【課題】複雑な製造工程を必要とせずに、窓部の入射面と反射面とを傾かせることができる光偏向器、光偏向器の製造方法、及び画像形成装置を提供する。
【解決手段】光偏向器は、反射面が形成された反射手段が固定されており板状の形状を有する可動板と、可動板を回動軸回りに回動可能に支持する弾性支持梁と、弾性支持梁を支持する支持枠と、を備える光偏向素子と、光偏向素子を収容可能な素子室に配設されており、支持枠を支持する素子支持部を有する筐体本体と、反射面に入射する入射光が透過する窓部を有し、素子室の開口を封止する蓋部材と、を備え、支持枠と素子支持部とが第一の当接位置と第二の当接位置とにおいて当接することによって、支持枠が素子支持部に支持されており、入射光が窓部に入射する入射面に垂直な方向における入射面からの距離、又は反射面に垂直な方向における反射面からの距離が、第一の当接位置と第二の当接位置とで異なる。 （もっと読む）

【課題】光偏向器にミラーデバイスの温度を調整するための温度調整手段を配設することによってミラーデバイスの製造工程やパッケージへの組み込みに影響をあたえることを抑制できる光偏向器、光偏向素子の温度調整方法、光偏向器の製造方法、及び画像形成装置を提供する。
【解決手段】光偏向器は、光束が反射される反射面が形成された反射手段が固定されており板状の形状を有する可動板と、一端が可動板に接続されており、可動板を反射面に平行な回動軸回りに回動可能に支持する弾性支持梁と、弾性支持梁の一端の反対側の一端が接続されており、弾性支持梁を支持する支持枠と、を備える光偏向素子と、光偏向素子を収容可能な素子室を有する筺体本体を備える素子筺体と、光偏向素子の温度を調整可能な温度調整手段と、を備え、温度調整手段は、筺体本体に配設されている。 （もっと読む）

【課題】２つの回動軸に関して、充分な回動角度を得ることができる光スキャナを得る。
【解決手段】印加電圧が０Ｖから増加していくと、接地されているミラー部２１０と第３及び第４の内側裏分割電極４１３、４１４並びに内側表分割電極との間、及び接地されているジンバル部２２０と第２の外側裏分割電極４２２及び外側表分割電極との間に電圧差が生じ、この電圧差によりミラー部２１０と第３及び第４の内側裏分割電極４１３、４１４並びに内側表分割電極との間、及びジンバル部２２０と第２の外側裏分割電極４２２及び外側表分割電極との間に静電引力が生じる。ミラー部２１０は、第３及び第４の内側裏分割電極４１３、４１４並びに内側表分割電極からの静電引力に加えて、第２の外側裏分割電極４２２及び外側表分割電極からの静電引力によりＹ軸時計回りに回動する。交流電圧が１３０Ｖになると、ミラー部２１０は、アイドル状態から１５度回転する。 （もっと読む）

【課題】揺動部の揺動範囲を制限するストッパを簡易に構成する。
【解決手段】角速度センサ１は、フレーム２と、フレーム２に対して揺動する振動子３と、振動子３の揺動を所定の揺動範囲に制限するためのストッパ５，５とを備えている。フレーム２、振動子３及びストッパ５，５は、同一基板上に複数の層が積層された１つの積層体として構成されている。ストッパ５，５は、フレーム２から延びており、反ることによって振動子３の揺動軌跡Ｔ上に位置している。 （もっと読む）

【課題】ミラー部を備えた可動部の正確な駆動とミラー部の正確な角度測定が可能なミラーデバイスおよび製造コストの低減したミラーデバイスの製造方法を得ること。
【解決手段】ミラー部１０を備えた可動部３０が回転軸Ａを中心に回転することによって、可動部３０に設けられた第１電極５０の第１の面５１と枠体４０に設けられた第２電極６０の第２の面６１とで形成される容量が変化する。容量は、第１の面５１と第２の面６１との対向する面積で大部分が幾何学的に決まるので、温度変化等の影響を少なくできる。したがって、ミラー部１０を備えた可動部３０の正確な駆動とミラー部１０の正確な角度測定が可能なミラーデバイス１００を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、安定して低速駆動を行うことができる圧電アクチュエータ及びこれを用いた光走査装置を提供することを目的とする。
【解決手段】駆動対象物３０、３１を軸Ｘ周りに傾動駆動させる圧電アクチュエータ１１０、１１１、１１２であって、
前記軸Ｘの両側に配置された錘部７１と、前記軸Ｘと交差して延在し、前記錘部７１を連結する連結部７２とで前記駆動対象物３０、３１を平面的に囲む環状構造を有し、前記駆動対象物３０、３１が連結されて前記駆動対象物３０、３１を連結支持する可動枠７０と、
弾性体１５に圧電薄膜２２が成膜された構造を有し、前記可動枠７０の外側に配置され、該可動枠７０の前記連結部７２に前記軸Ｘ周りの傾動力を付与するように連結された駆動梁９０と、を含むことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】揺動駆動時における駆動電圧の低減と、ミラー歪みの低減とが可能な光スキャナを提供すること。
【解決手段】光スキャナ１００は、ミラー部１１０と、一組の第１梁１１１と、枠部１１２と、一組の第２梁１２０と、固定部１４０と、圧電駆動部１３０とを備える。一組の第１梁１１１は、揺動軸線ＡＲを含む平面上で、ミラー部１１０から離れる方向にミラー部から延出する。枠部１１２は、ミラー部１１０を囲むように配置され、一組の第１梁１１１が接続される。一組の第２梁１２０は、揺動軸線ＡＲに沿う方向に、枠部１１２から延出する。固定部１４０には、一組の第２梁１２０が接続される。ミラー部１１０の重心ＣＭは、一組の第２梁１１１を揺動軸線ＡＲに沿う方向に結ぶ第２梁延長線ＥＬ２に対して、揺動軸線ＡＲに直交する方向に離間する。 （もっと読む）

【課題】迷光の発生を防止することができる光偏向器、光偏向器の製造方法および画像表示装置を提供する。
【解決手段】可動板１１と、一端が可動板１１と連結され、回転軸Ｘの周りに可動板１１を回動可能に支持する弾性支持部１２と、弾性支持部１２の他端と連結された支持部材１３とを備え、弾性支持部１２、支持部材１３は、上面、下面、及び側面を有し、側面は、上面又は下面よりも外側に存在する１つ又は複数の斜面によって形成され、弾性支持部１２、支持部材１３の上面、下面、及び側面に、光吸収膜３０が設けられている。 （もっと読む）

【課題】弾性支持部の破断を防止することができる光偏向器の製造方法を提供する。
【解決手段】反射膜１１を有する可動板１０を形成する工程と、可動板１０とは異なる部材で、可動板１０を取り付けるための取付部２１と、取付部２１に取り付けられた可動板１０を所定の軸の周りに回動可能に支持する弾性支持部２２とを有する軸部材２０と、軸部材２０と連結する支持部材３０とを一体で形成する工程と、軸部材２０と支持部材３０に丸め処理を施す工程と、取付部２１に可動板１０を取り付ける工程とを備える。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で可動板の撓みを抑制することができるとともに、迷光の発生を抑制することができ、被投影面に所望の画像を高品質に描画することのできる光スキャナおよび画像形成装置を提供すること。
【解決手段】光スキャナ１は、一方の面側に光反射性を有する光反射部２１１を備える可動板２１と、可動板２１を支持する支持部２２と、支持部２２に対して可動板２１を回動可能とするように、支持部２２と可動板２１とを連結する一対の連結部２３、２４とを有し、可動板２１には、可動板２１の回動による光反射部２１１の撓みを抑制する貫通孔２５、２６が形成されおり、貫通孔２５、２６は、可動板２１の光反射部２１１と反対側の面から光反射部２１１側の面に向けて横断面積が漸減するテーパ状をなしている。 （もっと読む）

【課題】低コスト、且つ、高い機能を有するＭＥＭＳ、及びその製造方法を提供する。
【解決手段】微細構造体からなるデバイス層６１と、基材９１とにより構成されるＭＥＭＳ１０１の製造方法であって、成形可能な材料を型５１により成形することにより、デバイス層６１、及び基材９１を成形する成形工程Ｓ４２と、成形工程により成形されたデバイス層６１と、基材９１とを接合する接合工程Ｓ４４と、成形工程で生じた残膜６１ａを、デバイス層６１より除去する除去工程Ｓ４５と、を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】確実に、内部空間（可動板が設けられている空間）の気密性を確保することができるアクチュエータ、光スキャナおよび画像形成装置を提供すること
【解決手段】アクチュエータ１は、内部空間Ｓを画成する壁部を有するパッケージ２と、内部空間Ｓに回動可能に収容された可動板３２と、可動板３２の一方の面側に設けられた永久磁石４１と、コイル（駆動用コイル４２、挙動検知用コイル５１）とを有し、前記コイルは、少なくとも一部がパッケージ２の壁部に埋設されており、永久磁石４１と対向するように、または永久磁石４１が内側に位置するように設けられている。 （もっと読む）

【課題】可動部の振動特性（Ｑ値）を簡易に調整できるプレーナ型アクチュエータを提供する。
【解決手段】可動部４に備えられる駆動コイル５への通電を行うアルミニウム配線６ａ，６ｂを、固定部２に対して可動部４を揺動可能に支持するトーションバー３ａ，３ｂ上に形成する。また、トーションバー３ａ，３ｂ上に、アルミニウム配線６ａ，６ｂを挟んで線対称に、可動部４の振動特性（Ｑ値）を調整するための特性調整部１１を、アルミニウム配線６ａ，６ｂと同じ材料又はアルミニウム配線６ａ，６ｂの配線保護膜と同じ材料によってアルミニウム配線６ａ，６ｂ又は配線保護膜の形成工程で同時に形成する。そして、特性調整部１１の形成パターンの選択によって、可動部４の振動特性（Ｑ値）を要求特性（要求Ｑ値）に調整する。 （もっと読む）

【課題】ミラーと弾性支持部を連結するための接着剤が、弾性支持部へ付着してばね定数が変化することを防止する。
【解決手段】反射膜１１を有する可動板１０と、可動板１０とは異なる部材で、磁石４０を介して可動板１０取り付けるための取付部２１と、取付部２１に取り付けられた可動板１０を所定の軸の周りに回動可能に支持する弾性支持部２２と、を有する軸部材２０と、を備え、取付部２１は、取付面に、溝内に接着剤２５が存在する溝２３と、接着剤２５が存在しない溝２４を有しており、溝２４は溝２３よりも弾性支持部２２に近い位置に設けられている。 （もっと読む）

【課題】 アクチュエータチップの向きを適正に認識することができ、実装作業を容易にかつ確実に行うことのできるプレーナ型アクチュエータを提供する。
【解決手段】 デバイス基板に設置された枠状の固定部２と、固定部２の内側にトーションバー３を介して可動自在に支持され駆動手段により駆動される可動部４と、固定部２に形成され少なくとも上下方向が認識できる認識部５と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】静電駆動式でミラーを揺動させ、光ビームを偏向させる光学装置において、可動部に設置されたミラーの傾斜角を精度よく調整する。
【解決手段】基板と可動部のうちのいずれか一方の部材に固定されているとともに他方の部材に向かって突出している第１突起部および第２突起部を備えている。第１突起部が第２突起部よりも、基板に垂直な方向の高さが高く、第１突起部が第２突起部よりも、可動部の揺動軸に近い位置に設置されている。基板に対して可動部が最大傾斜角で傾斜した場合に、第１突起部および第２突起部が、前記した他方の部材に当接する。これによって、可動部の傾斜角が精度よく調整される。 （もっと読む）

【課題】マイクロメカニカル構造体の近設される可動部間の電気干渉を抑制するための電界遮蔽構造が、容易に製造できるようにする。
【解決手段】マイクロメカニカル構造体１００は、一端が固定された複数の可動部１３１ａと、隣り合う可動部１３１ａの間に可動部１３１ａとは離間して配置される電界遮蔽構造１１１ａとを備える。マイクロメカニカル構造体１００は、ＳＯＩ基板より構成されている。ＳＯＩ基板を構成するシリコン基部１０１の層に電界遮蔽構造１１１ａが形成され、埋め込み絶縁層１０２の上のシリコン層１０３に、可動部１３１ａが形成されている。また、電界遮蔽構造１１１ａおよび可動部１３１ａは、埋め込み絶縁層１０２に形成された開口領域に配置されるように形成されている。 （もっと読む）

【課題】環境温度の変化によって生じる熱膨張率差に起因する応力の変動や、マイクロミラー素子を固定している接着剤部分の強度劣化による応力の変動等が、マイクロミラーの傾斜角度へ影響することを軽減する。
【解決手段】固定フレーム１と、固定フレーム１に対して揺動可能な可動フレーム１３と、可動フレーム１３の揺動軸を規定するトーションバー１１ａ及び１１ｂと、固定フレーム１及びトーションバー１１ａ，１１ｂの少なくとも一方に設けられる応力緩和機構５０とを含み、トーションバー１１ａ及び１１ｂの軸方向における応力緩和機構５０の剛性は、トーションバー１１ａ及び１１ｂの軸方向の剛性より小さく、トーションバー１１ａ及び１１ｂを中心とする回転方向における応力緩和機構５０の剛性は、トーションバー１１ａ及び１１ｂを中心とする回転方向における剛性よりも大きい。 （もっと読む）

【課題】ミラー部の慣性モーメントを簡易な構成で調整することによりミラー部の走査角や共振周波数を微調整可能にした光走査装置を提供する。
【解決手段】基板揺動部４ａの両面に各々重ね合わせて設けられる第１，第２ミラー４ｂと、を備え、第１ミラー４ｂと第２ミラー４ｂとは、基板揺動部４ａを支持する揺動軸３を中心として軸対称となるように反対方向にずれ量を持たせて積層されている。 （もっと読む）

【課題】減圧封止環境下で好適に使用可能なマイクロミラーデバイスを提供する。
【解決手段】マイクロミラーデバイス１００は、可動ミラー１１２を有するマイクロミラーチップ１１０と、マイクロミラーチップ１１０に対向して配置される電極基板１３０と、マイクロミラーチップ１１０と電極基板１３０との間に配置されてマイクロミラーチップ１１０と電極基板１３０とを接合するハンダバンプ１５０とを有している。マイクロミラーチップ１１０はまた４つの薄膜永久磁石１２４を有している。電極基板１３０はまたシート状永久磁石１３８を有している。シート状永久磁石１３８と薄膜永久磁石１２４は互いに引き合うことにより、マイクロミラーチップ１１０と電極基板１３０とハンダバンプ１５０が相互に密着される。 （もっと読む）