【課題】微細機械的装置の光学的性質の操作により入射光を変調させ、優れた融通性をもたらすカラー方式を実現するため干渉変調装置及び干渉変調器のアレーを制御する方法を提供すること。
【解決手段】複数の干渉変調器を有し、該複数の干渉変調器が、着色光を射出するようになった少なくとも一つの干渉変調器と、白色光を射出するようになった少なくとも一つの干渉変調器とを有する干渉変調装置である。 （もっと読む）

【課題】衝撃に対する故障発生の低減を図ることのできるアクチュエータ装置を提供する。
【解決手段】 本発明のアクチュエータ装置３０は、枠部材１と、枠部材１に梁部材３を介して回動可能に支持された可動部２とを備え、両梁部材３を回動軸として可動部２を枠部材１に対して回動させるアクチュエータ装置において、両梁部材３の回動軸線上にダンパー部材４を設けた。 （もっと読む）

【課題】揺動部の揺動動作に係る固有振動数を調整するのに適したマイクロ揺動素子を提供する。
【解決手段】マイクロ揺動素子Ｘ２は、揺動部２１０と、フレーム２２０と、前記揺動部および前記フレームを連結し、揺動軸心Ａ２を規定する連結部２３０と、を備え、前記連結部は、並列する複数のトーションバー２３１，２３２，２３３を含み、当該複数のトーションバーから選択される二本のトーションバーは相対的に近接離反可能であり、前記揺動部は、揺動主部２１１と、当該揺動主部２１１に取り付けられ且つ前記揺動軸心と交差する方向に変移可能な第１可動部２１２Ａ，２１２Ｂとを有し、前記フレームは、フレーム主部と、当該フレーム主部に取り付けられ且つ前記第１可動部２１２Ａ，２１２Ａと同方向に変移可能な第２可動部２２３Ａ，２２３Ｂとを有し、前記連結部に含まれる一のトーションバー２３２，２３３は、当該第１および第２可動部を連結する。 （もっと読む）

【課題】ブラックアウト時間が比例して長くなる。
【解決手段】撮像装置は、被写体の光学像が入力され、電気信号を出力する撮像素子と、光学像が入力され、撮像素子とは別個に配された光学部材と、光学像が撮像素子に向かう光路と光学部材に向かう光路との間で切り替える複数の単位素子が配列されており、撮像素子に光学像を入力すべく設定した設定時間内に複数の単位素子の少なくとも一部の単位素子が光学像を光学部材に向ける空間光変調素子とを備える。 （もっと読む）

【課題】梁部に高い振動疲労特性と揺動部に高剛性を持たせつつ小型化された振動素子を提供する。
【解決手段】振動素子は、基体３と、前記基体３から梁状に設けられた梁部２と、前記梁部２の前記基体３側とは反対の側に設けられたミラー部４とを備え、前記揺動部４の少なくとも一部及び前記梁部２は金属ガラスで一体に形成される。次に、真空中でＹＡＧレーザ１０を振動素子のミラー部４に照射して局所的な構造緩和を行う。 （もっと読む）

【課題】ポートを切り替える際に、切替元のポートと切替先のポートとの間に存在するポートへのクロストークを抑える。
【解決手段】出力ポート２０２−Ａに結合した状態から出力ポート２０２−Ｂに結合した状態に遷移する際に、最初に、出力ポート２０２−Ａのあらかじめ定められたヒットレスポイントに対応する電圧をミラー装置の電極に印加し（Ｓ１１０２）、次に、あらかじめ定められた中継ポイントに対応する電圧を印加し（Ｓ１１０３）、次に、出力ポート２０２−Ｂのあらかじめ定められたヒットレスポイントに対応する電圧を印加し（Ｓ１１０４）、最後に、出力ポート２０２−Ｂと結合状態になる電圧を印加する（Ｓ１１０５）。ヒットレスポイントと中継ポイントは、ポートを切り替えるときに、要求されるクロストークを下回るように設定される。 （もっと読む）

【課題】往復振動するミラー基板を有するマイクロミラー装置において、ミラー基板の重畳増加を最小限に抑えつつ剛性を向上させて、ミラー基板を高速で往復振動させた場合でも、該ミラー基板の動的変形を確実に防止する。
【解決手段】ミラー基板１０３は、一対の捻り梁１０２で揺動可能に支持され、該捻り梁１０２をねじり回転軸として往復振動する。このミラー基板１０３の光反射面とは反対側の裏面に、該ミラー基板１０３の動的変形を抑えるための構造補強部材１０４を設け、これを三次元規則配列多孔体で構成する。三次元規則配列多孔体は、多数の微粒子による最密充填構造体を形成した後に、前記微粒子とは異なる材料からなる物質を空隙に充填して固化し、その後、微粒子を選択的に除去することによって、該微粒子の占めていた領域が空隙として残された構造のいわゆるインバースオパール構造体である。 （もっと読む）

【課題】可動部を低い駆動力で揺動させることが可能な光偏向装置を提供すること。
【解決手段】光偏向装置は、基板と、平板形状の可動部２２０と、可動部２２０の端部２４２ａに接続されている突出部２４１ａと、突出部２４１ａと同一の中心軸２４０を有するように、可動部２２０の端部２４２ｂに接続されている突出部２４１ｂと、基板上に設置されており、突出部２４１ａの中心軸２４０の周囲を取り囲んでいる規制部２５０ａと、基板上に設置されており、突出部２４１ｂの中心軸２４０の周囲を取り囲んでいる規制部２５０ｂと、可動部２２０を揺動させる固定電極２０４ａ、２０４ｂと、を備える。規制部２５０ａで突出部２４１ａが支持されており、規制部２５０ｂで突出部２４１ｂが支持されていることで、可動部２２０が基板の上方に離反した位置で中心軸２４０の周りに揺動可能に支持されている。 （もっと読む）

【課題】ミラーの回動に要する駆動電圧を低下させる。
【解決手段】光スイッチは、ミラー装置と、制御装置１とを備える。ミラー装置は、回動可能に支持されたミラー１０３と、ミラー１０３から離間して配置された電極３０２ａ，３０２ｂ，３０３ａ，３０３ｂとを有する。制御装置１は、ミラー１０３の回動角を制御する制御電圧をミラー１０３の所望の回動角に応じて電極毎に生成する駆動電圧生成部３と、ミラー１０３と電極３０２ａ，３０２ｂ，３０３ａ，３０３ｂとの間の距離を制御するバイアス電圧をミラー１０３の所望の回動角に応じて電極毎に生成するバイアス電圧生成部４と、制御電圧とバイアス電圧とを電極毎に加算して、加算後の駆動電圧を対応する電極３０２ａ，３０２ｂ，３０３ａ，３０３ｂに印加する加算部５ａ〜５ｄとを有する。 （もっと読む）

【課題】所定のミラー振れ角あたりの所要駆動電圧を小さくすることができる光スキャナを提供する。
【解決手段】
光スキャナ１００は、固定部品２００と固定されて設置される光スキャナ１００であって、ミラー部１１１と、梁部１１２Ａ、１１２Ｂと、本体部１１３と、を有す構造体１１０と、駆動部１２０と、を備え、構造体１１０を支持する支持面１３２Ｆを有し、第３方向Ｚのミラー部１１１から離間する向きに延びる支持部１３２と、支持部１３２と接続され、第１方向Ｘを含み、第２方向Ｙに平行な面上で延びる台部１３３と、を有す台座１３０と、を備え、台部１３３の第３方向Ｚにおける変形量が支持面１３２Ｆの第３方向Ｚにおける変形量より小さい領域にて、台部１３３の第３方向Ｚにおいて対向する２つの面のうち構造体１１０がある側とは反対側にある面１３３Ｆと固定部品２００とは固定される。 （もっと読む）

【課題】筐体とケーブルとの間に発生する異音を低減することができる光スキャナと、その光スキャナを利用した画像投影装置とを提供すること。
【解決手段】ミラー部と一対の捩れ梁部と本体部とを有する平板状の構造体と、構造体が固定される筐体と、構造体に設けられた駆動部と、駆動部を駆動するための電力を伝達するケーブルとを備える光スキャナである。ケーブルは、第１固定部分と、第２固定部分とにおいて、筐体に対して固定される。第１固定部分では、筐体の一部である第１筐体部分と、ケーブルの一部であってケーブルの一端に存在する第１ケーブル部分とが固定される。第２固定部分では、筐体の一部であって第１筐体部分とは異なる位置に存在する第２筐体部分と、ケーブルの一部であって第１ケーブル部分よりも構造体から離間した位置に存在する第２ケーブル部分とが固定される。 （もっと読む）

【課題】方向性のある力以外の力を用いてステージを移動させる。
【手段】駆動装置（１００）は、ベース部（１１０）と、回転可能な被駆動部（１３０）と、弾性部（１２０）と、被駆動部及び弾性部により定まる共振周波数で被駆動部が一の方向（Ｙ軸）に沿った軸を中心軸として共振しながら回転するように被駆動部を回転させるための微振動をベース部に加える印加部（１４０）とを備える。 （もっと読む）

【課題】大型化を招くことなく揺動軸部のがたつきを防止可能な光スキャナと、その光スキャナを利用した画像投影装置とを提供すること。
【解決手段】揺動軸部と、揺動軸部に設けられた反射面を有する揺動体と、揺動軸部を支持するベース台と、揺動軸部を揺動させる駆動部とを備える光スキャナである。ベース台には、揺動軸部の一端を支持する第１軸受と、揺動軸部の他端を支持する第２軸受とが設けられる。揺動軸部は、テーパ状に形成されたテーパ部分を、その一端に有する。そして、第１軸受はテーパ部分に係合するスラスト軸受であり、第２軸受は揺動軸部の外周面と接触するラジアル軸受である。 （もっと読む）

【課題】可動板を互いに直交する２つの軸のそれぞれの軸まわりに安定して回動させることのできる光スキャナーおよび画像形成装置を提供すること。
【解決手段】貫通孔４１１に挿通された永久磁石８１１が、アライメント面４１Ｘ，４１Ｙに固定されることにより、永久磁石８１１を変位部４１の所望の位置に位置決めして固定することができる。詳しくは、永久磁石８１１のＸ軸方向寸法の中心およびＹ軸方向寸法の中心が、回動中心軸Ｘ１，Ｙ２の交点と一致させることができる。これにより、電源８１３，８３３からコイル８１２，８３２に交番電圧を印加することにより、永久磁石８１１が傾斜し、回動中心軸Ｙ２からずれることなく、駆動梁４３を捩じり変形させつつ、変位部４１が回動中心軸Ｙ２まわりに安定して傾斜する。これにより、可動梁４２は、回動中心軸Ｘ１からずれて傾いた屈曲をすることなく、可動部２を安定して回動させることができる。 （もっと読む）

【課題】駆動を検出するための検出用電極を備える振動ミラー素子を容易に製造することが可能な振動ミラー素子を提供する。
【解決手段】この振動ミラー素子１００は、ミラー部１と、ミラー部１を駆動する駆動部４および５とを備え、駆動部４および５には、電圧の印加により駆動部４および５を変形させて駆動させるための駆動用電極４４および５４と、駆動部４および５の変形量を検出するための検出用電極４５および５５とがそれぞれ配置されている。 （もっと読む）

【課題】主走査方向と副走査方向との２方向の振幅をそれぞれ目標範囲に速やかに制御できる２次元光走査装置を得る。
【解決手段】第１可動部４を共振させる主走査駆動信号と、第２可動部６を共振させる副走査駆動信号とに応じた駆動信号Ｖを駆動部に出力して第３可動部１２を振動させて第１可動部４と第２可動部６とを共振させる信号生成部５０を備える。また、主走査駆動信号と副走査駆動信号との各制御パラメータのうち、第１可動部４の振幅変化への寄与が大きく第２可動部６の振幅変化への寄与が小さい第１制御パラメータと、第２可動部６の振幅変化への寄与が大きく第１可動部４の振幅変化への寄与が小さい第２制御パラメータとにより、駆動信号Ｖを調整し、振幅を制御する制御部６６を備える。制御部６６は検出される第１可動部４と第２可動部６との振幅に基づいて両制御パラメータを調整する。 （もっと読む）

【課題】表面側保護基板を通してデバイス本体のパッドと実装基板の導体パターンとを電気的に接続でき、且つ、デバイス本体に不要な応力がかかるのを抑制しつつ電気的な接続信頼性を高めることが可能なＭＥＭＳデバイスを提供する。
【解決手段】ＳＯＩ基板（半導体基板）１００を用いて形成され複数のパッド１３を一表面側に備えたミラー形成基板（デバイス本体）１、ミラー形成基板１の一表面側に接合された第１のカバー基板（表面側保護基板）２を有するＭＥＭＳチップ４と、ＭＥＭＳチップ４が実装された実装基板５とを備える。第１のカバー基板２は、ミラー形成基板１の各パッド１３それぞれと接合されて電気的に接続されたシリコンからなる複数の導電部２０２が、第１のカバー基板２の厚み寸法内で設けられている。各導電部２０２と実装基板５の各導体パターン５０２とが、両者に跨って形成された半田部６を介して電気的に接続されている。 （もっと読む）

【課題】 基板上に浮いた状態で支持される可動構造体を備えるＭＥＭＳデバイスにおいて、可動構造体における反りの発生を抑制する技術を提供する。
【解決手段】 本発明は、基板上に浮いた状態で支持される可動構造体を備えるＭＥＭＳデバイスとして具現化される。可動構造体は、下側絶縁層と、下側絶縁層の上方に形成された導電層と、導電層の上方に形成された上側絶縁層を備えている。下側絶縁層の外形形状にはアライメント余裕が設けられている。そのＭＥＭＳデバイスは、上側絶縁層の厚さが下側絶縁層の厚さよりも大きいことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 静電駆動式の光偏向装置において、可動部を支持する支持部材の剛性を低下させることが可能な技術を提供する。
【解決手段】 本発明は基部に設けられた固定電極と可動部に設けられた可動電極の間に電圧を印加することで可動部を揺動させて、可動部に設けられたミラーを揺動させる光偏向装置として具現化される。可動部は第１支持部材と第２支持部材によって支持されている。第１支持部材は絶縁体のみから構成されている。第２支持部材は導体とその周囲を覆う絶縁体から構成されている。その光偏向装置は、第２支持部材が第１支持部材に比べて長く形成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】簡便な構造で、かつ、十分な駆動力を得ることが可能な電磁力利用の光装置装置を提供する。
【解決手段】ミラー部１０、フレーム部２０、及び、ミラー部１０をフレーム部２０に支持する一対のトーションバー部１１などを磁性薄膜で一体的に形成する。そして、外部から印加される交流磁界と主としてミラー部１０の磁化成分との電磁力により、トーションバー部を捻り回転軸としてミラー部を往復振動させるための駆動トルクを発生させる。トーションバー部１１とフレーム部２０との連結部分１２は非磁性化又は弱磁性化することでもよい。 （もっと読む）