５０が相互に密着される。 （もっと読む）

【課題】回動するミラーを有するマイクロミラー装置において、ミラー部の慣性モーメントに大きく影響を与える重量の増加を最低限に抑えつつ、ミラー部の剛性を向上させて往復振動時の反りや変形を極力低減させることができるように、ミラー部の構成について工夫すること。
【解決手段】トーションバー(52)を介してミラー部がフレーム(53)に対して回動可能に連結されたマイクロミラー装置を前提として、
上記ミラー部は、引張り応力を有する層(12a)と圧縮応力を有する層(12b)を備え、この二つの層の屈折率を異ならせて交互に積層した積層構造から構成される応力制御反射層(12)を含んで成ることである。 （もっと読む）

【課題】ポート間ピッチを不必要に拡げることなくＩＬＲとＸＴの両方を低減できる波長選択スイッチを提供する。
【解決手段】通過ポート１１とこの通過ポート１１と隣り合う挿入ポート１２ｂ，１２ｃとの間隔を、この他の挿入ポート間の間隔よりも広くする。これにより、ＩＬＲを抑制するために主軸成分の割合を大きくするようにＭＥＭＳミラー装置４５１のミラーを制御しながらＡＴＴを調整する、すなわち、通過ポート１１に関する制御軌跡の傾き角φを大きく取っても、通過ポート１１に隣り合うポートとの距離が離れているためにＸＴが増大しないので、ポート間ピッチを不必要に拡げることなくＩＬＲとＸＴの両方を低減することができる。 （もっと読む）

【課題】ポートアレイに結合する迷光が低減された波長選択スイッチを提供する。
【解決手段】波長選択スイッチ１００は、ｘｙ平面上にｘ軸に沿って並べて配置された入力ポート１１０ａと出力ポート１１０ｂを含み、入力ポート１１０ａからｙ軸に実質的に平行に光が射出されるポートアレイ１１０と、入力ポート１１０ａから射出される光をｚ軸に平行な方向に分光する分光素子１５０と、分光素子１５０によって分光された光を結像する結像光学素子１７０と、結像光学素子１７０によって結像された光束を出力ポート１１０ｂに選択的に結合するミラーアレイ２００とを有する。ミラーアレイ２００は、二次元的に傾斜可能な可動ミラー２２２を含むミラー基板２０２を有し、ミラー基板２０２は、ｙｚ平面を横切って配置され、結像光学素子１７０に対向する表面の部分がｚｘ平面に対してｘ軸に平行な軸の周りに傾斜角θを有するように配置されている。 （もっと読む）

【課題】 ミラー部を駆動させると共にミラー部の動きを検出可能とし、かつ、従来よりも小型化が可能な光偏向器及びこれを用いた画像表示装置を提供する。
【解決手段】 光偏向器１は、外部から照射された光を反射する反射面Ａ２１及び上記光を通過させるピンホール２２ｂ，２２ｄを有するミラー部２１と、ピンホール光偏向器を通過した光を受光する受光部１１ｂ，１１ｄと、ミラー部２１を所定の回転軸２１ａで駆動させ反射面Ａ２１で反射した光を所定の方向に偏向させる駆動手段３０ａ，３０ｂと、を備える。受光部１１ｂ，１１ｄは回転軸２１ａに直交する方向に対して幅が異なる形状を有している。 （もっと読む）

【課題】構造、構成が簡素であり、ミラーをより大きな角度で傾けることが可能であり、しかも、Ｘ方向及びＹ方向の２方向への駆動の際、クロストークが生じ難いミラー構造体を提供する。
【解決手段】ミラー構造体１０Ａは、（Ａ）ミラー本体部２２、及び、該ミラー本体部２２の表面に設けられた光反射層２１を備えたミラー２０、（Ｂ）ミラー本体部２２の裏面２３に上端部３０Ａが固定された複数の支柱３０、（Ｃ）それぞれの支柱３０の下端部３０Ｂに一端部４０Ａが固定された変位部材４０、並びに、（Ｄ）変位部材４０の他端部４０Ｂを固定する支持部６０から成る。 （もっと読む）

【課題】容易に駆動制御できるミラー装置およびミラーアレイを提供する。
【解決手段】定電圧印加部１１は、定電圧電極に一定の電圧を印加する。また、駆動電圧印加部１２は、駆動電極に所定の電圧を印加する。これにより、少ない数の駆動電極の電圧値を制御することでミラーの駆動を制御することができるので、より容易に駆動制御することができる。 （もっと読む）

【課題】所望の方向に光を正確に反射するマイクロミラー装置を得る。
【解決手段】マイクロミラー装置１０が走査するレーザ光のうち、カバーガラス底面において結像レーザ透過領域２１０の外側に向けて走査されるレーザ光は、カバーガラス底面に設けられた光反射膜により光検出部材に向けて反射される。このとき、第１の可動部１２０は、第１のＹ方向光検出部ＰＤｙ１と第２のＹ方向光検出部ＰＤｙ２との間から第５のＹ方向光検出部ＰＤｙ５と第６のＹ方向光検出部ＰＤｙ６との間までレーザ光を走査するように制御され、第２の可動部１３０は、第１のＸ方向光検出部ＰＤｘ１と第２のＸ方向光検出部ＰＤｘ２との間から第５のＸ方向光検出部ＰＤｘ５と第６のＸ方向光検出部ＰＤｘ６との間までレーザ光を走査するように制御される。これにより、照射対象面に設けられた結像領域内に形成される情報、たとえば文字情報や画像情報をユーザが認識可能となる。 （もっと読む）

【課題】対をなす作用点どうしの距離を短くでき、作用点の駆動力を大きくすることができ、さらに１部材によって作製可能にすることのできるバネの構造を提供する。
【解決手段】作動部材６３は第１の支持軸６５によって中央近辺を回動自在に支持されている。作動部材６３の左右両側には、支持軸６５を挟んで両側にそれぞれ連動部材６４ａ、６４ｂが配置されている。連動部材６４ａ、６４ｂは、第２の支持軸６９によって回動自在に支持され、また作動部材６３に回動自在に連結されている。支持軸６９は作動部材６３と６４ａ、６４ｂの連結箇所よりも支持軸６５に近くなっており、支持軸６９よりも支持軸６５に近い箇所に作用点部分７０が定められている。 （もっと読む）

【課題】１×２光ファイバスイッチ構造を提供する。
【解決手段】本発明は、光ファイバスイッチ構造に関する。本発明による光ファイバスイッチ構造は、３つのコリメータを有し、１つのコリメータが励進コリメータ(84a)として働き、他のコリメータが射出コリメータ(84b, 84c)として働く。光ファイバスイッチ構造は、更に、第１の位置及び第２の位置を有するラッチ式スイッチ素子(82)を有する。ラッチ式スイッチ素子が第１の位置にあるとき、励進コリメータから出た光ビームが射出コリメータのうちの第１の射出コリメータに直接差し向けられる。ラッチ式スイッチ素子が第２の位置にあるとき、励進コリメータから出た光ビームがラッチ式スイッチ素子によって射出コリメータのうちの第２の射出コリメータに偏向される。 （もっと読む）

【課題】本発明は、小型かつ低消費電力で、高感度の傾動駆動を実現できる圧電アクチュエータを提供することを目的とする。
【解決手段】第１の方向に延在し、駆動対象物３０を前記第１の方向の両側から支持する１対の中心梁４０、４０ａと、
前記第１の方向と略直交する第２の方向に平行に延在する複数の梁５７、５７ａ、５８の、隣接する端部同士が両端で交互に連結されたジグザグ状の梁群を含んで構成されるとともに、各梁が圧電素子２０を備え、該圧電素子の伸縮変形により前記第２の方向の傾き角度の蓄積が可能な１対の蛇行型梁５０、５０ａと、
前記駆動対象物、前記中心梁及び前記蛇行型梁を取り囲む固定枠１２０と、を有する圧電アクチュエータであって、
前記１対の蛇行型梁は、一端が前記固定枠に連結され、他端が前記固定枠との連結位置から遠い方の前記中心梁の端部に連結されるとともに、前記駆動対象物及び前記中心梁を両側から囲むように配置されたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ＳＯＩ基板を用いて作製されるミラー構造体の両面に、より容易に所望とする形状の金属膜が形成できるようにする。
【解決手段】金属膜１０６の表面に電着レジストを電着することで、電着レジスト層１０７を形成し、電着レジスト層１０７をフォトリソグラフィーによりパターニングし、ミラー部１３１の金属パターン１４１と対向する領域に、電着レジストパターン１７１を形成する。電着レジストパターン１７１は、ミラー部１３１の裏面側の金属パターン１４１に対向して形成する金属パターンの領域を被覆するように形成する。 （もっと読む）

【課題】基板に設けられた固定電極と可動ミラーに設けられた可動電極とが可動ミラーの揺動軸と電極面が垂直となっている光学装置において、固定電極と可動電極の電極面を大きくすることと、可動ミラーのミラーサイズを大きくすることとを両立させる。
【解決手段】可動ミラーの下方に、可動ミラーが揺動する揺動軸と電極面が垂直となるように固定電極と可動電極を設置する。可動電極は可動ミラーの下面から下方に延びており、固定電極は基板から可動電極に向けて延びている。可動電極と固定電極が可動ミラーの下方に設けられるため、可動電極を設ける領域を可動ミラーの表面に確保する必要がない。材料基板の面積に対してミラー面積を大きく取ることができ、開口率を大きくすることができる。固定電極と可動電極は、可動ミラーの揺動角の検出装置や、静電駆動式アクチュエータとして利用できる。 （もっと読む）

【課題】 簡素な構成でありながら、所望の光学的作用を高精度に調整することのできる可変焦点レンズを提供する。
【解決手段】 互いに対向配置された透明基板３２および透明変形部材３３と、これらの間に充填された透明材料からなる充填層３５と、透明基板３２の表面３２Ｓおよび透明変形部材３３の表面３３Ｓにそれぞれ設けられた透明電極層３６，３７とを備える。透明電極層３６，３７間に電圧を印加することにより、その層面に沿った方向に電界強度分布が形成される。その電界強度分布に応じて透明変形部材３３が変形するので、所望の非球面形状を高精度に確保しつつ、焦点距離を変化させることができる。 （もっと読む）

【課題】 小型で簡易な構造で、レーザ光源等の光源からの光を走査して画像を表示する際に生じるスペックルノイズを低減することができる光偏向器用アクチュエータ装置を提供する。
【解決手段】 支持体４０に支持された圧電アクチュエータ４２ａ，４２ｂが、光源からの光を偏向する光偏向器を搭載する台座４３を並進振動させることにより、光偏向器による反射光に微小な光路差を付与する。 （もっと読む）

【課題】梁の一部に形成されたステップ部、又はテーパ部にかかる応力集中が軽減される光スキャナを提供する。
【解決手段】光スキャナ１は、反射ミラー２と、可動梁３ａ、３ｂと、駆動部４ａ〜４ｄと、固定部５と、延出部６ａ〜６ｄとを備えている。反射ミラー２は、揺動軸線ＡＸの回りに揺動可能で、入射した光束を反射して、走査する反射面７を備える。可動梁３ａ、３ｂは、第１梁部８ａ、８ｂと、第２梁部９ａ〜９ｄとから構成される。延出部６ａ〜６ｄは、各々、反射面７に平行な面上で、且つ揺動軸線ＡＸに垂直な方向、即ちＸ軸方向において、第１梁部８ａ、８ｂと、第２梁部９ａ〜９ｄとが連結する連結部ＣＰの近傍の両側から延出する。 （もっと読む）

【課題】共振周波数が充分に高く、且つ、揺動時に変形し難い揺動部材を備えたＭＥＭＳデバイスを提供することを課題とする。
【解決手段】揺動軸周りに揺動可能な板状の揺動部材１１を備えるＭＥＭＳデバイス１であって、揺動部材１１は、肉抜部２２と非肉抜部２３とを同一平面上に有し、非肉抜部２３は、揺動軸と該揺動軸に直交する直交軸との交点Ｃを中心とする第１楕円２５ａが内接可能な内縁部２５と、該交点Ｃを中心とする第２楕円２６ａが外接可能な外縁部２６とを具備する補強部領域２７を有し、交点Ｃから第１楕円２５ａ及び第２楕円２６ａの径方向に延びる直線Ｌと揺動軸とが成す角度θ（但し、θは０°≦θ≦９０°）が大きくなるにつれて、直線Ｌに沿った第１楕円２５ａと第２楕円２６ａとの距離Ｄが小さくなることを特徴とするＭＥＭＳデバイス１を提供する。 （もっと読む）

【課題】使用状況によらず安定した制振特性を得ることができるガルバノミラーの位置制御装置を提供する。
【解決手段】ガルバノミラーの制御装置２０は、揺動ミラーの目標角度に応じて指令電圧Ｖ０を出力するとき、角度検出部２４で揺動ミラーの角度θを検出し、検出された角度を角速度検出部２３で微分することにより角速度ωを検出し、フィルタ部２５で移動平均を求め、フィルタリング後の角速度に所定の比例ゲインＧを乗算することで補正電圧Ｖ１を算出し、補正電圧生成部２６で指令電圧Ｖ０から補正電圧Ｖ１を減算することにより、揺動ミラーの角速度ωに応じて補正された指令電圧Ｖ２をインバータ部２２に出力し、揺動ミラーの角速度ωの変化を抑制する。 （もっと読む）

【課題】光学的作用を生じさせるレンズ等の光学部品を不要とすることにより、光学系の構成を簡素化し、コストダウンを図ることができるマイクロミラー素子を提供する。
【解決手段】可動板１０のベースとなる基板層１５の外面側に、中間層１６が蒸着により形成され、中間層１６の外面側に、ミラー層１７が蒸着により形成される。基板層１５及びミラー層１７とは異なる熱膨張係数の材料から成る中間層１６によって、可動板１０を凹状又は凸状に変形させて、可動板１０のミラー面１２を光学的に凸面状又は凹面状に形成する。 （もっと読む）

【課題】自由度連成振動系を構成した光走査装置において鏡面部の振動振幅を大きくする
【解決手段】光走査装置１は、ミラー１３、内ジンバル１２、外ジンバル１１、支持部３、弾性連結部１６ａ，１６ｂ、弾性連結部１５ａ，１５ｂ、及び弾性連結部１４ａ，１４ｂが、固有の周期的外力が作用した場合に大きい回転角で捩じり振動する３自由度連成振動系を構成する。このため、櫛歯電極部１７，１９と櫛歯電極部４ａ，４ｂとの間に電圧を印加して、固有の周期的外力を外ジンバル１１に作用させることにより、３自由度捻り振動子を共振状態にできる。そして、外ジンバル１１の回転角度が、外ジンバル１１に作用するトルクが最大となるときの外ジンバル１１の回転角度を含む予め設定された電圧印加角度範囲内（トルクが最大トルクの９０％以上となる範囲）にあるときに、電圧を印加する。 （もっと読む）